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Effects of Multilayer Structure of Ag-SiO_(2) Films on the Photonic Band Gap 被引量:1
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作者 Song Zhitang Chen Su +1 位作者 Wang Yang Feng Songlin 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1736-1739,共4页
The one-dimensional photonic crystals of Ag/SiO_(2) system are studied to investigate the photonic band gaps (PBG). The samples were prepared by the ultra-high vacuum electron beam evaporation. The clear band gaps wer... The one-dimensional photonic crystals of Ag/SiO_(2) system are studied to investigate the photonic band gaps (PBG). The samples were prepared by the ultra-high vacuum electron beam evaporation. The clear band gaps were observed. Satisfactory agreement between experimental and calculated results was obtained without fitting. The thickness of SiO_(2 )film has influence on the photonic band gap, as well as it awfully affects the transmittance of Ag. More layers can get clearer PBG. 展开更多
关键词 Photonic crystal Photonic band gap Ultra-high vacuum electron beam evaporation Ag/sio2 multilayer
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Effects of Si-Layer-Thickness Ratio on UV-Light-Emission Intensity from Si/SiO<SUB>2</SUB>Multilayered Thin Films Prepared Using Radio-Frequency Sputtering
2
作者 Kenta Miura Hitomi Hoshino +1 位作者 Masashi Honmi Osamu Hanaizumi 《Materials Sciences and Applications》 2015年第3期215-219,共5页
We investigated the effects of Si-layer-thickness ratios on ultraviolet (UV) peak intensities of Si/ SiO2 multilayered films produced by alternately stacking several-nanometer-thick Si and SiO2 layers using radio-freq... We investigated the effects of Si-layer-thickness ratios on ultraviolet (UV) peak intensities of Si/ SiO2 multilayered films produced by alternately stacking several-nanometer-thick Si and SiO2 layers using radio-frequency sputtering for the first time. The Si-layer-thickness ratio of the Si/SiO2 film is a very important parameter for enhancing the peak intensity because the ratio is concerned with the size of Si nanocrystals in the film, which might affect the intensity of the UV light emission from the film. We prepared seven samples with various estimated Si-layer-thickness ratios, and measured the photoluminescence spectra of the samples after annealing at 1150°C, 1200°C, or 1250°C for 25 min. From our experiments, we estimate that the proper Si-layer-thickness ratio to obtain the strongest UV peaks from the Si/SiO2 multilayered films is around 0.29. Such a UV-lightemitting thin film is expected to be used in future higher-density optical-disk systems. 展开更多
关键词 SI sio2 multilayer SPUTTERING UV-LIGHT Emission
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AlN/SiC_w(Y_2O_3SiO_2)复合材料热处理增强机理
3
作者 张宏泉 裴新美 李凝芳 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第A01期246-250,共5页
