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基于SVR和NSGA-Ⅱ的高压气密检漏仪漏率校准方法研究
1
作者 胡银杰 陈宇航 +3 位作者 程静 陆佳颖 董旭鑫 蔡绯 《中国测试》 北大核心 2025年第S1期77-82,共6页
针对高压气密检漏仪漏率校准时重复性和效率不易平衡问题,且国内缺乏相关校准方法。该研究提出漏率校准修正方法,并创新性地建立校准时间-重复性模型与NSGA-Ⅱ寻优算法相结合的解决方案。通过构建SVR模型表征校准时间与重复性关系,运用N... 针对高压气密检漏仪漏率校准时重复性和效率不易平衡问题,且国内缺乏相关校准方法。该研究提出漏率校准修正方法,并创新性地建立校准时间-重复性模型与NSGA-Ⅱ寻优算法相结合的解决方案。通过构建SVR模型表征校准时间与重复性关系,运用NSGA-Ⅱ算法进行寻优,获取各阶段校准时间与重复性的帕累托最优解集。验证结果表明,该方法对不同品牌、不同漏率检漏仪的重复性控制均小于1%,有效解决了高压气密检漏仪在高压低漏率工况下系统误差被放大的问题。研究解决了高压气密检漏仪漏率量值溯源技术瓶颈,为燃气安全及新能源汽车关键部件泄漏检测提供了可靠保障。 展开更多
关键词 高压气密检漏仪 漏率校准 SVR NSGA-Ⅱ
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半导体设备用磁流体真空耐压和漏率检测的研究
2
作者 杨华龙 《现代机械》 2025年第3期59-61,共3页
针对半导体芯片制造应用的高端薄膜沉积设备中,重要的磁流体动密封组件进行真空耐压和漏率检测研究。通过搭建真空试验台,设定检测流程图,再以高温动态情况为例,检测磁流体实际的耐压值和漏率。该检测试验台可多次测量取平均值,线下快... 针对半导体芯片制造应用的高端薄膜沉积设备中,重要的磁流体动密封组件进行真空耐压和漏率检测研究。通过搭建真空试验台,设定检测流程图,再以高温动态情况为例,检测磁流体实际的耐压值和漏率。该检测试验台可多次测量取平均值,线下快速、有效地检测出不同状态下磁流体的重要参数,为磁流体的出厂检验提供了可靠的实验基础。 展开更多
关键词 磁流体 耐压 漏率 动态 静态
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多级漏孔泄漏分析及其漏率预测方法研究 被引量：1
3
作者 杨丹 廖旭东 李艳霞 《真空》 CAS 北大核心 2010年第2期17-20,共4页
为了评估气体介质经多级漏孔的泄漏量,指导多道密封结构的安全设计,有必要研究气体经多级漏孔的泄漏特性。通过建立双级与多级漏孔的数学模型,在不同的初始条件下对多级漏孔的泄漏特性进行了计算分析。结果表明:多级漏孔的稳定漏率仅与... 为了评估气体介质经多级漏孔的泄漏量,指导多道密封结构的安全设计,有必要研究气体经多级漏孔的泄漏特性。通过建立双级与多级漏孔的数学模型,在不同的初始条件下对多级漏孔的泄漏特性进行了计算分析。结果表明:多级漏孔的稳定漏率仅与各级独立漏孔漏率有关,与中间空腔体积无关,其倒数等于各级漏孔漏率的倒数之和。影响稳定时间的因素包括末级漏孔的漏率、其余各级漏孔组成的多级漏孔漏率以及中间空腔的容积。利用分析结果,提出了多级漏孔漏率的预测方法。 展开更多
关键词 多级漏孔 漏率 漏率预测 稳定时间
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正压检漏法在密封舱整体漏率设计及检测中的应用 被引量：2
4
作者 万越 唐林卡 +2 位作者 范宇 侯炳昕 詹少坤 《科技创新导报》 2015年第22期159-160,187,共3页
该文应用罩盒累积提高正压检漏法的检漏灵敏度,应用该检漏方法识别出影响密封舱整体漏率的薄弱环节,针对薄弱环节采取结构形式改进和密封圈材料更换等方法提高对接面处密封性能,从而达到降低密封舱整体漏率的目的。
