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2μm InGaAsSb/AlGaAsSb双波导半导体激光器的结构设计 被引量:9
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作者 安宁 韩兴伟 +3 位作者 刘承志 范存波 董雪 宋清丽 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期71-75,共5页
为了提高2μm InGaAsSb/AlGaAsSb半导体激光器的最大输出功率,减小远场垂直发散角并实现单模稳定输出,在非对称波导结构的基础上设计了具有双波导结构的2μm InGaAsSb/AlGaAsSb半导体激光器.同时,利用相关的物理模型及SimLastip程序语... 为了提高2μm InGaAsSb/AlGaAsSb半导体激光器的最大输出功率,减小远场垂直发散角并实现单模稳定输出,在非对称波导结构的基础上设计了具有双波导结构的2μm InGaAsSb/AlGaAsSb半导体激光器.同时,利用相关的物理模型及SimLastip程序语言构建了InGaAsSb/AlGaAsSb Macro文件,利用SimLastip软件对具有不同结构的2μm InGaAsSb/AlGaAsSb半导体激光器进行了数值模拟分析.研究结果表明,双波导结构可以将半导体激光器的有源区限制因子由0.019 2减小至0.011 3,器件的最大输出功率提高了1.7倍,远场垂直发散角由57°减小到48°,器件性能得到了改善. 展开更多
关键词 半导体激光器 InGaAsSb/algaassb量子阱 双波导结构 低垂直发散角 数值模拟
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2μm InGaAsSb/AlGaAsSb应变补偿量子阱结构的数值研究 被引量:2
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作者 安宁 刘国军 +5 位作者 刘超 李占国 刘鹏程 魏志鹏 方玄 马晓辉 《半导体光电》 CAS 北大核心 2015年第2期205-208,212,共5页
为了降低2μm半导体激光器的阈值电流并提高器件的输出功率,设计了InGaAsSb/AlGaAsSb应变补偿量子阱结构,并利用SimLastip软件对器件进行了数值模拟。研究表明,在势垒中适当引入张应变可以改善量子阱的能带结构,提高对载流子的限制能力... 为了降低2μm半导体激光器的阈值电流并提高器件的输出功率,设计了InGaAsSb/AlGaAsSb应变补偿量子阱结构,并利用SimLastip软件对器件进行了数值模拟。研究表明,在势垒中适当引入张应变可以改善量子阱的能带结构,提高对载流子的限制能力。当条宽为120μm、腔长为1 000μm时,采用应变补偿量子阱结构的激光器的阈值电流为91mA,斜率效率为0.48W/A。与压应变量子阱激光器相比,器件性能得到明显的改善。 展开更多
关键词 InGaAsSb/algaassb 应变补偿 临界厚度 能带结构 增益 阈值电流
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采用MBE生长1.6~2.3μm InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱 被引量:1
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作者 尤明慧 高欣 +5 位作者 李占国 刘国军 李林 李梅 王晓华 薄报学 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期282-284,共3页
采用分子束外延生长了不同In组分的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱材料。X射线衍射发现量子阱材料有多级衍射卫星峰出现,表明量子阱的界面均匀性和质量较好。研究了不同In组分与光致发光波长的关系,光荧光谱测试表明,所制备的不同In组分的In... 采用分子束外延生长了不同In组分的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱材料。X射线衍射发现量子阱材料有多级衍射卫星峰出现,表明量子阱的界面均匀性和质量较好。研究了不同In组分与光致发光波长的关系,光荧光谱测试表明,所制备的不同In组分的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱材料,在室温下的发光波长可以覆盖1.6~2.3μm的范围。 展开更多
关键词 InGaAsSb/algaassb 量子阱 分子束外延
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1.8μm波段台面条形结构InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱激光器 被引量:2
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作者 柏劲松 陈高庭 +4 位作者 张云妹 方祖捷 李爱珍 郑燕兰 林春 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2000年第5期355-357,362,共4页
报道了 1.8μm波段台面条形结构InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱激光器的研制结果 ,器件在 77K下以脉冲方式工作 ,阈值电流约 2 5mA ,中心波长约 1.84 μm。
