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X-ray detection based on complementary metal-oxide-semiconductor sensors
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作者 Qian-Qian Cheng Chun-Wang Ma +3 位作者 Yan-Zhong Yuan Fang Wang Fu Jin Xian-Feng Liu 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2019年第1期43-48,共6页
Complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) sensors can convert X-rays into detectable signals; therefore, they are powerful tools in X-ray detection applications. Herein, we explore the physics behind X-ray detecti... Complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) sensors can convert X-rays into detectable signals; therefore, they are powerful tools in X-ray detection applications. Herein, we explore the physics behind X-ray detection performed using CMOS sensors. X-ray measurements were obtained using a simulated positioner based on a CMOS sensor, while the X-ray energy was modified by changing the voltage, current, and radiation time. A monitoring control unit collected video data of the detected X-rays. The video images were framed and filtered to detect the effective pixel points(radiation spots).The histograms of the images prove there is a linear relationship between the pixel points and X-ray energy. The relationships between the image pixel points, voltage, and current were quantified, and the resultant correlations were observed to obey some physical laws. 展开更多
关键词 X-ray detection SIMULATED POSITIONER complementary metal-oxide-semiconductor sensor Effective PIXEL POINTS
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Analysis of proton and γ-ray radiation effects on CMOS active pixel sensors 被引量:4
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作者 马林东 李豫东 +7 位作者 郭旗 文林 周东 冯婕 刘元 曾骏哲 张翔 王田珲 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第11期264-268,共5页
Radiation effects on complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) active pixel sensors(APS) induced by proton and γ-ray are presented. The samples are manufactured with the standards of 0.35 μm CMOS technology.... Radiation effects on complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) active pixel sensors(APS) induced by proton and γ-ray are presented. The samples are manufactured with the standards of 0.35 μm CMOS technology. Two samples have been irradiated un-biased by 23 MeV protons with fluences of 1.43 × 10^11 protons/cm^2 and 2.14 × 10^11 protons/cm-2,respectively, while another sample has been exposed un-biased to 65 krad(Si) ^60Co γ-ray. The influences of radiation on the dark current, fixed-pattern noise under illumination, quantum efficiency, and conversion gain of the samples are investigated. The dark current, which increases drastically, is obtained by the theory based on thermal generation and the trap induced upon the irradiation. Both γ-ray and proton irradiation increase the non-uniformity of the signal, but the nonuniformity induced by protons is even worse. The degradation mechanisms of CMOS APS image sensors are analyzed,especially for the interaction induced by proton displacement damage and total ion dose(TID) damage. 展开更多
关键词 complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) active pixel sensor dark current fixedpattern noise quantum efficiency
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Multifunctional silicon-based light emitting device in standard complementary metal oxide semiconductor technology 被引量:2
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作者 王伟 黄北举 +1 位作者 董赞 陈弘达 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第1期677-683,共7页
A three-terminal silicon-based light emitting device is proposed and fabricated in standard 0.35 μm complementary metal-oxide-semiconductor technology. This device is capable of versatile working modes: it can emit ... A three-terminal silicon-based light emitting device is proposed and fabricated in standard 0.35 μm complementary metal-oxide-semiconductor technology. This device is capable of versatile working modes: it can emit visible to near infra-red (NIR) light (the spectrum ranges from 500 nm to 1000 nm) in reverse bias avalanche breakdown mode with working voltage between 8.35 V-12 V and emit NIR light (the spectrum ranges from 900 nm to 1300 nm) in the forward injection mode with working voltage below 2 V. An apparent modulation effect on the light intensity from the polysilicon gate is observed in the forward injection mode. Furthermore, when the gate oxide is broken down, NIR light is emitted from the polysilicon/oxide/silicon structure. Optoelectronic characteristics of the device working in different modes are measured and compared. The mechanisms behind these different emissions are explored. 展开更多
关键词 optoelectronic integrated circuit complementary metal-oxide-semiconductor technology silicon-based light emitting device ELECTROLUMINESCENCE
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Reliability modelling and assessment of CMOS image sensor under radiation environment 被引量:2
