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TDDFT-SOS Studies on the Polarizabilities and Second-order Hyperpolarizabilities of Zn_(3)O_(3) II-VI Semiconductor Clusters
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作者 QIU Yong-Qing LIU Yi-Chun 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1359-1364,共6页
The geometrical structure of semiconductor clusters including Zn_(3)O_(3) was optimized by the DFT B3LYP method. With the same basis sets, dipole moments, polarizabilities and secondorder hyperpolarizabilities have be... The geometrical structure of semiconductor clusters including Zn_(3)O_(3) was optimized by the DFT B3LYP method. With the same basis sets, dipole moments, polarizabilities and secondorder hyperpolarizabilities have been calculated and compared with the results obtained by TDDFT B3LYP method combined with sum-over-state (SOS) formula. The calculation results indicate that the dipole moments of the ground state depend on the atom radius and electronegative differences between elements and are their balance point as well. The polarizabilities of the clusters accord with the rule of the corresponding energy transformation from ground to excited state. The results predict an increase of second-order hyperpolarizabilities with increasing the distances between atoms in the clusters as well as a decrease of the polarizabilities and second-order hyperpolarizabilities in the same serial of semiconductor clusters with increasing the dipole moments of the ground states. The changes of dipole moments in ground states are inconsistent with transition moments. Spatial structure, charge transfer and other factors play an important role in composing the transition moments. 展开更多
关键词 Ⅱ-Ⅵsemiconductor clusters TDDFT method POLARIZABILITIES second-order hyperpolarizabilities
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Semiconductor clusters enable high-efficiency extraction of hot electrons from gold nanorods for photocatalytic organic conversions
2
作者 Jia-Xing Liu Hao Ma +7 位作者 Shang-Fu Yuan Jing-Ni Zhang Jing-Guan Liang Rui Zhou Dong-Sheng Li Wenbin Chen Ming-De Li Tao Wu 《Science China Chemistry》 2025年第8期3574-3585,共12页
Plasmon-induced hot energy in metal nanostructures holds great promise for photocatalytic organic conversions.However,maintaining the high-energy state of hot electrons within these structures remains challenging,even... Plasmon-induced hot energy in metal nanostructures holds great promise for photocatalytic organic conversions.However,maintaining the high-energy state of hot electrons within these structures remains challenging,even in hybrid metal-semiconductor heterojunctions.The rapid relaxation of hot electrons(<1 ps)due to a thick-shell and loosely bound semiconductor layer limits their extraction efficiency and utilization effectiveness during photocatalysis.Herein,we fabricated a novel metalsemiconductor heterojunction(P2-Au)with ultrathin-shell semiconductor layer by combing ultra-small metal chalcogenide semiconductor clusters(P2)with gold nanorods(Au NRs),which exhibits high-efficiency extraction of hot electrons and photocatalytic application.The robust binding of P2 cluster,with its smaller volume and larger energy level splitting compared to large-sized quantum dots,not only significantly increases the yield of hot electrons but also enables their rapid extraction and sustains long-lived(>2 ns)high-energy states.As a proof of concept,the composite photocatalyst achieves near-infrared-lightdriven C(sp^(3))-S cross-coupling reactions for the first time.This protocol effectively produces over 50 alkylthioethers from a wide scope range of non-active alkyl bromides and chlorides,aryl and alkyl thiols.This work provides a new strategy for highefficiency extraction of hot electrons within plasmonic metal nanostructures and paves the way for hot electron-driven photocatalytic organic transformations. 展开更多
关键词 semiconductor cluster gold nanorod extraction of hot electrons alkylthioethers NIR light-driven activation of inert alkyl halides
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Electronic States of Some Semiconductor Clusters
3
作者 谭航 冯平义 廖沐真 《Tsinghua Science and Technology》 SCIE EI CAS 1999年第2期86-89,共4页