关键词 量子阱激光器 台面条形结构 InGaAsSb/algaassb
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组份变化的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构对其X射线衍射及发光性质的影响 被引量:1
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作者 单含 李梅 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期68-71,共4页
通过二元系和三元系结构参数计算四元系量子阱结构的晶格常数、禁带宽度等,设计了InGaAsSb/AlGaAsSb结构的MBE生长参数及工艺,利用X射线双晶衍射和PL谱研究了InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构特性和光学特性。X射线双晶衍射谱中出现了8条... 通过二元系和三元系结构参数计算四元系量子阱结构的晶格常数、禁带宽度等,设计了InGaAsSb/AlGaAsSb结构的MBE生长参数及工艺,利用X射线双晶衍射和PL谱研究了InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构特性和光学特性。X射线双晶衍射谱中出现了8条卫星峰,表明制备的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构具有良好的结晶质量。利用光致发光光谱方法对制备的样品的光学性质进行了表征,结果表明,不同组份的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱的发光峰波长随组份的变化在1.6~2.28μm范围内可调,样品PL谱的半峰宽最窄可达22 meV。 展开更多
关键词 GaSb衬底 InGaAsSb/algaassb多量子阱结构 X射线双晶衍射 发光性质
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采用AlSb缓冲层生长2.3μm InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构 被引量:2
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作者 尤明慧 高欣 +4 位作者 李占国 刘国军 李林 李梅 王晓华 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1716-1718,共3页
针对常见的GaSb衬底的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构进行了设计和外延生长。样品通过X-射线测试,有多级衍射卫星峰出现,表明量子阱结构的均匀性和界面质量较好,引入AlSb缓冲层可以降低衬底与外延层之间的界面自由能,使AlSb起到了一个... 针对常见的GaSb衬底的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构进行了设计和外延生长。样品通过X-射线测试,有多级衍射卫星峰出现,表明量子阱结构的均匀性和界面质量较好,引入AlSb缓冲层可以降低衬底与外延层之间的界面自由能,使AlSb起到了一个滤板的作用,抑制了位错的扩散。光荧光谱测试表明,室温下量子阱结构中心发光波长在2.3μm附近。 展开更多
关键词 AlSb缓冲层 InGaAsSb/algaassb多量子阱 中红外 锑化物
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AlGaAsSb/InGaAsSb多量子阱结构的光致发光谱
7
作者 郑燕兰 李爱珍 +2 位作者 林春 李存才 胡建 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第3期282-284,共3页
用固态源MBE技术生长了AlGaAsSb/InGaAsSb多量子阱材料,研究了通过改变多量子阱AlGaAsSb/InGaAsSb中的结构参数,如多量子阱中InGaAsSb的阱宽,AlGaAsSb的垒宽及垒层中Al组分和阱层中的In组分,多量子阱中的阱数等,来提高AlGaAsSb/InGa... 用固态源MBE技术生长了AlGaAsSb/InGaAsSb多量子阱材料,研究了通过改变多量子阱AlGaAsSb/InGaAsSb中的结构参数,如多量子阱中InGaAsSb的阱宽,AlGaAsSb的垒宽及垒层中Al组分和阱层中的In组分,多量子阱中的阱数等,来提高AlGaAsSb/InGaAsSb多量子阱的PL强度。 展开更多
关键词 algaassb/InGaAsSb多量子阱 激光器 光致发光谱
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AlGaSb和AlGaAsSb薄膜材料的MOCVD法生长
8
作者 黄柏标 刘士文 +2 位作者 徐现刚 刘立强 蒋民华 《人工晶体学报》 CSCD 1991年第3期334-334,共1页
AlGaSb和AlGaAsSb合金材料,很有希望在长波段激光器和探测器方面得以应用。本文报道了这两种材料的MOCVD法生长。实验是在VP-50RP MOCVD设备上进行的。三甲基镓(TMGa)、三甲基铝(TMAl)、三甲基锑(TMSb)和砷化氢(AsH_(3)),做为生长源。
关键词 AlGaSb TMSb MOCVD法 TMGa algaassb 薄膜材料 砷化氢
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大功率及高转换效率2.1μm GaInSb/AlGaAsSb量子阱激光器 被引量:1
