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Efficient production of biodiesel from both esterification and transesterification over supported SO^(2-)_4–MoO_3–ZrO_2–Nd_2O_3/SiO_2 catalysts 被引量:6
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作者 Xiuqin Li Dongmei Tong Changwei Hu 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第4期463-471,共9页
SO2-4–Mo O3–Zr O2–Nd2O3/Si O2(SMZN/Si O2) catalysts for the production of biodiesel via both esterification and transesterification were prepared and characterized by N2adsorption-desorption isotherms,X-ray diffr... SO2-4–Mo O3–Zr O2–Nd2O3/Si O2(SMZN/Si O2) catalysts for the production of biodiesel via both esterification and transesterification were prepared and characterized by N2adsorption-desorption isotherms,X-ray diffraction(XRD),scanning electron microscopy(SEM),thermogravimetry analysis(TGA),ammonia adsorption Fourier transform infrared spectra(NH3-FTIR),and ammonia adsorption temperature programmed desorption(NH3-TPD) to reveal the dependence of the stable catalytic activity on calcination time. The reason for catalyst deactivation was also studied. The calcination time remarkably affected the types of active centers on SMZN/Si O2-2,and 4 h was found to be the optimal calcination time. SO4 species bonded with small size Zr O2 were found to be the stable active centers,where the leaching of SO2-4and the deposition of coke were inhibited. The deposition of coke was easier on large size Zr O2 than on small size ones. Calcination in air flow could eliminate the deposited coke to recover the deactivated catalysts. 展开更多
关键词 BIODIESEL SMZN/sio2solid acids Stable active centers Small size zro2
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Zr(Ⅳ) surface sites determine CH3OH formation rate on Cu/ZrO2/SiO2-CO2 hydrogenation catalysts 被引量:2
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作者 Erwin Lam Kim Larmier +3 位作者 Shohei Tada Patrick Wolf Olga V. Safonova Christophe Copéret 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期1741-1748,共8页
