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电容传感器对介质厚度的检测
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作者 倪德儒 倪佳 《传感器世界》 1998年第12期30-32,共3页
本文论述用电容传感器检测介质材料厚度,对测量灵敏度和检测厚度精度进行分析,指出减小介质介电常数变化影响的方法。本文提出的频率变换型测厚方法,所需设备结构简单、处理方法先进、精度高,还具有自校和自补偿功能。
关键词 电容传感器 介质厚度 灵敏度 误差
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