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基于亚像素综合定位匹配算法的MEMS平面运动测量 被引量：6
1
作者 谢勇君 史铁林 +1 位作者 白金鹏 来五星 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2005年第2期92-96,共5页
动态测试对MEMS的设计、制造和可靠性具有非常重要的意义.提出了快速高精度的综合亚像素定位匹配算法,应用于MEMS平面运动测量.该综合算法把标准化协方差相关法、亚像素步长相关法、曲面拟合法、序惯相似性检测算法和单纯形法有机结合,... 动态测试对MEMS的设计、制造和可靠性具有非常重要的意义.提出了快速高精度的综合亚像素定位匹配算法,应用于MEMS平面运动测量.该综合算法把标准化协方差相关法、亚像素步长相关法、曲面拟合法、序惯相似性检测算法和单纯形法有机结合,综合运用各算法的优点,达到了提高亚像素定位速度和精度的目的.通过位移测量实验和对硅微陀螺仪质量块面内振动及谐振频率的测量,验证了该综合算法的可行性和有效性. 展开更多
关键词 MEMS 运动测量 匹配算法 亚像素 平面 综合算法 曲面拟合法 硅微陀螺仪 动态测试 像素定位 有机结合 单纯形法 检测算法 综合运用 谐振频率 面内振动 测量实验 定位速度 相关法 高精度 可靠性 协方差 标准化 相似性 质量块
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