期刊文献+
共找到108篇文章
< 1 2 6 >
每页显示 20 50 100
蜂巢表面AlGaInP基倒装Micro-LED的光电性能
1
作者 谢军 张威 +2 位作者 谢子敬 徐盛海 王洪 《发光学报》 北大核心 2025年第10期1953-1960,共8页
AlGaInP基红光Micro-LED较低的光提取效率限制了器件的发光强度。本文提出了一种自组装Ni金属纳米掩模和湿法刻蚀技术,获得了具有高密度、高均匀性的GaP表面纹理,通过表面纹理增加临界角降低全内反射效应从而有效地提高了器件光提取效... AlGaInP基红光Micro-LED较低的光提取效率限制了器件的发光强度。本文提出了一种自组装Ni金属纳米掩模和湿法刻蚀技术,获得了具有高密度、高均匀性的GaP表面纹理,通过表面纹理增加临界角降低全内反射效应从而有效地提高了器件光提取效率。使用不同厚度的镍掩膜获得不同形貌的表面纹理。结果表明,在20 A/cm^(2) 电流密度下,使用1 nm厚镍金属纳米掩膜湿法蚀刻的Micro-LED的发光强度和外量子效率比无表面纹理的Micro-LED分别提升21.04%和23.58%。提出了一种使用ICP干法刻蚀结合湿法刻蚀制备蜂巢型圆柱状表面纹理。在相同工艺的ICP刻蚀后对GaP层湿法腐蚀不同时间,在电流密度为20 A/cm^(2) 时,使用ICP蚀刻和湿法蚀刻10 s*3次的Micro-LED发光强度和外量子效率分别比无表面纹理的Micro-LED提高了81.61%和48.40%。 展开更多
关键词 algainp 倒装 光提取效率 Micro-LED 表面纹理
在线阅读 下载PDF
CMP工艺参数对AlGaInP基LED衬底转移的影响
2
作者 王嘉伟 许英朝 +3 位作者 杨凯 鹿晨东 范浩爽 陆逸 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第3期224-229,共6页
以GaP/Al2O3/SiO2引导式出光结构作为芯片键合层,通过化学机械抛光工艺减少AlGaInP基Mini-LED衬底转移过程中出现的外延层空洞,提高芯片制备工艺良率。以材料去除速率和表面粗糙度作为技术评价指标,基于单因素实验结果对抛光压力、抛光... 以GaP/Al2O3/SiO2引导式出光结构作为芯片键合层,通过化学机械抛光工艺减少AlGaInP基Mini-LED衬底转移过程中出现的外延层空洞,提高芯片制备工艺良率。以材料去除速率和表面粗糙度作为技术评价指标,基于单因素实验结果对抛光压力、抛光头转速、抛光盘转速、抛光液流速四个影响化学机械抛光工艺的因素展开L9(34)的正交实验,实验结果表明:在抛光头转速75 r/min、抛光盘转速80 r/min、抛光压力8 kPa、抛光液流速100 mL/min条件下,材料去除速率为83.12 nm/min,表面粗糙度最低为0.477 nm,采用优化后的工艺条件能够获得高质量的GaAs键合表面,有效减少外延空洞,提高制备良率。 展开更多
关键词 化学机械抛光工艺 algainp 正交试验 表面粗糙度 良率
原文传递
Si掺杂对AlGaInP/GaInP多量子阱性能的影响 被引量:1
3
作者 李述体 范广涵 +4 位作者 周天明 王浩 孙慧卿 郑树文 郭志友 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期375-378,共4页
采用LP MOCVD技术在n GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片。以X射线双晶衍射技术和光致发光技术对外延片进行了表征 ,研究了Si掺杂对AlGaInP/GaInP多量子阱性能的影响。研究表明 :掺Si能大大提高 (Al0 .3 Ga0 .7) 0 .5... 采用LP MOCVD技术在n GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片。以X射线双晶衍射技术和光致发光技术对外延片进行了表征 ,研究了Si掺杂对AlGaInP/GaInP多量子阱性能的影响。研究表明 :掺Si能大大提高 (Al0 .3 Ga0 .7) 0 .5In0 .5P/Ga0 .5In0 .5P多量子阱的发光强度。相对于未故意掺杂的样品 ,多量子阱垒层掺Si使多量子阱的发光强度提高了 13倍 ,阱层和垒层均掺Si使多量子阱的发光强度提高了 2 8倍。外延片的X射线双晶衍射测试表明 。 展开更多
关键词 algainp algainp/GaInP多量子阱 X射线双晶衍射 Si掺杂 光致发光
