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Precisely controlling the twist angle of epitaxial MoS_(2)/graphene heterostructure by AFM tip manipulation
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作者 Jiahao Yuan Mengzhou Liao +7 位作者 Zhiheng Huang Jinpeng Tian Yanbang Chu Luojun Du Wei Yang Dongxia Shi Rong Yang Guangyu Zhang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第8期173-177,共5页
Two-dimensional(2D)moirématerials have attracted a lot of attention and opened a new research frontier of twistronics due to their novel physical properties.Although great progress has been achieved,the inability... Two-dimensional(2D)moirématerials have attracted a lot of attention and opened a new research frontier of twistronics due to their novel physical properties.Although great progress has been achieved,the inability to precisely and reproducibly manipulate the twist angle hinders the further development of twistronics.Here,we demonstrated an atomic force microscope(AFM)tip manipulation method to control the interlayer twist angle of epitaxial MoS_(2)/graphene heterostructure with an ultra-high accuracy better than 0.1°.Furthermore,conductive AFM and spectroscopic characterizations were conducted to show the effects of the twist angle on moirépattern wavelength,phonons and excitons.Our work provides a technique to precisely control the twist angle of 2D moirématerials,enabling the possibility to establish the phase diagrams of moiréphysics with twist angle. 展开更多
关键词 afm tip manipulation MoS_(2)/graphene heterostructure twist angle moirésuperlattice
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基于精确探针模型的AFM图像重构研究 被引量:10
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作者 袁帅 董再励 +2 位作者 缪磊 席宁 王越超 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1117-1122,共6页
原子力显微镜技术已在纳米成像中得到了普遍应用。但实验表明,AFM图像在水平方向分辨率较低,其中探针针尖形貌是影响扫描图像分辨率的关键因素之一。为了提高AFM扫描图像的分辨率,改善成像质量,一种可行的方法是通过建立探针模型后,重... 原子力显微镜技术已在纳米成像中得到了普遍应用。但实验表明,AFM图像在水平方向分辨率较低,其中探针针尖形貌是影响扫描图像分辨率的关键因素之一。为了提高AFM扫描图像的分辨率,改善成像质量,一种可行的方法是通过建立探针模型后,重构扫描图像。在已有的探针建模方法中,普遍采用盲建模算法。针对目前盲建模算法中降噪阈值难以优化问题,提出了一种降噪阈值最优估计新方法。该方法可以使盲建模算法更准确地建立扫描方向上的探针形貌轮廓,进而完成3D探针模型。通过应用AFM探针扫描多空铝和标准栅格实验,介绍了探针针尖形貌精确建模的方法。然后使用数学形态学的腐蚀运算对标准栅格的AFM成像进行了重构,验证了上述方法的有效性。实验结果证明,重构后的图像中降低了探针针尖形貌的失真影响,可以显著改善扫描探针显微镜成像的水平分辨率。 展开更多
关键词 afm 探针模型 盲建模算法 图像重构
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基于数学形态学方法的AFM探针建模研究 被引量:6
3
作者 袁帅 董再励 +2 位作者 缪磊 王志迁 许可 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1102-1107,共6页
AFM扫描图像可被认为是探针针尖的形貌和扫描样品表面形貌的数学形态学卷积结果,需要用反卷积的方法排除扫描图像中探针形貌引起的失真影响。本文在已有基于数学形态学的探针盲建模算法基础上,提出了一种可快速实现特征点优化提取的方法... AFM扫描图像可被认为是探针针尖的形貌和扫描样品表面形貌的数学形态学卷积结果,需要用反卷积的方法排除扫描图像中探针形貌引起的失真影响。本文在已有基于数学形态学的探针盲建模算法基础上,提出了一种可快速实现特征点优化提取的方法,同时提出了一种可降低最优降噪阈值估计复杂性的基于临界阈值搜索新方法。最后给出了仿真与CNT扫描图像的重构实验结果。实验表明,本文介绍的方法提高了探针建模的计算速度和建模精度,可以对AFM成像质量进行有效的失真修正和改善。 展开更多