Cu/ZrO2/SiO2 are efficient catalysts for the selective hydrogenation of CO2 to CH3OH. In order to understand the role of ZrO2 in these mixed-oxides based catalysts, in situ X-ray absorption spectroscopy has been carri... Cu/ZrO2/SiO2 are efficient catalysts for the selective hydrogenation of CO2 to CH3OH. In order to understand the role of ZrO2 in these mixed-oxides based catalysts, in situ X-ray absorption spectroscopy has been carried out on the Cu and Zr K-edge. Under reaction conditions, Cu remains metallic, while Zr is present in three types of coordination environment associated with 1) bulk ZrO2, 2) coordinatively saturated and 3) unsaturated Zr(Ⅳ) surface sites. The amount of coordinatively unsaturated Zr surface sites can be quantified by linear combination fit of reference X-Ray absorption near edge structure (XANES) spectra and its amount correlates with CH3OH formation rates, thus indicating the importance of Zr(Ⅳ) Lewis acid surface sites in driving the selectivity toward CH3OH. This finding is consistent with the proposed mechanism, where CO2 is hydrogenated at the interface between the Cu nanoparticles that split H2 and Zr(Ⅳ) surface sites that stabilizes reaction intermediates. 展开更多
关键词 CO2 hydrogenation zro2/sio2 supported Cu nanoparticles Lewis acidic surface sites In situ X-ray absorption spectroscopy
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ZrO_2助剂对Ni/SiO_2催化剂CO甲烷化催化活性及其吸附性能的影响 被引量:26
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作者 武瑞芳 张因 +2 位作者 王永钊 高春光 赵永祥 《燃料化学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期577-582,共6页
采用连续流动微反装置和原位漫反射红外光谱法考察了Ni/SiO2及添加ZrO2助剂的Ni/ZrO2-SiO2催化剂CO甲烷化催化活性和吸附性能。结果表明,在CO体积分数1%、空速5000 h-1、常压的反应条件下,200℃时Ni/ZrO2-SiO2催化剂可将CO完全转化。而... 采用连续流动微反装置和原位漫反射红外光谱法考察了Ni/SiO2及添加ZrO2助剂的Ni/ZrO2-SiO2催化剂CO甲烷化催化活性和吸附性能。结果表明,在CO体积分数1%、空速5000 h-1、常压的反应条件下,200℃时Ni/ZrO2-SiO2催化剂可将CO完全转化。而相同反应条件下Ni/SiO2催化剂上CO的转化率仅为35%,直至270℃时方可将CO完全转化。由此可见,ZrO2助剂的添加明显提高了Ni/ZrO2-SiO2催化剂的CO甲烷化催化活性。同时,ZrO2助剂的添加显著提高了Ni/ZrO2-SiO2催化剂对CO的吸附能力,H2存在时可通过在较低温度时形成较多的桥式羰基氢化物来提高Ni/ZrO2-SiO2催化剂的CO甲烷化催化活性;CO甲烷化反应条件下,Ni/SiO2和Ni/ZrO2-SiO2催化剂上C—O键的削弱和断裂是经由羰基氢化物-多氢羰基氢化物的途径,而不是经由C—O键的直接断裂途径。 展开更多
关键词 Ni/sio2催化剂 zro2助剂 CO甲烷化 吸附
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Co/ZrO_2/SiO_2催化剂F-T合成反应研究 被引量:3
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作者 常杰 滕波涛 +5 位作者 白亮 张荣乐 陈建刚 相宏伟 李永旺 孙予罕 《天然气化工—C1化学与化工》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期1-8,13,共9页