利用XRD, EPMA 和HREM 等测试技术对AlN/SiCw(Y2O3SiO2) 复合材料热处理增强机理进行了研究。结果表明: 材料在1 300 ℃空气中进行热处理, 其氧化处理过程也是其热处理增强过程, 增强机理主要... 利用XRD, EPMA 和HREM 等测试技术对AlN/SiCw(Y2O3SiO2) 复合材料热处理增强机理进行了研究。结果表明: 材料在1 300 ℃空气中进行热处理, 其氧化处理过程也是其热处理增强过程, 增强机理主要是由于氧化扩散改变了粒界玻璃相的相组成, 粒界玻璃相在高温氧化气氛下和AlN颗粒发生作用, 生成AlN 多形体2HδSialon 相, 并与SiC 展开更多
关键词 复合材料 热处理 增强机理 氧化铝碳化硅
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AlN/SiO_2纳米多层膜的超硬效应与高温抗氧化性 被引量:3
4
作者 吴莹 赵文济 +2 位作者 孔明 黄碧龙 李戈扬 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期562-566,共5页
采用反应磁控溅射法制备了一系列不同SiO_2层厚的AlN/SiO_2纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了多层膜微结构与力学性能随SiO_2层厚的变化,考察了AlN/... 采用反应磁控溅射法制备了一系列不同SiO_2层厚的AlN/SiO_2纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了多层膜微结构与力学性能随SiO_2层厚的变化,考察了AlN/SiO_2纳米多层膜的高温抗氧化性.结果表明,受AlN层晶体结构的模板作用,溅射条件下以非晶态存在的SiO_2层在厚度<0.6nm时被强制晶化为与AlN相同的六方结构赝晶体,并与AlN形成共格外延生长结构,多层膜相应产生硬度升高的超硬效应.SiO_2随自身层厚的进一步增加又转变为以非晶态生长,致使多层膜的外延生长结构受到破坏,其硬度也随之降低.高温退火研究表明,高硬度的AlN/SiO_2纳米多层膜的抗氧化温度为800℃,与AlN单层膜相当.SiO_2层的加入尽管能使多层膜获得较高硬度,但是并不能提高其抗氧化温度. 展开更多
关键词 aln/sio2纳米多层膜 外延生长 超硬效应 抗氧化性
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SiO_2抛光液对AlN基片抛光性能的影响 被引量:3
5
作者 尹青 张国玲 +1 位作者 唐会明 孙涛 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第6期376-380,共5页
针对AlN基片CMP平坦性问题,从pH值、磨料粒度以及磨料的质量分数等方面研究了抛光液参数对抛光效果的影响。通过对AlN基片进行抛光实验,确定pH为10.5~11.5时,采用大粒径、高质量分数纳米SiO2溶胶作为磨料,有利于抛光速率的提高。利用纳... 针对AlN基片CMP平坦性问题,从pH值、磨料粒度以及磨料的质量分数等方面研究了抛光液参数对抛光效果的影响。通过对AlN基片进行抛光实验,确定pH为10.5~11.5时,采用大粒径、高质量分数纳米SiO2溶胶作为磨料,有利于抛光速率的提高。利用纳米SiO2溶胶、去离子水、pH调节剂和稳定剂自主配制抛光液A,与纯水按质量比1∶5稀释后,在压力1.8MPa、转速60r/min、流速340mL/min条件下,对AlN基片进行抛光,抛光速率为0.5μm/min。抛光1.5h后,AlN基片的表面粗糙度可达28nm,表面无划痕。 展开更多
关键词 CMP抛光 纳米sio2溶胶 抛光液 PH值 aln基片 表面粗糙度
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SiO_2溶胶及其静电自组装薄膜的制备 被引量:6
6
作者 许丕池 姜德生 +2 位作者 余海湖 李小甫 李鸿辉 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第2期165-170,共6页
采用HCl催化、NH3 ·H2 O催化、HCl与NH3 ·H2 O分步催化三种途径制备了SiO2 胶体 ,用透射电镜观察了胶体粒子的形貌 .用静电自组装 (ESAM)法制备了聚电解质PDDA与SiO2 胶体粒子的有机 /无机复合光学薄膜 .实验结果表明 ,用HCl... 采用HCl催化、NH3 ·H2 O催化、HCl与NH3 ·H2 O分步催化三种途径制备了SiO2 胶体 ,用透射电镜观察了胶体粒子的形貌 .用静电自组装 (ESAM)法制备了聚电解质PDDA与SiO2 胶体粒子的有机 /无机复合光学薄膜 .实验结果表明 ,用HCl催化制备的SiO2 透明溶胶不适合于用ESAM法制备薄膜 ,用HCl与NH3 ·H2 O分步催化以及用NH3 ·H2 O单独催化制备的SiO2 胶体适合于用ESAM法制备光学薄膜 .薄膜的透射电镜微观察结果表明 ,以HCl与NH3 ·H2 O分步催化的SiO2 胶体制备的PDDA/SiO2 薄膜为连续结构 ,NH3 ·H2 O单独催化的为颗粒堆积 .研究了薄膜透光率与薄膜层数的关系 ,考察了薄膜的机械强度 .结果显示 ,以NH3 ·H2 O单独催化的SiO2 胶体制备的光学薄膜的增透效果较好 。 展开更多
关键词 sio2 溶胶 静电自组装 复合薄膜
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等离子体氧化nc-Si/SiO_2多层膜的蓝光发射 被引量:1
7
作者 马忠元 王立 +7 位作者 陈坤基 李伟 张林 鲍云 王晓伟 徐俊 黄信凡 冯端 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期454-457,共4页
报道了在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中用交替淀积 a-Si对其进行原位等离子体氧化的方法制备了 a-Si∶H/ Si O2 多层膜。随着 a-Si∶H子层的厚度从 3 .8nm减小到 1 .5 nm,a-Si∶H/ Si O2 多层膜的光吸收边和光致发光 (PL )出... 报道了在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中用交替淀积 a-Si对其进行原位等离子体氧化的方法制备了 a-Si∶H/ Si O2 多层膜。随着 a-Si∶H子层的厚度从 3 .8nm减小到 1 .5 nm,a-Si∶H/ Si O2 多层膜的光吸收边和光致发光 (PL )出现了蓝移。在晶化的 a-Si∶ H/ Si O2 多层膜中不仅观察到室温下的红光带 (80 0nm)的发光峰 ,而且还观察到蓝光发射 (4 2 5 nm) ,结合 Raman,TEM和 PL测试 。 展开更多