关键词 afm 探针模型 盲建模算法 图像重构 Douglas-Peuker
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大气状态下AFM针尖诱导氧化加工Ti膜的机理分析 被引量:3
4
作者 匡登峰 刘庆纲 +2 位作者 胡小唐 郭维廉 张世林 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1303-1306,共4页
通过 AFM针尖诱导氧化加工 Ti膜的实验得到了凸出的 Ti膜氧化物高度与偏置电压成线性关系 ,并和针尖扫描速度成负对数关系 ,在前人的基础上深化了 AFM针尖诱导氧化加工的机理和理论模型 ,分析得到了合适的加工条件即 :偏压为 8V,扫描速... 通过 AFM针尖诱导氧化加工 Ti膜的实验得到了凸出的 Ti膜氧化物高度与偏置电压成线性关系 ,并和针尖扫描速度成负对数关系 ,在前人的基础上深化了 AFM针尖诱导氧化加工的机理和理论模型 ,分析得到了合适的加工条件即 :偏压为 8V,扫描速度为 0 .1μm/ s. 展开更多
关键词 afm针尖诱导氧化 阳极氧化 Ti氧化物 偏压 扫描速度 Ti膜 大气状态
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利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构 被引量:4
5
作者 闫永达 孙涛 董申 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1451-1454,共4页
为了探索在纳米尺度加工微纳米结构,MEMS/NEMS器件的新的加工方法,采用基于AFM改造的微加工系统,研究了探针机械刻划机理,分析了工作台的定位精度,AFM的工作模式,探针形状等因素的影响.以复杂字体“哈工大”为例说明了微纳米结构轮廓坐... 为了探索在纳米尺度加工微纳米结构,MEMS/NEMS器件的新的加工方法,采用基于AFM改造的微加工系统,研究了探针机械刻划机理,分析了工作台的定位精度,AFM的工作模式,探针形状等因素的影响.以复杂字体“哈工大”为例说明了微纳米结构轮廓坐标的获得,并加工了实例.同时还给出了齿轮形状,各种复杂二维结构的加工实例.结果表明采用AFM探针机械刻划技术可以应用在微纳米尺度结构的加工领域. 展开更多
关键词 afm 探针 机械刻划 微纳米加工
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基于AFM的微结构加工实验研究 被引量:5
6
作者 闫永达 孙涛 +2 位作者 程凯 赵清亮 董申 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期199-201,共3页
本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统 ,在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验 ,与SPM系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析 ,得出这个系统适合微结构的加工 ;并给出了采用该方法加工的圆面及多边形面微结... 本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统 ,在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验 ,与SPM系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析 ,得出这个系统适合微结构的加工 ;并给出了采用该方法加工的圆面及多边形面微结构 ; 展开更多
关键词 原子力显微镜 微结构加工 afm 金刚石针尖 SPI系统 形貌观测 单原子操作
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大气湿度对AFM针尖氧化加工金属Ti膜的影响 被引量:3
7
作者 匡登峰 刘庆纲 +2 位作者 郭维廉 张世林 胡小唐 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2004年第3期234-236,共3页
AFM针尖诱导氧化加工的Ti纳米氧化线,是基于Ti膜-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的Ti膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。通过大量实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响,结果表明进... AFM针尖诱导氧化加工的Ti纳米氧化线,是基于Ti膜-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的Ti膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。通过大量实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响,结果表明进行氧化加工Ti膜的较好湿度范围为30%~50%。 展开更多
关键词 afm针尖诱导阳极氧化 Ti氧化线 大气湿度
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DNA分子及其双链断裂碎片的AFM观测 被引量:1
8
作者 倪嵋楠 赵葵 +3 位作者 隋丽 梅俊平 郭继宇 王如瑜 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期106-110,共5页
DNA是生命信息的载体,是辐射生物学效应最重要的靶分子。研究DNA辐射损伤机理,需掌握观测DNA分子及其双链断裂(DoubleStrandBreaks,DSB)碎片的技术。在大气状态下,使用原子力显微镜(AFM)技术获得了3种经提纯的DNA分子的直观图像。在水... DNA是生命信息的载体,是辐射生物学效应最重要的靶分子。研究DNA辐射损伤机理,需掌握观测DNA分子及其双链断裂(DoubleStrandBreaks,DSB)碎片的技术。在大气状态下,使用原子力显微镜(AFM)技术获得了3种经提纯的DNA分子的直观图像。在水溶液中,利用Am-α源辐照装置对其中一种DNA分241子作低剂量照射,首次获得了DNA双链断裂碎片的AFM图像。为研究不同类型辐射—特别是重离子辐射—导致的DNA双链断裂几率的统计模型,做了技术准备。 展开更多
