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BST超细粉体的水热法形成机理及工艺控制 被引量:4
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作者 苗鸿雁 周耀辉 +1 位作者 朱刚强 仇越秀 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期57-60,共4页
采用水热法制备了不同组成的BaxSr1-xTiO3(BST)超细粉体.利用DTA/TGA、XRD、TEM等技术分析了水热反应转变机理和BST相结构转变及微观形貌情况.研究了制备纳米BST粉体的各种影响因素.结果表明:获得的BST粉体颗粒度较细,钙钛矿结构通过络... 采用水热法制备了不同组成的BaxSr1-xTiO3(BST)超细粉体.利用DTA/TGA、XRD、TEM等技术分析了水热反应转变机理和BST相结构转变及微观形貌情况.研究了制备纳米BST粉体的各种影响因素.结果表明:获得的BST粉体颗粒度较细,钙钛矿结构通过络合物中间相和TiO2扩散形成,粒径为20~40 nm,其最佳的工艺参数为温度在190~240℃,r(Ba/Ti)=3、r(Sr/Ti)=1/4或者r(Ba/Ti)=1/3、r(Sr/Ti)=4/5,KOH浓度为1.5~2 mol/L. 展开更多
关键词 无机非金属材料 bst 水热法 DTA/TGA
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PVP添加剂改善溶胶-凝胶法制备BST薄膜表面结构及介电性能 被引量:2
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作者 张佳 廖家轩 +3 位作者 潘笑风 王洪全 傅向军 魏雄邦 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第B08期90-93,共4页
以聚乙烯吡咯烷酮(polyvinyl pyrrolidone,PVP)为添加剂采用改善的溶胶凝胶法制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,并采用扫描电镜(SEM)及原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的表面结构与介电性能。结果表明:PVP显著改善了BST薄膜的表面形貌,当PVP... 以聚乙烯吡咯烷酮(polyvinyl pyrrolidone,PVP)为添加剂采用改善的溶胶凝胶法制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,并采用扫描电镜(SEM)及原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的表面结构与介电性能。结果表明:PVP显著改善了BST薄膜的表面形貌,当PVP:Ti的物质的量比为0.7%时,BST薄膜表面形貌最佳,光滑致密无裂纹无缩孔。X射线光电子能谱(XPS)表明,PVP有助于减少BST薄膜表面非钙钛矿结构。介电性能测试表明,在40V外加电压下BST薄膜的介电调谐率达45%,零偏压下的介电损耗低于0.02。另外,对PVP的作用机理进行了讨论。 展开更多
关键词 改善溶胶凝胶法 钛酸锶钡薄膜 聚乙烯吡咯烷酮(PVP) 介电性能
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BST薄膜的Sol-Gel法制备及其电学性能的研究 被引量:3
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作者 章天金 李东 +1 位作者 徐超 黄卫华 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第2期145-148,共4页
