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靶丸装配位置偏差对靶丸表面温度均匀性的影响 被引量：3
1
作者 陈鹏玮 厉彦忠 +4 位作者 李翠 郑江 罗怀桦 辛毅 丁岚 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期5-10,35,共7页
为了研究靶丸装配对惯性约束核聚变间接驱动靶系统中靶丸表面温度场的影响,建立了三维冷冻靶系统数值计算模型,利用CFD软件的传热和Boussinesq模型分析了系统的传热规律,并对靶丸装配中可能产生的装配偏差的影响进行了探究。结果表明:... 为了研究靶丸装配对惯性约束核聚变间接驱动靶系统中靶丸表面温度场的影响,建立了三维冷冻靶系统数值计算模型,利用CFD软件的传热和Boussinesq模型分析了系统的传热规律,并对靶丸装配中可能产生的装配偏差的影响进行了探究。结果表明:靶丸在水平方向上的装配位置偏差会对靶丸表面温度场分布产生极大的影响,而在竖直方向上的装配位置偏差影响相对较小。在竖直方向上看,向上偏移的位置偏差相对于向下偏移的位置偏差对靶丸温度均匀性的影响会较大。 展开更多
关键词 冷冻靶 靶丸位置 靶丸表面最大温差 装配误差
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激光惯性约束聚变靶靶丸制备与表征 被引量：15
2
作者 李波 张占文 +16 位作者 何智兵 高党忠 陈素芬 何小珊 赵学森 漆小波 刘一杨 王宗伟 刘梅芳 马小军 孟婕 冯建红 苏琳 陈永平 刘向东 李婧 李洁 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期186-203,共18页
激光惯性约束聚变的核心思想是利用球形内爆技术对聚变燃料进行增压,使热核燃料达到高温、高密度的等离子体状态,进而实现聚变点火。基于对称压缩、流体界面不稳定性和实验诊断的考虑,ICF实验对作为热核燃料容器的空心微球的品质在球形... 激光惯性约束聚变的核心思想是利用球形内爆技术对聚变燃料进行增压,使热核燃料达到高温、高密度的等离子体状态,进而实现聚变点火。基于对称压缩、流体界面不稳定性和实验诊断的考虑,ICF实验对作为热核燃料容器的空心微球的品质在球形度、壁厚均匀性、表面粗糙度以及掺杂水平等方面提出了严格的要求。为满足这些要求,陆续发展了乳液微封装技术、降解芯轴技术、低压等离子体聚合/掺杂技术、干凝胶玻璃微球制备技术等用于多层塑料微球和空心玻璃微球的研制。另一方面,针对ICF靶丸量小、质轻以及表面要求高的特点,发展了相应的非破坏性靶丸参数表征技术,如X光照相技术、4π形貌表征技术、微球掺杂水平测量技术以及微球内燃料负载水平快速测试技术。基于这些制备与表征技术,初步实现了多层塑料微球、玻璃微球、聚-!-甲基苯乙烯芯轴微球、梯度掺杂CH微球的研制,满足了"神光Ⅱ"、"神光Ⅲ原型"及"神光Ⅲ主机"上开展的一系列内爆物理实验的要求,同时为未来点火物理实验用靶丸的研制提供了技术支撑。 展开更多
关键词 激光惯性约束聚变 靶丸 制备 参数表征 充气
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靶丸表面轮廓形貌AFM精密测量及特性评价 被引量：15
3
作者 赵学森 孙涛 +2 位作者 高党忠 唐永建 董申 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1847-1851,共5页
建立了由改造的原子力显微镜(AFM)、精密回转气浮轴系、辅助转位轴系等组成的靶丸表面形貌精密测量系统,气浮轴系的回转精度达0.049μm,实现了对激光核聚变靶丸3个正交方向上完整圆周迹线的测量.对选定靶丸的测量数据进行了球度、表面... 建立了由改造的原子力显微镜(AFM)、精密回转气浮轴系、辅助转位轴系等组成的靶丸表面形貌精密测量系统,气浮轴系的回转精度达0.049μm,实现了对激光核聚变靶丸3个正交方向上完整圆周迹线的测量.对选定靶丸的测量数据进行了球度、表面粗糙度及功率谱分析.结果表明:其球度值为0.42μm;模数范围为2～10,11～50,51～100及101～1 000对应的表面粗糙度值平均为105.7,12.2,6.2,18.25nm;并得出了平均1维功率谱-模数关系曲线. 展开更多