关键词 DNA分子 双链断裂 辐射损伤 生物样品吸附 原子力显微镜观测 针尖展宽效应
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脉冲时间对AFM阳极诱导氧化加工的影响 被引量:1
9
作者 李敏 刘庆纲 +4 位作者 匡登峰 郭维廉 张世林 张珊 胡小唐 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2006年第1期79-82,共4页
通过改变AFM阳极诱导氧化加工点结构时的偏压和脉冲时间,发现氧化点高度和宽度与所施加偏压呈对数关系,并且发现氧化点高度与宽度与脉冲时间呈指数关系.同时,在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度,研究... 通过改变AFM阳极诱导氧化加工点结构时的偏压和脉冲时间,发现氧化点高度和宽度与所施加偏压呈对数关系,并且发现氧化点高度与宽度与脉冲时间呈指数关系.同时,在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度,研究了大气湿度对所加工氧化点结构的高度和宽度的影响,即氧化点的高度和宽度都随着相对湿度的增加而增加。通过实验,发现扫描速率为1μm/s、所施加偏压为7 V、脉冲时间为1 s、相对湿度为40%左右时所加工结构较为理想. 展开更多
关键词 afm阳极氧化 脉冲时间 偏压
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AFM探针刮擦诱导金属加速溶解行为及缓蚀剂抑制效果研究 被引量:2
10
作者 屈钧娥 郭兴蓬 《电化学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期319-323,共5页
应用原子力显微镜(AFM)探针刮伤技术研究缓蚀剂对探针诱导铜镍合金加速溶解作用的影响.实验表明,在1.5 mol/L NaC l和0.01 mol/L HC l溶液中,使用AFM探针在750 nN的力负载条件下以接触模式对铜镍合金表面持续扫描,会加速样品的溶解,并... 应用原子力显微镜(AFM)探针刮伤技术研究缓蚀剂对探针诱导铜镍合金加速溶解作用的影响.实验表明,在1.5 mol/L NaC l和0.01 mol/L HC l溶液中,使用AFM探针在750 nN的力负载条件下以接触模式对铜镍合金表面持续扫描,会加速样品的溶解,并在探针刮擦区域形成蚀坑.将有机缓蚀剂十二胺及无机缓蚀剂铬酸钠添加到腐蚀介质中后,由于在合金表面形成了吸附膜和钝化膜,从而抑制探针刮擦引起的铜镍合金的加速溶解. 展开更多
关键词 afm探针刮擦 加速溶解 铬酸钠 十二胺
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满足自锐效应的AFM探针针尖加工 被引量:6
11
作者 刘芳 赵钢 +1 位作者 吴亚雷 褚家如 《微细加工技术》 EI 2006年第6期52-57,62,共7页
根据各向异性湿法刻蚀针尖的自锐效应模型和晶面交点模型,设计了AFM探针针尖加工工艺流程,并进行了针尖加工实验。通过分析实验结果并结合晶面交点模型,分别得到了针尖形状与蚀液浓度、刻蚀液温度、添加剂、掩模方向的关系。结合自锐效... 根据各向异性湿法刻蚀针尖的自锐效应模型和晶面交点模型,设计了AFM探针针尖加工工艺流程,并进行了针尖加工实验。通过分析实验结果并结合晶面交点模型,分别得到了针尖形状与蚀液浓度、刻蚀液温度、添加剂、掩模方向的关系。结合自锐效应模型,得到了(100)硅片刻蚀针尖自锐条件。最后对工艺参数进行了优化,采用15 mol/L的KOH溶液,在70℃,并且方形掩模边缘平行于<110>方向,可以得到满足自锐效应的、重复率高、表面粗糙度小、高宽比为1.56的单晶硅针尖。 展开更多
关键词 afm 单晶硅 针尖 各向异性
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基于时间序列数据和支持向量机的纳米加工AFM刀尖损伤监测 被引量:3
12
作者 程菲 董景彦 《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第4期647-654,共8页
研究了基于支持向量机(SVM)的时间序列数据分析和模式识别,以监测基于AFM尖端的纳米加工过程在加工性能和尖端磨损方面的状态变化。具有瞬态、非线性和非静止特性的时间序列数据(即来自过程的加工力)由数据采集系统收集。提取3种状态检... 研究了基于支持向量机(SVM)的时间序列数据分析和模式识别,以监测基于AFM尖端的纳米加工过程在加工性能和尖端磨损方面的状态变化。具有瞬态、非线性和非静止特性的时间序列数据(即来自过程的加工力)由数据采集系统收集。提取3种状态检测特征,包括最大侧向加工力、侧向加工力值峰间距以及侧向加工力的方差,以对纳米加工过程的状态进行分类。构造具有(高斯)径向基核函数(RBF内核)的定向非循环图支持向量机(DAGSVM)以识别尖端状态。使用多元SVM分类机,将加工过程和刀尖磨损分为初始磨损、过渡区域磨损以及尖端失效(破裂/磨损严重的加工/不加工)3个区域。实验数据表明,二元和三元分类中SVM的准确率均超过94.73%。 展开更多
关键词 计量学 尖端损伤检测 afm尖端纳米加工 过程监测 时间序列数据 支持向量机
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AFM扫描图像重构算法的改进 被引量:2
13
作者 袁帅 董再励 +2 位作者 缪磊 席宁 王越超 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2009年第3期259-264,共6页
