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Simulation Analysis of How Scratches Influence Frequency Splitting and Energy Dissipation of Hemispherical Resonator
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作者 Jingyang Guo Henan Liu +1 位作者 Mingjun Chen Jian Cheng 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 2025年第6期135-153,共19页
The fused quartz hemispherical resonator is the core component of the hemispherical resonator gyroscope.It features a complex shape and is Made from a Material that is difficult to process.Scratches are easily introdu... The fused quartz hemispherical resonator is the core component of the hemispherical resonator gyroscope.It features a complex shape and is Made from a Material that is difficult to process.Scratches are easily introduced during grinding,potentially degrading the mass-stiffness-damping symmetry;however,the underlying mechanisms of this influence have not been fully understood.This paper aims to investigate the effects of scratch defects on the frequency splitting and quality factor of the hemispherical resonator.First,finite element models of the hemispherical resonator with scratches are established.Then,the effects of the mass-stiffness factor,as well as the latitude and length of the scratches,on frequency splitting are analyzed.Furthermore,the impacts of latitude,length,and the first four harmonics of the unbalanced mass caused by scratches on thermoelastic damping and anchor loss are examined.Simulation results indicate that scratches above 55°latitude cause frequency splitting solely due to stiffness changes.Frequency splitting caused by scratches of the same size on the inherent rigidity shaft at the rim is approximately 50%of that near the transition fillet.Frequency splitting varies linearly with the volume of material removed by scratches.Scratches have little effect on thermoelastic damping.The first three harmonics of the unbalanced mass due to scratches at the