不同衬底温度下PLD法制备的氧化锌薄膜的特性 被引量：14

1

作者 苏雪琼 王丽 +3 位作者 陈江博 孔乐 刘红梅 张新平 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期296-300,共5页

利用GCR-170型脉冲激光器Nd:YAG的三次谐波(355nm),以蓝宝石Al2O3(0001)为衬底,在不同温度下采用脉冲激光沉积法制备了ZnO薄膜.通过原子力显微镜、Raman谱、光致发光谱、红外透射谱、霍尔效应和表面粗糙度分析仪对制备的ZnO薄膜进行了测... 利用GCR-170型脉冲激光器Nd:YAG的三次谐波(355nm),以蓝宝石Al2O3(0001)为衬底,在不同温度下采用脉冲激光沉积法制备了ZnO薄膜.通过原子力显微镜、Raman谱、光致发光谱、红外透射谱、霍尔效应和表面粗糙度分析仪对制备的ZnO薄膜进行了测试.分析了在不同衬底温度下薄膜的表面形貌、光学特性,同时进行了薄膜结构和厚度的测试.研究表明:衬底温度对ZnO薄膜的表面形貌、光学特性、结构特性都是重要的工艺参量,尤其在500℃时沉积的ZnO薄膜致密均匀,并表现出较强的紫外发射峰. 展开更多

关键词 脉冲激光沉积法 ZNO薄膜 原子力显微镜 RAMAN 光致发光

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水平冷壁CVD生长4H-SiC同质外延膜的研究 被引量：4

2

作者 高欣 孙国胜 +4 位作者 李晋闽 赵万顺 王雷 张永兴 曾一平 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期936-940,共5页

采用自行设计的水平冷壁低压化学气相沉积(LPCVD)方法在偏向〈1120〉晶向8°的n型4H SiC(0001)衬底上进行了同质外延生长.在5 3×103Pa的低压下,外延膜生长速率超过3μm/h.电容电压法测试表明在非有意掺杂外延膜中净施主浓度为8... 采用自行设计的水平冷壁低压化学气相沉积(LPCVD)方法在偏向〈1120〉晶向8°的n型4H SiC(0001)衬底上进行了同质外延生长.在5 3×103Pa的低压下,外延膜生长速率超过3μm/h.电容电压法测试表明在非有意掺杂外延膜中净施主浓度为8 4×1016 cm-3.Nomarski显微镜观察表明厚外延膜的表面光滑,生长缺陷密度很低.AFM测试显示表面均方根粗糙度为0 3nm,没有观察到宏观台阶结构.Raman谱线清晰锐利,表现出典型的4H SiC特征.在低温PL谱中,近带边区域出现很强的自由激子峰,表明样品是高质量的. 展开更多

关键词 碳化硅 化学气相沉积 原子力显微镜 RAMAN 光致发光

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MOCVD侧向外延GaN的结构特性 被引量：2

3

作者 方慧智 陆敏 +4 位作者 陈志忠 陆羽 胡晓东 杨志坚 张国义 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期748-752,共5页

侧向外延(ELO)GaN的原子力显微镜(AFM)表面形貌图像表明,ELO-GaN相当平整,而掩膜区中央有线状分布的小丘群,这是由ELO-GaN在掩膜区中央接合时晶向不一致而产生的缺陷造成的。观察ELO-GaN扫描电子显微镜(SEM)截面图,侧向接合处存在着三... 侧向外延(ELO)GaN的原子力显微镜(AFM)表面形貌图像表明,ELO-GaN相当平整,而掩膜区中央有线状分布的小丘群,这是由ELO-GaN在掩膜区中央接合时晶向不一致而产生的缺陷造成的。观察ELO-GaN扫描电子显微镜(SEM)截面图,侧向接合处存在着三角空洞,并且侧向接合导致上述小丘群。X射线衍射(XRD)曲线表明,掩膜边界处的GaN晶面有倾斜。拉曼散射谱表明,掩膜区GaN质量相对于窗口区大为提高。ELO-GaN和普通外延GaN的拉曼散射谱比较表明,ELO-GaN中的应力较小,晶体质量较高。 展开更多

关键词 侧向外延 金属有机化学气相沉积 氮化镓 原子力显微镜 拉曼散射

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煤的化学结构及仪器分析方法 被引量：7

4

作者 高飞 邓存宝 +2 位作者 王雪峰 邓汉忠 张勋 《辽宁工程技术大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2012年第5期720-723,共4页