针对原子力显微镜(AFM)纳米成像中存在的失真问题,研究了通过探针建模实现AFM扫描图像重构方法.目前探针盲建模算法在重构AFM图像时存在较大误差,因此提出基于探针模型预估计的AFM扫描图像重构方法.该方法采用分区探针针尖建模,并通过... 针对原子力显微镜(AFM)纳米成像中存在的失真问题,研究了通过探针建模实现AFM扫描图像重构方法.目前探针盲建模算法在重构AFM图像时存在较大误差,因此提出基于探针模型预估计的AFM扫描图像重构方法.该方法采用分区探针针尖建模,并通过基于该探针模型的反卷积运算实现AFM扫描图像重构,获得比较接近真实形貌的AFM扫描图像.文中介绍了算法的具体步骤,通过仿真和实验结果证明,该方法能够有效降低AFM图像重构时引入的误差,得到的图像更能反映样品表面真实的形貌. 展开更多
关键词 原子力显微镜 多孔铝薄膜 探针盲建模 数学形态学 扫描图像
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AFM诱导氧化脉冲宽度与Si纳米加工
14
作者 刘庆纲 何博涛 +3 位作者 张超艳 祁森 张世林 胡小唐 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1441-1443,1447,共4页
通过对利用原子力显微镜(AFM)阳极诱导氧化作用下在硅表面生成纳米氧化结构的特征的讨论,发现通过改变加工时的偏置电压和脉冲宽度,氧化点高度和宽度与所施加偏置电压呈对数关系,氧化点高度与宽度与脉冲宽度呈指数关系;同时发现在环境... 通过对利用原子力显微镜(AFM)阳极诱导氧化作用下在硅表面生成纳米氧化结构的特征的讨论,发现通过改变加工时的偏置电压和脉冲宽度,氧化点高度和宽度与所施加偏置电压呈对数关系,氧化点高度与宽度与脉冲宽度呈指数关系;同时发现在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度,氧化点结构的高度和宽度随相对湿度的增加而增加.文中对该现象进行了讨论,并对加工条件进行了优化. 展开更多
关键词 afm阳极氧化 脉冲宽度 偏置电压 大气湿度
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基于扭转谐振模式3D-AFM的微结构侧壁形貌检测
15
作者 刘璐 徐建国 +3 位作者 吴森 张锐 徐临燕 胡晓东 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期1-7,共7页
针对半导体器件微结构侧壁关键尺寸检测需求,设计了一套三维原子力显微镜(3D-AFM)系统.该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针,以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描.介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理,对系统的横向检测灵敏度进... 针对半导体器件微结构侧壁关键尺寸检测需求,设计了一套三维原子力显微镜(3D-AFM)系统.该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针,以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描.介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理,对系统的横向检测灵敏度进行了标定,获得了喇叭口针尖与样品侧壁横向接近过程中探针扭转振幅的变化曲线.利用该系统对栅格标样侧壁局部形貌进行了线扫描和面扫描,所得轮廓具有较好的重复性,且测量所得形貌特征与常规轻敲模式扫描结果一致,表明本文所述3D-AFM系统及工作模式能够用于微结构侧壁形貌的检测. 展开更多
关键词 关键尺寸 原子力显微镜 喇叭口针尖 扭转谐振 侧壁
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AFM探针热磁写入中薄膜温度场的有限元模拟
16
作者 鄢俊兵 李佐宜 +2 位作者 晋芳 董凯锋 林更琪 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2008年第4期26-28,共3页
针对光磁混合记录中微区热磁写入方式,提出利用原子力显微镜(AFM)内的显微探针将激光热源导入磁性薄膜,并采用有限元方法对TbFeCo磁性薄膜温度场进行模拟。模拟结果表明:磁性薄膜中,高于居里温度的区域范围与原子力探针针尖直径、薄膜... 针对光磁混合记录中微区热磁写入方式,提出利用原子力显微镜(AFM)内的显微探针将激光热源导入磁性薄膜,并采用有限元方法对TbFeCo磁性薄膜温度场进行模拟。模拟结果表明:磁性薄膜中,高于居里温度的区域范围与原子力探针针尖直径、薄膜厚度、激光能量之间存在紧密的关系。高于居里温度的区域范围随针尖直径呈线性增大,随薄膜厚度的增高而减小,在薄膜厚度超过15nm后趋于稳定。 展开更多
关键词 afm探针 磁性薄膜 有限元 温度场
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基于音叉式AFM测量的软件控制研究 被引量:1
17
作者 刘林伟 高思田 +3 位作者 黄鹭 王学影 祝敏豪 孙晓爽 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第1期35-40,共6页
基于音叉式原子力显微镜(AFM)的基本原理,设计了一个幅度调制模式下的测量控制系统,该控制系统的主要实现功能为针尖接近、针尖工作点位置保持和样品的表面形貌测量。实验得到针尖在不同激励电压下的接近曲线,针尖分别在100 mV、200 mV... 基于音叉式原子力显微镜(AFM)的基本原理,设计了一个幅度调制模式下的测量控制系统,该控制系统的主要实现功能为针尖接近、针尖工作点位置保持和样品的表面形貌测量。实验得到针尖在不同激励电压下的接近曲线,针尖分别在100 mV、200 mV、500 mV、1 V激励下,工作区间大小为4.7 nm、8.5 nm、12.1 nm、15.7 nm,灵敏度分别为0.0423 V/nm、0.0564 V/nm、0.0861 V/nm、0.0831 V/nm。实验得到针尖工作点位置保持过程中的纳米位移台位置变化曲线,针尖工作点的正向偏移值为2.3 nm,负向偏移值为1.3 nm。表面形貌测量采用X轴双向扫描模式,即在纳米位移台于X轴方向上的往返过程中分别测量1次表面形貌数据,对正向扫描和反向扫描的数据进行计算处理;正向扫描的间距误差为5.2 nm,高度误差为0.3 nm,反向扫描的间距误差为6.4 nm,高度误差为0.5 nm。 展开更多
关键词 计量学 表面形貌 原子力显微镜 音叉探针 软件控制系统