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作者 Zhao TAO Wenbin CHEN +1 位作者 Xiaoyang LI Rui KANG 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第9期297-311,共15页
The Complementary Metal-Oxide Semiconductor(CMOS)image sensor is a critical component with the function of providing accurate positioning in many space application systems.Under long-time operation in space environmen... The Complementary Metal-Oxide Semiconductor(CMOS)image sensor is a critical component with the function of providing accurate positioning in many space application systems.Under long-time operation in space environments,there are radiation related degradation and var-ious uncertainties affecting the positioning accuracy of CMOS image sensors,which further leads to a reliability reduction of CMOS image sensors.Obviously,the reliability of CMOS image sensors is related to their specified function,degradation,and uncertainties;however,current research has not fully described this relationship.In this paper,a comprehensive approach to reliability modelling of CMOs image sensors is proposed based on the reliability science principles.Firstly,the perfor-mance margin modelling of centroid positioning accuracy is conducted.Then,the degradation model of CMOS image sensors is derived considering the dark current increase induced by the total ionizing dose effects.Finally,various uncertainties are analyzed and quantified,and the measure-ment equation of reliability is proposed.A case study of a CMOS image sensor is conducted to apply the proposed method,and the sensitivity analysis can provide suggestions for design and use of CMOS image sensors to ensure reliability.A simulation study is conducted to present the advantages oftheproposed comprehensive approach. 展开更多
关键词 complementary metal-oxide semiconductor image sensor Degradation RELIABILITY Reliability science principles Total ionizingdose effects Uncertainty analysis
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DESIGN AND IMPLEMENTATION OF CMOS IMAGE SENSOR
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作者 Liu Yu Wang Guoyu 《Journal of Electronics(China)》 2007年第1期95-99,共5页
A single Complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS) image sensor based on 0.35μm process along with its design and implementation is introduced in this paper. The pixel ar-chitecture of Active Pixel Sensor (APS) ... A single Complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS) image sensor based on 0.35μm process along with its design and implementation is introduced in this paper. The pixel ar-chitecture of Active Pixel Sensor (APS) is used in the chip,which comprises a 256×256 pixel array together with column amplifiers,scan array circuits,series interface,control logic and Analog-Digital Converter (ADC). With the use of smart layout design,fill factor of pixel cell is 43%. Moreover,a new method of Dynamic Digital Double Sample (DDDS) which removes Fixed Pattern Noise (FPN) is used. The CMOS image sensor chip is implemented based on the 0.35μm process of chartered by Multi-Project Wafer (MPW). This chip performs well as expected. 展开更多
关键词 complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS) Active Pixel sensor (APS) Fill factor Dynamic Digital Double Sample (DDDS) Fixed Pattern Noise (FPN)
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Mathematical Modelling of a Two Degree of Freedom Platform Using Accelerometers and Gyro Sensors
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作者 Vinicius Nunes Lage Alan Kardek Rego Segundo Thomas Vargas Barsante e Pinto 《Journal of Mechanics Engineering and Automation》 2016年第8期427-433,共7页
This paper demonstrates the assembly of a servo-controlled platform with two degrees of freedom, empirical methods and a developed closed-loop control found in the system mathematical model. This control aims to stabi... This paper demonstrates the assembly of a servo-controlled platform with two degrees of freedom, empirical methods and a developed closed-loop control found in the system mathematical model. This control aims to stabilize and hold small objects on the platform. We parsed the step response in X and Y axes, hence we found the first and second-order models for each one. We did some further analyses to decide which one would better represent the behavior of the system. The MATLAB software provided step response for the model empirically obtained and latter compared it to experimental data acquired in the trials. Accelerometers and gyro sensors from the MPU-6050 sensor measured the angular position of platform on X and Y axes. In order to improve measurements accuracy and eliminate noise effects, we implemented the complementary filter to the firmware system. We used Arduino to control servomotors through PWM pulses and perform data acquisition. 展开更多
关键词 Balanced platform MPU6050 sensor complementary filter Arduino.