在线阅读 下载PDF
双条形电极结构AlGaInP-LED微阵列器件的设计和实验研究 被引量:3
4
作者 田超 梁静秋 +2 位作者 梁中翥 秦余欣 王维彪 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1494-1499,共6页
设计了一种基于AlGaInP发光材料的像素为320×240、单元像素面积为100μm×100μm微型LED阵列。通过仿真和分析,设计了一种双条形电极结构。考虑到不同电极宽度下的电流分布情况以及电极的遮光效应,设计了电极宽度为13μm的优... 设计了一种基于AlGaInP发光材料的像素为320×240、单元像素面积为100μm×100μm微型LED阵列。通过仿真和分析,设计了一种双条形电极结构。考虑到不同电极宽度下的电流分布情况以及电极的遮光效应,设计了电极宽度为13μm的优化电极结构,使得每个发光像素的表面出光面积比为50.15%,并分析了电极对有源层出射的光的反射影响。制定了基于MOEMS工艺的微型LED器件的制作流程并进行了基本实验研究,最终给出了制作出的上电极的单个单元照片。 展开更多
关键词 algainp 微阵列 双条形电极 微光机电系统
在线阅读 下载PDF
Mg掺杂AlInP限制层窗口结构高功率(3.7W)660nm AlGaInP宽面半导体激光器 被引量:4
5
作者 马德营 李佩旭 +5 位作者 夏伟 李树强 汤庆敏 张新 任忠祥 徐现刚 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期597-601,共5页
本文采用低压金属有机化学气相沉积系统(LP-MOCVD)生长出Mg掺杂压应变分别限制多量子阱结构的AlGaInP/GaInP 660 nm LD外延材料,制作出腔长1000μm、条宽150μm的宽面半导体激光器。采用选择性Zn扩散在管芯两端面区制作出透明窗口结构... 本文采用低压金属有机化学气相沉积系统(LP-MOCVD)生长出Mg掺杂压应变分别限制多量子阱结构的AlGaInP/GaInP 660 nm LD外延材料,制作出腔长1000μm、条宽150μm的宽面半导体激光器。采用选择性Zn扩散在管芯两端面区制作出透明窗口结构来提高器件的腔面光灾变阈值(COD)。透明窗口结构激光器最大连续输出功率为3.7 W,是正常结构的激光器COD饱和功率的4.4倍。激光器的特征温度T0为68 K,热阻为4.6 K/W。在热沉温度为20℃时进行了500 mW恒功率老化,老化时间为1000 h。 展开更多
关键词 窗口结构 ZN扩散 热阻 algainp 半导体激光器
在线阅读 下载PDF
AlGaInP-LED微阵列单元的热效应分析 被引量:1
6
作者 田超 梁静秋 +4 位作者 梁中翥 秦余欣 李春 吕金光 王维彪 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期840-845,共6页
对AlGaInP-LED微型阵列发光单元的内部自发热机制进行了分析,并通过对具有回型上电极的发光单元的理论分析与计算,得到了其内量子效率与注入电流的变化关系及器件温度与所加偏压的变化关系。为保证内量子效率取值范围大于85%,得到了器... 对AlGaInP-LED微型阵列发光单元的内部自发热机制进行了分析,并通过对具有回型上电极的发光单元的理论分析与计算,得到了其内量子效率与注入电流的变化关系及器件温度与所加偏压的变化关系。为保证内量子效率取值范围大于85%,得到了器件的最佳工作电流和最佳驱动电压范围以及微阵列各层结构在最佳驱动电压下的热阻分布。通过计算得出器件在2.2 V电压下,从p-n结到外部环境的有效热阻为96.7℃/W。讨论了减小器件热阻的方法,计算得出在理想情况下,添加热沉结构后有效热阻降为30.6℃/W,表明所设计的热沉结构对器件的散热起到了明显的改善作用。 展开更多
关键词 algainp 回型电极 微型阵列 热效应 热沉结构
在线阅读 下载PDF
AlGaInP/GaAs外延层的倒易空间图分析 被引量:1
7
作者 李华兵 范广涵 +3 位作者 王浩 吴文光 陈贵楚 陈练辉 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2005年第1期55-59,共5页
介绍了倒易点二维图的概念,分析了AlGaInP/GaAs外延层的倒易点二维图,阐明其倒易点二维图的展宽方向和原因,获得了应变及晶面弯曲等方面的信息,为优化AlGaInP四元系发光二极管的外延工艺提供了更丰富的信息.
