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基于压电复合单晶薄膜衬底的B25 SAW双工器性能研究
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作者 陆川 褚梦群 +3 位作者 杜雪松 蒋小龙 潘祺 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期688-692,共5页
针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分... 针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分别进行了拓扑结构设计;最后通过实测对比了两种不同切型POI衬底的B25双工器电性能参数。结果显示,在其他指标相当的情况下,相较于50°LT-POI,采用42°LT-POI衬底的B25双工器具有更优的远端抑制性能。 展开更多
关键词 POI衬底 B25 saw双工器
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小锤结构对SMR SAW谐振器的杂散抑制研究
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作者 韩捷 帅垚 +2 位作者 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期693-697,共5页
为了适应5G新频段的发展,研究了SMR SAW谐振器中小锤结构对谐振器性能的影响。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。仿真结果表明,在三小锤结构下,当小锤长度为1.6倍半周期时,谐振器... 为了适应5G新频段的发展,研究了SMR SAW谐振器中小锤结构对谐振器性能的影响。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。仿真结果表明,在三小锤结构下,当小锤长度为1.6倍半周期时,谐振器的横向模态杂散较弱。提出一种新型的双小锤加权结构,通过在谐振器的上、下半部分分别设置不同长度的小锤,进一步抑制了带内杂散,提高了谐振器的性能。实验结果表明,双小锤加权结构在抑制带内杂散方面效果明显,谐振器的机电耦合系数和阻抗比得到提升。 展开更多
关键词 SMR saw 小锤结构 双小锤加权结构 阻抗比 横向模态杂散
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TC-SAW SiO_(2)温补层性能研究
3
作者 贺贞 李燕 +3 位作者 田本朗 马晋毅 肖强 梁柳洪 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期88-91,共4页
为制备高性能的TC-SAW SiO_(2)温补层,分别采用电子束蒸发镀膜和反应磁控溅射制备SiO_(2)薄膜,研究两种制备工艺对SiO_(2)薄膜致密性、表面粗糙度及弹性模量的影响。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X线衍射仪对SiO_(2)薄膜的形貌和... 为制备高性能的TC-SAW SiO_(2)温补层,分别采用电子束蒸发镀膜和反应磁控溅射制备SiO_(2)薄膜,研究两种制备工艺对SiO_(2)薄膜致密性、表面粗糙度及弹性模量的影响。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X线衍射仪对SiO_(2)薄膜的形貌和晶体结构进行分析。采用椭偏仪测试薄膜折射率及腐蚀后的膜厚变化量,并通过纳米压痕仪测量计算薄膜的硬度和弹性模量。结果表明,反应磁控溅射制备的SiO_(2)薄膜更致密、薄膜表面粗糙度更小、弹性模量更大。采用反应磁控溅射制备的SiO_(2)薄膜作为TC-SAW温补层,可以获得频率温度系数为-8.6×10^(-6)/℃的TC-SAW器件。 展开更多
关键词 TC-saw SiO_(2)温补层 反应磁控溅射
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SAW芯片的质量控制与可靠性测试方法的研究
4
作者 艾毅智 杨怡 陈虹羽 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期92-97,共6页
随着通信设备向便携化、轻薄化发展,对SAW芯片的小体积、高性能需求逐渐增加,为确保产品交付质量,需要在芯片研发、生产过程中开展有效的质量控制和可靠性测试。通过对SAW芯片故障模式及影响的分析,找出了设计和生产过程存在的风险点,... 随着通信设备向便携化、轻薄化发展,对SAW芯片的小体积、高性能需求逐渐增加,为确保产品交付质量,需要在芯片研发、生产过程中开展有效的质量控制和可靠性测试。通过对SAW芯片故障模式及影响的分析,找出了设计和生产过程存在的风险点,制定质量控制措施并研究可靠性测试方法,提升了芯片合格率,进而验证了质量控制措施和可靠性测试方法的有效性,在业内具有一定的借鉴意义。 展开更多