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基于多传感器数据融合的互异网络轴承故障诊断方法 被引量:2
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作者 赵小强 李森 《计算机工程与应用》 北大核心 2025年第5期323-333,共11页
为了解决单传感器单一分支网络的输入容易受到外界干扰以及在不同域信号转换过程中丢失特征信息,导致故障诊断效果不佳的问题,提出了基于多传感器数据融合的互异网络轴承故障诊断方法。设计了数据预处理模块,以数据级的融合方式实现来... 为了解决单传感器单一分支网络的输入容易受到外界干扰以及在不同域信号转换过程中丢失特征信息,导致故障诊断效果不佳的问题,提出了基于多传感器数据融合的互异网络轴承故障诊断方法。设计了数据预处理模块,以数据级的融合方式实现来自多传感器的多角度故障特征互补,充分考虑了轴承设备多传感器之间的相关性。同时,将经过快速傅里叶变换(FFT)和频率切片小波变换(FSWT)处理后的信号融合为多域信号作为模型的输入,以多域信号独立作为模型输入的形式确保不同域信号在转换过程中关键的特征信息不会丢失。该方法针对不同的域信号设计了相对应的互异网络结构对多传感器数据高维非线性空间中的低维特征关键提取,这也为设备维修人员提供了更加可靠方便的维修手段。当其中一个分支网络的输入受到外界干扰时,另外两个分支网络会起到纠错的作用,不仅增强了网络的容错能力,同时也会增加网络的特征互补能力。利用记忆单元将特征视为不同的时间步,以此建立不同故障特征之间的依赖关系。为了防止模型陷入局部最优,使用适配于所提模型的学习率余弦退火算法优化模型训练。在两个轴承数据集上进行实验,结果表明,该方法拥有好的故障诊断效果和泛化能力,可以满足基于多传感器数据融合的轴承故障诊断任务。 展开更多
关键词 滚动轴承 故障诊断 多传感器 互异网络 数据融合 特征互补
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误差自校正互补非零矢量相电流重构研究
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作者 申永鹏 武克轩 +1 位作者 梁伟华 吴成中 《电源学报》 北大核心 2025年第1期76-83,172,共9页
针对传统空间矢量脉宽调制SVPWM(space vector pulse width modulation)单传感器相电流重构方法中电流不可观测区和零点漂移误差问题,提出1种误差自校正互补非零矢量脉冲宽度调制方法。通过对直流母线采样原理的分析,定义最短采样时间,... 针对传统空间矢量脉宽调制SVPWM(space vector pulse width modulation)单传感器相电流重构方法中电流不可观测区和零点漂移误差问题,提出1种误差自校正互补非零矢量脉冲宽度调制方法。通过对直流母线采样原理的分析,定义最短采样时间,用互补非零矢量代替零电压矢量,延长电流采样窗口,消除扇区边界不可观测区域;同时,揭示误差扩大效应的产生机理,采用互补非零矢量双采样对电流零点漂移进行检测和自校正,实现重构电流零点漂移的补偿。实验结果表明,所提方法重构误差低于1.26%,相电流THD低于6.15%。 展开更多
关键词 单传感器 相电流重构 零点漂移 误差自校正互补非零矢量脉冲宽度调制
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质子辐照星用CMOS图像传感器诱发RTS像素的试验研究
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作者 赵子韬 文林 +3 位作者 李豫东 冯婕 刘炳凯 郭旗 《上海航天(中英文)》 2025年第4期89-96,共8页