rim are the primary contributors to anchor loss.Finally,focused ion beam trimming experiments are conducted at different locations on the hemispherical resonator.The trends observed in the experimental results are consistent with the simulation results.This work provides guidance for evaluating the impact of scratches on the performance of hemispherical resonators and for developing appropriate trimming processes. 展开更多
关键词 Hemispherical resonator scratch defect Mass-stiffness-damping asymmetry Frequency splitting Thermoelastic damping Anchor loss
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Analysis and improvement of defect-formation of the strip surface in the hot dip strip coating
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作者 LI Wentian and GONG Junjie Hebei Iron & Steel Group Co.,Ltd.,TangSteel,Tangshan 063000,HeBei,China 《Baosteel Technical Research》 CAS 2010年第S1期42-,共1页
In combination with the process technology and equipment at Tangsteel Cold Rolling Mill's 3~# galvanized line,the mechanism of defect-formation of the strip surface in the hot dip galvanized coating has been analy... In combination with the process technology and equipment at Tangsteel Cold Rolling Mill's 3~# galvanized line,the mechanism of defect-formation of the strip surface in the hot dip galvanized coating has been analyzed.Through a series of reform about technology and equipment good solved the defects has been focused on in this paper.The strip surface quality in the hot dip galvanized coating has been improved a lot. 展开更多
关键词 hot galvanizing sink roll imprints dross band strating material scratches stretcher strains chromating defects
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车-路-土耦合作用下聚乙烯燃气管道的失效特性
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作者 郭凯 尤学升 +3 位作者 凌晓 孙宝财 杨凯 刘晓雅 《兰州理工大学学报》 北大核心 2025年第5期62-71,共10页