关键词 saw芯片 失效模式 质量控制 可靠性
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用于塑封模组的SAW器件封装可靠性研究
5
作者 温桎茹 杨桃均 +3 位作者 向星诚 蒲志勇 米佳 唐盘良 《压电与声光》 北大核心 2025年第5期823-827,共5页
针对塑封射频模组中使用不同封装SAW器件的设计方案,采用有限元数值模拟技术计算模组内部器件在温度循环载荷下的应力分布,根据可靠性试验和显微检测分析了模组的电学性能和内部结构状态。研究表明,CSP封装(芯片级封装)SAW器件在塑封模... 针对塑封射频模组中使用不同封装SAW器件的设计方案,采用有限元数值模拟技术计算模组内部器件在温度循环载荷下的应力分布,根据可靠性试验和显微检测分析了模组的电学性能和内部结构状态。研究表明,CSP封装(芯片级封装)SAW器件在塑封模组中承受温度循环载荷下的应力较高,在实际试验中大部分样品出现了电学性能异常、内部键合点断开的现象;WLP封装(晶圆级封装)SAW器件在塑封模组中承受温度循环载荷下的应力较低,该方案模组样品在试验过程中具有很好的稳定性。 展开更多
关键词 saw器件封装 塑封射频模组 可靠性 有限元数值模拟
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双通道协同解耦SAW应变传感器的结构设计与制造
6
作者 郑引荣 梁晓瑞 谭秋林 《微纳电子技术》 2025年第7期45-51,共7页
为满足发动机、燃气轮机等高温高旋环境下关键部件的健康监测需求,基于硅酸镓镧(LGS)基底,提出了一种双通道协同解耦的高温稳定型声表面波(SAW)应变传感结构。该传感系统采用独特的90°空间正交布局设计,由两个高性能谐振器构成传... 为满足发动机、燃气轮机等高温高旋环境下关键部件的健康监测需求,基于硅酸镓镧(LGS)基底,提出了一种双通道协同解耦的高温稳定型声表面波(SAW)应变传感结构。该传感系统采用独特的90°空间正交布局设计,由两个高性能谐振器构成传感单元对。通过高温稳定的铂浆料和铂丝引线,实现传感元件在800℃极端环境下的可靠互连。通过优化设计双通道协同解耦算法,可有效消除温度引起的干扰,在25~800℃的宽温域范围内实现0~600με的应变测量,且在全温范围内表现出卓越的稳定性,解耦误差控制在-6.8%~+7.6%之间,为极端环境监测提供了高可靠性的解决方案。 展开更多
关键词 并联声表面波(saw)应变传感器 硅酸镓镧(LGS) 双通道协同解耦 宽应变 耐高温
原文传递
基于谐振型SAW传感器的呼吸检测系统设计 被引量:11
7
作者 王乐 王镝 +3 位作者 於锦 王平 胡燕婕 应可净 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期498-502,共5页
人呼吸中VOCs的种类及含量与人的身体状况有关,对其的检测可用于疾病的诊断。本研究利用谐振型声表面波传感器,开发出一套可用于对人呼吸中VOCs进行检测的系统。本文首先介绍了该系统的组成及原理,并对系统的关键环节进行了测试。在此... 人呼吸中VOCs的种类及含量与人的身体状况有关,对其的检测可用于疾病的诊断。本研究利用谐振型声表面波传感器,开发出一套可用于对人呼吸中VOCs进行检测的系统。本文首先介绍了该系统的组成及原理,并对系统的关键环节进行了测试。在此基础上,系统对多组测试样本进行了实验,实验结果初步表明,本系统可对×10-9(ppb)级的VOCs测试样本进行直接检测,已经具备对人呼吸中VOCs的检测条件。 展开更多
关键词 谐振型声表面波传感器 呼吸检测 可挥发性有机化合物(VOCs)
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谐振型SAW无线无源传感器的测试系统研究 被引量:8
8
作者 王睿 张万里 +3 位作者 彭斌 邓森洋 邓言文 姜建英 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期566-569,共4页
采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待... 采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待测物理化学参量的变化。该测试系统产生的激励信号功率最高可达10dBm,测试时间约为0.5s,与矢网测试结果相比,其测试相对误差仅为0.002 4%。实验结果表明,该系统能够稳定、可靠地实现谐振型SAW传感器的快速检测。 展开更多
关键词 谐振型声表面波(saw)传感器 无线无源 直接数字频率合成 功率探测器
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谐振式SAW压力传感器敏感元件研究与设计 被引量:9