空间高能质子会导致CMOS图像传感器(CIS)性能退化及像素异常,严重影响空间目标探测。为深入认识空间高能质子导致的CIS随机电报信号(RTS)像素问题,通过对空间用CIS进行质子辐照试验,结合室温及高温退火试验,获得了RTS像素的产生规律,分... 空间高能质子会导致CMOS图像传感器(CIS)性能退化及像素异常,严重影响空间目标探测。为深入认识空间高能质子导致的CIS随机电报信号(RTS)像素问题,通过对空间用CIS进行质子辐照试验,结合室温及高温退火试验,获得了RTS像素的产生规律,分析了RTS像素的产生机制。试验结果表明:质子导致的RTS像素暗信号会在至多9个台阶上跳变,RTS像素的台阶数目越高,其数量就越少,暗信号在各个台阶之间的跳变也越频繁。本文认为RTS像素暗信号的跳变来自缺陷构型波动,其中磷-空位(VP)缺陷对RTS像素的形成有重要贡献,本研究可为CIS抗辐射加固及在轨维护提供依据。 展开更多
关键词 CMOS图像传感器(CIS) 质子辐照 位移损伤效应 随机电报信号(RTS) 异常像素
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基于MIMU和磁力计的姿态更新算法研究 被引量:29
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作者 米刚 田增山 +2 位作者 金悦 李泽 周牧 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期43-48,共6页
针对传统人体姿态解算算法中存在MEMS陀螺误差发散快的问题,提出一种基于微惯性测量单元(MIMU)及磁力计信息融合的姿态解算算法。该算法利用互补滤波结合PI调节控制完成陀螺零偏校正,然后在加速度计和磁强计的辅助校正下,通过EKF(Expand... 针对传统人体姿态解算算法中存在MEMS陀螺误差发散快的问题,提出一种基于微惯性测量单元(MIMU)及磁力计信息融合的姿态解算算法。该算法利用互补滤波结合PI调节控制完成陀螺零偏校正,然后在加速度计和磁强计的辅助校正下,通过EKF(Expand Kalman Filter)滤波器更新四元数法实现陀螺姿态解算。本算法采用MPU9150传感器模块完成测试实验,实验中对比分析了单独扩展卡尔曼滤波算法与本算法的滤波效果。实验结果表明,本算法能够有效地抑制陀螺的发散,实现稳定地输出高精度姿态数据。 展开更多
关键词 传感器 姿态解算 陀螺校正 互补滤波 PI调节 EKF
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基于共轭梯度法和互补滤波相结合的姿态解算算法 被引量:43
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作者 孙金秋 游有鹏 傅忠云 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期524-528,共5页
为了提高姿态解算精度,提出了一种基于共轭梯度和互补滤波相结合的多传感器数据融合策略。系统采用四元数方法进行姿态解算。利用加速度计和磁强计的输出数据,通过共轭梯度方法对姿态四元数进行寻优估计,再将其和利用陀螺仪输出数据更... 为了提高姿态解算精度,提出了一种基于共轭梯度和互补滤波相结合的多传感器数据融合策略。系统采用四元数方法进行姿态解算。利用加速度计和磁强计的输出数据,通过共轭梯度方法对姿态四元数进行寻优估计,再将其和利用陀螺仪输出数据更新的四元数进行互补滤波,解算出姿态角。实验测试表明,这种融合策略使姿态检测系统静态性能和和动态性能均有所提高,尤其在姿态剧烈变化时,其性能明显优于卡尔曼滤波和梯度下降法。 展开更多
关键词 传感器 姿态估计 共轭梯度法 互补滤波 四元数
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单轴双轮自平衡车姿态检测方案设计 被引量:21
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作者 张吉昌 程凯 郑荣儿 《中国海洋大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期467-470,共4页