关键词 ICF靶丸 AFM 球度 表面粗糙度 功率谱 精密回转主轴系 辅助转位轴系
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塑料多层靶丸X射线照相技术 被引量：14
4
作者 高党忠 刘元琼 +3 位作者 罗青 唐永建 袁玉萍 温树槐 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1157-1160,共4页
　从理论上分析了高增益ICF实验燃料容器的塑料多层微球材料对X射线吸收机理,给出了适当的X射线照相条件,即工作电压取10kV,照像时间为1.5h,获得了壳层反差较为理想的靶丸X光图像。照相实验所得底片具有很高的横向分辨率,经显微镜放大,... 　从理论上分析了高增益ICF实验燃料容器的塑料多层微球材料对X射线吸收机理,给出了适当的X射线照相条件,即工作电压取10kV,照像时间为1.5h,获得了壳层反差较为理想的靶丸X光图像。照相实验所得底片具有很高的横向分辨率,经显微镜放大,微球图像界面清晰可辨,用CCD将图像输入计算机,使用一般图像软件即可较为精确读出壳层厚度像素,为塑料靶丸制备工艺提供了方便有效的跟踪测量手段。 展开更多
关键词 X射线照相 壳层反差 塑料靶丸
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用于惯性约束聚变靶丸测量的激光差动共焦传感器 被引量：14
5
作者 郭俊杰 邱丽荣 +2 位作者 王允 孟婕 高党忠 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期644-651,共8页
针对目前原子力显微镜等方法只能测量激光惯性约束核聚变(ICF)靶丸外表面等难题,研制了高精度、非接触、小型化的激光差动共焦传感器(LDCS)。该传感器基于差动共焦原理,利用激光差动共焦轴向响应曲线的零点对靶丸内外表面和球心分别进... 针对目前原子力显微镜等方法只能测量激光惯性约束核聚变(ICF)靶丸外表面等难题,研制了高精度、非接触、小型化的激光差动共焦传感器(LDCS)。该传感器基于差动共焦原理,利用激光差动共焦轴向响应曲线的零点对靶丸内外表面和球心分别进行定位,并结合物镜微位移驱动技术,实现靶丸内外表面和壳层厚度的高精度测量。该方法减少了靶丸表面的反射率、倾斜等因素对测量瞄准特性的影响,显著提高了系统的抗干扰能力。将传统的显微成像与差动共焦测量光路进行有机融合,实现了对被测样品的精确瞄准。初步实验与理论分析表明:当测量物镜的数值孔径NA为0.65时,LDCS的轴向分辨力优于5nm,信噪比优于1 160,过零点的标准偏差为10nm。该传感器为激光惯性约束核聚变靶丸测量提供了一种新的技术途径。 展开更多
关键词 惯性约束聚变 靶丸测量 激光差动共焦传感器 零点定位测量
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新型充Ar靶丸设计 被引量：11
6
作者 李波 张占文 +3 位作者 王朝阳 郑志坚 唐远明 陈银亮 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期57-60,共4页
从惯性约束聚变实验物理诊断需求出发,提出并分析了利用聚碳硅烷空心微球作为DT燃料容器实现扩散法充氩的可行性。初步实验研究表明,聚碳硅烷微球有望替代玻璃微球作为DT燃料容器用于内爆物理研究。
关键词 聚碳硅烷 氩气 靶丸 惯性约束聚变 实验研究 等离子体
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ICF玻璃靶丸化学镀磁性Ni-P涂层的研究 被引量：9
7
作者 杨文彬 雷刚 +5 位作者 孙蓉 戴亚堂 李鸿波 胡小平 周元林 张冰杰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1659-1662,共4页