关键词 密封舱 氦质谱检漏 正压检漏 整体漏率 局部漏率
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金属杜瓦瓶微小漏率检测 被引量：11
5
作者 朱颖峰 卢云鹏 +3 位作者 李海英 肖徽山 和自强 李冰川 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2001年第2期143-146,154,共5页
器件的漏气率大小是决定红外探测器搁置和使用寿命的关键因素之一 ,也是判断军用多元金属杜瓦瓶真空完善性的重要指标 ,特别是常规漏率检测手段难以探测微小漏率是长久以来影响杜瓦瓶成品率的重要因素。文中简要介绍几种真空高灵敏度微... 器件的漏气率大小是决定红外探测器搁置和使用寿命的关键因素之一 ,也是判断军用多元金属杜瓦瓶真空完善性的重要指标 ,特别是常规漏率检测手段难以探测微小漏率是长久以来影响杜瓦瓶成品率的重要因素。文中简要介绍几种真空高灵敏度微小漏率测试方法、基本原理和测试结果 ,针对杜瓦瓶的气密性要求采用相应微小漏率测试手段 ,并在生产中获得应用。 展开更多
关键词 杜瓦瓶 漏率检测 真空寿命 红外探测器
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利用声学检测方法估算气体阀门的内漏率 被引量：12
6
作者 张颖 戴光 +2 位作者 韩波 李国政 赵俊茹 《大庆石油学院学报》 CAS 北大核心 2005年第4期79-82,共4页
根据动态流体源的发声特性,给出了用内漏声源振幅估算气体阀门内漏率的经验公式;通过对不同阀门内漏过程的声学检测,确定了试验阀门内漏率估算的状态因数和形状因数,分析了二次截流现象对内漏声源强度的影响,验证了气体介质在内漏过程... 根据动态流体源的发声特性,给出了用内漏声源振幅估算气体阀门内漏率的经验公式;通过对不同阀门内漏过程的声学检测,确定了试验阀门内漏率估算的状态因数和形状因数,分析了二次截流现象对内漏声源强度的影响,验证了气体介质在内漏过程中存在的阻塞现象,得到了空气的试验阻塞内漏率. 展开更多
关键词 阀门 内漏率 声源强度 动态流体源
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球面密封结构的漏率预估 被引量：24
7
作者 周鑫 庞贺伟 刘宏阳 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期762-766,共5页
球面密封结构是国内卫星推进系统管路中经常使用的密封结构,其工作性能直接关系着卫星的在轨安全。针对球面密封的密封机理,通过非线性有限元法分析了安装条件下的密封状态。在此基础上,研究了泄漏气流的流动状态,结合Roth模型建立了分... 球面密封结构是国内卫星推进系统管路中经常使用的密封结构,其工作性能直接关系着卫星的在轨安全。针对球面密封的密封机理,通过非线性有限元法分析了安装条件下的密封状态。在此基础上,研究了泄漏气流的流动状态,结合Roth模型建立了分子流状态下的漏率计算模型,得出了泄漏漏率和拧紧力矩、表面粗糙度的对应关系,对检漏条件下结构的漏率进行了预估。在理论计算的同时,通过实验证明了漏率预估方法的准确性。 展开更多
关键词 球面密封结构 漏率预估 分子流 非线性有限元分析 实验验证
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耐压闸门密封圈泄漏率预测的理论与实验研究 被引量：9
8
作者 吕祥奎 黄灏 +1 位作者 黄晓明 许国良 《华中科技大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期51-55,共5页