关键词 algainp/GaAs 外延层 倒易空间图 发光二极管 二维图 外延工艺 四元系 信息
在线阅读 下载PDF
掺杂与Al组分对AlGaInP四元系LED发光效率的影响 被引量:1
8
作者 陈贵楚 范广涵 +1 位作者 陈练辉 刘鲁 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期379-382,共4页
在AlGaInP四元系双异质结发光二极管 (DH LED)的材料生长过程中 ,限制层的Al组分与p型掺杂浓度的确定有较大的随意性 ,这对LED的发光不利。通过分析载流子在发光二极管 (LED)双异质结中的输运情况 ,得到了在不同的p型掺杂程度下 ,限制... 在AlGaInP四元系双异质结发光二极管 (DH LED)的材料生长过程中 ,限制层的Al组分与p型掺杂浓度的确定有较大的随意性 ,这对LED的发光不利。通过分析载流子在发光二极管 (LED)双异质结中的输运情况 ,得到了在不同的p型掺杂程度下 ,限制层Al组分与LED发光效率的关系 ,从而可以探索p型掺杂与Al组分对发光效率影响的规律 。 展开更多
关键词 algainp AL组分 P型掺杂 发光效率
在线阅读 下载PDF
AlGaInP/GaInP多量子阱的拉曼光谱 被引量:1
9
作者 陈练辉 范广涵 +1 位作者 孟耀勇 刘桂强 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期859-862,共4页
利用LP-MOCVD生长了不同周期的AlGaInP/GaInP MQW样品,并测量了它们的拉曼光谱。由于样品包括了掺杂的电流扩展层和欧姆接触层以及上、下限制层,拉曼光谱中观察到了与掺杂有关的耦合电子(空穴)气-纵光学声子模。根据喇曼光谱的选择定则... 利用LP-MOCVD生长了不同周期的AlGaInP/GaInP MQW样品,并测量了它们的拉曼光谱。由于样品包括了掺杂的电流扩展层和欧姆接触层以及上、下限制层,拉曼光谱中观察到了与掺杂有关的耦合电子(空穴)气-纵光学声子模。根据喇曼光谱的选择定则,结合光致发光谱,发现AlP-LO/TO的相对强度比可以评定晶体AlGaInP MQW的生长质量。 展开更多
关键词 光电子学 algainp/GaInP MQW 拉曼光谱 耦合电子(空穴)气-纵光学声子模
在线阅读 下载PDF
高温AlGaInP/GaAs双异质结双极晶体管 被引量:1
10
作者 刘文超 夏冠群 +1 位作者 李冰寒 黄文奎 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期756-759,共4页
利用Mo/W/Ti/Au难熔金属作为发射极欧姆接触设计并制作了一种用于功率放大器的新结构AlGaInP/GaAs双异质结双极晶体管(DHBT),分析了与传统AuGeNi作为接触电极的AlGaInP/GaAsDHBT的直流特性差异.研究结果表明,利用难熔金属作为欧姆接触... 利用Mo/W/Ti/Au难熔金属作为发射极欧姆接触设计并制作了一种用于功率放大器的新结构AlGaInP/GaAs双异质结双极晶体管(DHBT),分析了与传统AuGeNi作为接触电极的AlGaInP/GaAsDHBT的直流特性差异.研究结果表明,利用难熔金属作为欧姆接触电极的DHBT器件具有较好的高温特性,并进一步分析了其具有良好高温特性的机理. 展开更多
关键词 algainp/GaAs 双异质结双极晶体管 Mo/W/Ti/Au 直流特性
在线阅读 下载PDF
大功率GaInP/AlGaInP半导体激光器 被引量:1
11
作者 徐云 郭良 +5 位作者 曹青 宋国峰 甘巧强 杨国华 李玉璋 陈良惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期2213-2217,共5页
制备了大功率实折射率GaInP/AlGaInP压应变分别限制量子阱激光器.所用外延材料在15°偏角的GaAs衬底上由有机金属气相外延一次外延生长得到.制备的激光器具有双沟脊波导结构,条宽和腔长分别为3和900μm,前后端面分别蒸镀5%的增透膜... 制备了大功率实折射率GaInP/AlGaInP压应变分别限制量子阱激光器.所用外延材料在15°偏角的GaAs衬底上由有机金属气相外延一次外延生长得到.制备的激光器具有双沟脊波导结构,条宽和腔长分别为3和900μm,前后端面分别蒸镀5%的增透膜和95%的高反膜.分析了室温连续激射时激光器的光电输出性能.阈值电流的典型值为32mA,光学灾变阈值为88mW,功率为80mW时的工作电流为110mA,斜率效率为1W/A,串联电阻为3Ω.基横模光输出功率可达60mW,60mW时的平行结和垂直结的远场发散角分别为10°和32°,激射波长为658·4nm.器件的内损耗为4·1cm-1,内量子效率达80%,透明电流密度为648A/cm2. 展开更多
