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用于空间电推进系统真空环境模拟的氙泵和氪泵
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作者 赵月帅 龚洁 +3 位作者 周盈 邵容平 汪志伟 李征 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第4期308-316,共9页
以Xe/Kr等惰性气体为推进工质的电推进技术在越来越多的航天器中得到应用,这些推进系统必须在地面试验设备中进行试验验证。在这些测试设备中,采用专用的氙泵/氪泵相较于常规真空获得设备具有抽速大、极限真空度高等优势。文章通过理论... 以Xe/Kr等惰性气体为推进工质的电推进技术在越来越多的航天器中得到应用,这些推进系统必须在地面试验设备中进行试验验证。在这些测试设备中,采用专用的氙泵/氪泵相较于常规真空获得设备具有抽速大、极限真空度高等优势。文章通过理论分析及CFD数值仿真的方式对氙泵及氪泵的抽速、热负荷、降温过程进行了研究,讨论了冷板的形状、材料、氙/氪冰的成长等对真空泵性能的影响。同时,建立了测试系统对氙泵/氪泵的抽速进行了测试,理论计算抽速和实测抽速的结果,计算误差低于5%。 展开更多
关键词 低温抽气 电推进 氙泵 氪泵
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基于深度学习算法的G-M制冷机低温泵冷头故障诊断研究
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作者 彭刚 王玉青 +5 位作者 王辉 朱剑豪 王旭迪 何智 武义锋 邓家良 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第5期408-413,共6页
G-M制冷机低温泵是一种广泛应用于半导体制造等领域的重要设备,对超高真空的获得与维持至关重要。由于其长期连续运行,容易引发机械磨损等故障,导致制冷能力和抽气特性下降。因此,开展有效的故障诊断显得尤为关键,文章提出一种改进型遗... G-M制冷机低温泵是一种广泛应用于半导体制造等领域的重要设备,对超高真空的获得与维持至关重要。由于其长期连续运行,容易引发机械磨损等故障,导致制冷能力和抽气特性下降。因此,开展有效的故障诊断显得尤为关键,文章提出一种改进型遗传算法与反向传播神经网络的故障诊断方法,克服了传统反向传播神经网络依赖初始权重与阈值设置、优化效率低的问题。研究结果表明,该方法在故障诊断中的准确率达98.05%。为低温泵健康监测与故障预警提供了科学依据。 展开更多
关键词 G-M制冷机低温泵 故障诊断 深度学习 遗传算法
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基于多物理场的低温泵电机转子分析 被引量:1
3
作者 张峰瑞 胡岩 《微特电机》 2025年第1期30-34,共5页
高速低温离心泵电机转子运行时沉浸在低温流体中,除了受到旋转带来的离心力作用,还承受低温流体带来的影响,常温电机的设计方法并没有考虑到低温流体的影响。为此建立了电机电磁模型,分析了电机转子在低温环境中的损耗,搭建了低温泵电... 高速低温离心泵电机转子运行时沉浸在低温流体中,除了受到旋转带来的离心力作用,还承受低温流体带来的影响,常温电机的设计方法并没有考虑到低温流体的影响。为此建立了电机电磁模型,分析了电机转子在低温环境中的损耗,搭建了低温泵电机转子及外部流场的三维模型,基于多物理场进行热-流-固耦合分析,得到在低温浸液环境中电机腔内流体的温度分布以及转子应力分布。多物理场的耦合分析得到了气隙内的流体分布规律以及电机转子在低温环境中的受力与温度分布规律,对低温转子的设计具有参考意义。 展开更多
关键词 低温泵 高速永磁电机 多物理场 转子强度分析
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制冷机低温泵冷板阵列仿真分析及结构优化
4
作者 姚吉恺 王国栋 +1 位作者 李恒霖 陈肇玺 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第7期523-528,共6页
低温泵由于其运行稳定、大抽速等特性,广泛应用于半导体制造、大科学装置及环模装备。低温泵的冷板阵列作为泵送氢气的主要部件,其结构尺寸对抽气性能具有重要影响。研究以G-M制冷机低温泵为研究对象,基于稀薄气体动力学理论,对比分析... 低温泵由于其运行稳定、大抽速等特性,广泛应用于半导体制造、大科学装置及环模装备。低温泵的冷板阵列作为泵送氢气的主要部件,其结构尺寸对抽气性能具有重要影响。研究以G-M制冷机低温泵为研究对象,基于稀薄气体动力学理论,对比分析不同冷板层数及直径对抽气性能的影响,并根据抽速、降温时间、工作寿命三个指标筛选最优冷板阵列结构,最后通过热流耦合方法分析最优冷板阵列结构,对比分析不同G-M制冷机二级冷头安装高度对温度、抽气量分布及平均抽速的影响。结果表明,对于公称通径为250 mm的小口径低温泵的冷板阵列,应安装9层直径为180 mm的冷板,并分别讨论了冷头安装位置的优缺点。文章的研究方法为分析制冷机低温泵抽气性能提供了理论依据,研究结果为新型制冷机低温泵冷板阵列结构开发提供了理论支持。 展开更多
关键词 制冷机低温泵 稀薄气体流动 热−流耦合模型 冷板结构