9
作者 何鹏举 戴冠中 +1 位作者 陈明 徐苛杰 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期374-378,共5页
量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大... 量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大载荷的关系;对石英圆形膜片的应力应变关系进行了有限元数值计算,得出了正负应力在圆形石英膜片的分界点,为设计SAW谐振式压力传感器的物理结构和合理的安排谐振器的位置提供了依据。 展开更多
关键词 saw压力传感器 敏感片结构 谐振器位置 有限元
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SAW传感器及其在无源标识器中的应用 被引量:6
10
作者 刘积学 段成丽 +2 位作者 钟先信 彭江陵 张元勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第6期591-594,共4页
声表面波(SAW)器件作为信号处理器在现代扩频技术中已获得广泛的应用,推动了信号保密、抗干扰技术在通信、雷达、电子对抗等军用电子系统中的应用。然而,随着信息技术的深入发展,作为模拟技术的SAW技术,在信号处理领域依然展示着其实时... 声表面波(SAW)器件作为信号处理器在现代扩频技术中已获得广泛的应用,推动了信号保密、抗干扰技术在通信、雷达、电子对抗等军用电子系统中的应用。然而,随着信息技术的深入发展,作为模拟技术的SAW技术,在信号处理领域依然展示着其实时强大的信号处理能力,同时在信息敏感方面也展现出卓越的优势,如其灵敏度高、直接频率和相位输出、多参量综合信号转换能力、性能稳定、无源低功耗、工艺简单且与半导体工艺兼容易于实现片上集成等特点,在多种物理、化学、生物传感器系统获得应用,广受重视。近年来,随着SAW器件工作频率提高到GHz以上,使得集信息敏感与信号处理、信号传输于一体的单芯片SAW无源标识器(SAW IDT)技术在多种SAW传感器系统获得广泛的应用,成为当今SAW和传感器两个技术领域的一个新发展亮点。本文基于信息敏感的角度对SAW传感器的理论、设计、结构、系统研究方向,在无源标识器(IDT)应用军方面进行了探讨。 展开更多
关键词 saw传感器 无源标识器(IDT) 信息敏感
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异构无线网络中基于SINR和层次分析法的SAW垂直切换算法研究 被引量:38
11
作者 刘胜美 孟庆民 +1 位作者 潘甦 糜正琨 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第1期235-239,共5页
B3G或者4G无线网络体系致力于集成各种异构无线接入网络,其中一个主要的设计课题是支持垂直切换的研究。该文将多属性QoS考虑在内,针对各业务特点,提出一种基于SINR(信干噪比)和层次分析法(AHP)的SAW(简单加权法)垂直切换算法(SASAW)。... B3G或者4G无线网络体系致力于集成各种异构无线接入网络,其中一个主要的设计课题是支持垂直切换的研究。该文将多属性QoS考虑在内,针对各业务特点,提出一种基于SINR(信干噪比)和层次分析法(AHP)的SAW(简单加权法)垂直切换算法(SASAW)。它综合考虑SINR的影响以及要获得同等数据速率情况下,目标网络需要的等效SINR数值、用户通信代价、网络可用带宽等来构造属性矩阵做切换判决。为了评估性能,考虑3GPP定义的4类业务,利用层次分析法中的特征向量法来决定各个QoS属性之间的权重关系,构造比较判决矩阵并检验其一致性;根据判决矩阵,利用特征根法获得权重向量;最后根据属性矩阵和权重向量,利用SAW垂直切换算法进行判决。通过对算法的通过率、丢话率、垂直切换次数、平均用户代价等的性能比较,结果表明该文提出的算法能够根据各业务特点综合考虑各属性间关系,获得优良的系统性能。 展开更多
关键词 异构无线网络 垂直切换 简单加权法 层次分析法 信干噪比
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碳纳米管聚苯胺薄膜SAWSO2传感器的实验研究 被引量:8
12
作者 文常保 朱长纯 +5 位作者 巨永锋 邱彦章 许宏科 胡小东 吴媛 刘君华 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期157-160,共4页