针对大型耐压闸门橡胶O形圈密封结构进行泄漏机理研究.根据界面泄漏机理分析,将接触界面区域的微观细致结构视为多孔介质,建立了基于多孔渗流原理泄漏率预测模型,其中影响泄漏率的两个关键参数渗透率和接触宽度,分别依据粗糙峰和密封圈... 针对大型耐压闸门橡胶O形圈密封结构进行泄漏机理研究.根据界面泄漏机理分析,将接触界面区域的微观细致结构视为多孔介质,建立了基于多孔渗流原理泄漏率预测模型,其中影响泄漏率的两个关键参数渗透率和接触宽度,分别依据粗糙峰和密封圈变形过程的有限元分析结果计算获得.应用所提出的预测模型对三种硬度的O形圈密封性能进行了比较,发现硬度较低的密封圈在事故条件下(对应内部升压工况)可以保持较好的紧密性.搭建了耐压闸门的泄漏率测试试验台,结果表明试验测量值与理论预测值符合良好. 展开更多
关键词 漏漏率预测 耐压闸门 橡胶O形圈 接触界面 渗流原理
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气体介质、压强及校准方法对真空漏孔漏率的影响 被引量：8
9
作者 王维 钟博扬 +3 位作者 叶小球 李芳芳 陈长安 高涛 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第12期1135-1140,共6页
真空标准漏孔作为标定检漏仪或被测量漏率的参考标准,在核工业、航天航空等领域得到了广泛应用。本文利用氦质谱检漏仪和定容法对标准漏孔(铭牌漏率:2.3×10-6Pa·m3/s,He,23℃)进行校准,以为快速地定量研究聚变材料中氘(D2)或... 真空标准漏孔作为标定检漏仪或被测量漏率的参考标准,在核工业、航天航空等领域得到了广泛应用。本文利用氦质谱检漏仪和定容法对标准漏孔(铭牌漏率:2.3×10-6Pa·m3/s,He,23℃)进行校准,以为快速地定量研究聚变材料中氘(D2)或氦(He)行为提供有用的参考。研究结果表明,漏孔漏率随入口端气体压强的增大而增大,并与漏孔两端气体介质压强的平方差呈线性递增关系。同一入口压强下,D2的漏率高于He,且漏率之间的差异随压强增加而变大。同一条件下,定容法和氦质谱检漏仪测得漏孔中示漏气体He的漏率值基本相等,但示漏气体为D2时,氦质谱检漏仪测得的漏率值高于定容法。研究还给出了氦质谱检漏仪测量示漏气体D2时漏孔漏率的修正关系式。 展开更多
关键词 漏率 校准 定容法 氦质谱检漏仪 气体介质 压强
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航天器氦质谱真空容器总漏率检测的灵敏度及可信度探讨 被引量：7
10
作者 闫荣鑫 洪晓鹏 +1 位作者 钟亮 师立侠 《真空》 CAS 北大核心 2011年第5期1-3,共3页
依据航天器氦质谱真空容器总漏率检测原理,讨论了检漏仪和真空容器直接相连、同真空容器主真空泵并联、在前级泵和主真空泵间等连接方式,逐项研究了总漏率测试的最小可检漏率、反应时间,分析各种连接方式的应用特点,认为对大型航天器氦... 依据航天器氦质谱真空容器总漏率检测原理,讨论了检漏仪和真空容器直接相连、同真空容器主真空泵并联、在前级泵和主真空泵间等连接方式,逐项研究了总漏率测试的最小可检漏率、反应时间,分析各种连接方式的应用特点,认为对大型航天器氦质谱真空容器检漏系统,检漏仪连接在前级泵和主泵之间可得到较好的灵敏度和反应时间。通过测量不确定度的分析与评定,确定一般航天器氦质谱真空容器总漏率检测的相对标准不确定度小于10%。 展开更多
关键词 航天器 氦质谱 最小可检漏率 可信度
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载人航天器密封系统漏率设计方法 被引量：9
11
作者 李兴乾 张伟 +2 位作者 郑昊 张雅彬 李学东 《航天器环境工程》 2013年第6期606-609,共4页