Potential surfaces and equilibrium geometries of InAs 2, In 2As, InAs 2 + and In 2As + were studied using the complete active space multi configuration self consistent field (CASMCSCF) technique. Two electronic stat... Potential surfaces and equilibrium geometries of InAs 2, In 2As, InAs 2 + and In 2As + were studied using the complete active space multi configuration self consistent field (CASMCSCF) technique. Two electronic states, namely 2B 2 and 2B 1, were found to prevail as the ground states for the InAs 2 and In 2As trimers, respectively. The corresponding adiabatic ionization energies were computed and the leading configurations of the ground states were analyzed according to the wavefunctions. 展开更多
关键词 electronic state equilibrium geometry semiconductor cluster complete active space multi configuration self consistent field (CASMCSCF)
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基于多树遗传编程的存储仓与组合设备集成系统优化
4
作者 陈良超 赖一铭 +1 位作者 张思维 乔岩 《华侨大学学报(自然科学版)》 2026年第1期20-27,共8页
为应对先进半导体制造中存储仓集成型组合设备在高频工艺切换下的复杂调度问题,以最小化最大完工时间为优化目标,提出一种多树遗传编程方法。针对配方切换、腔室清洗、存储容量及机械臂搬运等多重约束条件,构建多种典型工况场景,以验证... 为应对先进半导体制造中存储仓集成型组合设备在高频工艺切换下的复杂调度问题,以最小化最大完工时间为优化目标,提出一种多树遗传编程方法。针对配方切换、腔室清洗、存储容量及机械臂搬运等多重约束条件,构建多种典型工况场景,以验证所提方法的有效性。实验框架采用双语法树结构:一棵语法树用于生成晶圆批次的进入顺序;另一棵用于制定加工腔的分配策略。两棵语法树通过协同演化机制实现联合优化,在平衡搜索效率与解质量方面表现出良好性能。在3个具有代表性的案例中,将所提方法与人工设计调度规则进行比较。实验结果表明:所提方法在不同工况下具备优越的调度性能与鲁棒性,最大完工时间平均降低25%~45%。 展开更多
关键词 组合设备 多树遗传编程 调度 半导体制造
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Polynomial Approach to Optimal One-wafer Cyclic Scheduling of Treelike Hybrid Multi-Cluster Tools via Petri Nets 被引量:8
5
作者 Fajun Yang Naiqi Wu +1 位作者 Yan Qiao Rong Su 《IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica》 EI CSCD 2018年第1期270-280,共11页
A treelike hybrid multi-cluster tool is composed of both single-arm and dual-arm cluster tools with a treelike topology. Scheduling such a tool is challenging. For a hybrid treelike multi-cluster tool whose bottleneck... A treelike hybrid multi-cluster tool is composed of both single-arm and dual-arm cluster tools with a treelike topology. Scheduling such a tool is challenging. For a hybrid treelike multi-cluster tool whose bottleneck individual tool is process-bound, this work aims at finding its optimal one-wafer cyclic schedule. It is modeled with Petri nets such that a onewafer cyclic schedule is parameterized as its robots' waiting time.Based on the model, this work proves the existence of its onewafer cyclic schedule that features with the ease of industrial implementation. Then, computationally efficient algorithms are proposed to find the minimal cycle time and optimal onewafer cyclic schedule. Multi-cluster tool examples are given to illustrate the proposed approach. The use of the found schedules enables industrial multi-cluster tools to operate with their highest productivity. 展开更多
关键词 Multi-cluster tool Petri nets SCHEDULING semiconductor manufacturing
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Cycle Time Analysis for Wafer Revisiting Process in Scheduling of Single-arm Cluster Tools
6
作者 Yu-Xi Sun Nai-Qi Wu 《International Journal of Automation and computing》 EI 2011年第4期437-444,共8页
Some wafer fabrication processes performed by cluster tools require revisiting. With wafer revisiting, a cluster tool is very difficult to be scheduled due to a large number of possible schedules for the revisiting pr... Some wafer fabrication processes performed by cluster tools require revisiting. With wafer revisiting, a cluster tool is very difficult to be scheduled due to a large number of possible schedules for the revisiting process. Atomic layer deposition (ALD) is a typical process with wafer revisiting that should be performed by cluster tools. This paper discusses the scheduling problem of single-arm cluster tools for the ALD process. In scheduling such a system, the most difficult part is to schedule the revisiting process such that the cycle time is minimized. Thus, this paper studies the revisiting process of ALD with revisiting times k = 3, 4, and 5, and analytical expressions are obtained to calculate the cycle time for the k possible schedules. Then, the schedule with the minimal cycle time is the optimal one. In this way, the scheduling problem of such a revisiting process becomes very simple and this is a significant improvement in scheduling cluster tools with wafer revisiting. Illustrative example is presented to show the application of the proposed method. 展开更多
关键词 SCHEDULING semiconductor manufacturing cluster tools Petri net automated manufacturing systems.