关键词 半导体激光器 algainp可见光激光器 应变量子阱
在线阅读 下载PDF
电化学C-V测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度的分布 被引量:1
12
作者 文尚胜 王朝阳 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期85-87.9,共4页
在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AIGaInP LED外延片中载流子浓度纵向分布的电解液——0.5 mol HCI溶液.综合利用平带电位值(F.B.P)、耗散因子和测量电流等3个测量判据,合理选取测量电压、腐蚀电流... 在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AIGaInP LED外延片中载流子浓度纵向分布的电解液——0.5 mol HCI溶液.综合利用平带电位值(F.B.P)、耗散因子和测量电流等3个测量判据,合理选取测量电压、腐蚀电流等测量参数,获得了速度快、重复性好和数据准确可靠的测试效果. 展开更多
关键词 载流子浓度 algainp LED外延片 电解液 电化学电容-电压测量法 平带电位值 耗散因子 发光二极管
在线阅读 下载PDF
量子阱厚度和势垒掺杂对大功率AlGaInP LED发光效率衰减特性的影响 被引量:3
13
作者 李玉强 刘超 +3 位作者 柴永灏 牛萍娟 于莉媛 宁平凡 《聊城大学学报(自然科学版)》 2018年第4期37-41,共5页
GaAs基AlGaInP LED是目前光电子器件研究领域的国际前沿和热点,伴随工业制备技术的日趋成熟,其稳定性和发光效率都得到了明显的提升.但是,在超高电流下工作的AlGaInP大功率芯片仍存在着发光效率衰减严重的问题.目前已知的影响因素主要... GaAs基AlGaInP LED是目前光电子器件研究领域的国际前沿和热点,伴随工业制备技术的日趋成熟,其稳定性和发光效率都得到了明显的提升.但是,在超高电流下工作的AlGaInP大功率芯片仍存在着发光效率衰减严重的问题.目前已知的影响因素主要是载流子的溢出和俄歇复合的加强与否.本文通过分析具有不同势阱厚度和势垒中不同浓度的P型掺杂的AlGaInP样品的光致发光图谱变化与电流密度和辐射效率的关系,发现在势阱厚度为20nm,势垒P型掺杂浓度为1×1017 cm-3时,可以显著改善大功率LED的高温衰减特性. 展开更多
关键词 大功率 algainp LED 俄歇复合 载流子溢出
在线阅读 下载PDF
退火对AlGaInP/GaInP多量子阱LED外延片性能的影响
14
作者 李述体 范广涵 +4 位作者 周天明 孙慧卿 王浩 郑树文 郭志友 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期510-514,共5页
采用LP MOCVD技术在n GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片。研究表明退火对外延片性能有重要影响。与未退火样品相比,460℃退火15min,外延片p型GaP层的空穴浓度由5.6×1018cm-3增大到6.5×1018cm-3,p型AlGaIn... 采用LP MOCVD技术在n GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片。研究表明退火对外延片性能有重要影响。与未退火样品相比,460℃退火15min,外延片p型GaP层的空穴浓度由5.6×1018cm-3增大到6.5×1018cm-3,p型AlGaInP层的空穴浓度由6.0×1017cm-3增大到1.1×1018cm-3。但退火温度为780℃时,p型GaP层和p型AlGaInP层的空穴浓度分别下降至8×1017cm-3和1.7×1017cm-3,且Mg原子在AlGaInP系材料中的扩散加剧,导致未掺杂AlGaInP/GaInP多量子阱呈现p型电导。在460~700℃退火范围内,并没有使AlGaInP/GaInP多量子阱的发光性能发生明显变化。但退火温度为780℃时,AlGaInP/GaInP多量子阱的发光强度是退火前的2倍。 展开更多