车载作用下,含划痕缺陷的埋地聚乙烯燃气管道易发生应力集中,这将加快管道的破坏,从而导致管道失效及引发燃爆事故.基于作用力传递分析,建立了阐释车载、土壤、含划痕缺陷聚乙烯管道作用路径的非线性力学耦合模型,分析了载荷、内压、埋... 车载作用下,含划痕缺陷的埋地聚乙烯燃气管道易发生应力集中,这将加快管道的破坏,从而导致管道失效及引发燃爆事故.基于作用力传递分析,建立了阐释车载、土壤、含划痕缺陷聚乙烯管道作用路径的非线性力学耦合模型,分析了载荷、内压、埋深、土壤弹性模量以及划痕深度对管道的影响.结果表明:考虑土体自重情况下,含划痕管道在缺陷区产生应力集中,管道Mises应力与载荷、内压、埋深和缺陷深度的变化成正比,与土壤的弹性模量成反比;车载为5.75 MPa或内压为0.24 MPa时,管道最大Mises应力达到许用应力,内压为0.52 MPa时,管道达到屈服强度而失效;划痕深度较浅时,管道破坏始于划痕前缘中间部分,当缺陷深度与管道壁厚之比a/t≥0.4时,应力集中发生在划痕端点,破坏始于划痕两端. 展开更多
关键词 划痕缺陷 聚乙烯燃气管道 作用力传递 耦合 埋地管道
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考虑晶格缺陷的单晶4H-碳化硅纳米划擦过程分子动力学仿真研究
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作者 黄向明 蔡云辉 +2 位作者 任莹晖 何洪 陈永福 《湖南大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第6期97-105,共9页
关于具有晶格缺陷的单晶碳化硅(SiC)纳米磨削机理尚未完全明晰,通过分子动力学仿真模拟系统,对含晶格缺陷的单晶碳化硅进行了纳米划擦机理的研究.建立了包括金刚石磨粒和具有不同晶格缺陷的4H-SiC仿真模型,通过分子动力学仿真揭示了不... 关于具有晶格缺陷的单晶碳化硅(SiC)纳米磨削机理尚未完全明晰,通过分子动力学仿真模拟系统,对含晶格缺陷的单晶碳化硅进行了纳米划擦机理的研究.建立了包括金刚石磨粒和具有不同晶格缺陷的4H-SiC仿真模型,通过分子动力学仿真揭示了不同缺陷类型对原子间势能、温度、应力和加工性能等关键参数的影响.研究发现,空位缺陷会造成工件原子间势能的不稳定,进而导致划擦后工件温度升高至671 K,而位错缺陷则显示出相对的稳定性.在纳米划擦过程中,含有位错缺陷的晶体展现了最高的平均范式等效应力,达到5.29 GPa.相比之下,存在空位缺陷的晶体表现出较低的应力,为5.07 GPa.这一结果揭示了空位缺陷能够降低材料的屈服强度,从而促进原子移除过程;而位错缺陷则提升了屈服强度,对原子的去除构成了阻碍.此外,空位缺陷抑制了位错成核并减小了损伤层厚度,而位错缺陷导致了明显的位错形成和更深的损伤层. 展开更多
关键词 碳化硅 晶格缺陷 分子动力学 纳米划擦 损伤层厚度
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划痕缺陷对30Ni4CrMoA试样疲劳寿命影响的试验与理论模型
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作者 张梦伟 胡伟平 +3 位作者 徐海斌 马占齐 詹志新 孟庆春 《航空学报》 北大核心 2025年第3期281-295,共15页
制备了30Ni4CrMoA高强度结构钢的光滑试样以及不同划痕深度缺陷的试验件,并对这些试验件进行了疲劳试验测试,获得了含不同深度划痕缺陷和不同应力水平下试验件的疲劳寿命。基于连续损伤力学理论,在原有高周疲劳损伤演化方程的基础上,根... 制备了30Ni4CrMoA高强度结构钢的光滑试样以及不同划痕深度缺陷的试验件,并对这些试验件进行了疲劳试验测试,获得了含不同深度划痕缺陷和不同应力水平下试验件的疲劳寿命。基于连续损伤力学理论,在原有高周疲劳损伤演化方程的基础上,根据划痕根部最大应力分析与划痕深度的关系,以及试样疲劳寿命随划痕深度和应力水平的变化规律,提出了一种综合考虑划痕深度和应力水平影响的划痕影响系数表达式,建立了一种新的考虑划痕影响的等效疲劳损伤演化方程。基于该方程,无需建立划痕的有限元模型,直接采用闭合解法根据积分形式的疲劳寿命表达式即可对含划痕的30Ni4CrMoA试样进行疲劳寿命预估,理论预测结果与试验结果吻合很好,验证了所提方法的有效性和适用性。最后,还讨论了划痕影响系数与缺口疲劳系数的关系,以及划痕根部应力梯度的影响。 展开更多
关键词 划痕缺陷 疲劳 寿命预估 30Ni4CrMoA高强度结构钢 连续损伤力学
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10 kV电缆附件污渍和划痕的识别
