-
题名浅谈某半导体制造厂房超纯水处理系统
- 1
-
-
作者
李致格
孙琰
-
机构
世源科技工程有限公司
-
出处
《低碳世界》
2025年第10期191-193,共3页
-
文摘
为满足芯片制造产业对超纯水水质的高标准要求,以华南地区某半导体产业园项目为例,对其超纯水处理系统进行研究。根据该地区市政原水水质及目标产水水量、水质要求,确定采用“预处理+离子交换+反渗透+混床+抛光”的处理工艺流程。运行结果表明,该系统出水水质稳定,且回收率高,对同类电子超纯水项目具有一定的参考价值。
-
关键词
超纯水
2b3t
反渗透
抛光
-
分类号
TU991.4
[建筑科学—市政工程]
-
-
题名小水量超纯水制备系统的最佳工艺选择
被引量：5
- 2
-
-
作者
陈彦宏
-
机构
上海三邦水处理技术有限公司
-
出处
《节能与环保》
2022年第3期71-73,共3页
-
文摘
超纯水作为与电子元器件接触最多的介质之一,在半导体行业中占据着重要地位。本文从工艺路线、费用投资、运行成本及二次污染等方面,探讨针对小水量超纯水制备的最佳工艺路线。最终证明:在进水水质、产水水质以及产水量等条件相同的前提下,采用全膜法制备超纯水比2B3T工艺更具有优势,也将成为未来制备小水量的超纯水系统的主体工艺。
-
关键词
超纯水
全膜法
2b3t
小水量系统
-
Keywords
ultrapure water
full membrane method
2b3t
small water system
-
分类号
TU991.4
[建筑科学—市政工程]
TN305
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名纯水生产用离子交换技术的开发
- 3
-
-
-
出处
《水处理信息报导》
2004年第1期49-49,共1页
-
-
关键词
纯水
离子交换技术
单床型离子交换系统
2b3t离子交换系统
-
分类号
TU991.262
[建筑科学—市政工程]
-
