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Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的低压MOCVD生长与性质
被引量:
2
1
作者
刘伟
顾书林
+8 位作者
叶建东
朱顺明
秦锋
周昕
刘松民
胡立群
张荣
施毅
郑有炓
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第7期809-813,共5页
利用低压金属有机物气相沉积 (L P- MOCVD)技术 ,采用两步生长法 ,在 (0 0 0 1 )蓝宝石衬底上获得了纤锌矿结构的 Zn1 - x Mgx O合金单晶薄膜 .实验发现随着 Mg原子的增多 ,Zn Mg O的晶格常数逐渐减小 .X射线衍射谱中未出现除 (0 0 0 2 ...
利用低压金属有机物气相沉积 (L P- MOCVD)技术 ,采用两步生长法 ,在 (0 0 0 1 )蓝宝石衬底上获得了纤锌矿结构的 Zn1 - x Mgx O合金单晶薄膜 .实验发现随着 Mg原子的增多 ,Zn Mg O的晶格常数逐渐减小 .X射线衍射谱中未出现除 (0 0 0 2 )峰之外的其他峰位 ,表明该合金薄膜具有很强的择优取向和较好的晶体质量 .室温透射谱与光致发光谱显示 ,其吸收边或带边发光峰随 Mg原子浓度的增加首先出现红移然后出现蓝移 .该反常现象与 Zn Mg O薄膜中产生的杂质缺陷的行为有关 .研究表明在 MOCVD生长 Zn Mg O合金薄膜过程中 ,必须优化与控制反应条件 。
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关键词
锌镁氧合金
低压金属有机物气相沉积
X射线衍射
透射谱
光致发光谱
PACC
6855
8115h
在线阅读
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职称材料
题名
Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的低压MOCVD生长与性质
被引量:
2
1
作者
刘伟
顾书林
叶建东
朱顺明
秦锋
周昕
刘松民
胡立群
张荣
施毅
郑有炓
机构
南京大学物理系
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第7期809-813,共5页
基金
国家重点基础研究专项 (批准号 :G0 0 1CB3 0 95 )
国家自然科学基金 (批准号 :60 2 760 11
+1 种基金
60 3 90 0 73 )
国家高技术研究发展计划 (批准号 :2 0 0 2 AA3 110 60 )资助项目~~
文摘
利用低压金属有机物气相沉积 (L P- MOCVD)技术 ,采用两步生长法 ,在 (0 0 0 1 )蓝宝石衬底上获得了纤锌矿结构的 Zn1 - x Mgx O合金单晶薄膜 .实验发现随着 Mg原子的增多 ,Zn Mg O的晶格常数逐渐减小 .X射线衍射谱中未出现除 (0 0 0 2 )峰之外的其他峰位 ,表明该合金薄膜具有很强的择优取向和较好的晶体质量 .室温透射谱与光致发光谱显示 ,其吸收边或带边发光峰随 Mg原子浓度的增加首先出现红移然后出现蓝移 .该反常现象与 Zn Mg O薄膜中产生的杂质缺陷的行为有关 .研究表明在 MOCVD生长 Zn Mg O合金薄膜过程中 ,必须优化与控制反应条件 。
关键词
锌镁氧合金
低压金属有机物气相沉积
X射线衍射
透射谱
光致发光谱
PACC
6855
8115h
Keywords
Zn 1-x Mg x O
LP MOCVD
X ray diffraction
photoluminescence
transmittance
分类号
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的低压MOCVD生长与性质
刘伟
顾书林
叶建东
朱顺明
秦锋
周昕
刘松民
胡立群
张荣
施毅
郑有炓
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
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