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作者 张宗熙 卢耀坤 +2 位作者 陈漫璐 方春华 陈志 《电工材料》 2025年第3期73-76,81,共5页
10 kV电缆附件的污渍和划痕缺陷易使电缆在运行过程中发生故障,为了在电缆运行前检测出故障,采用Canny边缘检测算法识别缺陷。借助Canny算法能去除伪边缘、突出边缘信息,得到污渍和划痕的边缘信息。试验结果表明,污渍和划痕缺陷识别率... 10 kV电缆附件的污渍和划痕缺陷易使电缆在运行过程中发生故障,为了在电缆运行前检测出故障,采用Canny边缘检测算法识别缺陷。借助Canny算法能去除伪边缘、突出边缘信息,得到污渍和划痕的边缘信息。试验结果表明,污渍和划痕缺陷识别率均达到95%以上。Canny边缘检测算法能可靠识别出这两种缺陷,提高了电缆运行的可靠性。 展开更多
关键词 10 kV电缆附件 污渍 划痕 缺陷识别 CANNY算子
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热轧粗轧区擦划伤缺陷的微观特征与现场改善
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作者 刘学伟 《物理测试》 2025年第1期57-62,共6页
为查找热轧精冲钢20MnB边部细线状缺陷的形成原因,提出有效的改善措施,在对热板缺陷微观组织分析的基础上,通过预制缺口+疲劳震动的方法形成显微裂纹,对带有显微裂纹的样品进行高温氧化模拟试验,研究裂纹附近组织氧化脱碳规律。结果表明... 为查找热轧精冲钢20MnB边部细线状缺陷的形成原因,提出有效的改善措施,在对热板缺陷微观组织分析的基础上,通过预制缺口+疲劳震动的方法形成显微裂纹,对带有显微裂纹的样品进行高温氧化模拟试验,研究裂纹附近组织氧化脱碳规律。结果表明,氧化圆点的深度与加热温度具有强相关性,是判断缺陷形成温度的主要依据;对比高温氧化模拟试验及热板缺陷的微观特征,认为热轧板边部缺陷在粗轧区域产生,其典型的微观特征是裂纹附近有深度小于5μm氧化圆点区,金相组织有轻微晶粒长大及脱碳或没有。根据上述结论对粗轧区设备进行检查,发现立辊表面粗糙且有粘钢,是导致细线状缺陷的主要原因,为此调整了立辊的润滑工艺与使用周期,轧制油浓度由3‰提高至5‰,大大降低了该类缺陷的发生率。 展开更多
关键词 粗轧 擦划伤 微观组织 氧化圆点 缺陷
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带钢卷取擦伤缺陷在不同工序下的微观特征
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作者 陈兴 刘少先 王俊峰 《理化检验(物理分册)》 2025年第4期64-68,共5页
针对热卷、酸洗板、锌铁合金板表面出现的卷取擦伤缺陷,利用宏观观察、化学成分分析、微观分析等方法研究了缺陷的不同特征。结果表明:3种卷取擦伤缺陷均为热卷卷取时产生的,且宏观形貌相似,均为横向分布,由密集的点划伤组成;热卷表面... 针对热卷、酸洗板、锌铁合金板表面出现的卷取擦伤缺陷,利用宏观观察、化学成分分析、微观分析等方法研究了缺陷的不同特征。结果表明:3种卷取擦伤缺陷均为热卷卷取时产生的,且宏观形貌相似,均为横向分布,由密集的点划伤组成;热卷表面的氧化铁皮被破坏,缺陷存在金属堆积和氧化铁,组织中存在细小和变形的晶粒;酸洗卷表面氧化铁皮被酸洗掉,组织中存在细小和变形的晶粒;锌铁合金板表面的平整程度不同,且合金化程度较轻,基板中未发现氧化铁,组织中仅存在细小的晶粒,通过晶粒特征能够准确地进行工序分离。 展开更多
关键词 卷取擦伤缺陷 晶粒特征 热卷 酸洗板 锌铁合金板 显微组织
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冷轧板线状缺陷成因分析与探讨
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作者 何月颖 孟凡峻 +5 位作者 习林玉 张伟杰 武亚利 邢承亮 徐海强 段啸天 《四川冶金》 2025年第6期38-43,共6页
本文针对冷轧板生产中的线状缺陷问题,通过金相显微镜、扫描电镜、能谱分析等手段,系统研究了机械划伤、夹杂物、氧化铁皮压入等典型线状缺陷的形貌特征与成因。结果表明:热轧卷板划伤缺陷伴随氧化圆点和起皮分层特征,冷轧划伤表现为边... 本文针对冷轧板生产中的线状缺陷问题,通过金相显微镜、扫描电镜、能谱分析等手段,系统研究了机械划伤、夹杂物、氧化铁皮压入等典型线状缺陷的形貌特征与成因。结果表明:热轧卷板划伤缺陷伴随氧化圆点和起皮分层特征,冷轧划伤表现为边部灰白色细线状挫伤;保护渣引起的缺陷含特征元素Na、K且线条不连续;氧化铁皮压入形成“柳叶状”缺陷并含Fe、O元素。提出了辊道维护、品种钢张力控制、除鳞系统优化、结晶器流场控制等针对性改进措施,为冷轧板表面质量控制提供了理论依据和技术支持。 展开更多