载人航天器密封舱为航天员提供在轨生活、工作的环境,对密封舱及其环控生保系统、热控制系统、推进控制系统等中各管路的密封性能有严格要求。文章提出了一种漏率设计方法,建立了相应的漏率检测系统,并依据该方法制定了密封舱体和各管... 载人航天器密封舱为航天员提供在轨生活、工作的环境,对密封舱及其环控生保系统、热控制系统、推进控制系统等中各管路的密封性能有严格要求。文章提出了一种漏率设计方法,建立了相应的漏率检测系统,并依据该方法制定了密封舱体和各管路的漏率设计和指标分配的流程。本流程可用作载人航天器舱体密封系统、管路密封系统的漏率设计,对保证载人航天器在轨安全可靠运行有重要参考价值。 展开更多
关键词 载人航天器 密封系统 漏率设计
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航天器密封管路的气态工质与示漏气体漏率等效关系研究 被引量：6
12
作者 孙伟 闫荣鑫 +2 位作者 韩琰 邵容平 冯琪 《航天器环境工程》 2009年第6期535-539,498,共5页
利用多种气体分析仪,采取四级质谱定量分析技术,分别测定He、N2、Ne、CF4、Kr等气体在不同入口压力下通过不同的人造漏孔的漏率;经过对同工况下气体间漏率比对,研究气体间漏率等效关系。试验结果表明:气体在不同工况下处于不同的流动领... 利用多种气体分析仪,采取四级质谱定量分析技术,分别测定He、N2、Ne、CF4、Kr等气体在不同入口压力下通过不同的人造漏孔的漏率;经过对同工况下气体间漏率比对,研究气体间漏率等效关系。试验结果表明:气体在不同工况下处于不同的流动领域,且其漏率与入口压力存在着不同的数值关系,经分析试验结果得出适用于气体全流域的漏率经验公式;气体间漏率的等效关系在低漏率及高漏率端始终呈平滑的线性关系,而在中间的过渡区域呈四或五次多项式关系;但是CF4与He的漏率等效性呈线性关系,显示出多原子分子与单、双原子分子在粒子输运过程中存在着差异。试验结果为示漏工质漏率指标的制定提供了基础数据。 展开更多
关键词 密封管路 漏率 等效性 质谱分析
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真空室压升法测量液态工质漏率可行性分析 被引量：7
13
作者 孙伟 闫荣鑫 +1 位作者 韩琰 邵容平 《航天器环境工程》 2011年第5期467-470,共4页
文章旨在探讨压升法测量液态工质漏率的可行性,研究液体泄漏的试验方法。首先根据液体饱和蒸气压的理论分析,得出液体挥发引起的定容压力增量;之后通过微进样系统,采用真空室静态升压方法,分别以全氟三乙胺和乙二醇水溶液为研究对象进... 文章旨在探讨压升法测量液态工质漏率的可行性,研究液体泄漏的试验方法。首先根据液体饱和蒸气压的理论分析,得出液体挥发引起的定容压力增量;之后通过微进样系统,采用真空室静态升压方法,分别以全氟三乙胺和乙二醇水溶液为研究对象进行试验分析,研究得出漏入液体量V与压力变化ΔP成线性关系,与理论分析计算结果相符合,证明了压升法测液态工质漏率的可行性;最后提出了微量采样系统进行比对测量液态工质漏率的压升试验方法及计算公式。研究结果表明,压升法可有效地测量液态工质漏率,为液体的流动试验研究提供参考依据。 展开更多
关键词 静态压升法 液态工质 漏率 理论分析 试验研究
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用于爆炸容器的O型密封圈漏率的实验研究 被引量：2
14
作者 随亚光 唐仕英 +1 位作者 马艳军 陈博 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期66-69,101,共5页