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集成电路离子注入用低温泵
5
作者 冯欣宇 程祥 杨杨 《真空》 2025年第5期58-62,共5页
结合集成电路离子注入机台对于低温泵抽气性能与安全防护的严苛要求,介绍了离子注入用低温泵的主要性能指标、机械结构与电气系统特点、应用配置及特殊的安全吹扫流程。与PVD用低温泵相比,离子注入用低温泵口径更大,对氢气抽速与容量的... 结合集成电路离子注入机台对于低温泵抽气性能与安全防护的严苛要求,介绍了离子注入用低温泵的主要性能指标、机械结构与电气系统特点、应用配置及特殊的安全吹扫流程。与PVD用低温泵相比,离子注入用低温泵口径更大,对氢气抽速与容量的要求更高,其通过冷板与吸附阵结构设计优化了氢气抽速与容量。离子注入用低温泵控制系统设有电源切换单元和后备电池模块,独特的安全吹扫流程保证氢气能够安全排出,降低了爆炸风险。 展开更多
关键词 集成电路 离子注入 GM制冷机 低温泵 安全吹扫
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变频型氦气压缩机换热器设计与测试验证
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作者 冯欣宇 程祥 +2 位作者 王浩 邓家良 郑佳 《机电工程技术》 2025年第17期144-150,共7页
氦气压缩机作为低温泵的主要组成部件,为低温泵工作提供循环高纯氦制冷工质。变频型氦气压缩机的换热器设计与压差控制算法是实现整机性能的关键技术。首先分析了氦气压缩机的类型与特点,并比较了两款集成电路制造用变频型氦气压缩机的... 氦气压缩机作为低温泵的主要组成部件,为低温泵工作提供循环高纯氦制冷工质。变频型氦气压缩机的换热器设计与压差控制算法是实现整机性能的关键技术。首先分析了氦气压缩机的类型与特点,并比较了两款集成电路制造用变频型氦气压缩机的主要性能指标。然后依据氦气压缩机的工作原理,利用热力学公式,计算出了氦气与冷冻油的换热量,进一步计算出了板式换热器气路与油路的换热面积。根据氦气压缩机压差控制目标,设计了双闭环PID控制算法,参考氦压缩泵电机的V/F曲线完成了变频器匹配。最后介绍了氦气压缩机在集成电路制造中的典型应用与配置,完成了整机换热器测试与控制算法测试,当冷却水进水温度为25℃,流量14 L/min时,换热后的氦气与冷冻油最高温度分别为29.9℃与30.3℃,运行压差误差为0.01 MPa,均符合实际工况需求。 展开更多
关键词 氦气压缩机 换热器设计 低温泵 集成电路制造
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一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵
7
作者 王君 杨杨 +2 位作者 曾环 邓家良 陆广宝 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第4期267-271,共5页
文章成功设计了一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵,通过结构优化显著提高了Xe抽速,并能够有效抽除N_(2)、H_(2)等常规气体。实验结果表明,该低温泵的Xe抽速高达65000 L/s,对N_(2)和H_(2)的抽速也分别达到了60000 L/s,抽氢容量为150 L。... 文章成功设计了一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵,通过结构优化显著提高了Xe抽速,并能够有效抽除N_(2)、H_(2)等常规气体。实验结果表明,该低温泵的Xe抽速高达65000 L/s,对N_(2)和H_(2)的抽速也分别达到了60000 L/s,抽氢容量为150 L。这些成果证实了新型大抽速CP1250Xe复合低温泵在提升氙气抽速方面的显著优势,解决了传统低温泵Xe抽速无法达到理想抽速的问题,同时具备常规气体的抽气能力,为真空获得提供了强有力的技术支持。 展开更多
关键词 低温泵 抽氙速度 真空获得
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Pumping speed of cryopump for xenon 被引量:3
8
作者 LING Gui-long WEI Li-jun CAI Guo-biao 《航空动力学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1731-1736,共6页
The xenon pumping speed testing system of the large-diameter external cryopump was designed to meet the plume test requirements for prototype electric propulsion.The flowmeter method was utilized to measure the xenon ... The xenon pumping speed testing system of the large-diameter external cryopump was designed to meet the plume test requirements for prototype electric propulsion.The flowmeter