采用化学镀方法对ICF空心玻璃微球靶丸进行处理,使其表面均匀包覆一层磁性Ni-P合金镀层,从而使得ICF玻璃靶丸具有一定的磁性,可望用于进行磁悬浮ICF定位打靶实验研究。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和振动样品磁强计对涂层的组成、结... 采用化学镀方法对ICF空心玻璃微球靶丸进行处理,使其表面均匀包覆一层磁性Ni-P合金镀层,从而使得ICF玻璃靶丸具有一定的磁性,可望用于进行磁悬浮ICF定位打靶实验研究。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和振动样品磁强计对涂层的组成、结构、形貌及磁性能进行了表征。结果表明:对ICF玻璃靶丸进行化学镀处理,其球形度、同心度和壁厚均匀性都与化学镀前未发生明显改变,其饱和磁化强度和矫顽力分别为3.883×10-3A/g和1.046×10-3T。 展开更多
关键词 ICF玻璃靶丸 化学镀 磁性涂层 磁悬浮
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扫描电子显微镜测量靶丸表面形貌 被引量：13
8
作者 王明达 高党忠 +2 位作者 刘元琼 罗青 袁玉萍 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期290-293,共4页
介绍了用扫描电子显微镜监测靶丸４π表面形貌的方法。为此研制了对惯性约束聚变靶丸４π搓动的扫描电子显微镜样品台，对靶丸的旋转精度为２ μｍ 。它提供了观察靶丸缺陷的最佳方法，可为惯性约束聚变实验精选靶丸。
关键词 惯性约束聚变靶 靶丸 扫描电子显微镜 表面形貌
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靶丸内混合气体的质谱法测量技术 被引量：8
9
作者 王朝阳 李波 +2 位作者 张占文 唐永建 师涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期711-714,共4页
叙述了四极质谱(QMS)的结构和气体分析质谱(GAM)的定量分析工作原理。四极质谱具有快速扫描响应,较高的响应灵敏度的特点,在经过标准气体校准后,加上独特的气体进样系统,可用于惯性约束聚变(ICF)靶丸内混合气体组分含量及总量的定量分... 叙述了四极质谱(QMS)的结构和气体分析质谱(GAM)的定量分析工作原理。四极质谱具有快速扫描响应,较高的响应灵敏度的特点,在经过标准气体校准后,加上独特的气体进样系统,可用于惯性约束聚变(ICF)靶丸内混合气体组分含量及总量的定量分析。同时,在经过坐标尺度放大等手段,可以对混合气体中质量数极为接近的氘(4.0282)和氦(4.0026)在高分辨模式下进行基线分离。用四极质谱对各种靶丸结构、不同混合气体种类的气体进行了定量组分分析,为ICF实验用靶提供了同批次实验数据。 展开更多
关键词 气体分析质谱(GAM) 靶丸 混合气体
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激光间接驱动内爆靶丸的X光诊断 被引量：8
10
作者 张继彦 杨国洪 +1 位作者 缪文勇 丁耀南 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期939-943,共5页
报道了神光Ⅱ激光聚变实验中内爆燃料靶丸区电子温度、电子密度以及燃料面密度的X光诊断结果。在电子温度诊断中,采用X射线光谱学方法,根据聚变靶丸燃料区的Ar示踪元素的Ly-β线与He-β线的强度比推断出靶丸燃料区电子温度为(950±1... 报道了神光Ⅱ激光聚变实验中内爆燃料靶丸区电子温度、电子密度以及燃料面密度的X光诊断结果。在电子温度诊断中,采用X射线光谱学方法,根据聚变靶丸燃料区的Ar示踪元素的Ly-β线与He-β线的强度比推断出靶丸燃料区电子温度为(950±100)eV;在电子密度诊断中,利用靶丸燃料区Ar元素的He-β线Stark展宽确定聚变靶丸芯部的电子密度为(0.9±0.2)×1024cm-3;在燃料区面密度诊断中,利用X光单能照相技术获得了内爆靶丸的燃料面密度为(3.2±0.5)mg/cm2。 展开更多
关键词 激光聚变 X光诊断 内爆靶丸 电子温度 电子密度 燃料面密度
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用原子力显微镜4π旋转技术测量靶丸表面粗糙度 被引量：12