爆炸容器的密封是靠密封圈和法兰密封面配合完成的,对密封的要求较高,气体泄漏率必须小于10-7Pa.m3/s。爆炸后,大量容器内充填物在冲击波的作用下堆积在密封法兰处,密封圈受到1～2 h的升温-冷却过程。设计一种能够对O型橡胶圈漏率进行... 爆炸容器的密封是靠密封圈和法兰密封面配合完成的,对密封的要求较高,气体泄漏率必须小于10-7Pa.m3/s。爆炸后,大量容器内充填物在冲击波的作用下堆积在密封法兰处,密封圈受到1～2 h的升温-冷却过程。设计一种能够对O型橡胶圈漏率进行检测的密封法兰装置,并在100,150,200℃下对F117氟橡胶O型密封圈密封性能进行实验研究。结果表明:温度对漏率的影响较明显,漏率随着温度升高增大;实验所用的F117氟橡胶在压差为0.9 MPa、最高温度为200℃时,最大漏率保持在10-7Pa.m3/s量级,符合爆炸容器密封要求;设计的法兰密封装置、实验系统以及试验方法能够满足密封圈高温下的密封性能考核要求。 展开更多
关键词 O型圈 漏率 应力松弛 爆炸容器
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液态工质与示漏气体He的漏率等效关系研究 被引量：6
15
作者 孙伟 闫荣鑫 +1 位作者 韩琰 邵容平 《航天器环境工程》 2010年第2期190-193,132,共4页
研究密封管路液态工质与示漏气体He间的漏率等效关系,对提高检漏工作的准确性和可靠性有着重要意义。文章以环控生保系统中密封管路所用的液态工质(全氟三乙胺,乙二醇)为研究对象,对液体的流态及泄漏的相态进行理论分析,得出液态工质与H... 研究密封管路液态工质与示漏气体He间的漏率等效关系,对提高检漏工作的准确性和可靠性有着重要意义。文章以环控生保系统中密封管路所用的液态工质(全氟三乙胺,乙二醇)为研究对象,对液体的流态及泄漏的相态进行理论分析,得出液态工质与He气漏率等效关系的数值区间,并利用质谱分析技术,采用金属压扁型漏孔模拟真实的泄漏孔隙进行试验研究。试验结果表明,液态工质与示漏气体的漏率比值在理论数值区间之内,流动过程中呈现两相流的状态,并且乙二醇的漏率要比He气小,而全氟三乙胺的漏率要比He气大。试验结果为研究液体泄漏过程及液、气漏率等效关系提供了基本方法和基础数据。 展开更多
关键词 检漏 漏率 等效性 质谱分析
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气体间漏率等效关系的直接模拟蒙特卡洛分析 被引量：2
16
作者 孙伟 闫荣鑫 +1 位作者 孙立臣 邵容平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期1-5,共5页
研究气体间漏率的等效关系,对提高检漏数据判读的准确性具有重要意义。本文基于对金属压扁型漏孔的研究,通过建立分析模型,运用直接模拟蒙特卡罗法数值模拟方法得出了气态工质的漏率曲线及不同工质间漏率的等效关系,验证了气态工质泄漏... 研究气体间漏率的等效关系,对提高检漏数据判读的准确性具有重要意义。本文基于对金属压扁型漏孔的研究,通过建立分析模型,运用直接模拟蒙特卡罗法数值模拟方法得出了气态工质的漏率曲线及不同工质间漏率的等效关系,验证了气态工质泄漏模型的正确性,可实现已知示漏气体漏率情况下实际工质漏率的虚拟预示。研究结果表明,不同气态工质在同一条件下漏率存在着较大差异,但都随两端压差增大而增大,呈近二次多项式变化趋势,仿真结果与理论分析相符。气态工质间漏率等效性在He漏率≤10-6Pa·m^3/s和He漏率≥10-3Pa·m^3/s时趋于恒值;而当He漏率在[10-6,10-3]Pa·m3/s时,漏率等效性存在着先上升后下降的多项式变化形式,且最大值出现在这一区域之间。研究结果为实际工质与示漏工质间漏率等效数值研究提供了基本方法和参考数据。 展开更多
关键词 漏率 等效性 直接模拟蒙特卡罗法 真空
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大型真空系统氦检漏率的快速准确检测方法 被引量：6
17
作者 廖旭东 杨丹 +2 位作者 冯晓 陈涛 白国云 《真空》 CAS 2012年第3期22-25,共4页
