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3英寸氧化镁基底上沉积DyBCO高温超导薄膜 被引量：3
1
作者 孙延东 王朗 +1 位作者 马丽媛 季来运 《低温与超导》 CAS 北大核心 2021年第5期41-44,53,共5页
采用多源共蒸发技术在3英寸氧化镁基底上沉积了具有优异性能的DyBCO高温超导薄膜。用台阶仪对薄膜的厚度进行测量,结果显示超导薄膜厚度在650 nm左右。在77 K的液氮中,对薄膜的临界电流密度Jc进行测量,薄膜表面的临界电流密度Jc都大于2.... 采用多源共蒸发技术在3英寸氧化镁基底上沉积了具有优异性能的DyBCO高温超导薄膜。用台阶仪对薄膜的厚度进行测量,结果显示超导薄膜厚度在650 nm左右。在77 K的液氮中,对薄膜的临界电流密度Jc进行测量,薄膜表面的临界电流密度Jc都大于2.4 MA/cm2,且均匀性良好。 展开更多
关键词 多源共蒸发 3英寸氧化镁 高温超导薄膜 DyBCO
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