method was utilized to measure the xenon pumping speed.The test results show that the averaged effective pumping speed of doublecryopumps is 52 200L/s,and that of single-cryopump is 27 100L/s.The pumping speed ratio of two configurations is 1.93.It can be concluded that the pumping speed has in linear relationship with the number of cryopump,and the coefficient is irrelevant with the gas type.The averaged effective pumping speed of xenon is less than its nominal pumping speed,and the averaged pumping efficiency is 0.83.Under the identical inflow conditions,the averaged effective pumping speed ratio of nitrogen is 0.53,slightly less than the theoretical pumping speed ratio of 0.55.Consequently,it can be concluded that results assessment of large-diameter external cryopump design index can guide the engineering application,showing certain reference significance. 展开更多
关键词 VACUUM PLUME large-diameter external cryopump XENON pumping speed test
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Engineering of Cryopump for Neutral Beam Injection 被引量:1
9
作者 谢远来 胡纯栋 欧阳峥嵘 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第3期352-354,共3页
Neutrals beam injection (NBI) has proven to be a very effective method for plasma heating. A set of positive-ion-based NBI system is being designed, manufactured and tested at ASIPP. The aim of this study was to asc... Neutrals beam injection (NBI) has proven to be a very effective method for plasma heating. A set of positive-ion-based NBI system is being designed, manufactured and tested at ASIPP. The aim of this study was to ascertain the most effective cryocondensation pump structure for the hydrogen NBI system. The parameter design and mechanical design were made to determine the optimum parameters and structure of the cryocondensation pump. The lowest pressure of 7.2 × 10^-6 Pa was achieved in the vacuum chamber, which indicated that this type of liquid helium cryocondensation pump could meet the requirement of the NBI system quite well. 展开更多
关键词 cryopump NBI liquid helium VACUUM
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The Effect of Hydrostatic Pressure and Seismic Load on ITER Lower Cryopump Ports
10
作者 蔡影祥 郁杰 武松涛 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第2期216-218,共3页