采用等温积分固定床反应器,在小粒径催化剂、高空速、消除传质作用影响的条件下,对Co/ZrO2/SiO2催化剂上的F-T合成本征反应性能进行了详细考察,结果表明CH4和C2烃的生成活化能较高,导致其偏离Anderson-Schulz-Flory分布规律;在转化率不... 采用等温积分固定床反应器,在小粒径催化剂、高空速、消除传质作用影响的条件下,对Co/ZrO2/SiO2催化剂上的F-T合成本征反应性能进行了详细考察,结果表明CH4和C2烃的生成活化能较高,导致其偏离Anderson-Schulz-Flory分布规律;在转化率不高的情况下,F-T合成中的CO消耗速率表现出对H2分压的线性依赖关系,而反应总压对CO转化率和产物分布的影响不明显.较高的反应温度和H2分压会促进烯烃的二次加氢反应,从而降低烃生成的链增长因子.H2O的分压过高会造成活性相Co0的氧化,同时抑制F-T反应活性且不利于二次反应的进行.对于以重质烃为目标产物的Co/ZrO2/SiO2催化剂而言,适宜的操作条件为:反应温度483 K、V(H2)/V(CO)=2.0和反应压力2.0~3.0MPa. 展开更多
关键词 co/zro2/sio2催化剂 FISCHER-TROPSCH合成 烃分布 反应性能
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含SiO_2,ZrO_2微粒复合镀镍层抗高温氧化性能 被引量:8
5
作者 杜岩滨 朱立群 +1 位作者 刘慧丛 白真权 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1003-1007,共5页
通过对含有SiO2 ,ZrO2 微粒复合电沉积的研究 ,在Cu合金表面分别获得了含量 (原子数分数 )为 1 1 .3%SiO2 ,5 .31 %ZrO2 微粒的Ni基复合镀层 .通过在 80 0℃、90 0℃条件下的高温氧化和热震循环试验 ,研究了这种复合镀镍层的高温氧化性... 通过对含有SiO2 ,ZrO2 微粒复合电沉积的研究 ,在Cu合金表面分别获得了含量 (原子数分数 )为 1 1 .3%SiO2 ,5 .31 %ZrO2 微粒的Ni基复合镀层 .通过在 80 0℃、90 0℃条件下的高温氧化和热震循环试验 ,研究了这种复合镀镍层的高温氧化性能和界面结合特性 .结果表明 :经过 40h的高温氧化 ,2种复合镀镍层的抗氧化性能均达到抗氧化级 ,而且含SiO2 微粒的复合镀镍层的抗氧化性能优于含ZrO2 微粒的复合镀镍层 ;经过 5 5次冷热循环 ,含SiO2 展开更多
关键词 复合材料 高温抗氧化涂层 sio2 zro2微粒
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ZrO_2-SiO_2膜的制备和结构研究 被引量:13
6
作者 黄永前 郑昌琼 +1 位作者 胡英 张育林 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期204-206,共3页
以正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料 ,用溶胶 -凝胶法制备了无支撑ZrO2 -SiO2 膜。应用DTA -TG、XRD、SEM和BET等测试技术对无支撑ZrO2 -SiO2 膜的结构、表面形貌和孔径进行了表征 ,结果表明ZrO2 -SiO2 凝胶膜虽在 46 7℃开始出现少量单斜ZrO... 以正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料 ,用溶胶 -凝胶法制备了无支撑ZrO2 -SiO2 膜。应用DTA -TG、XRD、SEM和BET等测试技术对无支撑ZrO2 -SiO2 膜的结构、表面形貌和孔径进行了表征 ,结果表明ZrO2 -SiO2 凝胶膜虽在 46 7℃开始出现少量单斜ZrO2 ,但在 5 0 0℃和 12 0 0℃热处理后的主晶相均为四方ZrO2 ,显然SiO2 的存在阻碍了四方相ZrO2 向单斜相ZrO2 转变的过程 ,ZrO2 -SiO2 膜具有比ZrO2 膜更高的热稳定性 ,在95 0℃烧结的无支撑ZrO2 -SiO2 膜孔径稍呈双峰分布 ,其最可几孔径为 3 .3 5nm。 展开更多
关键词 zro2-sio2 溶胶-凝胶 制备 结构 热稳定性
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Sol-Gel法制备Al_2O_3-SiO_2-TiO_2-ZrO_2复合陶瓷膜的研究 被引量:4
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作者 徐晓虹 吴建锋 +1 位作者 白占良 张英 《中国陶瓷》 CAS CSCD 2003年第6期21-23,共3页
将Sol-Gel法应用于无机膜的制备,成功的研制出一种新型的膜面平整、膜厚均匀且无宏观缺陷的Al2O3-SiO2-TiO2-ZrO2复合陶瓷膜,复合膜含有γ-Al2O3、SiO2、TiO2、ZrO2和Al2SiO5等晶相,改变体系组成含量,晶相组成和含量随之变化,从而引起... 将Sol-Gel法应用于无机膜的制备,成功的研制出一种新型的膜面平整、膜厚均匀且无宏观缺陷的Al2O3-SiO2-TiO2-ZrO2复合陶瓷膜,复合膜含有γ-Al2O3、SiO2、TiO2、ZrO2和Al2SiO5等晶相,改变体系组成含量,晶相组成和含量随之变化,从而引起膜的显微结构的变化。利用XRD、SEM、AFM、EPMA等测试手段重点研究了膜的表面形貌和显微结构,并分析了添加剂、热处理方式等对膜的表面形貌和显微结构影响。 展开更多