以128°YX-LiNbO3晶体上实现的双声路声表面波(SAW)器件为载体,在器件的测量声路上制作了对SO2气体具有敏感作用的碳纳米管聚苯胺薄膜,提出了一种基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器。该传感器中的双声路结构消除了因外界... 以128°YX-LiNbO3晶体上实现的双声路声表面波(SAW)器件为载体,在器件的测量声路上制作了对SO2气体具有敏感作用的碳纳米管聚苯胺薄膜,提出了一种基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器。该传感器中的双声路结构消除了因外界测量条件改变引起的测量误差,提高了传感器的可靠性和准确性。利用原位法制备的碳纳米管聚苯胺增加了SO2气体的吸附面积,提高了传感器的灵敏度。实验结果表明,基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器在测量范围内对各种浓度的SO2气体具有好的响应特性;当输入体积分数为1×10-6时,传感器的响应灵敏度约为8.3 kHz,比单一聚苯胺薄膜高1.8 kHz。此外,该传感器也具有更好的线性特性。 展开更多
关键词 声表面波器件 碳纳米管聚苯胺薄膜 SO2气体 传感器
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SAW无线无源技术在避雷器温度监测中的应用 被引量:11
13
作者 郭凤仪 刘志岭 +2 位作者 王智勇 何维涛 陈占东 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第10期139-142,共4页
由于金属氧化物避雷器(MOA)的温度是各种参数影响的结果,故准确地判别MOA是否工作在热稳定状态,是避雷器在线监测的重要内容。分析了声表面波(SAW)温度传感器的测温原理,利用无线无源SAW温度传感器设计了MOA比例单元温度测量的应用方案... 由于金属氧化物避雷器(MOA)的温度是各种参数影响的结果,故准确地判别MOA是否工作在热稳定状态,是避雷器在线监测的重要内容。分析了声表面波(SAW)温度传感器的测温原理,利用无线无源SAW温度传感器设计了MOA比例单元温度测量的应用方案,通过实验室比例单元热特性的研究,验证了SAW技术应用在避雷器无线无源测温系统中的可行性,对实现MOA在线监测有重要意义。 展开更多
关键词 声表面波 金属氧化物避雷器 无线无源 温度监测 动作负载
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一种可同时测量温度和压力的新型SAW传感器 被引量:9
14
作者 李天利 吴正斌 +1 位作者 胡泓 郑亮 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2009年第6期563-568,共6页
针对汽车轮胎压力监测系统(TPMS)的典型应用,提出了一种基于声表面波(SAW)的新型传感器.这用SAW延迟线理论,温度和压力对于传感器的影响能够通过射频回波信号的变化反映出来.通过在数据处理中引入权重因子,实现对于温度和压力的准... 针对汽车轮胎压力监测系统(TPMS)的典型应用,提出了一种基于声表面波(SAW)的新型传感器.这用SAW延迟线理论,温度和压力对于传感器的影响能够通过射频回波信号的变化反映出来.通过在数据处理中引入权重因子,实现对于温度和压力的准确测量.在一定压力(0-200 kPa)和温度(20-100℃)范围内的测试结果表明,该传感器能够同时准确测量温度和压力.SAW传感器对温度的测量精度可以达到0.05℃,对压力的测量精度可以达到7.2 kPa.在对于可靠性和耐久性具有特殊要求的汽车轮胎压力监测等领域,该传感器简单的结构和无线无源的测量方式,进一步提高了其实用性和推广价值. 展开更多
关键词 声表面波 传感器 轮胎压力监测系统 压力 温度
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一种新型SAW气体传感器的设计 被引量:4
15
作者 王露 王登攀 +5 位作者 杜波 鄢秋娟 张静雯 唐永亮 杨靖 江洪敏 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第1期20-23,共4页
提出了将纳米线技术与声表面波(SAW)技术相结合,分别利用纳米线气体敏感材料比表面积高,声表面波传感器质量敏感性高的优点,探索研制新一代声表面波气体传感器。该传感器具有响应速度快,灵敏度高,体积小,质量注和易集成等优点。该文主要... 提出了将纳米线技术与声表面波(SAW)技术相结合,分别利用纳米线气体敏感材料比表面积高,声表面波传感器质量敏感性高的优点,探索研制新一代声表面波气体传感器。该传感器具有响应速度快,灵敏度高,体积小,质量注和易集成等优点。该文主要从SAW专用芯片的研制、专用纳米线研制、专用纳米线的表面修饰与改性研究、检测电路设计等4方面进行了阐述。理论计算表明,相比传统二维结构的SAW气体传感器,三维纳米线结构的SAW气体传感器的在灵敏度和响应速度上都得到提高。 展开更多
关键词 声表面波 纳米线 气体传感器 比表面积 灵敏度