针对单轴双轮自平衡车介绍一种基于惯性传感器的姿态检测系统,分析比较各惯性传感器在姿态检测系统中的性能优劣以及功能互补的特点。提出一种简易互补滤波算法对陀螺仪和加速度计进行数据融合,并对实际应用中可能出现的几个问题进行了... 针对单轴双轮自平衡车介绍一种基于惯性传感器的姿态检测系统,分析比较各惯性传感器在姿态检测系统中的性能优劣以及功能互补的特点。提出一种简易互补滤波算法对陀螺仪和加速度计进行数据融合,并对实际应用中可能出现的几个问题进行了探讨,从而有效地提高了系统的检测性能。通过系统实际测试得到的数据绘制了曲线图,表明滤波算法对于提高系统精度是切实有效的。 展开更多
关键词 惯性传感器 陀螺仪 加速度计 互补滤波 姿态检测
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基于简化热平衡方程的再热蒸汽流量实时软测量 被引量:8
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作者 闫姝 曾德良 +2 位作者 刘吉臻 王玮 谢谢 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第5期114-119,共6页
再热蒸汽流量的软测量方法通常精确度不高或实时性不好。针对这个问题,该文研究了一种提高再热蒸汽流量测量实时性和准确性的方法。首先获得了基于简化热平衡方程的再热蒸汽流量稳态计算公式。该公式不包含待定参数,不需要用实验等手段... 再热蒸汽流量的软测量方法通常精确度不高或实时性不好。针对这个问题,该文研究了一种提高再热蒸汽流量测量实时性和准确性的方法。首先获得了基于简化热平衡方程的再热蒸汽流量稳态计算公式。该公式不包含待定参数,不需要用实验等手段来校正公式中的参数,且其计算精度相对其他公式来说也较高,然而该公式只适用于稳态工况。为此,又从精度不高的弗留格尔公式中提取了可以快速反映再热蒸汽流量变化的动态信息结构,并利用稳态计算公式在不同稳态工况下的计算值对其进行了参数标定,得到了动态计算公式。最后文章有效利用了稳态计算公式和动态计算公式的信息互补性,应用互补滤波器方法将上述2个公式在频域内进行了融合。经频域融合后得到的再热蒸汽流量不仅在机组稳态时准确度高还可以快速地反映再热蒸汽流量的变化。 展开更多
关键词 再热蒸汽 流量 热平衡方程 软测量 互补滤波器
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基于MEMS惯性传感器的行人航位推算系统 被引量:16
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作者 李金凤 王庆辉 +2 位作者 刘晓梅 曹顺 张慕远 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第12期85-87,90,共4页
提出一种基于低成本MEMS自包含传感器,能自主完成数据采集、数据处理的行人航位推算(PDR)系统。硬件平台集成三轴加速度计、三轴陀螺仪、三轴数字罗盘及气压计,不需任何额外设施。通过自包含传感器测量行人行走的步长、方位及高度,实现... 提出一种基于低成本MEMS自包含传感器,能自主完成数据采集、数据处理的行人航位推算(PDR)系统。硬件平台集成三轴加速度计、三轴陀螺仪、三轴数字罗盘及气压计,不需任何额外设施。通过自包含传感器测量行人行走的步长、方位及高度,实现行人室内、外三维定位。采用加速度信号实现跨步探测和步长估计。利用互补滤波器融合加速度计、陀螺仪和数字罗盘数据,矫正陀螺仪的测量误差和磁场干扰对数字罗盘的影响,提高行人行走的方位精度。测试结果表明:系统的定位误差低于行进距离的4%,满足行人定位要求。验证了系统的有效性和可靠性。 展开更多
关键词 互补滤波器 MEMS惯性传感器 行人航位推算 室内定位
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基于MEMS传感器的高精度姿态角测量研究 被引量:24
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作者 刘震 王雪梅 倪文波 《中国测试》 CAS 北大核心 2017年第2期6-12,共7页