The lower cryopump ports in International Thermonuclear Experimental Reactor (ITER) as a part of the vacuum vessel play many important roles. As the boundary of vacuum it must be ensured against structural damage. I... The lower cryopump ports in International Thermonuclear Experimental Reactor (ITER) as a part of the vacuum vessel play many important roles. As the boundary of vacuum it must be ensured against structural damage. In this study a finite element model of the lower cryopump ports was developed by ANSYS code with a purpose to evaluate the stress and displacement level on it. Two kinds of loads were taken into account. One was the hydrostatic pressure including the normal operation pressure and test pressure. The other was the seismic load. The analysis results show that the peak stress does not exceed the allowable stress for either the hydrostatic pressure or the seismic load according to the ITER structural design criterion, which indicates that the structure has a good safety margin. 展开更多
关键词 ITER finite element analysis cryopump port
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Structural Analysis and Calculation for the Radiation Baffle of Cryopumps
11
作者 王娟 欧阳峥嵘 +1 位作者 朱武 胡纯栋 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第4期2929-2931,共3页
To decrease the radiation heat load of the cryopanel is considered to be necessary for the design of cryopumps. In general, a radiation baffle is mounted between the cryopanel and the heat source. The radiation baffle... To decrease the radiation heat load of the cryopanel is considered to be necessary for the design of cryopumps. In general, a radiation baffle is mounted between the cryopanel and the heat source. The radiation baffle absorbs the majority of the radiated heat load. However, the motion of molecules to be pumped is baffled and the pumping speed is lowered at the same time. Therefore the selection of a good radiation baffle is a very important issue for the economical operation of the cryopump. By calculating and comprehensively analyzing the thermal transmission coefficients and the molecular transmission coefficients of baffles of different structures, a type of Chevron baffle is found to be more satisfactory. This paper focuses on the application of the Monte Carlo Method involved in the process of analysis and calculation. 展开更多
关键词 radiation baffle Monte Carlo Method transmission coefficient design of cryopumps
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大抽速氙气泵优化设计研究 被引量:1