针对煤的氧化自燃理论的深入研究,结合煤结构的分析仪器,对不同变质程度煤的XRD光谱、拉曼光谱、红外光谱以及原子力显微镜等实验方法进行了研究,并对不同变质程度煤的实验数据所呈现出的规律性变化进行了讨论.研究发现,X-射线衍射法能... 针对煤的氧化自燃理论的深入研究,结合煤结构的分析仪器,对不同变质程度煤的XRD光谱、拉曼光谱、红外光谱以及原子力显微镜等实验方法进行了研究,并对不同变质程度煤的实验数据所呈现出的规律性变化进行了讨论.研究发现,X-射线衍射法能够揭示煤中原子排列的有序性等信息;IR光谱和Raman光谱能够得到煤中所含有官能团的种类、脂肪以及芳香结构等方面信息;在原子力显微镜下可以观测到煤表面微结构等相关信息. 展开更多

关键词 煤 煤化程度 煤结构 仪器分析 xrd RAMAN ir afm

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Mg注入非极性a面GaN退火温度的研究 被引量：1

5

作者 杨扬 李培咸 +2 位作者 周小伟 贾文博 赵晓云 《电子科技》 2013年第1期12-15,共4页

非极性GaN材料解决了传统GaN材料中的极化现象,具有较好的应用前景。用金属有机物化学气相沉积方法,在r面蓝宝石上生长了Mg注入非极性a面GaN薄膜,并选取650℃、750℃、850℃这3个温度对Mg注入GaN薄膜进行退火温度研究。用原子力显微镜... 非极性GaN材料解决了传统GaN材料中的极化现象,具有较好的应用前景。用金属有机物化学气相沉积方法,在r面蓝宝石上生长了Mg注入非极性a面GaN薄膜,并选取650℃、750℃、850℃这3个温度对Mg注入GaN薄膜进行退火温度研究。用原子力显微镜、光致发光谱、拉曼谱研究了材料的表面形貌、光学性质以及面内应力。结果表明,在750℃退火时效果较好。 展开更多

关键词 非极性 氮化镓 原子力显微镜 光致发光谱 拉曼谱

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基底对类金刚石薄膜组织性能的影响 被引量：2

6

作者 陈雪娇 周艳文 +4 位作者 徐振 张晶 张豫坤 徐帅 陈星宇 《特种铸造及有色合金》 CAS 北大核心 2019年第7期706-710,共5页

采用等离子体增强化学气相沉积技术,在3种不同基底上(不锈钢、铝合金、氮化硅)制备了类金刚石薄膜(DLC),并对薄膜进行了相关的性能评价。结果表明,3种基底上制得的DLC薄膜结构致密,表面光滑且具有良好的均匀性;AFM表征结果表明,沉积的... 采用等离子体增强化学气相沉积技术,在3种不同基底上(不锈钢、铝合金、氮化硅)制备了类金刚石薄膜(DLC),并对薄膜进行了相关的性能评价。结果表明,3种基底上制得的DLC薄膜结构致密,表面光滑且具有良好的均匀性;AFM表征结果表明,沉积的薄膜为无定型结构;Raman光谱分析显示沉积的薄膜为类金刚石薄膜;在非金属上采用等离子体化学气相沉积技术可以制备出DLC薄膜。与铝合金、氮化硅相比,选用不锈钢作为基底的薄膜硬度和弹性模量与基底差异更小,膜基结合力较强,可达13.55N;基底为氮化硅的薄膜摩擦因数较低,为0.094 8,但膜基结合力较差,仅为6.63N。此外,在相同工艺下,基底种类对薄膜的成分和耐摩擦磨损性能影响显著,但对薄膜的表面形貌和粗糙度无明显影响。 展开更多