应用溶胶 -凝胶 (Sol- Gel)工艺制备了组分为 r(Ba∶ Sr) =0 .6 5∶ 0 .35的 BST薄膜 ,研究了 BST薄膜的显微结构、介电特性和漏电流特性 ,实验结果表明 :BST薄膜经 6 5 0°C热处理后 ,已形成完整的立方钙钛矿结构 ,薄膜经 90 0... 应用溶胶 -凝胶 (Sol- Gel)工艺制备了组分为 r(Ba∶ Sr) =0 .6 5∶ 0 .35的 BST薄膜 ,研究了 BST薄膜的显微结构、介电特性和漏电流特性 ,实验结果表明 :BST薄膜经 6 5 0°C热处理后 ,已形成完整的立方钙钛矿结构 ,薄膜经 90 0°C热处理后 ,其表面光滑、致密、无裂纹、无针孔 ,圆球形的小颗粒均匀分布。当偏置电压为 0时 ,BST薄膜的介电常数和损耗因子分别为 5 4 2和 0 .0 35。漏电流特性分析结果表明 :采用 Ru O2 作为底电极 ,在 1.5 V的偏压下 BST薄膜的漏电流密度为 0 .5 2 μΑ/cm2 ,该值比 Pt/Ru O2 混合底电极上制备的 BST薄膜的漏电流密度 (72 n A/cm2 )大 1个数量级 ,因此 ,Pt/Ru O2 混合底电极既克服了 Ru O2 底电极漏电流大的缺点 ,又解决了 Pt底电极难以刻蚀的困难 。 展开更多
关键词 SOL-GEL法 制备 电学性能 bst薄膜
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钛酸锶钡(BST)薄膜SOL-GEL制备方法研究 被引量:1
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作者 李桂英 肖定全 +1 位作者 余萍 朱建国 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2002年第6期66-67,共2页
利用碳酸盐代替部分醇盐,探讨了采用Sol-Gel技术制备Ba_1-xSr_xTiO_3(BST)铁电薄膜的可行性.以醋酸钡[Ba(CHCOO)_2]、碳酸锶[SrCO_3]和钛酸四丁酯[Ti(OC_4H_9)_4]作原料,运用一般的Sol-Gel工艺制备BST铁电薄膜,通过XRD分析物质结构,用SE... 利用碳酸盐代替部分醇盐,探讨了采用Sol-Gel技术制备Ba_1-xSr_xTiO_3(BST)铁电薄膜的可行性.以醋酸钡[Ba(CHCOO)_2]、碳酸锶[SrCO_3]和钛酸四丁酯[Ti(OC_4H_9)_4]作原料,运用一般的Sol-Gel工艺制备BST铁电薄膜,通过XRD分析物质结构,用SEM测定表面形貌,XPS及EDAX测定薄膜的组成.结果表明:采用碳酸锶原料和其他醇盐一起来制备BST铁电薄膜的方法是可行的. 展开更多
关键词 SOL-GEL 制备方法 bst薄膜 溶胶-凝胶法 铁电薄膜 钛酸锶钡薄膜
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溶胶–凝胶法制备BST薄膜的结晶特性研究 被引量:2
5
作者 方瑜 肖定全 +3 位作者 袁小武 于光龙 卢苇 朱建国 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期25-28,共4页
采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)工艺配制了(Ba0.65,Sr0.35)TiO3(BST)溶胶.利用旋转涂覆工艺将BST溶胶涂覆在SiO2/Si衬底上,在不同的热处理条件下制备出BST薄膜.XRD分析结果表明:制得的BST薄膜形成了单一钙钛矿结构;AFM测试结果表明,BST... 采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)工艺配制了(Ba0.65,Sr0.35)TiO3(BST)溶胶.利用旋转涂覆工艺将BST溶胶涂覆在SiO2/Si衬底上,在不同的热处理条件下制备出BST薄膜.XRD分析结果表明:制得的BST薄膜形成了单一钙钛矿结构;AFM测试结果表明,BST薄膜表面平整致密,无裂纹.表面均方根粗糙度为3~6nm,晶粒大小分布均匀,直径约为40~100 nm.随着热处理温度的提高,BST薄膜的晶粒变大,表面粗糙度变大. 展开更多
关键词 无机非金属材料 bst薄膜 溶胶-凝胶法(sol-gel) 微结构
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基底材料对溶胶-凝胶法制备BST薄膜的影响 被引量:1
6
作者 周宗辉 刘敬 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期85-88,共4页
