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钌系厚膜电阻重烧变化特性的研究
被引量:
9
1
作者
罗慧
李世鸿
+1 位作者
刘寄松
金勿毁
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期33-37,共5页
采用高温熔融-水淬法制备玻璃相,固相法制备导电相Bi2Ru2O7、CaRuO3和BaRuO3,水浴溶解法制备有机载体,配制成电阻浆料后印制成电阻,经烘干、烧结后测算其重烧变化率。研究了玻璃组成中硼硅比例B2O3/SiO2、混合玻璃粉比例以及导电相对重...
采用高温熔融-水淬法制备玻璃相,固相法制备导电相Bi2Ru2O7、CaRuO3和BaRuO3,水浴溶解法制备有机载体,配制成电阻浆料后印制成电阻,经烘干、烧结后测算其重烧变化率。研究了玻璃组成中硼硅比例B2O3/SiO2、混合玻璃粉比例以及导电相对重烧变化率的影响。提出了改善电阻重烧变化率的几种办法。制备出的几种电阻浆料重烧变化率较小,可满足使用要求。
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关键词
复合材料
厚膜电阻
RUO2
CaRuO3
baruo3
重烧变化率
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职称材料
高导电性BaRuO_3薄膜及其脉冲激光沉积
被引量:
5
2
作者
许华平
辛火平
+3 位作者
郑立荣
林成鲁
顾梅
曹泽淳
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第1期80-84,共5页
钌酸盐是典型的ABO3型过渡金属氧化物,具有金属导电性,其薄膜可作为电极材料用于集成铁电等器件中。分析了BaRuO3的钙钛矿晶体结构和导电机制,并利用ArF准分子脉冲激光沉积(PLD)技术,结合后续退火处理,在Si(...
钌酸盐是典型的ABO3型过渡金属氧化物,具有金属导电性,其薄膜可作为电极材料用于集成铁电等器件中。分析了BaRuO3的钙钛矿晶体结构和导电机制,并利用ArF准分子脉冲激光沉积(PLD)技术,结合后续退火处理,在Si(100)衬底上生长出具有(110)取向、室温电阻率约10-2~10-3Ω·cm的BaRuO3高导电性薄膜,俄歇能谱(AES)和Rutherford背散射谱(RBS)分析表明:薄膜BaRuO3的纯度高、成分均匀性好,BaRuO3/Si界面存在扩散过渡层。
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关键词
脉冲激光沉积
baruo3
薄膜
薄膜
原文传递
题名
钌系厚膜电阻重烧变化特性的研究
被引量:
9
1
作者
罗慧
李世鸿
刘寄松
金勿毁
机构
昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室
出处
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期33-37,共5页
基金
国家科技支撑项目(2012BAE06B00)资助
文摘
采用高温熔融-水淬法制备玻璃相,固相法制备导电相Bi2Ru2O7、CaRuO3和BaRuO3,水浴溶解法制备有机载体,配制成电阻浆料后印制成电阻,经烘干、烧结后测算其重烧变化率。研究了玻璃组成中硼硅比例B2O3/SiO2、混合玻璃粉比例以及导电相对重烧变化率的影响。提出了改善电阻重烧变化率的几种办法。制备出的几种电阻浆料重烧变化率较小,可满足使用要求。
关键词
复合材料
厚膜电阻
RUO2
CaRuO3
baruo3
重烧变化率
Keywords
composite
thick-film resistor
RuO2
CaRuO3
baruo3
change of resistance value after refLring
分类号
TG146.38 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
高导电性BaRuO_3薄膜及其脉冲激光沉积
被引量:
5
2
作者
许华平
辛火平
郑立荣
林成鲁
顾梅
曹泽淳
机构
中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第1期80-84,共5页
文摘
钌酸盐是典型的ABO3型过渡金属氧化物,具有金属导电性,其薄膜可作为电极材料用于集成铁电等器件中。分析了BaRuO3的钙钛矿晶体结构和导电机制,并利用ArF准分子脉冲激光沉积(PLD)技术,结合后续退火处理,在Si(100)衬底上生长出具有(110)取向、室温电阻率约10-2~10-3Ω·cm的BaRuO3高导电性薄膜,俄歇能谱(AES)和Rutherford背散射谱(RBS)分析表明:薄膜BaRuO3的纯度高、成分均匀性好,BaRuO3/Si界面存在扩散过渡层。
关键词
脉冲激光沉积
baruo3
薄膜
薄膜
Keywords
pulsed laser deposition,transition metal oxides,ruthenate thin film
分类号
TB43 [一般工业技术]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
钌系厚膜电阻重烧变化特性的研究
罗慧
李世鸿
刘寄松
金勿毁
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2013
9
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职称材料
2
高导电性BaRuO_3薄膜及其脉冲激光沉积
许华平
辛火平
郑立荣
林成鲁
顾梅
曹泽淳
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
5
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