关键词 DLC PE-CVD技术 掺杂 拉曼 AFM

原文传递

双金属纳米颗粒在硅基底上直接催化生长碳纳米管 被引量：2

7

作者 孙丽丽 马显光 +8 位作者 邓玲 殷鹏飞 廖新华 王莉 任克非 宁旭 陈仕国 蒋洪 肖忠党 《化工时刊》 CAS 2008年第4期18-22,共5页

以甲烷为碳源，双金属纳米颗粒Fe／Ru（1：1）、Fe／Ru（1：1）、Ru／Fe（1：1）为催化剂，在含有加厚氧化层的硅基底上，于875-950℃制备纳米碳管，并用原子力显微镜（atomic force micmscopr——AFM）和拉曼光谱进行表征，发现随着反... 以甲烷为碳源，双金属纳米颗粒Fe／Ru（1：1）、Fe／Ru（1：1）、Ru／Fe（1：1）为催化剂，在含有加厚氧化层的硅基底上，于875-950℃制备纳米碳管，并用原子力显微镜（atomic force micmscopr——AFM）和拉曼光谱进行表征，发现随着反应温度的降低，3种催化剂的催化效果具有明显的不同程度的降低，最佳反应温度为925℃；所制备的纳米碳管都是单壁的，并且高度都约是1．25nm；对催化剂进行预处理（925℃，1min）后，其催化效果会有显著的提高，这对实现碳纳米管的定点生长具有重要的意义。 展开更多

关键词 纳米碳管 原子力显微镜(AFM) 拉曼光谱 双金属纳米颗粒

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单壁碳纳米管短管的制备 被引量：1

8

作者 魏忠 陈言 刘忠范 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2001年第8期687-691,共5页

分别通过控制ＣＶＤ生长时间的方法和在混合的硝酸硫酸中超声氧化碳纳米管的化学剪裁法制备了单壁碳纳米管短管．两种方法都能将大多数碳纳米管的长度控制在５００ ｎｍ以下．拉曼光谱结果表明：在化学剪裁过程中，单壁碳纳米管部分被... 分别通过控制ＣＶＤ生长时间的方法和在混合的硝酸硫酸中超声氧化碳纳米管的化学剪裁法制备了单壁碳纳米管短管．两种方法都能将大多数碳纳米管的长度控制在５００ ｎｍ以下．拉曼光谱结果表明：在化学剪裁过程中，单壁碳纳米管部分被破坏产生无定形碳杂质；用控制ＣＶＤ反应时间得到的单壁碳纳米管短管样品比长时间反应得到的长管样品杂质少，且不存在后处理时碳纳米管的破损问题，其纯度比化学剪裁法得到的产品纯度高． 展开更多

关键词 单壁碳纳米管 化学气相沉积 拉曼光谱 原子力显微镜 制备 短路 化学裁剪法

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基于振动光谱成像技术的聚合物共混体系研究进展

9

作者 黎青霞 袁中柯 +2 位作者 张卫红 陈建 陈旭东 《光散射学报》 北大核心 2015年第4期364-373,共10页

振动光谱可以提供分子的振动信息,对于聚合物分子链的构象和链间的相互作用非常敏感。分子振动光谱成像作为一种原位无损检测技术,广泛应用于聚合物共混体系结晶、相态分布、界面扩散等性质的研究。本文综述了拉曼(Raman)光谱和红外(IR... 振动光谱可以提供分子的振动信息,对于聚合物分子链的构象和链间的相互作用非常敏感。分子振动光谱成像作为一种原位无损检测技术,广泛应用于聚合物共混体系结晶、相态分布、界面扩散等性质的研究。本文综述了拉曼(Raman)光谱和红外(IR)光谱成像技术以及其衍生的具有高空间分辨率的红外-原子力联用技术(IR-AFM)、拉曼-原子力联用技术(Raman-AFM)以及针尖增强拉曼光谱技术(TERS)在聚合物共混体系研究中的最新应用进展,以探索并扩展振动光谱成像技术在高分子领域中的应用。 展开更多

关键词 拉曼成像 红外成像 AFM-IR afm-raman TERS 共混聚合物

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纳米级类金刚石梯度膜机械特性研究 被引量：3

10

作者 马峰 蔡珣 +1 位作者 李刚 马洪涛 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2002年第2期200-202,共3页

本文采用非平衡磁控溅射及等离子体源离子混合注入方法在奥氏体不锈钢 1Cr18N9Ti基体上制备N TiN Ti(N ,C) DLC梯度涂层。采用原子力显微镜 (AFM)及喇曼光谱等手段观察分析梯度膜的显微组织与相组成 ,同时采用了纳米压入技术评定膜层... 本文采用非平衡磁控溅射及等离子体源离子混合注入方法在奥氏体不锈钢 1Cr18N9Ti基体上制备N TiN Ti(N ,C) DLC梯度涂层。采用原子力显微镜 (AFM)及喇曼光谱等手段观察分析梯度膜的显微组织与相组成 ,同时采用了纳米压入技术评定膜层的力学性能。实验结果表明 ,采用此方法制备的金刚石膜组织致密 。 展开更多