关键词 冷轧板 线状缺陷 划伤 夹杂物 氧化铁皮
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基于滤波差分的双阈值弱划痕提取算法 被引量:7
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作者 李晨 杨甬英 +9 位作者 熊浩亮 刘东 谢世斌 李阳 白剑 沈亦兵 姜宏振 刘旭 李东 陈波 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期97-104,共8页
高质量光学元件表面缺陷中存在一些深度较浅或者宽度较窄的划痕,在暗场成像检测中,该类划痕产生的散射光灰度值很低,甚至淹没在背景光中,很难被目视或常规机器视觉识别,造成划痕缺陷的漏检。针对该问题,以既有的疵病检测系统为基础,根... 高质量光学元件表面缺陷中存在一些深度较浅或者宽度较窄的划痕,在暗场成像检测中,该类划痕产生的散射光灰度值很低,甚至淹没在背景光中,很难被目视或常规机器视觉识别,造成划痕缺陷的漏检。针对该问题,以既有的疵病检测系统为基础,根据划痕灰度的等级特征,提出双阈值法分类处理划痕缺陷。在低阈值的弱划痕处理中,根据弱划痕和背景的频率特征以及空间对比度特征,设计了频域滤波及背景差分算法。通过空间域以及频率域的滤波处理,排除高频噪声以及高亮度噪声,根据几何特征等提取弱划痕图像中的复杂背景。经差分处理后,提取弱划痕并增强对比度,最后与正常灰度级划痕信息一同通过高阈值(正常阈值)进行后续划痕的特征提取,即得到所有的划痕信息,为划痕缺陷总长度计算以及最大长度的分级判定奠定基础。实验结果表明,该算法避免了过低二值化阈值引入的背景等不规则噪声,使得划痕与背景的对比度大大增强。目前该算法已经应用于惯性约束聚变系统中大口径光学表面划痕的定量检测,并且使长度计量的准确度已提升到约80%。 展开更多
关键词 弱划痕缺陷 双阈值 频域滤波 背景差分 对比度增强 精密计量
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划痕型缺陷对光场质量的影响 被引量:5
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作者 任寰 姜宏振 +5 位作者 刘旭 刘勇 杨一 陈波 郑万国 朱日宏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期192-198,共7页
为了研究高功率激光系统中划痕型缺陷对光场质量的影响,采用分步傅里叶算法对非线性近轴波动方程进行求解,模拟分析了不同划痕参数(长度、宽度、深度)下,元件内部、光束近场、元件后传输光场以及光束远场的光强分布情况。数值模拟结果表... 为了研究高功率激光系统中划痕型缺陷对光场质量的影响,采用分步傅里叶算法对非线性近轴波动方程进行求解,模拟分析了不同划痕参数(长度、宽度、深度)下,元件内部、光束近场、元件后传输光场以及光束远场的光强分布情况。数值模拟结果表明:随着划痕长度、宽度或深度的增加,元件内部以及元件后传输光场的峰值强度和对比度均会相应增强;光束近场的光强对比度也会略微增大;对于光束远场的强度分布,与划痕宽度方向所对应的频谱能量会不断增强。该项研究工作可以为划痕检验标准的制定提供一定的定量分析依据。 展开更多
关键词 光学元件 划痕型缺陷 高功率激光系统 分步傅里叶算法 光束近场 光束远场
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带钢表面划痕缺陷视觉检测照明系统分析 被引量:4
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作者 胡瑢华 余明 刘国平 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期55-58,共4页