利用溶胶-凝胶法在Si、SiO2/Si、刚玉粉处理过的Si和ZnO/Si基底上制备了Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜。采用XRD、SEM等测试方法研究了基底种类对BST薄膜的结晶度及显微结构的影响。结果表明:经750℃热处理后BST薄膜都形成了完整的钙钛矿结构;... 利用溶胶-凝胶法在Si、SiO2/Si、刚玉粉处理过的Si和ZnO/Si基底上制备了Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜。采用XRD、SEM等测试方法研究了基底种类对BST薄膜的结晶度及显微结构的影响。结果表明:经750℃热处理后BST薄膜都形成了完整的钙钛矿结构;与Si基底相比,BST薄膜与SiO2/Si基底晶格匹配度较小,结晶度和介电性能较差;而与刚玉粉处理过的Si基底和ZnO/Si基底匹配度较高,且沉积的BST薄膜结晶度高,晶粒发育较完善,晶粒间排列紧密,表面光滑无裂纹,其介电性能也较好。 展开更多
关键词 基底 bst薄膜 溶胶-凝胶法 结晶度 匹配度
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改进Sol-Gel法制备Y掺杂BST薄膜表面结构及介电性能研究 被引量:9
7
作者 廖家轩 王洪全 +3 位作者 潘笑风 傅向军 张佳 田忠 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期387-391,共5页
通过在溶胶前驱液中添加聚乙烯吡咯烷酮和在底电极Pt上形成界面仔晶层,对溶胶-凝胶(Sol-Gel)法进行了改进,并以此在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钇(Y)掺杂和非掺杂的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了薄膜的表面结构和介电调谐性能.X射线光电子... 通过在溶胶前驱液中添加聚乙烯吡咯烷酮和在底电极Pt上形成界面仔晶层,对溶胶-凝胶(Sol-Gel)法进行了改进,并以此在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钇(Y)掺杂和非掺杂的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了薄膜的表面结构和介电调谐性能.X射线光电子能谱表明,BST薄膜表面元素都以两种或三种化学态出现,一种对应钙钛矿结构,其余的对应非钙钛矿结构.和非掺杂相比,除了Ti2p外,Y掺杂对Ba3d、Sr3d和O1s具有明显的影响,Ba、Sr和O原子在非钙钛矿结构中的含量分别由41%、33%和51%减少到26%、29%和40%.扫描电镜和原子力显微镜表明,Y掺杂BST薄膜光滑致密、无裂纹和无缩孔.40V偏压和100kHz频率下的电压-电容曲线表明,Y掺杂提高了薄膜的介电调谐性能,调谐率大于43%、损耗0.0216及优化因子20.对Y掺杂改性机理也进行了讨论. 展开更多
关键词 钇掺杂 钛酸锶钡薄膜 改进溶胶-凝胶法 表面结构 介电调谐性能
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溶胶-凝胶法制备BST/MgO复合粉体晶化过程研究 被引量:3
8
作者 杨觉明 范琳 刘秀兰 《西安工业大学学报》 CAS 2007年第5期451-455,共5页
为降低钛酸钡锶BST/MgO陶瓷烧结温度,减小BST晶粒尺寸,采用溶胶一凝胶法制备BST/MgO复合粉体,DTA/TGA,FT—IR,XRD,TEM和SEM分析BST/MgO干凝胶的晶化过程.结果表明,采用溶胶一凝胶法制备出包裹MgO粉体的BST凝胶,凝胶经干燥... 为降低钛酸钡锶BST/MgO陶瓷烧结温度,减小BST晶粒尺寸,采用溶胶一凝胶法制备BST/MgO复合粉体,DTA/TGA,FT—IR,XRD,TEM和SEM分析BST/MgO干凝胶的晶化过程.结果表明,采用溶胶一凝胶法制备出包裹MgO粉体的BST凝胶,凝胶经干燥、预烧得到BST/MgO复合粉体.凝胶干燥后形成含Ba抖,Sr抖的非晶态干凝胶,干凝胶在晶化过程中会形成BaCO3和SrCO3,它们与TiO2反应形成钙钛矿晶型结构的BST.BST的钙钛矿结构主要在550-650℃形成,粉体在700℃预烧后基本完全晶化,得到包含BST和MgO两相的复合氧化物粉体,其中BST晶粒大小约20nm,MgO晶粒大小〉0.1μm.粉体经冷等静压成型和1300℃无压烧结制得BST晶粒为3~5μm的BST/MgO陶瓷,烧结温度比普通固相反应烧结温度低约150℃. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 晶化过程 复合粉体 bst陶瓷