关键词 纳米级类金刚石梯度膜 机械特性 喇曼光谱 原子力显微镜 纳米压力技术 力学性能

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退火时间对6H-SiC(0001)表面外延石墨烯形貌和结构的影响 被引量：11

11

作者 唐军 刘忠良 +6 位作者 康朝阳 闫文盛 徐彭寿 潘海斌 韦世强 高玉强 徐现刚 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第1期253-258,共6页

在分子束外延(MBE)设备中,采用高温退火的方法在6H-SiC(0001)表面外延石墨烯,并研究了退火时间对外延石墨烯形貌和结构的影响.利用反射式高能电子衍射(RHEED)、原子力显微镜(AFM)、激光拉曼光谱(Raman)和近边X射线吸收精细结构(NEXAFS)... 在分子束外延(MBE)设备中,采用高温退火的方法在6H-SiC(0001)表面外延石墨烯,并研究了退火时间对外延石墨烯形貌和结构的影响.利用反射式高能电子衍射(RHEED)、原子力显微镜(AFM)、激光拉曼光谱(Raman)和近边X射线吸收精细结构(NEXAFS)等实验技术对制备的样品进行了表征.RHEED结果发现,不同退火时间的样品在SiC衍射条纹的外侧都出现了石墨烯的衍射条纹.AFM测试表明,外延石墨烯的厚度随退火时间增加而增大,且样品孔洞减少、表面更加平整.Raman测试表明,外延石墨烯拉曼谱中2D峰和G峰的位置相对高定向热解石墨(HOPG)中2D峰和G峰的位置蓝移,且退火时间增加,峰的蓝移量减小.对样品中碳原子K边NEXAFS谱测量显示,样品中存在sp2杂化的碳原子,退火时间增加使碳原子的1s→π以及1s→σ吸收的强度增大,且1s电子到π态的吸收峰相对HOPG的向高能偏移. 展开更多

关键词 RAMAN 石墨烯 6H-SIC 退火时间 RHEED AFM NEXAFS

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射频磁控溅射制备类金刚石薄膜的特性 被引量：5

12

作者 赵之明 李合琴 +1 位作者 顾金宝 宋泽润 《真空与低温》 2006年第4期215-218,237,共5页

采用射频磁控溅射技术,用高纯石墨靶在单晶硅片、抛光不锈钢片上制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用Raman光谱、原子力显微镜、显微硬度分析仪,表征了类金刚石薄膜的微观结构、表面形貌、硬度。结果表明,制备的类金刚石薄膜中含sp2、sp3杂... 采用射频磁控溅射技术,用高纯石墨靶在单晶硅片、抛光不锈钢片上制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用Raman光谱、原子力显微镜、显微硬度分析仪,表征了类金刚石薄膜的微观结构、表面形貌、硬度。结果表明,制备的类金刚石薄膜中含sp2、sp3杂化碳键,具有典型的类金刚石结构特征。计算表明,对应sp3杂化碳原子含量的ID1IG为3.18;薄膜的表面十分平整光滑,表面粗糙度极低,平均粗糙度Ra为0.17 nm;薄膜硬度可以高达30.8 GPa。 展开更多

关键词 射频磁控溅射 类金刚石薄膜 拉曼光谱 原子力显微镜 显微硬度

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通过制备Ti/TiC和Si/Si_xN_y过渡层在铜基体上沉积类金刚石膜的研究 被引量：5

13

作者 王静 刘贵昌 +2 位作者 汲大鹏 徐军 邓新禄 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期397-403,共7页

将磁控溅射物理气相沉积(MS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术相结合,在铜基体上通过制备两种不同的过渡层,成功地沉积了类金刚石膜。拉曼光谱结果分析表明,所制备的碳膜都具有典型的类金刚石结构特征... 将磁控溅射物理气相沉积(MS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术相结合,在铜基体上通过制备两种不同的过渡层,成功地沉积了类金刚石膜。拉曼光谱结果分析表明,所制备的碳膜都具有典型的类金刚石结构特征。通过原子力显微镜对薄膜的微观形貌进行分析,采用纳米压痕测量薄膜的硬度和模量。并对Ti/TiC过渡层和Si/SixNy过渡层上沉积的类金刚石薄膜进行了研究对比。 展开更多