9
作者 宋玉志 宋甲坤 +4 位作者 张祖银 李康文 徐云 宋国峰 陈良惠 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第5期58-62,共5页
报道了激射波长为2.1μm的Ga In Sb/Al Ga As Sb双量子阱激光器。通过优化外延结构设计和欧姆接触,无镀膜的宽条激光器达到了9.8%的峰值功率转换效率,这比原来的值提高了1.5倍,室温下得到了615 m W的连续激射功率输出和1.5 W的脉冲激射... 报道了激射波长为2.1μm的Ga In Sb/Al Ga As Sb双量子阱激光器。通过优化外延结构设计和欧姆接触,无镀膜的宽条激光器达到了9.8%的峰值功率转换效率,这比原来的值提高了1.5倍,室温下得到了615 m W的连续激射功率输出和1.5 W的脉冲激射功率输出。这些激光器的阈值电流密度低至126 A/cm2,斜率效率高达0.3 W/A。通过测试不同腔长的激光器,测得内损耗和内量子效率分别为6 cm-1和75.5%,均比原有器件有很大提升。激光器在连续工作3 000 h后,功率没有明显下降。 展开更多
关键词 GaInSb/algaassb 激光器 功率转换效率
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用于GaSb/AlGaAsSb器件制备的新型化学腐蚀液研究 被引量:1
10
作者 简贵胄 郑燕兰 +2 位作者 林春 李爱珍 张永刚 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2001年第1期81-84,共4页
提出了一种适用于 GaSb/AlGaAsSb器件工艺的由氢氟酸、酒石酸和双氧水构成的氢氟酸 系腐蚀液。该腐蚀液对于 GaSb和 AlGaAsSb材料具有良好的腐蚀特性和稳定的刻蚀速率。选用 合适的溶液组份可以得到较低的刻蚀速率,有利于在器件工艺中... 提出了一种适用于 GaSb/AlGaAsSb器件工艺的由氢氟酸、酒石酸和双氧水构成的氢氟酸 系腐蚀液。该腐蚀液对于 GaSb和 AlGaAsSb材料具有良好的腐蚀特性和稳定的刻蚀速率。选用 合适的溶液组份可以得到较低的刻蚀速率,有利于在器件工艺中进行精确控制。实验中发现该腐 蚀液对 AlGaAsSb的腐蚀速率与其 Al组份呈抛物线关系,在合适的 Al组份下可对 AlGaAsSb和 GaSb两种材料进行非选择性的刻蚀。 展开更多
关键词 GaSb/algaassb化合物 半导体 化学刻蚀 光电器件 腐蚀液
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锑化物中波雪崩光电探测器的设计与优化
11
作者 王佩炎 陈伟强 +2 位作者 鹿利单 祝连庆 张东亮 《半导体光电》 北大核心 2025年第2期216-225,共10页
针对中波弱光探测下线性模式APD的需求,设计基于InAs/GaSb二类超晶格和AlGaAsSb四元合金分别作为吸收层和倍增层的雪崩光电探测器。通过构建AlGaAsSb合金的碰撞电离模型,基于SILVACO-ATLAS仿真平台系统模拟了倍增层厚度及掺杂浓度、吸... 针对中波弱光探测下线性模式APD的需求,设计基于InAs/GaSb二类超晶格和AlGaAsSb四元合金分别作为吸收层和倍增层的雪崩光电探测器。通过构建AlGaAsSb合金的碰撞电离模型,基于SILVACO-ATLAS仿真平台系统模拟了倍增层厚度及掺杂浓度、吸收层厚度及掺杂浓度等结构参数对器件I-V特性、电场分布以及瞬态响应的影响,从而获得最佳的模型参数以减小暗电流和提高增益。同时,也探究了不同温度对器件性能的影响。仿真结果显示在300 K温度下,工作电压下的增益为16.4,在击穿电压处的最大增益为129.5,比探测率为2.39×10^(11)cm·Hz^(1/2)·W^(-1)。该研究可为在室温下工作的中波红外雪崩光电二极管提供理论参考。 展开更多
关键词 INAS/GASB超晶格 雪崩光电探测器APD algaassb 暗电流
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快速热退火对InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱材料发光特性的影响 被引量:3
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作者 申琳 唐吉龙 +5 位作者 贾慧民 王登魁 房丹 方铉 林逢源 魏志鹏 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期188-195,共8页
I型InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱是1.8~3μm波段锑化物半导体激光器的首选材料,为进一步提升分子束外延生长的InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱材料的光学性能,本文对其进行了快速热退火处理,通过光致发光光谱研究了快速热退火对量子阱材料光致发光... I型InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱是1.8~3μm波段锑化物半导体激光器的首选材料,为进一步提升分子束外延生长的InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱材料的光学性能,本文对其进行了快速热退火处理,通过光致发光光谱研究了快速热退火对量子阱材料光致发光特性的影响。光致发光光谱测试结果表明,快速热退火会使量子阱结构中垒层、阱层异质界面处的原子互扩散,改善量子阱材料的晶体质量,促使结构释放应力,进而提高了量子阱材料的光学性能。随着退火温度升高,量子阱材料的室温光致发光谱峰位逐渐蓝移,在500,550,600℃退火后,量子阱材料光致发光谱的峰位分别蓝移了7,8,9 meV。通过变温及变功率光致发光光谱测试,确认了样品发光峰的来源,位于0.687 eV的发光峰为局域载流子的复合,位于0.701 eV的发光峰为自由激子的复合。对不同退火温度的样品进一步研究后发现,退火温度的升高降低了材料中局域态载流子复合的比例,在600℃退火温度下局域载流子与自由激子的强度比值降为500℃退火温度下的22.6%,这表明合适温度的快速热退火处理可以有效改善量子阱材料的光致发光特性。 展开更多