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Geometric Structures and Electronic Properties of Co_(2)Ge_(10)^(-/0):Anion Photoelectron Spectroscopy and Quantum Chemistry Calculations
7
作者 Wen-Shuai Dai Xi-Long Li +2 位作者 Hong-Guang Xu Xi-Ling Xu Wei-Jun Zheng 《Chinese Journal of Chemical Physics》 2025年第5期683-690,I0109-I0119,I0149,共20页
The structure and electronic properties of Co_(2)Ge_(10)^(-)anion and its neutral counterpart were investigated by anion photoelectron spectroscopy and theoretical calculations.The experimental vertical detachment ene... The structure and electronic properties of Co_(2)Ge_(10)^(-)anion and its neutral counterpart were investigated by anion photoelectron spectroscopy and theoretical calculations.The experimental vertical detachment energy of Co_(2)Ge_(10)^(-)was measured to be 2.86±0.08 eV.The lowest-energy isomer of Co_(2)Ge_(10)^(-)is in a doublet state and has a cage-like structure with Cs symmetry,which can be constructed by a tetragonal bipyramid on top of a pentagonal bipyramid and these two bipyramid structures share a common Co atom.The most stable structure of neutral Co_(2)Ge_(10)resembles its anionic counterpart and it is in a triplet state.The natural population analysis showed that the inner Co atom of both the anionic and neutral Co_(2)Ge_(10)acquires negative charge from the neighboring Ge atoms.The outer Co atom has a larger spin moment than the inner Co atom,indicating that the magnetic moments of Co_(2)Ge_(10)^(-/0)are mainly contributed by the outer Co atom.Analyses of the density of states and molecular orbitals indicated that there are a few highly delocalized molecular orbitals in Co_(2)Ge_(10)^(-),which are mainly contributed by Ge 4s atomic orbitals. 展开更多
关键词 semiconductor clusters PHOTOELECTRON Density functional theory Geometric structures
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双臂机械手组合设备在清洁情况下的调度优化
8
作者 朱清华 潘泓廷 《控制理论与应用》 北大核心 2025年第9期1858-1866,共9页
在半导体晶圆加工过程中,组合设备中的加工腔环境达到污染阈值时需要进行清洁以确保加工晶圆质量.针对存在晶圆驻留时间约束及并行加工腔配置的双臂机械手组合设备,在一个加工腔达到污染阈值需进行清洁操作的情况,本文研究了机械手的调... 在半导体晶圆加工过程中,组合设备中的加工腔环境达到污染阈值时需要进行清洁以确保加工晶圆质量.针对存在晶圆驻留时间约束及并行加工腔配置的双臂机械手组合设备,在一个加工腔达到污染阈值需进行清洁操作的情况,本文研究了机械手的调度.由于加工腔需清洁,组合设备的生产周期会变长.为此,本文提出了加载虚拟晶圆的方法来延长生产周期并使机械手的活动顺序与清洁前保持一致,使得清洁操作能获得足够的时间来完成.在确保正常运行的加工腔中晶圆的驻留时间约束得到满足的条件下,根据各步骤的工作负载平衡的不同情况,提出算法采用解析式推导计算新的生产周期和机械手等待事件的持续时间,使组合设备进入暂态进行清洁操作以及使组合设备恢复到稳态过程运行.本文提出的多项式复杂度的算法,提高了双臂机械手组合设备在清洁情况下的生产效率. 展开更多
关键词 半导体制造 腔室清洁 调度 组合设备
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团簇组装一维过渡金属卤化物原子线的理论研究
9