关键词 类金刚石膜 铜基体 过渡层 拉曼光谱(Raman) 原子力显微镜(AFM) 纳米压痕

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纳米晶体硅量子点薄膜的制备及表征 被引量：1

14

作者 张生才 吴成昌 +3 位作者 肖夏 王云峰 姚素英 赵新为 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2007年第3期211-214,共4页

利用激光烧蚀沉积法在n-Si(100)衬底上制备非晶硅(-αSi)薄膜,再经过高温退火技术处理使-αSi晶化成纳米硅晶体(nc-Si)量子点.利用拉曼(Raman)光谱仪、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)以及原子力显微镜(AFM)等测试仪器对nc-Si薄... 利用激光烧蚀沉积法在n-Si(100)衬底上制备非晶硅(-αSi)薄膜,再经过高温退火技术处理使-αSi晶化成纳米硅晶体(nc-Si)量子点.利用拉曼(Raman)光谱仪、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)以及原子力显微镜(AFM)等测试仪器对nc-Si薄膜进行表征,发现制备的nc-Si量子点排列紧密、尺寸均匀,具有很好的单晶结构,制备的nc-Si薄膜晶化比例很高,并且优先选择在[111]方向晶化. 展开更多

关键词 nc—Si量子点 激光烧蚀 拉曼光谱 X射线衍射仪 透射电子显微镜 原子力显微镜

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温度对PTCDA结构形貌影响的Raman和AFM分析

15

作者 孙硕 胥超 +4 位作者 张桂铃 苏庆 李建丰 欧谷平 张福甲 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期540-541,545,共3页

通过真空蒸发将PTCDA淀积在p-Si(100)面。采用Raman光谱,AFM分别研究了衬底温度对于PTCDA分子结构和表面形貌的影响,进而完善了p-Si基PTCDA薄膜的生长机制。

关键词 PTCDA/p—Si RAMAN光谱 AFM 衬底温度

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MOCVD侧向外延生长GaN的研究

16

作者 朱丽虹 李晓莹 刘宝林 《微细加工技术》 2008年第6期48-52,共5页

在低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)系统中利用侧向外延生长(epitaxial lateral overgrowth,ELO)技术进行了二次外延GaN的研究。SEM观察结果表明,翼区和窗口区宽度比值不同的图形衬底,侧向和纵向的生长速率不同;其AFM表面形貌图像表... 在低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)系统中利用侧向外延生长(epitaxial lateral overgrowth,ELO)技术进行了二次外延GaN的研究。SEM观察结果表明,翼区和窗口区宽度比值不同的图形衬底,侧向和纵向的生长速率不同;其AFM表面形貌图像表明,长平的ELO-GaN表面平整,位错密度较低。ELO-GaN的光致发光(PL)谱的带边峰比传统方法生长的GaN的带边峰红移了14.0 meV,表明ELO-GaN的应力得到部分释放,晶体质量提高。ELO-GaN和普通外延GaN的拉曼散射谱比较表明,ELO-GaN中的应力较小,晶体质量较高,A1(TO)模的出现说明其晶轴取向相对于(0001)方向发生微小的偏移。 展开更多

关键词 低压金属有机化学气相沉积 氮化镓 侧向外延生长 原子力显微镜 扫描电子显微镜 拉曼散射谱

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γ-射线辐照对碳纤维表面结构以及强度的影响 被引量：11

17

作者 李峻青 黄玉东 +1 位作者 王卓 徐志伟 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2005年第6期52-56,共5页