关键词 光谱学 光致发光 InGaAsSb/algaassb 量子阱 快速热退火 局域态
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Molecular beam epitaxy growth of InGaSb/AlGaAsSb strained quantum well diode lasers
13
作者 张宇 王国伟 +3 位作者 汤宝 徐应强 徐云 宋国锋 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期22-25,共4页
2μm InGaSb/AlGaAsSb strained quantum wells and a tellurium-doped GaSb buffer layer were grown by molecular beam epitaxy(MBE).The growth parameters of strained quantum wells were optimized by AFM, XRD and PL at 77 K... 2μm InGaSb/AlGaAsSb strained quantum wells and a tellurium-doped GaSb buffer layer were grown by molecular beam epitaxy(MBE).The growth parameters of strained quantum wells were optimized by AFM, XRD and PL at 77 K.The optimal growth temperature of quantum wells is 440℃.The PL peak wavelength of quantum wells at 300 K is 1.98μm,and the FWHM is 115 nm.Tellurium-doped GaSb buffer layers were optimized by Hall measurement.The optimal doping concentration is 1.127×10^(18) cm^(-3) and the resistivity is 5.295×10^(-3)Ω·cm. 展开更多
关键词 InGaSb algaassb strained quantum wells Te doped
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High power 2-μm room-temperature continuous-wave operation of GaSb-based strained quantum-well lasers 被引量:3
14
作者 徐云 王永宾 +2 位作者 张宇 宋国峰 陈良惠 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第9期439-441,共3页
A high power GaSb-based laser diode with lasing wavelength at 2 μm was fabricated and optimized. With the optimized epitaxial laser structure, the internal loss and the threshold current density decreased and the int... A high power GaSb-based laser diode with lasing wavelength at 2 μm was fabricated and optimized. With the optimized epitaxial laser structure, the internal loss and the threshold current density decreased and the internal quantum efficiency increased. For uncoated broad-area lasers, the threshold current density was as low as 144 A/cm2 (72 A/cm^2 per quantum well), and the slope efficiency was 0.2 W/A. The internal loss was 11 cm^-1 and the internal quantum efficiency was 27.1%. The maximum output power of 357 mW under continuous-wave operation at room temperature was achieved. The electrical and optical properties of the laser diode were improved. 展开更多