关键词 溶胶—凝胶法 Al2O3—sio2—TiO2zro2复合陶瓷膜 表面形貌 显微结构
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ZrO_2助剂对Co/SiO_2催化剂在Fischer-Tropsch合成反应中稳定性的影响 被引量:4
8
作者 周玮 房克功 +1 位作者 陈建刚 孙予罕 《燃料化学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期461-465,共5页
采用TPR、XRD、XPS和H2脉冲吸附等表征手段考察了ZrO2助剂对Co/S iO2催化剂在F ischer-Tropsch(F-T)合成中稳定性的影响。结果表明,ZrO2的引入促进了钴物种在催化剂上的分散并明显抑制了该催化剂的失活;在反应过程中ZrO2起到结构助剂的... 采用TPR、XRD、XPS和H2脉冲吸附等表征手段考察了ZrO2助剂对Co/S iO2催化剂在F ischer-Tropsch(F-T)合成中稳定性的影响。结果表明,ZrO2的引入促进了钴物种在催化剂上的分散并明显抑制了该催化剂的失活;在反应过程中ZrO2起到结构助剂的作用,明显抑制了Co/S iO2催化剂上硅酸钴或水合硅酸钴物种的生成。 展开更多
关键词 Fischer—Tropsch合成 Co/sio2 zro2 助剂 失活
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ZrO2/SiO2催化合成1,6-六亚甲基二氨基甲酸甲酯的研究 被引量:6
9
作者 李芳 赵茜 +2 位作者 王淑芳 赵新强 王延吉 《石油化工》 CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期1695-1697,共3页
制备出一种用于碳酸二甲酯(DMC)和1,6-己二胺反应合成1,6-六亚甲基二氨基甲酸甲酯(HDC)的氧化物型催化剂ZrO2/SiO2,考察了反应温度、时间、催化剂用量及ZrO2负载量对反应性能的影响.当ZrO2负载量为10%时,在己二胺/DMC摩尔比=1/10、催化... 制备出一种用于碳酸二甲酯(DMC)和1,6-己二胺反应合成1,6-六亚甲基二氨基甲酸甲酯(HDC)的氧化物型催化剂ZrO2/SiO2,考察了反应温度、时间、催化剂用量及ZrO2负载量对反应性能的影响.当ZrO2负载量为10%时,在己二胺/DMC摩尔比=1/10、催化剂浓度为2 g/100 ml、90℃下反应5 h时,HDC的收率可达39.5%.研究发现,将Zr(OH)4负载在SiO2上,可降低其分解温度,并且高度分散的ZrO2的晶相转变受到抑制. 展开更多
关键词 zro2/sio2 碳酸二甲酯 1 6-六亚甲基二氨基甲酸甲酯
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纯丙类聚氨酯/SiO_2-ZrO_2光固化纳米复合透明耐磨涂料涂层的制备及性能 被引量:8
10
作者 董骏 梁红波 吕程 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2016年第8期15-19,6-7,共5页
目前,鲜见在纯丙类光固化聚氨酯中引入SiO2和ZrO2纳米粒子的报道。采用溶液聚合法制备了纯丙类聚氨酯丙烯酸酯,采用溶胶凝胶法制备SiO2及ZrO2无机溶胶,将无机前驱体与有机相进行杂化,制备了一系列可光固化的有机无机杂化涂料。采用... 目前,鲜见在纯丙类光固化聚氨酯中引入SiO2和ZrO2纳米粒子的报道。采用溶液聚合法制备了纯丙类聚氨酯丙烯酸酯,采用溶胶凝胶法制备SiO2及ZrO2无机溶胶,将无机前驱体与有机相进行杂化,制备了一系列可光固化的有机无机杂化涂料。采用红外光谱(FTIR)和核磁共振氢谱(1H—NMR)对杂化涂料及其涂层进行了结构表征,采用场发射扫描电镜(SEM)研究了杂化涂料涂层的表面形貌,并对涂层进行了物理性能、透明性以及耐磨性能测试。结果表明:杂化涂料涂层中,无机粒子均匀分散在有机相中,且无机粒子半径为20~30nm:无机粒子的引入显著提升了涂层的物理性能及耐磨性能,涂层的硬度从1H提升到6H,磨耗量减少了80%。 展开更多
关键词 聚氨酯丙烯酸酯 紫外光固化 耐磨性 有机无机杂化 sio2 zro2
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耐高温ZrO_2/SiO_2复合气凝胶的制备及表征 被引量:4
11
作者 邹文兵 沈军 +5 位作者 祖国庆 邹丽萍 吴宇 关大勇 张蓉艳 姚献东 《南京工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2016年第2期42-46,共5页