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基于SAW-RFID高压开关柜温度在线监测技术研究 被引量:8
16
作者 徐长英 王宏 邓芳明 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第11期42-45,共4页
高压开关柜的温度实时监测是其安全稳定运行的重要保证。针对现有高压开关柜测温技术的不足,设计了基于声表面波射频识别(SAW-RFID)技术的无源无线监测系统。文中首先详细介绍了标签叉指换能器、反射栅和天线的设计,再对标签进行一点校... 高压开关柜的温度实时监测是其安全稳定运行的重要保证。针对现有高压开关柜测温技术的不足,设计了基于声表面波射频识别(SAW-RFID)技术的无源无线监测系统。文中首先详细介绍了标签叉指换能器、反射栅和天线的设计,再对标签进行一点校准,并基于该系统在开关柜内进行了测试,实验结果证明了该系统的可行性,完成了开关柜温度数据的采集、传输和处理,实现了开关柜温度的远程实时监测。 展开更多
关键词 高压开关柜 温度 在线监测 saw-RFID
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低幅相畸变SAW滤波器技术研究 被引量:4
17
作者 陈彦光 吕翼 +4 位作者 蒋世义 傅金桥 黄莹 金剑 李金 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第3期334-336,共3页
介绍了一种用于相控阵雷达的高相位一致性声表面波(SAW)滤波器,该种滤波器采用谐振型5换能器结构,基片材料为42°Y-X切型LiTaO3。通过对结构优化,提高了矩形系数,改善了群延时波动。制作出一款频率为500MHz,插入损耗1.2dB的滤波器,... 介绍了一种用于相控阵雷达的高相位一致性声表面波(SAW)滤波器,该种滤波器采用谐振型5换能器结构,基片材料为42°Y-X切型LiTaO3。通过对结构优化,提高了矩形系数,改善了群延时波动。制作出一款频率为500MHz,插入损耗1.2dB的滤波器,并该设计满足了相控阵雷达对声表面波滤波器高幅相一致性的要求,生产成品率提高。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 相位一致性 5换能器
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剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究 被引量:6
18
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期124-128,共5页
研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器... 研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 滤波器 叉指换能器(IDT) 剥离 陡直度
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QCM和SAW传感器的原理及其在现场检测中的应用 被引量:13
19
作者 徐秀明 王俊德 李海洋 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第5期876-880,共5页
压电化学传感器是一类重要的质量敏感型检测器,由于具有体积小、灵敏度高、响应时间快等优越性而具有极好的应用前景。本文介绍了体声波化学传感器(QCM)和表面声波化学传感器(SAW)的原理,概述了最近几年的应用情况及提高灵敏度的方法,... 压电化学传感器是一类重要的质量敏感型检测器,由于具有体积小、灵敏度高、响应时间快等优越性而具有极好的应用前景。本文介绍了体声波化学传感器(QCM)和表面声波化学传感器(SAW)的原理,概述了最近几年的应用情况及提高灵敏度的方法,并对其发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 石英晶体微量天平 表面声波 质量敏感传感器
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La_3Ga_5SiO_(14)单晶的生长、性能及SAW应用 被引量:14
20
作者 武安华 徐家跃 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期559-564,共6页
本文综述了新型压电晶体La3 Ga5SiO14 的最新研究进展 ,详细讨论了该晶体的生长问题 ,简单介绍了该晶体的性能及其在SAW和BAW方面的应用 ,分析了该晶体在压电应用方面的优势。
关键词 单晶 应用 saw La3Ga5SiO14 Gzochralski LPE 晶体生长 压电性能 声表面波
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