关键词 MGaInP algainp/GaInP多量子阱 金属有机化学气相沉积 电化学电容电压分析 光致发光
在线阅读 下载PDF
Tunnel Junction AlGaInP Light Emitting Diode
15
作者 王国宏 沈光地 +6 位作者 郭霞 高国 韦欣 张广泽 马骁宇 李玉璋 陈良惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期628-631,共4页
The n type GaAs substrates are used and their conductive type is changed to p type by tunnel junction for AlGaInP light emitting diodes(TJ LED),then n type GaP layer is used as current spreading layer.Because resi... The n type GaAs substrates are used and their conductive type is changed to p type by tunnel junction for AlGaInP light emitting diodes(TJ LED),then n type GaP layer is used as current spreading layer.Because resistivity of the n type GaP is lower than that of p type,the effect of current spreading layer is enhanced and the light extraction efficiency is increased by the n type GaP current spreading layer.For TJ LED with 3μm n type GaP current spreading layer,experimental results show that compared with conventional LED with p type GaP current spreading layer,light output power is increased for 50% at 20mA and for 66 7% at 100mA. 展开更多
关键词 tunnel junction algainp high brightness LED MOCVD
在线阅读 下载PDF
红色AlGaInP激光器的特性及热特性分析
16
作者 郭伟玲 廉鹏 +5 位作者 丁颖 李建军 崔碧峰 刘莹 邹德恕 沈光地 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期423-425,共3页
设计和制备了λ=680 nm的红色AlGaInP/GaInP应变量子阱激光器.制得的未镀膜20μm脊型条形红色激光器的输出功率达到100 mW,斜率效率0.56W/A,垂直和平行远场发散角分别为31°和9°.未镀膜4μm深腐蚀器件的功率可达10 mW,斜率效率... 设计和制备了λ=680 nm的红色AlGaInP/GaInP应变量子阱激光器.制得的未镀膜20μm脊型条形红色激光器的输出功率达到100 mW,斜率效率0.56W/A,垂直和平行远场发散角分别为31°和9°.未镀膜4μm深腐蚀器件的功率可达10 mW,斜率效率为 0.4 W/A,峰值波长为681 nm,峰值半宽为0.5nm.不同腔长器件的特性显示器件的内损耗为4.27/cm,内量子效率达45%.对不同腔长的器件进行了变温测试,得到器件的特征温度为120~190 K. 展开更多
关键词 红色algainp激光器 热特性 半导体激光器 铝镓铟磷化合物
在线阅读 下载PDF
AlGaInP大功率半导体激光器的漏电分析
17
作者 徐云 李玉璋 +6 位作者 宋国峰 甘巧强 杨国华 曹玉莲 曹青 郭良 陈良惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期299-303,共5页