作者 张馨晨 周思 赵纪军 《四川大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第6期1447-1455,共9页
一维原子线具有确定的分子式、精准的结构、表面无悬挂键等特性,为原子级的新材料创制和器件设计提供了丰富的构造单元.本文采用第一性原理高通量计算,系统地探究了多种一维过渡金属卤化物原子线的结构、电子结构和磁性,利用零维团簇构... 一维原子线具有确定的分子式、精准的结构、表面无悬挂键等特性,为原子级的新材料创制和器件设计提供了丰富的构造单元.本文采用第一性原理高通量计算,系统地探究了多种一维过渡金属卤化物原子线的结构、电子结构和磁性,利用零维团簇构建了一系列具有MCl4(M为3d、4d、5d过渡金属)分子式和多种元素组分的原子线纳米材料.揭示了团簇组装方式和卤素配位环境对于原子线物理性质的影响.计算结果表明:一维过渡金属卤化物原子线具有丰富的电子结构和磁性,并存在2个可能的结构相,可用于相变存储、自旋电子学器件等. 展开更多
关键词 一维原子线 过渡金属卤化物 团簇组装 磁性半导体
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一种Q态纳米CdS的新型制备法——聚合物分散法 被引量:9
10
作者 闫云辉 章伟光 +1 位作者 范军 纪欣 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第14期1303-1306,i003,共5页
采用一种Q态CdS的新型制备法——聚合物分散法,即用水溶性聚合物溶液作为分散剂,用2-巯基乙醇(或十二硫醇)作表面修饰剂,在聚合物网络中构筑出四种粒径的、单分散性的Q-CdS.通过UV-Vis光谱和TEM考察了Q-CdS的粒径及分布情况,并用FL光谱... 采用一种Q态CdS的新型制备法——聚合物分散法,即用水溶性聚合物溶液作为分散剂,用2-巯基乙醇(或十二硫醇)作表面修饰剂,在聚合物网络中构筑出四种粒径的、单分散性的Q-CdS.通过UV-Vis光谱和TEM考察了Q-CdS的粒径及分布情况,并用FL光谱研究了不同尺寸的Q-CdS的荧光性能.结果表明,采用聚合物分散法可以方便、快捷地得到粒径小且分布窄的Q-CdS纳米粒子,这些粒子在紫外光谱及荧光光谱上均表现出明显的量子尺寸效应. 展开更多
关键词 分散法 制备法 纳米CDS UV-VIS光谱 CDS纳米粒子 2-巯基乙醇 量子尺寸效应 聚合物溶液 聚合物网络 十二硫醇 分布情况 单分散性 荧光性能 光谱研究 荧光光谱 紫外光谱 分散剂 水溶性 修饰剂 粒径 TEM 表面
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Sol-Gel法制备有机改性硅酸盐及其掺杂复合光学材料研究进展 被引量:11
11
作者 征茂平 金燕苹 +1 位作者 顾明元 金国良 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期127-129,共3页
本文介绍了sol- gel法制备有机改性硅酸盐及其掺杂光学材料 ,系统评论了有机改性硅酸盐及其掺杂光学材料近年来的研究进展 ,并对将来的研究方向进行了预测。
关键词 有机改性硅酸盐 激光有机染料 半导体 金属团簇
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几种新型光催化剂及其研究进展 被引量:22
12
作者 余灯华 廖世军 江国东 《工业催化》 CAS 2003年第6期48-52,共5页
介绍了近年来出现的一些新型非TiO2光催化剂的研究情况,包括钛酸盐类、铌酸盐类和钽酸盐类等层状结构光催化剂、隧道结构光催化剂、钙钛矿复合氧化物光催化剂和分子筛光催化剂。同时简要介绍了层状化合物的层间或分子筛的孔道中封装的... 介绍了近年来出现的一些新型非TiO2光催化剂的研究情况,包括钛酸盐类、铌酸盐类和钽酸盐类等层状结构光催化剂、隧道结构光催化剂、钙钛矿复合氧化物光催化剂和分子筛光催化剂。同时简要介绍了层状化合物的层间或分子筛的孔道中封装的纳米半导体光催化剂。 展开更多
关键词 光催化剂 钛酸盐 钙钛矿 半导体纳米簇
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Co掺杂(ZnO)_(12)团簇的结构和磁性质 被引量:7
13
作者 谢建明 陈红霞 《计算物理》 CSCD 北大核心 2014年第3期372-378,共7页
采用第一性原理密度泛函理论系统地研究Co原子单掺杂和双掺杂(ZnO)12团簇的结构和磁性质.考虑三种掺杂方式:替代掺杂,外掺杂和内掺杂.首先比较各种掺杂团簇的稳定性.结果表明,不管是单掺杂还是双掺杂,外掺杂团簇都是最稳定结构.在结构... 采用第一性原理密度泛函理论系统地研究Co原子单掺杂和双掺杂(ZnO)12团簇的结构和磁性质.考虑三种掺杂方式:替代掺杂,外掺杂和内掺杂.首先比较各种掺杂团簇的稳定性.结果表明,不管是单掺杂还是双掺杂,外掺杂团簇都是最稳定结构.在结构优化的基础上,对掺杂的(ZnO)12团簇进行磁性计算.发现团簇磁矩主要来自Co-3d态的贡献,4s和4p态也贡献了一小部分磁矩.由于轨道杂化,相邻的Zn和O原子也产生少量自旋.Co原子之间的磁性耦合由直接的Co-Co反铁磁耦合和Co和O原子之间通过p-d杂化产生的铁磁耦合这两种相互作用的竞争决定.研究发现外双掺杂团簇存在铁磁耦合,在纳米量子器件有潜在的应用价值. 展开更多
关键词 稀磁半导体 团簇 密度泛函理论
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半导体晶圆制造中组合设备运行和控制综述 被引量:8
14
作者 闵雁 伍乃骐 《工业工程》 北大核心 2012年第2期1-15,共15页
