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非均匀退磁场对NiFe薄膜AMR元件性能的影响
被引量:
2
1
作者
张辉
滕蛟
+2 位作者
于广华
吴杏芳
朱逢吾
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期449-452,共4页
采用磁控溅射制备了NiFe各向异性磁电阻(AMR)薄膜,经过光学曝光及离子刻蚀将NiFe薄膜制成了宽度w=20μm、厚度t=20nm、长度l=2.5mm的AMR元件。测量了NiFe元件的磁电阻效应。考虑沿宽度方向退磁场的非均匀性,计算了磁电阻比率。结果表明...
采用磁控溅射制备了NiFe各向异性磁电阻(AMR)薄膜,经过光学曝光及离子刻蚀将NiFe薄膜制成了宽度w=20μm、厚度t=20nm、长度l=2.5mm的AMR元件。测量了NiFe元件的磁电阻效应。考虑沿宽度方向退磁场的非均匀性,计算了磁电阻比率。结果表明,理论和实验符合。
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关键词
各向异性磁电阻
amr
元件
非均匀退磁场
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职称材料
NiFe薄膜AMR元件中非均匀退磁场和宽度的相关性
被引量:
1
2
作者
张辉
滕蛟
+2 位作者
于广华
吴杏芳
朱逢吾
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期599-602,共4页
采用磁控溅射方法制备了NiFe各向异性磁电阻(AMR)薄膜,经过光学曝光及离子刻蚀将NiFe薄膜制成了厚度t=20 nm、长度l=2.5 mm、宽度w分别为50,20,10,5和μm的AMR元件.测量了AMR元件的磁电阻效应.考虑沿宽度方向退磁场的非均匀性,计算...
采用磁控溅射方法制备了NiFe各向异性磁电阻(AMR)薄膜,经过光学曝光及离子刻蚀将NiFe薄膜制成了厚度t=20 nm、长度l=2.5 mm、宽度w分别为50,20,10,5和μm的AMR元件.测量了AMR元件的磁电阻效应.考虑沿宽度方向退磁场的非均匀性,计算了磁电阻比率.结果表明,宽度决定了AMR元件中的退磁场分布和边缘退磁场的大小,直接影响着AMR元件的磁化反转过程.宽度越小,元件中的边缘退磁场越大,在外磁场下的磁化反转也越困难.在磁化反转过程中,磁化反转先从中心开始,逐渐扩展到边缘.
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关键词
NiFe膜
各向异性磁电阻(
amr
)
amr
元件
非均匀退磁场
磁化反转
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职称材料
各向异性磁电阻传感器Barber电极的优化设计
被引量:
4
3
作者
陈雁
高晓光
李建平
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第12期62-64,共3页
利用ANSYS软件对各向异性磁电阻(AMR)传感器不同取向的Barber电极进行分析和计算,得到不同取向Barber电极的磁电阻相对变化率随归一化磁场的变化曲线,从而为改善具有Barber电极的AMR传感器输出曲线的对称性、优化AMR传感器的输出特性提...
利用ANSYS软件对各向异性磁电阻(AMR)传感器不同取向的Barber电极进行分析和计算,得到不同取向Barber电极的磁电阻相对变化率随归一化磁场的变化曲线,从而为改善具有Barber电极的AMR传感器输出曲线的对称性、优化AMR传感器的输出特性提供了理论依据。
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关键词
各向异性磁电阻效应
Barber电极
有限元分析
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职称材料
题名
非均匀退磁场对NiFe薄膜AMR元件性能的影响
被引量:
2
1
作者
张辉
滕蛟
于广华
吴杏芳
朱逢吾
机构
北京科技大学材料物理系
出处
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期449-452,共4页
基金
国家自然科学基金(No.50471093)
国防基础科研项目(No.A1420060203)
文摘
采用磁控溅射制备了NiFe各向异性磁电阻(AMR)薄膜,经过光学曝光及离子刻蚀将NiFe薄膜制成了宽度w=20μm、厚度t=20nm、长度l=2.5mm的AMR元件。测量了NiFe元件的磁电阻效应。考虑沿宽度方向退磁场的非均匀性,计算了磁电阻比率。结果表明,理论和实验符合。
关键词
各向异性磁电阻
amr
元件
非均匀退磁场
Keywords
anisotropic magnetoresistance
amr element
non-uniform demagnetizing field
分类号
TP211 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
NiFe薄膜AMR元件中非均匀退磁场和宽度的相关性
被引量:
1
2
作者
张辉
滕蛟
于广华
吴杏芳
朱逢吾
机构
北京科技大学材料物理系
出处
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期599-602,共4页
基金
国家自然科学基金项目50471093
国防基础科研项目A1420060203资助~~
文摘
采用磁控溅射方法制备了NiFe各向异性磁电阻(AMR)薄膜,经过光学曝光及离子刻蚀将NiFe薄膜制成了厚度t=20 nm、长度l=2.5 mm、宽度w分别为50,20,10,5和μm的AMR元件.测量了AMR元件的磁电阻效应.考虑沿宽度方向退磁场的非均匀性,计算了磁电阻比率.结果表明,宽度决定了AMR元件中的退磁场分布和边缘退磁场的大小,直接影响着AMR元件的磁化反转过程.宽度越小,元件中的边缘退磁场越大,在外磁场下的磁化反转也越困难.在磁化反转过程中,磁化反转先从中心开始,逐渐扩展到边缘.
关键词
NiFe膜
各向异性磁电阻(
amr
)
amr
元件
非均匀退磁场
磁化反转
Keywords
NiFe film, anisotropic magnetoresistance,
amr element
, non-uniformdemagnetizing field, magnetization switch
分类号
TP211 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
各向异性磁电阻传感器Barber电极的优化设计
被引量:
4
3
作者
陈雁
高晓光
李建平
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第12期62-64,共3页
文摘
利用ANSYS软件对各向异性磁电阻(AMR)传感器不同取向的Barber电极进行分析和计算,得到不同取向Barber电极的磁电阻相对变化率随归一化磁场的变化曲线,从而为改善具有Barber电极的AMR传感器输出曲线的对称性、优化AMR传感器的输出特性提供了理论依据。
关键词
各向异性磁电阻效应
Barber电极
有限元分析
Keywords
anisotropic magnetoresistance (
amr
) effect
Barber-pole
finite
element
analysis
分类号
TP212.13 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非均匀退磁场对NiFe薄膜AMR元件性能的影响
张辉
滕蛟
于广华
吴杏芳
朱逢吾
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
NiFe薄膜AMR元件中非均匀退磁场和宽度的相关性
张辉
滕蛟
于广华
吴杏芳
朱逢吾
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
各向异性磁电阻传感器Barber电极的优化设计
陈雁
高晓光
李建平
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006
4
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职称材料
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