关键词 等离子体氧化 纳米硅 光致发光 硅/二氧化硅多层膜
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基于Mo/SiO_2布拉格声反射器的体声波谐振器的制备及其性能分析
8
作者 谢红 熊娟 +3 位作者 杜鹏飞 钟伟明 秦杰 顾豪爽 《湖北大学学报(自然科学版)》 CAS 2012年第2期138-141,共4页
采用射频反应磁控溅射法在p型(100)单晶硅衬底上交替沉积Mo/SiO2薄膜作为布拉格声学反射层,通过原子力显微镜(AFM)及扫描电子显微镜(SEM)分别表征声反射层薄膜的表面和截面形貌,研究溅射工艺条件对SiO2薄膜微观形貌的影响.采用MEMS工艺... 采用射频反应磁控溅射法在p型(100)单晶硅衬底上交替沉积Mo/SiO2薄膜作为布拉格声学反射层,通过原子力显微镜(AFM)及扫描电子显微镜(SEM)分别表征声反射层薄膜的表面和截面形貌,研究溅射工艺条件对SiO2薄膜微观形貌的影响.采用MEMS工艺流程制备基于c轴择优取向AlN压电薄膜的SMR型谐振器.并对谐振器的S11参数进行测试分析,得到谐振器的中心频率为1.7GHz,表明实验所制备的SMR型谐振器在质量传感方面具有一定的应用前景. 展开更多
关键词 磁控溅射 Mo/sio2声反射器 SMR型谐振器 aln薄膜
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Microstructures and magnetic properties of [SiO_2/FePt]_5/Ag thin films 被引量:2
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作者 范九萍 许小红 +2 位作者 江凤仙 田宝强 武海顺 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2008年第1期11-14,共4页
[SiO2/FePt]5/Ag thin films were deposited by RF magnetron sputtering on the glass substrates and post annealing at 550 ℃ for 30 min in vacuum. Vibrating sample magnetometer and X-ray diffraction analyser were applied... [SiO2/FePt]5/Ag thin films were deposited by RF magnetron sputtering on the glass substrates and post annealing at 550 ℃ for 30 min in vacuum. Vibrating sample magnetometer and X-ray diffraction analyser were applied to study the magnetic properties and microstructures of the films. The results show that without Ag underlayer [SiO2/FePt]5 films deposited onto the glass are FCC disordered; with the addition of Ag underlayer [SiO]FePt]5/Ag films are changed into L10 and (111) mixed texture. The variation of the SiO2 nonmagnetic layer thickness in [SiO2/FePt]5/Ag films indicates that SiO2-doping plays an important role in improving the order parameter and the perpendicular magnetic anisotropy, and reducing the grain size and intergrain interactions. By controlling SiO2 thickness the highly perpendicular magnetic anisotropy can be obtained in the [SiO2 (0.6 nm)/FePt (3 nm)]5/Ag (50 nm) films and highly (001)-oriented films can be obtained in the [SiO2 (2 nm)/FePt (3 nm)]5/Ag (50 nm) films. 展开更多
关键词 [sio2/FePt]5 multilayer films sio2-doping Ag underlayer (001) orientation
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Effects of Ag layers on the SiO2/FePt thin films deposited by magnetron sputtering
10
作者 FAN Jiuping XU Xiaohong WANG Fang JIANG Fengxian TIAN Baoqiang JIN Tao 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第1期13-17,共5页