本文针对带钢表面划痕缺陷,以常见的面阵LED作为光源搭建低角度、暗域照明系统,同时基于照明系统推导出在一定照明区域中光照度函数表达式,同时对单个LED发光强度曲线进行了拟合,得出其光强分布函数,基于该函数对照明系统进行建模,利用T... 本文针对带钢表面划痕缺陷,以常见的面阵LED作为光源搭建低角度、暗域照明系统,同时基于照明系统推导出在一定照明区域中光照度函数表达式,同时对单个LED发光强度曲线进行了拟合,得出其光强分布函数,基于该函数对照明系统进行建模,利用Tracepro光学软件对照度函数中进行了仿真,分析其中参数β、S与照明均匀度ΔE之间的关系,为视觉检测照明系统的搭建提供了相应的依据,并最终通过照明实验对仿真结果进行了验证。 展开更多
关键词 划痕缺陷 LED照明系统 照明均匀性 光学仿真 直方图
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冷轧板线状缺陷分析及成因研究 被引量:14
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作者 宋进英 赵远 +3 位作者 陈连生 魏英立 田亚强 杨栋 《钢铁钒钛》 CAS 北大核心 2013年第3期107-112,共6页
利用场发射扫描电镜、能谱仪和金相显微镜等检测手段,对冷轧生产中出现的线状缺陷类型及其成因和影响因素进行了分析研究,结果表明常见的线状缺陷主要有气泡类、划伤类、夹杂类及氧化铁皮压入等类型,其中夹杂主要以连铸卷渣为主。并针... 利用场发射扫描电镜、能谱仪和金相显微镜等检测手段,对冷轧生产中出现的线状缺陷类型及其成因和影响因素进行了分析研究,结果表明常见的线状缺陷主要有气泡类、划伤类、夹杂类及氧化铁皮压入等类型,其中夹杂主要以连铸卷渣为主。并针对常见的线状缺陷提出了转炉炼钢、中间包冶炼、高压水除鳞等环节的工艺改进措施。 展开更多
关键词 冷轧板 线状缺陷 形成原因 划伤 夹杂
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一种新的精密光学镜片表面疵病宽度测量方法 被引量:10
14
作者 朱聪 于广婷 +1 位作者 李柏林 赵文川 《计算机应用与软件》 CSCD 北大核心 2014年第12期259-261,286,共4页
针对目前光学镜片表面疵病宽度测量主要依赖人工检测而导致弯曲划痕宽度检测精度较低的现状,提出一种新的基于数字图像处理技术的表面疵病划痕宽度测量方法。该方法先获得疵病目标的轮廓;然后计算其最小外接矩形,根据矩形长宽比初步判... 针对目前光学镜片表面疵病宽度测量主要依赖人工检测而导致弯曲划痕宽度检测精度较低的现状,提出一种新的基于数字图像处理技术的表面疵病划痕宽度测量方法。该方法先获得疵病目标的轮廓;然后计算其最小外接矩形,根据矩形长宽比初步判别疵病类型(划痕或麻点);最后将疵病分割为多个小区段,分别计算每段的最小外接矩形并获得其宽度,比较后取最大宽度作为疵病宽度值。实验结果表明,该方法具有较高的可行性与精确性,可以满足工程实际的需要。 展开更多
关键词 光学镜片 疵病 弯曲划痕 图像处理 宽度 最小外接矩形
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冷轧板常见表面缺陷特征及成因分析 被引量:33
15
作者 郭晓波 钟莉莉 刘跃华 《鞍钢技术》 CAS 2011年第6期37-42,共6页
通过生产实践和检验,分析认为冷轧板常见表面缺陷包括原料缺陷和冷轧缺陷两大类,原料缺陷源于炼钢和热轧。原料缺陷如果控制不当,会遗传到冷轧成品板上,冷轧缺陷宏观易于辨识。提高冷轧板表面质量需要冶炼、连铸、热轧、冷轧各工序协调... 通过生产实践和检验,分析认为冷轧板常见表面缺陷包括原料缺陷和冷轧缺陷两大类,原料缺陷源于炼钢和热轧。原料缺陷如果控制不当,会遗传到冷轧成品板上,冷轧缺陷宏观易于辨识。提高冷轧板表面质量需要冶炼、连铸、热轧、冷轧各工序协调配合。 展开更多
关键词 冷轧板 缺陷 热划伤 条纹
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热轧带钢刮伤缺陷的消除 被引量:1
16
作者 吴进 徐再新 +2 位作者 周云松 蔡延擘 冉珠峰 《轧钢》 北大核心 2010年第5期52-54,共3页
针对某热轧带钢生产线带钢下表面存在刮伤缺陷的问题,对轧制线标高、后滑系数、导卫标高进行了优化计算,消除了热轧带钢下表面的刮伤缺陷,保证了带钢表面质量。
关键词 热轧带钢 刮伤缺陷 轧制线标高 后滑系数 导卫标高
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基于二次全局阈值图像分割算法的产品表面缺陷自动化检测装置
17