关键词 Galn(As)Sb/algaassb diode lasers threshold current density output power
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Growth and Characterization of AIGaAsSb by MOCVD
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作者 吴伟 彭瑞伍 韦光宇 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1995年第1期33-39,共7页
The growth of AlGaAsSb quatornary alloys is described. In order to control the epimxial growth ofAIGaAsSb, emphasis is given on the deposition rates, growth temperatures and the relationship between growthconditions a... The growth of AlGaAsSb quatornary alloys is described. In order to control the epimxial growth ofAIGaAsSb, emphasis is given on the deposition rates, growth temperatures and the relationship between growthconditions and the distribution coefficients of Al and As. Whether the growth of AlGaAsSb epilayers is con-trolled by chemical reactions or by mass diffusion depends on the growth temperatures. This argument is veri-fied by kinetic considerations. Specular surfaces of AlGaAsSb on GaSb substrates were obtained. The composi-tional nonuniformities measured by electron probe micro-analysis (EPMA) are less than 0. 6% on area of 15× 15 mm ̄2. The crystallinity is measured by double crystal X-ray diffraction (DCXD). The lattice mismatchbetween AlGaAsSb epilayer and GaSb subetrato is estimated to be less than 5. 5 × 10 ̄(-4). 展开更多
关键词 MOCVD epitaxy algaassb Distribution coefficient GROWTHRATE
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MBE生长AlGa AsSb/InGa AsSb材料的应变控制 被引量:2
16
作者 唐田 张永刚 +2 位作者 郑燕兰 唐雄心 李爱珍 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期530-532,共3页
基于理论计算和实验 ,对采用MBE方法生长的不同组份的AlGaAsSb/InGaAsSb材料的应变进行了研究。结果表明 ,通过对材料中的As组份调节 ,可以对材料中的应变进行控制 ,达到良好的应变补偿效果 ,实验结果和理论计算相当吻合。
关键词 INGAASSB AIGaAsSb 应变
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Al_xGa_(1-x)As_ySb_(1-y)/GaSb的LPE生长与性质研究
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作者 杨保华 王占国 +2 位作者 万寿科 龚秀英 林兰英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第10期738-745,共8页
在GaSb衬底上用LPE法生长了晶格匹配的AlGaAsSb外延层。用室温光致发光和X射线双晶衍射分别测量了材料的禁带宽度和晶格常数,并与用内插法计算的结果进行了比较。用C-V和van der Pauw法测量了样品的电学参数。用激光喇曼散射和低温光致... 在GaSb衬底上用LPE法生长了晶格匹配的AlGaAsSb外延层。用室温光致发光和X射线双晶衍射分别测量了材料的禁带宽度和晶格常数,并与用内插法计算的结果进行了比较。用C-V和van der Pauw法测量了样品的电学参数。用激光喇曼散射和低温光致发光研究了材料的光学性质,观察到了类GaSb的LO模和类AlSb的LO模以及LO声子与等离子激元的耦合模L_-;对x=0.2,y=0.025的样品,由低温到室温的变温光致发光测量确定的禁带宽度的温度系数为-3.2×10^(-4)eV/K。此外对于晶格失配,P型的原因以及PL谱峰的展宽等问题进行了讨论。 展开更多
关键词 LPE 化合物光导体 晶格匹配
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