作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用。使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低。由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行... 作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用。使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低。由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行一台组合设备相当困难。目前已有大量的有关组合设备建模、性能分析及调度等相关研究工作。本文回顾了这些研究工作的进展及其使用的研究方法,探讨了现有的方法的优缺点。基于这些分析,指出了进一步的研究方向。 展开更多
关键词 半导体制造 组合设备 生产调度 系统建模和分析
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复杂单臂机器人集束型装备调度模型 被引量:7
15
作者 李林瑛 胡静涛 《信息与控制》 CSCD 北大核心 2009年第4期431-436,共6页
针对一类存在并行和可重入腔的复杂单臂机器人集束型装备的调度问题,通过对加工腔、机器人、并行和可重入腔中的各个机器人活动进行分析,推导出对应的时序约束关系,建立了问题的混合整数规划模型,从而获得最优的机器人动作序列和最小周... 针对一类存在并行和可重入腔的复杂单臂机器人集束型装备的调度问题,通过对加工腔、机器人、并行和可重入腔中的各个机器人活动进行分析,推导出对应的时序约束关系,建立了问题的混合整数规划模型,从而获得最优的机器人动作序列和最小周期.调度实例表明了模型的可行性和高效性. 展开更多
关键词 半导体制造 集束型装备 混合整数规划模型 并行腔 可重入腔
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有晶圆滞留时间约束的集束型装备调度问题研究 被引量:7
16
作者 卢睿 李林瑛 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期1775-1780,共6页
考虑有滞留时间约束的集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括双臂机械手和加工模块时序约束关系的线性规划模型。在此模型基础上,分析了装备双臂机械手和加工模块周期性加工和搬运晶圆过程,从理论上证明了集束型装备可调度性的... 考虑有滞留时间约束的集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括双臂机械手和加工模块时序约束关系的线性规划模型。在此模型基础上,分析了装备双臂机械手和加工模块周期性加工和搬运晶圆过程,从理论上证明了集束型装备可调度性的充要条件,并提出通过减少并行模块数目、选择合适的加工时间和滞留时间的控制策略,使不可调度方案变的可调度。对模型和可调度性条件进行了仿真实验和工程软件实现,证明了提出的模型和控制策略有助于减少测试晶圆数目,从而提高晶圆生产效率。 展开更多
关键词 半导体制造 集束型装备 双臂机械手 可调度性分析 线性规划模型
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有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究 被引量:5
17
作者 李林瑛 胡静涛 《控制与决策》 EI CSCD 北大核心 2011年第1期37-43,48,共8页
针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了临时晶圆到达时的在线调度问题,描述了调度问题域,建立了问题的数学模型,并根据模型提出了两层调度方法.外层算法通过粒子群优化过程求解临时晶圆的加工顺序;内层算法在给定加工顺序... 针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了临时晶圆到达时的在线调度问题,描述了调度问题域,建立了问题的数学模型,并根据模型提出了两层调度方法.外层算法通过粒子群优化过程求解临时晶圆的加工顺序;内层算法在给定加工顺序的基础上,采用前向和后向递推方法获得可行解空间,并从可行解空间获得最优完工时间.从理论上证明了算法的可行性,并通过仿真结果表明,该方法对求解大规模临时晶圆的调度问题是十分有效的. 展开更多
关键词 半导体制造 集束型装备 在线调度 粒子群优化算法 滞留时间约束
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半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究 被引量:4
18
作者 李林瑛 胡静涛 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1942-1946,共5页
针对单臂机器人的两集束型装备调度问题,利用分解方法将两集束型装备分解为两个单集束型装备。证明了分解后单集束型装备的缓冲模块加工时间必定在一个允许的时间范围内,并建立单集束型装备调度问题的线性规划(Linear Programming,LP)模... 针对单臂机器人的两集束型装备调度问题,利用分解方法将两集束型装备分解为两个单集束型装备。证明了分解后单集束型装备的缓冲模块加工时间必定在一个允许的时间范围内,并建立单集束型装备调度问题的线性规划(Linear Programming,LP)模型,提出了基于LP模型和机器人无碰撞约束条件的搜索算法。以半导体制造化学机械抛光设备为例,验证了模型和算法的有效性。 展开更多
关键词 半导体制造 两集束型装备 调度 线性规划模型
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