The effects of Ag layers with different locations and thicknesses on the structural and magnetic property of SiO2/FePt multilayer films were investigated.The non-magnetic Ag layer plays an important role in inducing(... The effects of Ag layers with different locations and thicknesses on the structural and magnetic property of SiO2/FePt multilayer films were investigated.The non-magnetic Ag layer plays an important role in inducing(001) orientation and ordering of FePt grains,as well as the SiO2-doping reducing the grain size and the magnetic exchange coupling between grains.When the 10 nm Ag layer is moved from the bottom to the top of the SiO2/FePt multilayer film,the coercivity gradually decreases;the largest difference between the out-of-plane coercivity and the in-plane one is obtained in the sample of [SiO2(2 nm)/FePt(3 nm)]3/Ag(10 nm)/[SiO2(2 nm)/FePt(3 nm)]2.Furthermore,the location of Ag layers was fixed and the thickness was changed.The XRD curves suggest that the intensity of the(001) peak becomes the strongest with the addition of 10 nm Ag layers. 展开更多
关键词 [sio2/FePt]5 multilayer perpendicular orientation magnetron sputtering COERCIVITY
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基于AlN膜结构VCSEL热特性的研究(英文) 被引量:1
11
作者 马祥柱 张斯钰 +3 位作者 赵博 李辉 霍晋 曲轶 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2113-2117,共5页
本文用ANSYS有限元热分析软件模拟了基于AlN膜钝化层和Si O2膜钝化层的高功率垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)器件内部的热场分布和热矢量分布.目的是证明Al N膜钝化层要比SiO2膜钝化层有具更好的特性,使器件能更稳定的工作,提高器件... 本文用ANSYS有限元热分析软件模拟了基于AlN膜钝化层和Si O2膜钝化层的高功率垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)器件内部的热场分布和热矢量分布.目的是证明Al N膜钝化层要比SiO2膜钝化层有具更好的特性,使器件能更稳定的工作,提高器件的特性,经模拟得到基于Al N膜钝化层的VCSEL热阻为3.12℃/W,而基于SiO2膜钝化层的VCSEL的热阻为4.77℃/W.经实验测得基于Al N膜钝化层的VCSEL热阻为3.59℃/W而基于SiO2膜钝化层的VCSEL的热阻为4.82℃/W,模拟结果和实验结果吻合较好.说明AlN膜钝化层要比SiO2膜钝化层具有更好的热特性. 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 aln sio2 ANSYS
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基于AlN膜钝化层VCSEL激光器热特性的研究 被引量:1
12
作者 马祥柱 霍晋 +1 位作者 曲轶 杜石磊 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1023-1026,共4页
用ANSYS有限元热分析软件模拟了基于AlN膜钝化层和SiO2膜钝化层的高功率垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)器件内部的热场分布和热矢量分布。经模拟得到基于AlN膜钝化层的VCSEL热阻为3.123℃/W,而基于SiO2膜钝化层的VCSEL的热阻为4.377... 用ANSYS有限元热分析软件模拟了基于AlN膜钝化层和SiO2膜钝化层的高功率垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)器件内部的热场分布和热矢量分布。经模拟得到基于AlN膜钝化层的VCSEL热阻为3.123℃/W,而基于SiO2膜钝化层的VCSEL的热阻为4.377℃/W。经实验测得基于AlN膜钝化层的VCSEL热阻为3.54℃/W,而基于SiO2膜钝化层的VCSEL的热阻为4.75℃/W,模拟结果与实验结果吻合较好。 展开更多
关键词 垂直腔面发射半导体激光器 aln sio2 ANSYS
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Multiscale analysis of single- and multiple-pulse laser-induced damages in HfO_2/SiO_2 multilayer dielectric films at 532 nm 被引量:1
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作者 刘文文 魏朝阳 +1 位作者 易葵 邵建达 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期53-57,共5页