12
作者 武义锋 曾环 +2 位作者 王君 杨杨 邓家良 《低温与超导》 CAS 北大核心 2024年第5期95-100,共6页
介绍了500 mm口径大抽速氙气泵的抽气原理、结构、一级冷板优化设计和抽速测试。通过氙气和氮气抽气速率测试对比,该款大抽速氙气泵的氙气抽速与氮气抽速相近,实际抽速高达10 500 L/s,抽氙速率提高了1倍以上。大抽速氙气泵除了具有较优... 介绍了500 mm口径大抽速氙气泵的抽气原理、结构、一级冷板优化设计和抽速测试。通过氙气和氮气抽气速率测试对比,该款大抽速氙气泵的氙气抽速与氮气抽速相近,实际抽速高达10 500 L/s,抽氙速率提高了1倍以上。大抽速氙气泵除了具有较优的抽氙性能,同时具备常规低温泵所有性能。该泵可一泵多用,为客户节约了采购和安装成本。 展开更多
关键词 大抽速氙气泵 低温泵 抽气速率
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DN800型低温泵的设计与实验 被引量:2
13
作者 武义锋 张海峰 +1 位作者 曾环 杨杨 《低温与超导》 CAS 北大核心 2024年第9期95-100,共6页
某型真空环境实验装置采用泵口法兰直径800 mm的低温真空泵作为解决方案,实现大抽速、无油洁净的抽空需求。该型低温真空泵采用2台GM制冷机作为制冷源,不需要低温液体辅助冷却。2台GM制冷机总计可以提供220 W@77 K、12 W@16 K的制冷量,... 某型真空环境实验装置采用泵口法兰直径800 mm的低温真空泵作为解决方案,实现大抽速、无油洁净的抽空需求。该型低温真空泵采用2台GM制冷机作为制冷源,不需要低温液体辅助冷却。2台GM制冷机总计可以提供220 W@77 K、12 W@16 K的制冷量,超过了低温泵的系统热负荷,存在一定的富裕制冷量。在对该型低温泵的泵壳体、障板、吸附阵等关键部件的设计时,按照低温泵的相关理论公式进行计算求解,并综合考虑了结构强度、指标需求和工作裕度等因素,最后通过ANSYS仿真分析软件对温度场进行了模拟分析,模拟结果证实障板、吸附阵的设计满足工作要求。DN800型低温泵实测的最低温度为10.1 K,实测的降温时间195 min,实测氮气抽速为30000 L/s,实测氩气抽速为24000 L/s,实测氢气抽速为54000 L/s。 展开更多
关键词 低温泵 GM制冷机 热负荷 吸附阵
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脉管制冷机的研究进展及其仿真优化 被引量:1
14
作者 姜远镇 邓家良 +1 位作者 韩雨松 武义锋 《真空》 CAS 2024年第4期35-41,共7页
脉管制冷机具有高稳定性、持久运行和低振动等特性,符合高真空设备低温泵对冷源的要求,在低温真空泵领域的关注度越来越高。本文首先介绍了脉管制冷机的基本原理和分类,然后按照驱动方式总结了不同脉管制冷机的最新研制进展,最后重点分... 脉管制冷机具有高稳定性、持久运行和低振动等特性,符合高真空设备低温泵对冷源的要求,在低温真空泵领域的关注度越来越高。本文首先介绍了脉管制冷机的基本原理和分类,然后按照驱动方式总结了不同脉管制冷机的最新研制进展,最后重点分析了不同仿真方法在脉管制冷机研发和优化过程中的实际应用。 展开更多
关键词 低温真空泵 脉管制冷机 仿真优化
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基于4 K制冷机的低温泵抽气单元性能分析
15
作者 江耀 谢远来 +6 位作者 田焜 王姣龙 连振午 汪谦旭 洪慧慧 潘卓 王昉 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期318-324,共7页
中性束注入实验单元系统调试和小尺寸样机验证测试需要真空环境支持,针对实验气体负载性质与真空要求,探索研制外置式制冷机低温泵。设计了一种基于单台4 K制冷机的低温泵并开展抽气单元性能分析,采用ANSYS热分析方法研究抽气单元热学性... 中性束注入实验单元系统调试和小尺寸样机验证测试需要真空环境支持,针对实验气体负载性质与真空要求,探索研制外置式制冷机低温泵。设计了一种基于单台4 K制冷机的低温泵并开展抽气单元性能分析,采用ANSYS热分析方法研究抽气单元热学性能,得到了不同气体热负载下的温度分布,结果表明,抽气面温度处于5 K左右,能够有效抽除H_(2)、He等难凝性气体。采用MOLFLOW对连接抽速测试系统的低温泵进行了气体粒子运动模拟,验证了抽气单元设计的合理性,并模拟得到气体捕获系数为0.409;探究了气体负载对抽气性能的影响,结果表明,受温升影响,泵的抽速波动较小,抽气性能良好。研究方法与结果为实验用制冷机低温泵的研制提供了有益参考。 展开更多
关键词 中性束注入加热 低温泵 真空 4 K制冷机
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微流控技术辅助制备多孔石墨相氮化碳(g-C3N4)块体及其性能研究
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作者 马千驰 徐倩鑫 +2 位作者 周何 郝彬琦 常振旗 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期90-96,共7页