以锆酸四丁酯为锆源,采用溶胶-凝胶法结合化学液相沉积(CLD),即在凝胶老化过程中用部分水解的锆酸四丁酯和正硅酸四乙酯进行液相修饰,经过乙醇超临界干燥(SCFD)制备耐高温ZrO_2/SiO_2块体复合气凝胶。采用透射电子显微镜(TEM)、傅里叶... 以锆酸四丁酯为锆源,采用溶胶-凝胶法结合化学液相沉积(CLD),即在凝胶老化过程中用部分水解的锆酸四丁酯和正硅酸四乙酯进行液相修饰,经过乙醇超临界干燥(SCFD)制备耐高温ZrO_2/SiO_2块体复合气凝胶。采用透射电子显微镜(TEM)、傅里叶红外光谱仪(FT-IR)、X线衍射仪(XRD)、N_2吸附分析仪等仪器表征了ZrO_2/SiO_2复合气凝胶的形貌、表面基团、晶相和孔结构,着重研究其耐热性能。结果表明:制备的ZrO_2/SiO_2复合气凝胶具有优秀的耐温性能,1 000℃处理2 h后,仍为四方相,线收缩率仅为12%,比表面积高达186 m2/g。 展开更多
关键词 zro2/sio2复合气凝胶 溶胶-凝胶法 化学液相沉积 耐高温
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ZrO_2/SiO_2多层膜的化学法制备研究 被引量:4
12
作者 杨帆 沈军 +4 位作者 吴广明 孙骐 付甜 张志华 王珏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期326-330,共5页
 分别以ZrOCl2·8H2O和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶 凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法分别在K9玻璃和单晶硅片上制备了ZrO2/SiO2多层膜。采用溶剂替换和紫外光处理等手段,有效地解决了ZrO2/SiO2多层膜中膜层...  分别以ZrOCl2·8H2O和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶 凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法分别在K9玻璃和单晶硅片上制备了ZrO2/SiO2多层膜。采用溶剂替换和紫外光处理等手段,有效地解决了ZrO2/SiO2多层膜中膜层开裂和膜间渗透等问题。应用扫描电子显微镜观测了薄膜的表面和剖面微观形貌,并用椭偏仪测得薄膜的厚度和折射率,研究了薄膜厚度、折射率与热处理温度、紫外光处理时间的关系,对所获得薄膜的紫外 可见、红外光谱进行了分析。用输出波长1064nm,脉宽15ns的电光调Q激光系统产生的强激光进行了单层膜的辐照实验,结果发现溶剂替换后激光损伤阈值有所提高。 展开更多
关键词 zro2/sio2多层膜 氧化锆 二氧化硅 化学法制备 溶胶-凝胶工艺 紫外光处理 激光损伤阈值 旋转镀膜法
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溶胶-凝胶法制备SiO_2/ZrO_2无机复合膜的研究 被引量:7
13
作者 张克铮 邱春阳 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期251-254,共4页
以硅酸乙酯和氧氯化锆为先驱体,用乙醇为溶剂,采用溶胶——凝胶法于室温下在Al2O3基体上制备了ZrO2/SiO2无机复合膜.重点考察了涂膜温度、ZrOCl2摩尔百分含量、溶胶浓度及添加剂对膜性能的影响.结果表明:在较高的温度下涂膜可以提高膜... 以硅酸乙酯和氧氯化锆为先驱体,用乙醇为溶剂,采用溶胶——凝胶法于室温下在Al2O3基体上制备了ZrO2/SiO2无机复合膜.重点考察了涂膜温度、ZrOCl2摩尔百分含量、溶胶浓度及添加剂对膜性能的影响.结果表明:在较高的温度下涂膜可以提高膜的性能;ZrOCl2的存在对渗透比的影响不大,但能够提高溶胶的交联度,从而提高制膜效率,同时也有利于渗透通量的提高;采用浓溶胶和稀溶胶结合的方式涂膜不但可以提高制膜效率,还可以提高膜的性能.添加剂TEABr能够均化膜孔径,提高膜的性能. 展开更多
关键词 溶胶——凝胶法 zro2/sio2 渗透比 渗透通量 无机复合膜
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SiO_2改性ZrO_2气凝胶高温稳定性 被引量:4
14
作者 李晓雷 王庆浦 +2 位作者 季惠明 孙晓红 何健 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期65-68,共4页
以ZrOCl2·8H2O为锆源,以环氧丙烷(PO)为凝胶促进剂制备ZrO2凝胶,将ZrO2凝胶置于正硅酸乙酯乙醇溶液中老化,再结合高温超临界干燥工艺制备了SiO2改性ZrO2气凝胶。通过对比ZrO2气凝胶和SiO2改性ZrO2气凝胶高温结构转变讨论了SiO2改性... 以ZrOCl2·8H2O为锆源,以环氧丙烷(PO)为凝胶促进剂制备ZrO2凝胶,将ZrO2凝胶置于正硅酸乙酯乙醇溶液中老化,再结合高温超临界干燥工艺制备了SiO2改性ZrO2气凝胶。通过对比ZrO2气凝胶和SiO2改性ZrO2气凝胶高温结构转变讨论了SiO2改性对ZrO2气凝胶高温结构的影响。采用FT-IR、XRD、SEM和TEM等分析手段对样品进行高温结构表征。结果表明:采用正硅酸乙酯乙醇溶液老化ZrO2凝胶后,在ZrO2凝胶粒子表面形成了一层SiO2包裹层,这层SiO2包裹层显著抑制了ZrO2的扩散、成核和生长过程,高温稳定性得以显著提高。 展开更多