11
作者 高党忠 王明达 刘元琼 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期321-324,共4页
原子力显微镜靶丸４π旋转装置，可以将靶丸在夹持状态下实现４π方向旋转，便于原子力显微镜对靶丸表面任一部分做扫描测量。应用该装置对各种靶丸的表面形貌进行了测量，测量结果表明，靶丸外表面粗糙度小于１０ｎｍ，内表面粗糙度小... 原子力显微镜靶丸４π旋转装置，可以将靶丸在夹持状态下实现４π方向旋转，便于原子力显微镜对靶丸表面任一部分做扫描测量。应用该装置对各种靶丸的表面形貌进行了测量，测量结果表明，靶丸外表面粗糙度小于１０ｎｍ，内表面粗糙度小于２０ｎｍ。 展开更多
关键词 原子力显微镜 靶丸 4π旋转 ICF靶 参数测量
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惯性约束聚变靶丸高精度X射线数字成像 被引量：7
12
作者 王琦 高党忠 +5 位作者 马小军 徐春 朱溢佞 姜凯 张园成 杨诗棣 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期324-333,共10页
为了实现惯性约束聚变(ICF)靶丸几何尺寸的高精度、高效率检测,开展了靶丸X射线数字化成像系统的设计与研制。首先,分析了X射线直接投影成像和X射线透镜耦合显微成像的适用范围,根据ICF靶丸尺寸小、吸收衬度弱的特点,确定了基于X射线透... 为了实现惯性约束聚变(ICF)靶丸几何尺寸的高精度、高效率检测,开展了靶丸X射线数字化成像系统的设计与研制。首先,分析了X射线直接投影成像和X射线透镜耦合显微成像的适用范围,根据ICF靶丸尺寸小、吸收衬度弱的特点,确定了基于X射线透镜耦合显微成像的技术路线。然后,分析了影响系统成像分辨率、图像衬度和测量效率的关键因素,确定了低几何放大成像,低电压、小焦点、高功率X射线源及高分辨CCD探测的总体技术方案,该方案能够有效抑制相衬效应和半影误差,解决了现有X射线数字成像设备测量靶丸时边缘扩展严重、尺寸测量误差大的问题。最后,对系统的性能进行了分析测试,实验结果表明,系统成像衬度良好,成像效率较高,分辨率优于0.5μm。靶丸几何尺寸的测量不确定度可达0.9μm(k=2),满足ICF靶丸几何尺寸高精度、高效率的检测需求。 展开更多
关键词 X射线数字成像 惯性约束聚变 靶丸 高精度测量
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Z箍缩动态黑腔驱动靶丸内爆动力学 被引量：6
13
作者 肖德龙 戴自换 +5 位作者 孙顺凯 丁宁 张扬 邬吉明 尹丽 束小建 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期195-203,共9页
利用Z箍缩动态黑腔驱动靶丸内爆是实现惯性约束聚变可能的技术途径之一.聚龙一号装置已开展的动态黑腔实验初步表明形成了有效的动态黑腔辐射场,为驱动靶丸内爆研究奠定了重要基础.针对聚龙一号装置驱动条件,通过建立包含柱形动态黑腔... 利用Z箍缩动态黑腔驱动靶丸内爆是实现惯性约束聚变可能的技术途径之一.聚龙一号装置已开展的动态黑腔实验初步表明形成了有效的动态黑腔辐射场,为驱动靶丸内爆研究奠定了重要基础.针对聚龙一号装置驱动条件,通过建立包含柱形动态黑腔与球形靶丸的柱球耦合物理模型,利用二维辐射磁流体力学程序,对Z箍缩动态黑腔驱动靶丸内爆动力学过程进行了数值模拟研究,获得了丝阵等离子体内爆、丝阵等离子体与泡沫转换体相互作用、冲击波产生和黑腔辐射传输、辐射烧蚀和燃料压缩的完整过程.在此基础上,研究了靶丸赤道面和两极的辐射源均匀性及燃料压缩对称性.结果表明,由于在泡沫转换体中的辐射传输以及黑腔-靶能量耦合过程,靶丸赤道面与两极辐射波形存在一定的时间差和峰值差,造成燃料压缩不对称.若减小靶丸半径,可以提高燃料压缩的对称性,但靶丸半径很小时聚变产额也较低;靶丸半径较大时,由于靶丸赤道面和两极辐射场时间和温度峰值的较大差异,燃料压缩呈现更为明显的不对称性. 展开更多
关键词 Z箍缩 动态黑腔 辐射驱动靶丸内爆 惯性约束聚变