对于GaInP/AlGaInP量子阱激光器,在大电流注入或高温工作时有源区中注入的电子会越过势垒进入p型限制层成为漏电流,严重影响器件的正常工作.本文通过测试AlGaInP大功率压应变量子阱激光器的阈值电流和外微分量子效率随温度的变化,拟合... 对于GaInP/AlGaInP量子阱激光器,在大电流注入或高温工作时有源区中注入的电子会越过势垒进入p型限制层成为漏电流,严重影响器件的正常工作.本文通过测试AlGaInP大功率压应变量子阱激光器的阈值电流和外微分量子效率随温度的变化,拟合出有源区电子的有效势垒高度,并与理论模拟结果进行了比较,讨论了p型限制层掺杂浓度的分布对势垒高度的影响. 展开更多
关键词 半导体激光器 algainp可见光激光器 应变量子阱
在线阅读 下载PDF
实用化GaInP-AlGaInP半导体量子阱可见光激光器
18
作者 熊飞克 郭良 +3 位作者 马骁宇 杨志鸿 王树堂 陈良惠 《高技术通讯》 CAS CSCD 1996年第11期1-3,共3页
用低压MOVPE方法研制出了波长为655nm与670nm的GaInP-AlGaInP半导体量子阱可见光激光器,并已形成一定的批量生产能力。器件的阈值电流典型值为45mA,输出光功率不小于5mW,最高工作温度不低于50... 用低压MOVPE方法研制出了波长为655nm与670nm的GaInP-AlGaInP半导体量子阱可见光激光器,并已形成一定的批量生产能力。器件的阈值电流典型值为45mA,输出光功率不小于5mW,最高工作温度不低于50℃,预计20℃时寿命接近100,000小时,主要技术指标与目前进口的同类产品水平相当,完全可以满足实用要求。 展开更多
关键词 半导体 激光器 量子阱 GAINP algainp
在线阅读 下载PDF
P型掺杂对AlGaInP双异质结发光二极管的Al组分确定的影响
19
作者 陈贵楚 范广涵 +1 位作者 陈练辉 刘鲁 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2003年第3期64-68,79,共6页
在双异质结发光二极管(DH-LED)实际材料生长过程中,它的限制层的Al组分的确定有较大的随意性.在不同的P型掺杂程度下,通过分析载流子在双异质结中的输运及受约束情况,从理论上剖析了限制层Al组分分别对应确定为一个最合适的取值,此时有... 在双异质结发光二极管(DH-LED)实际材料生长过程中,它的限制层的Al组分的确定有较大的随意性.在不同的P型掺杂程度下,通过分析载流子在双异质结中的输运及受约束情况,从理论上剖析了限制层Al组分分别对应确定为一个最合适的取值,此时有源层中的载流子应有一个最大数量的复合,LED的复合效率最高.从而可以探索P型掺杂对限制层Al组分确定的影响的规律,并得到一个较合适的掺杂浓度.这对于器件结构设计以及相关的金属有机化合物气相沉积(MOCVD)材料生长有一定的指导意义. 展开更多
关键词 双异质结发光二极管 algainp AI组分 P型掺杂 金属有机化合物气相沉积
在线阅读 下载PDF
MOCVD制备禁带宽度2.1~2.2 eV的AlGaInP太阳电池
20
作者 张恒 张启明 +2 位作者 孙强 肖志斌 王赫 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第8期1171-1173,1189,共4页
禁带宽度2.0~2.2 eV的AlGaInP太阳电池是制备五至六结叠层太阳电池必需的一结子电池,但目前高质量高Al组分的AlGaInP材料制备仍存在不小的挑战。采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备制备了禁带宽度2.1~2.2 eV的AlGaInP太阳电池,研究了... 禁带宽度2.0~2.2 eV的AlGaInP太阳电池是制备五至六结叠层太阳电池必需的一结子电池,但目前高质量高Al组分的AlGaInP材料制备仍存在不小的挑战。采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备制备了禁带宽度2.1~2.2 eV的AlGaInP太阳电池,研究了外延生长温度、表面活性剂等外延和结构参数对AlGaInP材料和电池性能的影响。通过优化外延生长温度和掺入表面活性剂,获得了在AM0光谱下开路电压达到1.58 V、光电转换效率为12.48%的AlGaInP单结太阳电池。 展开更多
关键词 algainp 太阳电池 MOCVD
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 6 下一页 到第
使用帮助 返回顶部