关键词 zro2气凝胶 sio2 超临界干燥 高温稳定性
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纳米SiO_2和ZrO_2共同作用硅酸盐水泥水化机理 被引量:3
15
作者 孙中华 范基骏 罗朝巍 《应用化工》 CAS CSCD 2009年第4期525-528,共4页
利用XRD和SEM表征了纳米S iO2和ZrO2对硅酸盐水泥砂浆改性后的试样。研究发现,在固定水灰比为0.5时,复掺2%纳米S iO2和0.25%ZrO2共同发挥纳米诱导水化作用,生成更多的C—S—H凝胶并向着针柱状形貌生长,细化了Ca(OH)2,使其镶嵌在C—S—H... 利用XRD和SEM表征了纳米S iO2和ZrO2对硅酸盐水泥砂浆改性后的试样。研究发现,在固定水灰比为0.5时,复掺2%纳米S iO2和0.25%ZrO2共同发挥纳米诱导水化作用,生成更多的C—S—H凝胶并向着针柱状形貌生长,细化了Ca(OH)2,使其镶嵌在C—S—H凝胶和钙钒石中,使得C—S—H与凝胶与钙矾石紧密交织,减少水泥石中总孔隙率,水泥石的结构更加细化密实,使抗压强度明显高于同龄期标准试样。 展开更多
关键词 纳米sio2zro2 水化机理 诱导作用
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单层SiO_2和ZrO_2薄膜激光辐照损伤的对比 被引量:1
16
作者 章春来 郭袁俊 +3 位作者 吕海兵 袁晓东 蒋晓东 祖小涛 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第1期115-118,122,共5页
分别采用物理气相沉积和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了4块光学厚度相近的Si O2和ZrO2单层膜。分别采用椭偏仪、透射式光热透镜和原子力显微镜对两类薄膜的孔隙率、热吸收和微观表面形貌进行了表征;利用Nd∶YAG激光器测试了样品的激光... 分别采用物理气相沉积和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了4块光学厚度相近的Si O2和ZrO2单层膜。分别采用椭偏仪、透射式光热透镜和原子力显微镜对两类薄膜的孔隙率、热吸收和微观表面形貌进行了表征;利用Nd∶YAG激光器测试了样品的激光损伤阈值(LIDT;1 064 nm/8.1 ns),并用光学显微镜观察了两类薄膜的损伤形貌。结果表明,化学膜的孔隙率和表面粗糙度均大于相应的物理膜;对同一类薄膜而言,Si O2化学膜的孔隙率和表面粗糙度都比ZrO2化学膜大,物理膜则相反。化学膜有更小的热吸收,其损伤阈值普遍比物理膜高出1倍,其损伤形貌多为热熔型,而物理膜多为应力型。 展开更多
关键词 sio2/zro2薄膜 孔隙率 热吸收 激光损伤阈值 损伤形貌
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氨处理抑制SiO_2/ZrO_2薄膜膜间渗透 被引量:1
17
作者 章春来 尹伟 +6 位作者 祖小涛 王毕艺 向霞 袁晓东 蒋晓东 吕海兵 郑万国 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期711-715,共5页
以正硅酸乙酯和丙醇锆为原料,用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2,样品2镀完SiO2经氨处理后再镀ZrO2。研究表明,ψ和Δ两个椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合,进而发现氨处理... 以正硅酸乙酯和丙醇锆为原料,用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2,样品2镀完SiO2经氨处理后再镀ZrO2。研究表明,ψ和Δ两个椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合,进而发现氨处理可有效抑制SiO2/ZrO2双层膜之间的渗透,氨处理后渗透层减少近45 nm。利用激光束对两种样品进行了损伤阈值的测试,用光学显微镜观察损伤形貌,结果发现两者损伤阈值分别为14.8和15.03 J/cm2,损伤形貌均为熔融型。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 sio2/zro2 氨处理 椭偏模拟 膜间渗透 激光损伤阈值
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溶胶-凝胶ZrO_2/SiO_2双层减反膜(英文) 被引量:1
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作者 李海元 熊怀 +1 位作者 唐永兴 胡丽丽 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第S2期145-148,共4页