设计了适用于微流控系统的原位生成酸催化聚乙烯醇/戊二醛凝胶反应体系并用于g-C_(3)N_(4)多孔微球粒径与形貌的可控制备,以无机粘结剂和多孔微球为原料实现氚兼容的多孔g-C_(3)N_(4)块体的制备。考察了凝胶组成成分、煅烧模式对微球比... 设计了适用于微流控系统的原位生成酸催化聚乙烯醇/戊二醛凝胶反应体系并用于g-C_(3)N_(4)多孔微球粒径与形貌的可控制备,以无机粘结剂和多孔微球为原料实现氚兼容的多孔g-C_(3)N_(4)块体的制备。考察了凝胶组成成分、煅烧模式对微球比表面积与机械强度的影响,以及无机黏合剂质量分数、微球粒径对g-C_(3)N_(4)块体比表面积与机械强度的影响。结果表明,微球粒径对块体材料性能有显著影响,在相同成型黏合剂质量分数下,微球粒径增加79.5%块体材料的比表面积提高205%,而机械强度仅降低了42%。4.5 K低温气体吸附实验结果表明,所制备的g-C_(3)N_(4)多孔块体吸附层对氢气和氦气的选择性系数可达13.02。 展开更多
关键词 g-C_(3)N_(4)多孔微球 多孔g-C_(3)N_(4)块体 比表面积 微流控技术 低温泵
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空分装置中离心低温泵防气蚀措施探讨 被引量:1
17
作者 卓萍 《山东化工》 CAS 2024年第2期174-176,共3页
离心低温泵作为空分装置重要的组成部分,其稳定可靠运行对于保证空分装置的连续供气有重大意义,其中避免离心低温泵产生气蚀对于离心低温泵的运行尤为重要。目前针对离心泵防气蚀的文献多从泵的结构优化、运行维护方面展开,文章将以空... 离心低温泵作为空分装置重要的组成部分,其稳定可靠运行对于保证空分装置的连续供气有重大意义,其中避免离心低温泵产生气蚀对于离心低温泵的运行尤为重要。目前针对离心泵防气蚀的文献多从泵的结构优化、运行维护方面展开,文章将以空分装置成套供应商的角度,考虑低温液体的特殊性,从流程组织和布置配管、设备采购、控制逻辑、运行四方面探讨低温离心泵防气蚀的措施,从根本上避免离心低温泵的气蚀。 展开更多
关键词 空分 低温离心泵 气蚀 流程组织 布置配管 设备采购 控制逻辑 运行
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大抽速、高容积KDCP—16低温泵研制
18
作者 卢政阳 管承红 +3 位作者 杨晨 陈杰 李艳峰 董文庆 《真空》 CAS 2024年第4期42-46,共5页
介绍了中船鹏力(南京)超低温技术有限公司自主研制的大抽速、高容积KDCP-16低温泵,对其抽速和热负荷进行了理论计算,并测试了其主要性能指标(抽速、降温时间、抽气容积、渡越容量)。结果表明,KDCP-16低温泵N2抽速为6550 L/s,Ar抽速为565... 介绍了中船鹏力(南京)超低温技术有限公司自主研制的大抽速、高容积KDCP-16低温泵,对其抽速和热负荷进行了理论计算,并测试了其主要性能指标(抽速、降温时间、抽气容积、渡越容量)。结果表明,KDCP-16低温泵N2抽速为6550 L/s,Ar抽速为5650 L/s,降温时间为110 min,Ar抽气容积为7550 std·L,渡越容量为6.7×10^(4)Pa·L,各项性能指标均优于国外同尺寸低温泵。 展开更多
关键词 低温泵 抽速 降温时间 抽气容积 渡越容量
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基于流导法的G-M制冷机低温泵抽速测试与分析
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作者 余彦飞 李晓刚 +2 位作者 胡湘娥 陈进文 陈洁心 《真空》 CAS 2024年第3期20-25,共6页
抽气速率是衡量低温泵产品抽真空性能优劣的重要指标之一。除国内企业常用的流量法外,流导法亦是测量低温泵抽速的重要方法。本文依据现行标准中所规定的基于流导法原理测试真空泵气体抽速的方法,对ZD-200口径G-M制冷机低温泵对不同气... 抽气速率是衡量低温泵产品抽真空性能优劣的重要指标之一。除国内企业常用的流量法外,流导法亦是测量低温泵抽速的重要方法。本文依据现行标准中所规定的基于流导法原理测试真空泵气体抽速的方法,对ZD-200口径G-M制冷机低温泵对不同气体抽速测试进行了详细介绍。结果表明:流导法测得低温泵对N^(2)和Ar的抽速分别为2410 L/s、1884 L/s,明显优于国内外同类产品指标;低温泵对H^(2)抽速为2577 L/s,与国内外产品公开技术指标处于相同水平。依照流导法获得的测试结果具有较高的准确度和可信度。 展开更多
关键词 G-M制冷机低温泵 流导法 抽速测试 性能分析
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LNG低温潜液泵结构及设计分析 被引量:21
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作者 罗资琴 任永平 +2 位作者 陈叔平 冯琛然 葛娟 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期13-16,共4页
详细介绍了大型LNG储罐和LNG船用低温潜液泵的导流器、扩散器、TEM、电机、电缆、轴承等主要结构的特点,分析了电机冷却及润滑、泵内气蚀、推力自平衡、监测与保护等关键技术,提出了该种类型LNG低温潜液泵的设计要点。
关键词 低温潜液泵 LNG 结构 设计
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