针对传统姿态参考系统姿态解算容易受到载体运动加速度的干扰,导致系统精度变低、稳定性变差等问题,提出一种改进的卡尔曼滤波算法。该算法建立基于四元数的惯性系统姿态解算数学模型,并根据载体运动加速度的大小,适时调整卡尔曼滤波器... 针对传统姿态参考系统姿态解算容易受到载体运动加速度的干扰,导致系统精度变低、稳定性变差等问题,提出一种改进的卡尔曼滤波算法。该算法建立基于四元数的惯性系统姿态解算数学模型,并根据载体运动加速度的大小,适时调整卡尔曼滤波器的量测噪声方差的大小,以此减弱卡尔曼滤波过程中运动加速度对姿态角解算精度的影响。采用MEMS三轴陀螺仪、加速度计和磁阻传感器完成载体在电梯升降过程中的测量,对实验测量数据进行姿态解算,结果表明改进后的卡尔曼滤波算法能够有效减小运动加速度对姿态解算的影响,姿态角的均方根误差相对于传统的姿态参考系统降低约40%。 展开更多
关键词 姿态解算 运动加速度 互补滤波 卡尔曼滤波 MEMS传感器
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基于MEMS惯性器件的行人室内定位系统 被引量:11
16
作者 李金凤 王庆辉 +1 位作者 刘晓梅 曹顺 《计算机测量与控制》 北大核心 2014年第11期3761-3763,共3页
基于惯性传感器的行人航位推算系统不需要预先安装任何基础设备,能自主运行、实现实时行人定位。设计的硬件平台将低成本、低功耗、小尺寸的MEMS惯性传感器与GPS接收机相结合。在室内、城市峡谷等GPS信号不稳定的环境,惯性传感器根据前... 基于惯性传感器的行人航位推算系统不需要预先安装任何基础设备,能自主运行、实现实时行人定位。设计的硬件平台将低成本、低功耗、小尺寸的MEMS惯性传感器与GPS接收机相结合。在室内、城市峡谷等GPS信号不稳定的环境,惯性传感器根据前一GPS定点推算行人行走的相对位置。行人所处位置高度由气压计测量,与平面位置相结合实现三维定位。简单而有效的跨步探测及步长估计算法降低对微处理器的计算及存储要求。利用互补滤波器融合加速度计、陀螺仪、数字罗盘数据,降低方位误差、提高定位精度。室内行人行走测试实验表明:定位误差低于总行走距离的3%。验证了系统的准确性和可靠性,满足行人定位要求。 展开更多
关键词 行人航位推算 惯性传感器 互补滤波器 室内导航
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宽带移动卫星通信系统低成本姿态估计算法 被引量:6
17
作者 田方浩 姚敏立 +1 位作者 周淑华 伍宗伟 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期44-49,共6页
针对低成本微机电惯性测量单元无法满足宽带移动卫星通信系统姿态估计精度的问题,提出了以单基线GPS为辅助传感器的低成本姿态估计(LCAE)算法。该算法通过互补滤波器对陀螺测量值与加速度计姿态角进行传感器融合。为了克服机动加速度干... 针对低成本微机电惯性测量单元无法满足宽带移动卫星通信系统姿态估计精度的问题,提出了以单基线GPS为辅助传感器的低成本姿态估计(LCAE)算法。该算法通过互补滤波器对陀螺测量值与加速度计姿态角进行传感器融合。为了克服机动加速度干扰,借助单基线GPS的速率信息及航向信息,加入了机动加速度补偿和侧滑角补偿;为了降低算法对GPS信号的依赖,加入了开关结构。实验结果表明,LCAE算法能够有效去除加速度计测量值中的非重力信息,隔离载体运动对加速度计输出的干扰,姿态角估计精度在GPS信号完全锁定的情况下达到±0.5°以内,在GPS信号不完全锁定的情况下,姿态角估计精度优于开关卡尔曼方法,达到±1°以内,满足低成本移动卫星通信系统要求。 展开更多
关键词 卫星通信 传感器融合 姿态估计 互补滤波器
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基于MEMS传感器的三分量检波器定向方法 被引量:3
18