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云母表面加载裂纹尖端的AFM研究
18
作者 李晓冬 王燕斌 +3 位作者 褚武扬 田芳 王琛 白春礼 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期588-594,共7页
用AFM研究了云母表面加载裂纹尖端的原子组态结果表明,在加载裂尖前方存在一个很小的高畸变区,在它外边则是异常弹性区.云母表面裂纹尖端会发生分叉。
关键词 afm 云母 裂纹原子像 异常畸变区
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如何识别AFM成像过程中典型的针尖效应
19
作者 吴海华 彭明发 何小蝶 《科技视界》 2014年第30期6-6,共1页
AFM图像是利用超细的探针在样品的表面通过机械扫描获得的,成像质量的高低,很大程度上由于探针的形状决定的。本文主要讨论AFM成像过程中探针的针尖效应对成像质量的影响。
关键词 原子力显微镜 针尖效应 曲率半径 侧壁角
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Elucidation and Identification of Double-Tip Effects in Atomic Force Microscopy Studies of Biological Structures 被引量:1
20
作者 Yong Chen 《Journal of Surface Engineered Materials and Advanced Technology》 2012年第3期238-247,共10页
While atomic force microscopy (AFM) has been increasingly applied to life science, artifactual measurements or images can occur during nanoscale analyses of cell components and biomolecules. Tip-sample convolution eff... While atomic force microscopy (AFM) has been increasingly applied to life science, artifactual measurements or images can occur during nanoscale analyses of cell components and biomolecules. Tip-sample convolution effect is the most common mechanism responsible for causing artifacts. Some deconvolution-based methods or algorithms have been developed to reconstruct the specimen surface or the tip geometry. Double-tip or double-probe effect can also induce artifactual images by a different mechanism from that of convolution effect. However, an objective method for identifying the double-tip/probe-induced artifactual images is still absent. To fill this important gap, we made use of our expertise of AFM to analyze artifactual double-tip images of cell structures and biomolecules, such as linear DNA, during AFM scanning and imaging. Mathematical models were then generated to elucidate the artifactual double-tip effects and images develop during AFM imaging of cell structures and biomolecules. Based on these models, computational formulas were created to measure and identify potential double-tip AFM images. Such formulas proved to be useful for identification of double-tip images of cell structures and DNA molecules. The present studies provide a useful methodology to evaluate double-tip effects and images. Our results can serve as a foundation to design computer-based automatic detection of double-tip AFM images during nanoscale measuring and imaging of biomolecules and even non-biological materials or structures, and then personal experience is not needed any longer to evaluate artifactual images induced by the double-tip/probe effect. 展开更多
关键词 NANOBIOTECHNOLOGY Atomic Force Microscopy (afm) Double-tip ARTIFACT Biological SPECIMENS Linear DNA
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