Nanosecond single- and multiple-pulse laser damage studies on HfOffSiO2 high-reflection (HR) coatings are performed at 532 nm. For single-pulse irradiation, the damage is attributed to the defects and the electric i... Nanosecond single- and multiple-pulse laser damage studies on HfOffSiO2 high-reflection (HR) coatings are performed at 532 nm. For single-pulse irradiation, the damage is attributed to the defects and the electric intensity distribution in the multilayer thin films. When the defect density in the irradiated area is high, delami- nation is observed. Other than the 1064 nm laser damage, the plasma scalding of the 532 nm laser damage is not pits-centered for normal incidence, and the size of the plasma scalding has no relation to the defect density and position, but increases with the laser fluence. For multiple-pulse irradiations, some damage sites show deeper precursors than those from the single-shot irradiation due to the accumulation effects. The cumulative laser- induced damages behave as pits without the presence of plasma scalding, which is unaffected by the laser fluence and shot numbers. The damage morphologies and depth information both confirm the fatigue effect of a HfO2/SiO2 HR coating under 532 nm laser irradiation. 展开更多
关键词 Multiscale analysis of single and multiple-pulse laser-induced damages in HfO2/sio2 multilayer dielectric films at 532 nm
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SiO_2的赝晶化及AlN/SiO_2纳米多层膜的超硬效应 被引量:3
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作者 赵文济 孔明 +1 位作者 黄碧龙 李戈扬 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期1574-1580,共7页
采用反应磁控溅射法制备了一系列不同SiO2层厚度的AlN/SiO2纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了SiO2层在多层膜中的晶化现象及其对多层膜生长方式及力学性能的影响.结... 采用反应磁控溅射法制备了一系列不同SiO2层厚度的AlN/SiO2纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了SiO2层在多层膜中的晶化现象及其对多层膜生长方式及力学性能的影响.结果表明,由于受AlN六方晶体结构的模板作用,溅射条件下以非晶态存在的SiO2层在其厚度小于0.6nm时被强制晶化为与AlN相同的六方结构赝晶体并与AlN形成共格外延生长.由于不同模量的两调制层存在晶格错配度,多层膜中产生了拉、压交变的应力场,使得多层膜产生硬度升高的超硬效应.SiO2随层厚的进一步增加又转变为以非晶态生长,多层膜的外延生长结构受到破坏,其硬度也随之降低. 展开更多
关键词 aln/sio2纳米多层膜 赝晶化 应力场 超硬效应
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Y_2O_3-SiO_2 添加剂对 AlN/SiC_W 复合材料性能的影响
15
作者 张宏泉 李凝芳 《武汉工业大学学报》 EI CSCD 1998年第2期7-10,共4页
利用XRD、SEM、EPMA和HREM等测试技术系统地研究了Y2O3-SiO2添加剂对AlN/SiCW复合材料力学性能及高温抗氧化性能的影响。结果表明:Y2O3-SiO2添加剂可有效地改善材料的力学性能,材料的氧化过... 利用XRD、SEM、EPMA和HREM等测试技术系统地研究了Y2O3-SiO2添加剂对AlN/SiCW复合材料力学性能及高温抗氧化性能的影响。结果表明:Y2O3-SiO2添加剂可有效地改善材料的力学性能,材料的氧化过程也是其热处理增强过程。添加剂组成接近其低共熔点时,材料随氧化时间的延长而得到增强增韧,且增幅最大,其最佳掺量为10wt%。氧化处理改变了粒界玻璃相的相组成,玻璃相与AlN颗粒发生作用,生成AlN多形体2HδSialon相,形成对材料有益的空间交错的结构。 展开更多
关键词 添加剂 氧化钇 氮化铝陶瓷 复合材料 碳化硅
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波长1064nm脉冲激光高阈值反射膜的研制 被引量:13
16
作者 付雄鹰 孔明东 +1 位作者 胡建平 范正修 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期413-417,共5页
研究 Hf O2/ Si O2 高反射膜的制备工艺及其激光诱导损伤阈值的比较测试,分别采用了反应蒸镀 Hf O2、反应离子辅助蒸镀 Hf O2、反应离子辅助蒸镀金属 Hf 的源材料形成 Hf O2 薄膜。采用这三种工艺制备了 H... 研究 Hf O2/ Si O2 高反射膜的制备工艺及其激光诱导损伤阈值的比较测试,分别采用了反应蒸镀 Hf O2、反应离子辅助蒸镀 Hf O2、反应离子辅助蒸镀金属 Hf 的源材料形成 Hf O2 薄膜。采用这三种工艺制备了 Hf O2 / Si O2 高反射膜,在中心波长 1064nm 处,反射率 R≥99.5% ,其中反应蒸镀 Hf O2 / Si O2 高反射膜损伤阈值最高,可达 60 J/cm 2(1064nm ,5ns)。 展开更多
关键词 反射膜 激光诱导损伤 阈值 激光薄膜
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