作者 沈统 庹先国 +2 位作者 李怀良 刘勇 阳林锋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第10期1-3,6,共4页
针对三分量地震勘探的功能需求,以三轴电子罗盘、三轴加速度计和三轴陀螺仪构成的惯性传感器组为基础,提出了一种三分量检波器的定向方法。主要与检波器3个分量对应组合,由电子罗盘和加速度计实现方位和倾角测量,并采用陀螺仪对两者进... 针对三分量地震勘探的功能需求,以三轴电子罗盘、三轴加速度计和三轴陀螺仪构成的惯性传感器组为基础,提出了一种三分量检波器的定向方法。主要与检波器3个分量对应组合,由电子罗盘和加速度计实现方位和倾角测量,并采用陀螺仪对两者进行误差补偿,采用快速的互补滤波方式进一步提高测量精度。检测方法已经成功应用于VSP系统中,野外应用效果显示,在复杂的施工环境下,测量误差可以控制在2°以内。 展开更多
关键词 MEMS传感器 检波器定向 互补滤波 多传感器数据融合
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低功耗全数字电容式传感器接口电路设计 被引量:23
19
作者 邓芳明 何怡刚 +2 位作者 张朝龙 冯伟 吴可汗 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期994-998,共5页
电容式传感器被广泛地应用在集成传感器的设计中。近年来,随着无线传感器与射频识别技术的迅速发展,低功耗传感器及其接口电路设计成为热点。低功耗接口电路设计中往往采用低的电源电压,然而当器件工艺进入纳米时代后,低的电源电压使得... 电容式传感器被广泛地应用在集成传感器的设计中。近年来,随着无线传感器与射频识别技术的迅速发展,低功耗传感器及其接口电路设计成为热点。低功耗接口电路设计中往往采用低的电源电压,然而当器件工艺进入纳米时代后,低的电源电压使得在电压幅度域处理传感器信号的传统接口电路设计所允许的电压范围进一步降低。针对这种挑战,设计了一种新型的全数字电容式传感器接口电路。该设计基于锁相环原理,将传感器信号处理转移到频率域,因此该设计可以采用全数字结构。设计的接口电路结合湿度传感器,采用中芯国际0.18μm CMOS工艺流片,后期测试结果显示,该接口电路在芯片面积、线性度及功耗上获得了优异性能。尤其是在0.5 V电源电压下,整个接口电路只消耗了1.05μW功率,相比传统传感器接口电路功耗性能获得了极大提升,此设计确实为低功耗传感器接口电路设计提供了一种新方法。 展开更多
关键词 电容式传感器 全数字接口电路 锁相环 CMOS工艺
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CMOS传感器紫外敏化膜层的厚度优化及其光电性能测试 被引量:10
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作者 刘琼 马守宝 +3 位作者 钱晓晨 阮俊 卢忠荣 陶春先 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期225-230,共6页
采用真空热阻蒸方式在CMOS图像传感器感光面上镀制不同厚度性比价高的Lumogen薄膜.研究发现不同Lumogen薄膜厚度的CMOS传感器的暗电流噪声未发生明显变化,说明真空热蒸发方式对互补金属氧化物半导体器件本身未造成热损伤;光响应非均匀... 采用真空热阻蒸方式在CMOS图像传感器感光面上镀制不同厚度性比价高的Lumogen薄膜.研究发现不同Lumogen薄膜厚度的CMOS传感器的暗电流噪声未发生明显变化,说明真空热蒸发方式对互补金属氧化物半导体器件本身未造成热损伤;光响应非均匀度随膜厚增加而增大;动态范围却随膜厚增加而减小;量子效率随膜厚增加呈现先增大后减小.同时,研究发现敏化膜层最佳厚度为389nm,此时CMOS传感器的量子效率提高了10%,且光响应非均匀度,动态范围均在相对较好的范围内. 展开更多
关键词 传感器技术 薄膜技术 紫外敏化 互补金属氧化物半导体传感器 荧光材料 量子效率 动态范围
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