利用高能射线对碳纤维(CF)表面进行改性是高效、节能和环保的一种技术.研究了60Co γ-射线辐照下,吸收剂量在0～1000kGy时,聚丙烯腈基CF表面形貌及结构的变化.利用原子力显微镜(AFM)观察处理前后CF表面形貌的变化.采用Raman光谱分析了... 利用高能射线对碳纤维(CF)表面进行改性是高效、节能和环保的一种技术.研究了60Co γ-射线辐照下,吸收剂量在0～1000kGy时,聚丙烯腈基CF表面形貌及结构的变化.利用原子力显微镜(AFM)观察处理前后CF表面形貌的变化.采用Raman光谱分析了辐照对CF表面结构的影响,并测定了处理前后CF复丝拉伸强度和不同标距下单丝拉伸强度的变化.结果表明,在0～30kGy剂量处理后的CF表面轴向沟槽数量先增加,ID/IG逐渐增大,石墨微晶尺寸(La)减小;当剂量过大时,沟槽数量减少,沟槽变得又深又宽,ID/IG有所降低,La增加,碳纤维表面结晶度提高.结合双参数Weibull理论,计算处理前后的模数m与La的变化趋势一致,说明小剂量辐照下,对碳纤维表面有细晶化作用,在一定程度上可以提高CF的拉伸强度.随着辐照剂量的增加,促进碳原子的排列更规整,向模量较高的方向转化. 展开更多

关键词 碳纤维 原子力显微镜 RAMAN光谱 Weibull理论

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电子束蒸发制备纳米ZnO薄膜及其特性研究

18

作者 汪壮兵 陈凌涛 +2 位作者 李祥 鲁迎春 梁齐 《安徽大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2008年第2期60-64,共5页

用电子束蒸发制备一系列纳米ZnO薄膜,用XRD和AFM研究其结构和形貌,重点研究其拉曼谱.ZnO靶的拉曼谱出现了4个明显的峰,与文献报道基本一致.室温下沉积的ZnO薄膜中存在大量缺陷和氧空位,其拉曼频移只有LO模和低频E2模,且其LO模有相对频移... 用电子束蒸发制备一系列纳米ZnO薄膜,用XRD和AFM研究其结构和形貌,重点研究其拉曼谱.ZnO靶的拉曼谱出现了4个明显的峰,与文献报道基本一致.室温下沉积的ZnO薄膜中存在大量缺陷和氧空位,其拉曼频移只有LO模和低频E2模,且其LO模有相对频移,峰展宽,强度加强.ZnO膜的高频拉曼谱对其结构不敏感,各种制备条件下的ZnO膜其高频拉曼谱基本一致.对拉曼谱,结合XRD和AFM分析给出了初步的解释. 展开更多

关键词 电子束蒸发 X射线衍射 拉曼谱 原子力显微镜

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微波CVD方法在Ar-CO_2-CH_4体系中沉积超纳米金刚石薄膜（英文） 被引量：1

19

作者 丰杰 祁尧 +7 位作者 盛景恺 李周 马莉 吴先哲 胡东平 梅军 余志明 魏秋平 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3009-3013,共5页

采用微波CVD系统研究了Ar-CO_2-CH_4气氛中不同工艺条件对超纳米金刚石薄膜形貌的影响。结果表明:以Ar-CO_2-CH_4为反应气源,可制备出晶粒尺寸为20 nm左右、表面粗糙度在16 nm以下,厚度达5μm以上,结构致密的超纳米金刚石薄膜;在Ar-CH_... 采用微波CVD系统研究了Ar-CO_2-CH_4气氛中不同工艺条件对超纳米金刚石薄膜形貌的影响。结果表明:以Ar-CO_2-CH_4为反应气源,可制备出晶粒尺寸为20 nm左右、表面粗糙度在16 nm以下,厚度达5μm以上,结构致密的超纳米金刚石薄膜;在Ar-CH_4组分中添加CO_2可明显提高金刚石膜的沉积速率,但采用该气源组分能够得到致密金刚石膜的气源组成范围很窄。其原因和控制方式有待深入研究。 展开更多

关键词 超纳米金刚石 微波化学气相沉积 Raman分析 原子力显微镜 沉积速率

原文传递

喇曼-原子力显微镜的研究进展 被引量：2

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作者 何家玉 邓惠勇 +2 位作者 王奇伟 戴宁 Da Ming Zhu 《红外》 CAS 2009年第5期19-22,共4页

喇曼-原子力显微镜(Raman-AFM)是一种基于探针增强喇曼散射效应(TERS)的新型形貌表征与光电测试设备,能够在纳米尺度上对低维结构材料与器件进行喇曼研究。本文详细介绍了Raman-AFM的基本原理与关键技术特点,并展望了它的发展前景。

关键词 喇曼-原子力显微镜 探针增强喇曼散射效应 低维结构

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