大型真空系统检漏往往耗时长、效率低。本文分析了氦气通过漏孔进入氦质谱检漏仪形成检漏信号的规律,并据此建立检漏信号数学模型,确定漏孔的最终稳态泄漏信号。基于上述分析,提出漏孔漏率的一种快速预测方法。该方法用于大型真空系统... 大型真空系统检漏往往耗时长、效率低。本文分析了氦气通过漏孔进入氦质谱检漏仪形成检漏信号的规律,并据此建立检漏信号数学模型,确定漏孔的最终稳态泄漏信号。基于上述分析,提出漏孔漏率的一种快速预测方法。该方法用于大型真空系统检漏能准确预测被检部位的漏率,能显著缩短检漏时间,提高检漏效率。 展开更多
关键词 氦质谱检漏 快速准确检测 漏率预测
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柱塞密封结构的漏率预估 被引量：5
18
作者 王勇 闫荣鑫 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期60-63,共4页
柱塞密封结构是飞船管路系统常用的一种密封结构形式,故研究柱塞密封结构的密封性能具有重要的工程意义。文中,通过对柱塞密封结构密封机理的分析,给出了一个计算其漏率的理论公式,并与试验数据进行了对比。研究结果表明:该公式能较好... 柱塞密封结构是飞船管路系统常用的一种密封结构形式,故研究柱塞密封结构的密封性能具有重要的工程意义。文中,通过对柱塞密封结构密封机理的分析,给出了一个计算其漏率的理论公式,并与试验数据进行了对比。研究结果表明:该公式能较好地预估柱塞密封结构的漏率值。本文所得的结论可以为柱塞密封结构的设计提供理论参考依据。 展开更多
关键词 柱塞密封结构 密封 分子流 漏率预估
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毛细管中气溶胶漏率与气体漏率相关性研究 被引量：3
19
作者 张志弘 党海军 刘龙波 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1517-1521,共5页
在气溶胶泄漏评估中,需深入分析气溶胶漏率与气体漏率的相关性。本文归纳总结了气体漏率和气溶胶漏率的计算方法,对不同条件下毛细管中的亚微米级气溶胶漏率进行了实验研究,分析了上游数浓度、气体流速和上游压力对气溶胶泄漏的影响。... 在气溶胶泄漏评估中,需深入分析气溶胶漏率与气体漏率的相关性。本文归纳总结了气体漏率和气溶胶漏率的计算方法,对不同条件下毛细管中的亚微米级气溶胶漏率进行了实验研究,分析了上游数浓度、气体流速和上游压力对气溶胶泄漏的影响。结果表明:当气体漏率高于10-4 Pa·m3·s-1时,气溶胶漏率和气体漏率成线性关系;当气体漏率低于10-4 Pa·m3·s-1时,气溶胶漏率的降低速率较气体漏率的更迅速,对于亚微米气溶胶,扩散沉积是造成气溶胶损失的主要机制。为方便使用,本文提出一个在一定假设条件下利用气体漏率和漏孔长度对漏孔中的气溶胶漏率进行估算的方法。 展开更多
关键词 气溶胶泄漏 气体漏率 毛细管
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分子流状态平面密封结构漏率预估 被引量：5
20
作者 杜秋华 杜海深 +1 位作者 巫宗萍 李超 《真空》 CAS 2012年第1期36-38,共3页
本文结合Roth模型建立了分子流状态下的漏率计算模型,得出了平面密封泄漏漏率与密封力矩、密封面粗糙度之间的对应关系,同时还给出为保证分子流状态,密封力矩、密封面粗糙度应满足的条件。在理论计算的同时,还通过实验证明了漏率预估方... 本文结合Roth模型建立了分子流状态下的漏率计算模型,得出了平面密封泄漏漏率与密封力矩、密封面粗糙度之间的对应关系,同时还给出为保证分子流状态,密封力矩、密封面粗糙度应满足的条件。在理论计算的同时,还通过实验证明了漏率预估方法的准确性。 展开更多
关键词 平面密封 Roth模型 分子流 漏率预估
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