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靶丸X射线光学厚度的精密检测 被引量：4
14
作者 王琦 高党忠 +2 位作者 唐兴 马小军 王宗伟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期1039-1044,共6页
为了精密检测靶丸X射线光学厚度均匀性,建立了基于精密轴系和光纤阵列探测的靶丸X射线光学厚度检测装置,开展了光学厚度轮廓仪光路精密调校技术的研究,应用白光共焦光谱技术和光学显微成像技术,解决了气浮转台精密调整、X射线光路对中... 为了精密检测靶丸X射线光学厚度均匀性,建立了基于精密轴系和光纤阵列探测的靶丸X射线光学厚度检测装置,开展了光学厚度轮廓仪光路精密调校技术的研究,应用白光共焦光谱技术和光学显微成像技术,解决了气浮转台精密调整、X射线光路对中的难题,实现了对塑料靶丸壳层缺陷、表面质量、壁厚均匀性、壳层材料成分均匀性等多种耦合扰动综合效应的表征。对系统的稳定性进行了测试,实验结果表明,该系统的测量重复性偏差可基本控制在0.01%以内,空间分辨率约为100μm,满足ICF靶物理研究对靶丸X射线光学厚度扰动的高精度检测需求。 展开更多
关键词 光学测量 激光聚变 X射线光学厚度 光路调校 靶丸
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X射线法ICF靶丸几何参数批处理及壁厚分布计算 被引量：5
15
作者 赵学森 高党忠 +4 位作者 马小军 唐永建 张林 孙涛 董申 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期487-492,共6页
分析了靶丸微焦X射线成像的基本原理,采用改进Hough变换对靶丸X射线数字图像进行自动圆参数检测,结合最小二乘圆拟合算法获得了精确的多层靶丸几何参数,给出了靶丸图像批处理的整个分析流程,并开发了一套完整的靶丸X射线图像批处理计算... 分析了靶丸微焦X射线成像的基本原理,采用改进Hough变换对靶丸X射线数字图像进行自动圆参数检测,结合最小二乘圆拟合算法获得了精确的多层靶丸几何参数,给出了靶丸图像批处理的整个分析流程,并开发了一套完整的靶丸X射线图像批处理计算软件。在此基础上讨论了靶丸壁厚分布的批处理计算问题,给出了多层靶丸壁厚分布状态及单层靶丸全表面壁厚分布情况的计算示例。 展开更多
关键词 ICF靶丸 几何参数测量 X射线图像批处理 HOUGH变换 壁厚分布
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ICF中靶丸内等离子体的温度和密度的估算 被引量：8
16
作者 段斌 李月明 +1 位作者 方泉玉 张继彦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期55-58,共4页
用原子物理方法中Grasp 92实用程序,计算了原子系统的能谱和辐射系数。根据局部热动平 衡理论,结合惯性约束聚变“058发充Ar+D2靶丸实验”的光谱数据,估算得到靶丸内等离子体的温度和密度 分别为804.7eV和8.39×1023cm-3。
关键词 惯性约束聚变 等离子体 等离子体的温度和密度 靶丸
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靶丸内表面轮廓的白光共焦光谱测量技术 被引量：5
17
作者 唐兴 王琦 +3 位作者 马小军 高党忠 王宗伟 孟婕 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期266-272,共7页
靶丸内表面轮廓是激光核聚变靶丸的关键参数,需要精密检测。本文首先分析了基于白光共焦光谱和精密气浮轴系的靶丸内表面轮廓测量基本原理,建立了靶丸内表面轮廓的白光共焦光谱测量方法。此外,搭建了靶丸内表面轮廓测量实验装置,建立了... 靶丸内表面轮廓是激光核聚变靶丸的关键参数,需要精密检测。本文首先分析了基于白光共焦光谱和精密气浮轴系的靶丸内表面轮廓测量基本原理,建立了靶丸内表面轮廓的白光共焦光谱测量方法。此外,搭建了靶丸内表面轮廓测量实验装置,建立了基于靶丸光学图像的辅助调心方法,实现了靶丸内表面轮廓的精密测量,获得了准确的靶丸内表面轮廓曲线;最后,对测量结果的可靠性进行了实验验证和不确定度分析,结果表明,白光共焦光谱能实现靶丸内表面低阶轮廓的精密测量,其测量不确定度优于0.1μm。 展开更多