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BST薄膜的湿法化学刻蚀工艺优化及应用初探 被引量:1
9
作者 黄鹤 章天金 +2 位作者 潘瑞琨 陈仁 范生强 《湖北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2010年第4期418-421,共4页
采用sol-gel法在SiO2/Si衬底上制备了Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)薄膜.利用湿法化学刻蚀技术对BST薄膜进行图形化.通过实验结果对比,选择HF/HNO3/H2O2/H2O(体积比为1∶20∶50∶20)的混合液作为最佳刻蚀液.扫描电镜(SEM)结果表明,刻蚀后BST薄膜... 采用sol-gel法在SiO2/Si衬底上制备了Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)薄膜.利用湿法化学刻蚀技术对BST薄膜进行图形化.通过实验结果对比,选择HF/HNO3/H2O2/H2O(体积比为1∶20∶50∶20)的混合液作为最佳刻蚀液.扫描电镜(SEM)结果表明,刻蚀后BST薄膜表面干净,无残留物,图形轮廓清晰.原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)结果显示,刻蚀后BST薄膜表面粗糙度增大,结晶性退化.对刻蚀后的薄膜在600℃后退火处理,能要在一定程度上恢复其表面形貌和结晶性.应用优化工艺制备BST薄膜阵列,采用剥离法将Au,Ni/Cr和Pt/Ti电极进行微图形化.最后,成功地制备了Au/Ni/Cr/BST/Pt/Ti/SiO2/Si结构的8×8元的红外探测器阵列. 展开更多
关键词 钛酸锶钡 湿法化学刻蚀 溶胶凝胶法 工艺优化 应用
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一种新的基于BST壳单元的一步法 被引量:2
10
作者 傅立军 董湘怀 王鹏 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期198-203,208,共7页
大多数使用壳单元的一步法公式都会借助初始构型为平板这一条件略去初始构型的曲率计算,并消去转动自由度,简化终态构型曲率和弯曲刚度矩阵的计算,以保持计算效率,但这也限制了一步快速模拟的应用范围。为此,引入无转动自由度的BST(Basi... 大多数使用壳单元的一步法公式都会借助初始构型为平板这一条件略去初始构型的曲率计算,并消去转动自由度,简化终态构型曲率和弯曲刚度矩阵的计算,以保持计算效率,但这也限制了一步快速模拟的应用范围。为此,引入无转动自由度的BST(Basic shell triangular)壳单元,通过单元片内四个相邻单元,方便地计算出初始和终态构型的曲率而无需简化。在此单元基础上,使用对数应变描述大变形,采用考虑厚向异性的全量弹塑性本构关系,通过极值功原理,推导出新的可用于非平面初始构型的一步法公式,将一步法应用范围拓展到一般的壳体成形。给出一个矩形管纯弯曲的算例,特别考察其断面畸变问题,并将新一步法模拟的结果与增量分析和试验的结果做比较,验证了其正确性。 展开更多
关键词 一步法 bst壳单元 非平面初始构型
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Co掺杂对BST薄膜介电性能的影响 被引量:3
11
作者 高丽娜 杨晓静 +1 位作者 张良莹 姚熹 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期49-51,共3页
用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了掺Co的钛酸锶钡(BST)薄膜,研究了Co的掺杂量x(Co)对BST薄膜的晶相结构和电学性能的影响。结果表明:随着x(Co)的增加,BST薄膜的介电常数εr,介质损耗tgδ和漏电流密度JL均降低;当x(Co)为5%时... 用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了掺Co的钛酸锶钡(BST)薄膜,研究了Co的掺杂量x(Co)对BST薄膜的晶相结构和电学性能的影响。结果表明:随着x(Co)的增加,BST薄膜的介电常数εr,介质损耗tgδ和漏电流密度JL均降低;当x(Co)为5%时,BST薄膜的εr、tgδ、JL、可调性和品质因子分别为:228.3、0.013、3.69×10–7 A/cm2、15.4%、12.03。 展开更多