以锆酸丙酯[Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的... 以锆酸丙酯[Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的稳定性。制备的双层减反膜具有很好的减反效果,在石英玻璃基片二面涂膜,在激光三倍频波长351nm处透过率达到99.41%,在BK-7光学玻璃基片上涂制的双减反层膜在基频波长1053nm处透过率达到99.63%。该减反膜的均方根粗糙度(RMS)为1.038nm。膜层具有较高的激光损伤阈值,在激光波长为1064nm,脉冲宽度为1ns时,ZrO2膜的激光损伤阈值为19.6J/cm2,双层减反膜的激光损伤阈值为16.8J/cm2。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 薄膜 zro2/sio2 双层减反
原文传递
层间热处理对SiO_2/ZrO_2双层膜的影响 被引量:1
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作者 章春来 蒋晓东 +5 位作者 袁晓东 向霞 祖小涛 王毕艺 吕海兵 郑万国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1469-1473,共5页
以正硅酸乙酯和丙醇锆为前驱体,用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜。采用不同实验步骤制备了2个样品,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2,样品2镀完SiO2经热处理后再镀ZrO2。采用原子力显微镜、椭偏仪、紫外-可见分光光度计对薄... 以正硅酸乙酯和丙醇锆为前驱体,用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜。采用不同实验步骤制备了2个样品,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2,样品2镀完SiO2经热处理后再镀ZrO2。采用原子力显微镜、椭偏仪、紫外-可见分光光度计对薄膜进行表征。针对SiO2/ZrO2双层膜,考虑到膜间渗透的影响,采用3层Cauchy模型进行椭偏模拟,椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合,进而发现热处理可以使SiO2/ZrO2双层膜之间的渗透减少近23 nm,从而提高其峰值透射率。利用输出波长1.064μm,脉宽8.1 ns的激光束对样品进行了损伤阈值的测试,用光学显微镜观察损伤形貌,结果发现两者损伤阈值分别为13.6 J/cm2和14.18 J/cm2,均为膜的本征损伤。 展开更多
关键词 sio2/zro2双层膜 溶胶-凝胶 热处理 椭偏模拟 膜间渗透 激光损伤阈值
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化学修饰法制备的ZrO_2-SiO_2系凝胶薄膜的感光特性研究 被引量:4
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作者 赵桂荣 赵高扬 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期207-208,211,共3页
本研究采用溶胶 凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2 ·(10 0 -x)SiO2 系薄膜 ,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性 ,发现了当x >3 0时 ,这种凝胶薄膜在 3 3 5nm附近有较强的吸收峰 ,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAc... 本研究采用溶胶 凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2 ·(10 0 -x)SiO2 系薄膜 ,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性 ,发现了当x >3 0时 ,这种凝胶薄膜在 3 3 5nm附近有较强的吸收峰 ,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAcH的π π 迁移。当紫外光照射薄膜后 ,随着含Zr螯合物的分解 ,吸收峰也消失 ,并引起薄膜在有机溶剂中的溶解特性的显著变化 ,表现出明显的感光特性。这种薄膜经 40 0℃、3 0min热处理以后 ,薄膜中的有机物消失 ,可获得非晶质的ZrO2 SiO2 系薄膜 ,依据这一特性可以用紫外光对这类薄膜进行微细加工。 展开更多
关键词 熔胶-凝胶法 化学修饰 微细加工 吸光度 氧化锆-氧化硅薄膜
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