关键词 白光共焦光谱 内表面轮廓 靶丸 激光聚变
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双层塑料靶丸的X射线相衬成像 被引量：4
18
作者 顾牡 李达 +3 位作者 倪晨 刘小林 刘波 黄世明 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期1481-1484,共4页
为对微聚焦X射线相衬成像技术应用于双层以及多层塑料靶丸成像和特征分析进行可行性研究,基于类同轴X射线成像技术,综合考虑成像放大倍数、分辨率和衬度等因素,选择合适的实验参数,成功获得了较为清晰的双层塑料靶丸X射线相衬成像照片;... 为对微聚焦X射线相衬成像技术应用于双层以及多层塑料靶丸成像和特征分析进行可行性研究,基于类同轴X射线成像技术,综合考虑成像放大倍数、分辨率和衬度等因素,选择合适的实验参数,成功获得了较为清晰的双层塑料靶丸X射线相衬成像照片;采用数字图像处理技术的图像分割手段,如拉普拉斯高斯边缘检测法等对所成像中靶丸边界特征进行分析处理,获得了双层靶丸内层厚度为(10.5±0.6)μm,外层厚度为(9.2±0.7)μm,靶丸外径为(273.3±1.0)μm等参数。 展开更多
关键词 类同轴 X射线 相衬成像 双层靶丸 数字图像处理
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ICF用磁性玻璃靶丸悬浮磁场的确定及材料制备初步研究 被引量：10
19
作者 宋丽贤 卢忠远 廖其龙 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1705-1708,共4页
根据靶丸悬浮原理,推导出ICF用磁性靶丸在悬浮磁场中受力的函数关系式,从而得到了靶丸悬浮的理论模型。通过实验和理论相结合的方法,得出当靶丸中磁性材料掺入质量百分比由1%增加到6%时,靶丸的磁场强度由0.09 mT增加到0.44 mT,而对应的... 根据靶丸悬浮原理,推导出ICF用磁性靶丸在悬浮磁场中受力的函数关系式,从而得到了靶丸悬浮的理论模型。通过实验和理论相结合的方法,得出当靶丸中磁性材料掺入质量百分比由1%增加到6%时,靶丸的磁场强度由0.09 mT增加到0.44 mT,而对应的外界悬浮磁场由0.93 mT减小到0.23 mT。 展开更多
关键词 惯性约束聚变 靶丸材料 磁性材料
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基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术 被引量：4
20
作者 卢丙辉 刘炳国 +2 位作者 孙和义 陈凤东 刘国栋 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期56-60,共5页
为实现惯性约束聚变实验中核心部件球形靶丸表面形貌的高精度、高效率、无遗漏检测,建立了基于子孔径拼接和衍射干涉技术相结合的靶丸形貌测量装置,给出了测量的基本原理及系统单孔径横向分辨率的计算方法,并对靶丸旋转扫描时子孔径的... 为实现惯性约束聚变实验中核心部件球形靶丸表面形貌的高精度、高效率、无遗漏检测,建立了基于子孔径拼接和衍射干涉技术相结合的靶丸形貌测量装置,给出了测量的基本原理及系统单孔径横向分辨率的计算方法,并对靶丸旋转扫描时子孔径的排布进行了划分。针对点云数据横向间隔过大导致匹配算法迭代收敛速度缓慢,甚至不收敛的问题,提出以虚拟的极小半径代替实际曲率半径,将点云进行横向压缩的方法,在保持形貌特征不变的同时提高算法的匹配速度和准确性。最后,对直径1mm的镀金球靶进行了实际测量,得到拼接后相对形貌误差峰谷值和均方根值分别为1.332λ和0.479λ的检测结果,可以同时获得表面形貌的整体起伏特征,以及局部的形貌细节。 展开更多
关键词 移相衍射干涉测量 靶丸 表面形貌 子孔径拼接
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