关键词 无机非金属材料 bst薄膜 CO掺杂 SOL-GEL法 介电性质 可调性
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以PVP为添加剂的BST薄膜制备与结晶性能 被引量:3
12
作者 李恩求 廖家轩 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期44-46,共3页
用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上沉积Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜,采用SEM、XRD、AFM分析薄膜的表面形貌和结晶行为。为抑制薄膜裂纹,在前驱体溶液中加入高分子聚合物聚乙烯吡咯烷酮(PVP)。结果表明,经700℃退火1h,得到表面平整、致密... 用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上沉积Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜,采用SEM、XRD、AFM分析薄膜的表面形貌和结晶行为。为抑制薄膜裂纹,在前驱体溶液中加入高分子聚合物聚乙烯吡咯烷酮(PVP)。结果表明,经700℃退火1h,得到表面平整、致密、无裂纹和孔洞以及晶粒取向高度一致的薄膜。薄膜钙钛矿结构明显,并随温度的升高而趋于完善。在结晶初期形成规则的柱状晶粒在长大和吞并的过程中逐渐形成颗粒状晶粒。薄膜的晶粒大小和表面粗糙度随退火温度的升高而增大。在平均晶粒较大且晶界分明的情况下,薄膜的均方根粗糙度仍能保持在7.854nm左右。 展开更多
关键词 钛酸锶钡薄膜 晶化行为 聚乙烯吡咯烷酮 溶胶-凝胶法
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钛酸锶钡(BST)材料的制备方法、理论及应用的研究进展 被引量:3
13
作者 马维云 《云南冶金》 2011年第5期46-49,共4页
铁电材料,由于在电子器件行业具有巨大的应用前景,因而受到科学上和技术上的广泛关注,钛酸锶钡(BST)材料的最新理论进展和制备方法的发现,为人们提供了新的应用机会。本文对钛酸锶钡材料的理论研究进展、制备方法和新的应用作了详细阐述。
关键词 钛酸锶钡 铁电材料 制备方法
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管道蒸汽云爆炸事故后果模型分析
14
作者 刘畑 蒋为 +3 位作者 祁明业 王凯 薛润斌 李妍 《石油化工自动化》 2025年第6期74-78,共5页
针对输气管道泄漏后可能引发蒸汽云爆炸所造成的超压影响范围,梳理了目前常用的TNT法、TNO法和BST法等经验模型,基于输气管道全尺寸爆破实验数据分析了模型预测值的工程有效性,并对近场模型进行了改进。结果显示,Hnrych法、Mills法的预... 针对输气管道泄漏后可能引发蒸汽云爆炸所造成的超压影响范围,梳理了目前常用的TNT法、TNO法和BST法等经验模型,基于输气管道全尺寸爆破实验数据分析了模型预测值的工程有效性,并对近场模型进行了改进。结果显示,Hnrych法、Mills法的预测超压值均低于实验值,说明预测方法低估了冲击波超压的危害。爆炸强度为8级和9级时,超压预测值高于实验值,说明TNO法的预测精度与爆炸强度的选择关联性较大;对于爆心距大于250m的远场,可选用爆炸强度为7级时的TNO法进行超压值预测,相对误差在17%以内;对于爆心距小于等于250m的近场,可选用修正Mills法进行超压值预测,相对误差在12%以内。 展开更多
关键词 蒸汽云 事故后果 三硝基甲苯当量法 多能法 贝克-斯特雷洛-唐法
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溶胶-沉淀法制备钛酸锶钡粉末及其水热处理 被引量:8
15
作者 张五星 薛丽红 +2 位作者 邹雪城 曾祥斌 尹盛 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期47-52,共6页