作者 郭志龙 赵辉 +2 位作者 董云 王杰 惠子文 《机械管理开发》 2025年第1期131-134,共4页
开发了一套基于二次全局阈值图像分割算法的产品表面缺陷自动化检测装置。通过该装置的硬件设备采集图像,将图像进行灰度化、图像增强处理以及ROI选取等前期的预处理,选择最优的HALCON视觉系统参数并进行匹配检测,在该装置的HALCON视觉... 开发了一套基于二次全局阈值图像分割算法的产品表面缺陷自动化检测装置。通过该装置的硬件设备采集图像,将图像进行灰度化、图像增强处理以及ROI选取等前期的预处理,选择最优的HALCON视觉系统参数并进行匹配检测,在该装置的HALCON视觉系统的HDevelop编译环境下开发基于二次全局阈值的图像分割算法,编写HALCON源码,通过该算法标记出所需的缺陷对象或特征的轮廓,提取出划痕的亚像素轮廓,根据面积和长度等特征来判断其是否为缺陷产品。将CRH380A型动车组转向架车轮擦伤的样本进行图像检测测试,取得了良好的缺陷检测效果。 展开更多
关键词 CRH380A型动车组 HALCON视觉系统 产品表面缺陷 预处理 二次全局阈值 划痕
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20号钢无缝钢管折叠缺陷原因分析 被引量:1
18
作者 黄野 何必飞 +2 位作者 王安仁 张江山 杨树峰 《工业加热》 CAS 2016年第2期5-7,共3页
针对某厂生产的20号钢圆钢经穿管后出现折叠缺陷的问题,通过对连铸坯、圆钢、钢管三个环节的产品质量进行调研和分析,找到折叠的原因是连铸坯表面存在划痕。提出了改进连铸坯表面划痕的措施并对改进后钢材进行质量跟踪,使钢管成品率提高... 针对某厂生产的20号钢圆钢经穿管后出现折叠缺陷的问题,通过对连铸坯、圆钢、钢管三个环节的产品质量进行调研和分析,找到折叠的原因是连铸坯表面存在划痕。提出了改进连铸坯表面划痕的措施并对改进后钢材进行质量跟踪,使钢管成品率提高为98%。 展开更多
关键词 连铸 划痕缺陷 无缝钢管 折叠缺陷
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平整生产线带钢挫伤缺陷的原因分析 被引量:10
19
作者 吕长宝 《轧钢》 2013年第6期56-60,共5页
分析了带钢平整时出现挫伤缺陷的形貌和分布规律及其原因,挫伤缺陷是由相互挤压的带钢的相对滑动导致局部金属产生剪切滑移而形成的,带卷板面的不平滑区域与相邻平滑区域存在明显的半径突变,滑动时在与相邻层的接触面区产生足够的压力,... 分析了带钢平整时出现挫伤缺陷的形貌和分布规律及其原因,挫伤缺陷是由相互挤压的带钢的相对滑动导致局部金属产生剪切滑移而形成的,带卷板面的不平滑区域与相邻平滑区域存在明显的半径突变,滑动时在与相邻层的接触面区产生足够的压力,导致局部金属产生剪切滑移。避免挫伤缺陷的主要方法是抑制开卷时带卷的层间滑动。 展开更多
关键词 挫伤缺陷 分布规律 板形 卷取
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熔石英元件抛光加工亚表面缺陷的检测 被引量:5
20
作者 王洪祥 朱本温 +2 位作者 王景贺 侯晶 陈贤华 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期8-12,共5页
亚表面缺陷的准确检测是进行亚表面损伤研究的前提和基础,对保证光学元件加工质量至关重要.基于HF酸化学蚀刻法对熔石英元件抛光加工产生的亚表面水解层、缺陷层深度和亚表面损伤形貌进行了定量检测,并利用X射线荧光光谱法研究了熔石英... 亚表面缺陷的准确检测是进行亚表面损伤研究的前提和基础,对保证光学元件加工质量至关重要.基于HF酸化学蚀刻法对熔石英元件抛光加工产生的亚表面水解层、缺陷层深度和亚表面损伤形貌进行了定量检测,并利用X射线荧光光谱法研究了熔石英抛光试件杂质元素的种类和元素含量沿深度分布规律,提出了熔石英元件抛光加工亚表面损伤深度的判定方法.研究表明:由于水解层和亚表面缺陷层的存在,熔石英抛光试件的蚀刻速率随着时间的增加呈现递减的趋势,且在蚀刻的初始阶段蚀刻速率下降尤为明显;当蚀刻深度超过某一特定值后,全部或部分覆盖在水解层以下的缺陷层将会被完全蚀刻去除,蚀刻速率基本保持不变;另外,熔石英抛光试件存在多种形式的表面及亚表面缺陷,在不同蚀刻深度,亚表面损伤形貌、划痕的宽度和深度也存在一定的差异. 展开更多
关键词 熔石英元件 亚表面缺陷 抛光加工 损伤形貌 划痕
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