通过溶胶-沉淀法制备出完全钙钛矿结构的Ba0.71Sr0.29TiO3(BST)粉末,粉末的颗粒尺寸约为300nm。但得到的BST粉末不稳定,在乙酸中容易分解。通过TG-DTA和XRD分析,直接沉淀得到的粉末颗粒失重大,而且由于颗粒所吸附的有机物阻碍了Ba2+和S... 通过溶胶-沉淀法制备出完全钙钛矿结构的Ba0.71Sr0.29TiO3(BST)粉末,粉末的颗粒尺寸约为300nm。但得到的BST粉末不稳定,在乙酸中容易分解。通过TG-DTA和XRD分析,直接沉淀得到的粉末颗粒失重大,而且由于颗粒所吸附的有机物阻碍了Ba2+和Sr2+的扩散,造成了直接沉淀的BST颗粒内部的组分不均匀和结晶不完全。通过对直接沉淀的BST粉末进行150-200℃的水热后处理,其结晶性得到了很大的改善,稳定性也得到了提高。实验表明,水热处理具有与烧结相似的效果,但BST粉末的分散性得到了改善。 展开更多
关键词 bst 粉末 溶胶-沉淀法 水热处理 结晶
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用于深水钻井的水合物抑制剂HBH的研制及评价 被引量:5
16
作者 黄进军 白小东 裘嘉璞 《钻井液与完井液》 CAS 北大核心 2005年第3期12-13,21,共3页
在深水钻井过程中如钻遇含气地层,地层气窜入井眼或在环空的钻井液中,形成水合物,堵塞井眼、环空或防喷器,严重影响钻井工作的正常进行。介绍了水合物抑制剂HBH的合成工艺,对其水合物抑制性及与其它处理剂的配伍性进行了室内评价。结果... 在深水钻井过程中如钻遇含气地层,地层气窜入井眼或在环空的钻井液中,形成水合物,堵塞井眼、环空或防喷器,严重影响钻井工作的正常进行。介绍了水合物抑制剂HBH的合成工艺,对其水合物抑制性及与其它处理剂的配伍性进行了室内评价。结果表明,加入少量水合物抑制剂HBH于钻井液(约为0.5%)中即能有效地抑制水合物的生成;低分子量的聚乙二醇具有一定的润滑性和防塌性,同时对天然气水合物有较好的抑制性;HBH与低分子量的聚乙二醇PEG600按一定比例(1:3)复配使用,抑制性能更佳,复配使用时的BST值比二者单独加入时的BST值要大几倍。 展开更多
关键词 深水钻井 气体水合物 水合物抑制剂 钻井液添加剂 THF/SSW测试法 bst
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开敞空间氢气爆炸特性数值模拟研究 被引量:3
17
作者 关文玲 李莫凡 +1 位作者 董呈杰 任常兴 《消防科学与技术》 CAS 北大核心 2024年第7期946-951,共6页
为研究开敞空间氢气爆炸危害,基于Fluent流体力学计算软件建立开敞氢气-空气爆炸的三维数值模型,在此基础上,模拟和分析了边长为0.5、1.0、2.0、3.0 m的立方体预混氢气-空气爆炸,并将数值模拟结果与TNO多能法和BST法的爆炸强度等级进行... 为研究开敞空间氢气爆炸危害,基于Fluent流体力学计算软件建立开敞氢气-空气爆炸的三维数值模型,在此基础上,模拟和分析了边长为0.5、1.0、2.0、3.0 m的立方体预混氢气-空气爆炸,并将数值模拟结果与TNO多能法和BST法的爆炸强度等级进行对比。结果表明,火焰传播距离约为初始氢气半径的2倍。爆炸最大压力出现位置的无量纲距离与气云初始半径近似成线性关系。TNO多能法和BST法爆炸强度等级的选择应根据气云初始尺寸的增大而增加。 展开更多
关键词 氢气爆炸 开敞空间 气云尺寸 最大超压 火焰传播 TNO多能法 bst
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Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜的制备、结构及性能研究 被引量:13
18
作者 叶扬 丁爱丽 +1 位作者 唐新桂 罗维根 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期125-130,共6页
研究了一种以乙二醇为稳定剂的新的BST前驱液,用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上成功地制备出具有优良电学性能的Ba0.7Sr0.3 TiO3薄膜.乙二醇的加入有效地增加了前驱液的稳定性,并... 研究了一种以乙二醇为稳定剂的新的BST前驱液,用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上成功地制备出具有优良电学性能的Ba0.7Sr0.3 TiO3薄膜.乙二醇的加入有效地增加了前驱液的稳定性,并降低薄膜的结晶温度.利用XRD、DTA等技术分析了凝胶热处理过程中相变化情况及薄膜厚度与成相的关系.厚度 200nm,O2气氛中 700℃处理 15min后的 BST薄膜具有良好的介电性能,100kHz时介电常数ε>400,介电损耗 D<0.02;P—E电滞回线说明薄膜具有良好的铁电性能,剩余极化只约为1.4μC/cm2,矫顽场强 Ec约为 48kV/cm. 展开更多
关键词 bst薄膜 溶胶-凝胶法 乙二醇 P-E电滞回线 制备 结构 性能 钛酸锶钡 铁电薄膜
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Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3薄膜的溶胶-凝胶法制备及表征 被引量:2
19
作者 李艳红 周科朝 +2 位作者 庄后荣 张妍 张斗 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期160-167,共8页
采用溶胶-凝胶法在Si和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备钙钛矿结构的Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜。对其前驱体干凝胶进行热重与差热(TG-DSC)分析,以此确定薄膜的热处理工艺。分别采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜... 采用溶胶-凝胶法在Si和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备钙钛矿结构的Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜。对其前驱体干凝胶进行热重与差热(TG-DSC)分析,以此确定薄膜的热处理工艺。分别采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和B1500A半导体器件分析仪对薄膜性能进行表征。结果表明:800℃下在氧气气氛中退火15 min可以得到结晶度良好、致密度较高的纯钙钛矿相BST薄膜,其对应的晶粒尺寸和均方根粗糙度分别为30~40 nm和5.80 nm。薄膜厚度为160~378 nm时,BST薄膜的介电常数和介质损耗随薄膜厚度的增加而增大。厚度为300 nm的BST薄膜的介电常数由于尺寸效应随温度升高单调降低,且居里温度在室温以下。 展开更多
关键词 BA0 8Sr0 2TiO3(bst)薄膜 溶胶-凝胶法 介电性质
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水基金属有机物分解法制备Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜的研究 被引量:1
20
作者 何夕云 丁爱丽 +1 位作者 仇萍荪 罗维根 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期394-396,共3页
制备了水基Ba2+、Sr2+、Ti4+三元有机物溶液。根据红外光谱测定及对比实验分析了溶液配制过程中化学反应机理。采用金属有机物分解法(MOD)制备Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜。通过XRD、SEM、TE... 制备了水基Ba2+、Sr2+、Ti4+三元有机物溶液。根据红外光谱测定及对比实验分析了溶液配制过程中化学反应机理。采用金属有机物分解法(MOD)制备Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜。通过XRD、SEM、TEM、电子衍射及阻抗分析仪等分析测试手段,研究薄膜的相结构、微观形态及电性能。结果表明,所制备BST薄膜呈现纯钙钛矿晶相结构,结晶完整,晶粒小(10~50nm),显微结构均匀致密,并具有良好的电性能(电容密度为160nF/cm2,薄膜厚度400nm)。 展开更多
关键词 水基前驱物溶液 bst薄膜 MOD法 集成电路
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