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基于平面定向靶标的近景工业摄影测量系统
1
作者 李云雷 蒋灵搏 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第9期91-95,112,共6页
为了满足小型工业产品表面关键点的高精度三维坐标测量需求,并克服粘贴式定向装置不适用于小尺寸工业产品表面的问题,设计了一种基于平面定向靶标的近景工业摄影测量系统。首先,给出了基于平面定向靶标共面点的绝对定向算法,该算法用于... 为了满足小型工业产品表面关键点的高精度三维坐标测量需求,并克服粘贴式定向装置不适用于小尺寸工业产品表面的问题,设计了一种基于平面定向靶标的近景工业摄影测量系统。首先,给出了基于平面定向靶标共面点的绝对定向算法,该算法用于确立相机坐标系与靶标坐标系之间的转换关系;其次,利用椭圆拟合算法,精确提取反光人工标志点中心的像素坐标;最后,搭建测量系统用于小尺寸飞机模型表面标志点中心的三维坐标测量,并通过测量光栅尺的精确位移量评价其测量精度。实验结果表明:测量系统能够实现飞机模型的三维重建,测量精度约为0.02‰。 展开更多
关键词 近景工业摄影测量 平面定向靶标 椭圆拟合算法 飞机模型 光栅尺
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基于双目立体视觉的线结构光标定方法 被引量：1
2
作者 严兴旭 杜虎兵 +3 位作者 王辉 唐博 张高鹏 贾晋葛 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第1期209-220,共12页
结构光三维轮廓测量方法目前是三维形状测量的热点,而其中的线结构光技术因其成本低、效率高、精度高成为复杂物体三维轮廓测量方法的典型代表。然而,现有的线结构光法在应用中存在着标定困难、标定精度低等问题,对此,结合双目视觉系统... 结构光三维轮廓测量方法目前是三维形状测量的热点,而其中的线结构光技术因其成本低、效率高、精度高成为复杂物体三维轮廓测量方法的典型代表。然而,现有的线结构光法在应用中存在着标定困难、标定精度低等问题,对此,结合双目视觉系统与具有固定特征点的靶标,建立了一种高效、可靠的激光平面方程标定方法。该方法仅需要一个平面靶标和一个额外的相机,只记录两处位置的标定图像便可完成测量系统标定工作。工作时,首先结合左、右标定图像提取的光刀中心和角点获得特征点的像素坐标;然后,通过匹配左、右图像上对应的特征点,确定相机坐标系下特征点的三维坐标;进而,基于多组不同位置的三维特征点坐标,利用最小二乘法拟合激光平面,获得激光平面方程的参数。以标准块为样品的长度测量实验表明,该方法灵活实用、靶标设计简单、具有特征点丰富的优点,相比于典型标定方法,其可高精度地完成系统标定工作,量块宽度测量实验的结果更接近于参考值。另外,对比商用线激光传感器的测量结果,文中方法的测量精度提高了约10μm。 展开更多
关键词 线结构光 双目视觉 平面靶标 相机标定 激光平面标定
原文传递
磁控溅射镀膜技术新进展
3
作者 王福贞 《真空与低温》 2025年第5期543-555,共13页
磁控溅射镀膜技术是当今制备高新技术产品中各种功能薄膜的重要技术。随着高新技术和高端制造业的发展及人民生活水平的提高,磁控溅射镀膜技术面临更多样化的需求和更高的性能要求,推动磁控溅射镀膜技术不断进步。介绍了磁控溅射镀膜技... 磁控溅射镀膜技术是当今制备高新技术产品中各种功能薄膜的重要技术。随着高新技术和高端制造业的发展及人民生活水平的提高,磁控溅射镀膜技术面临更多样化的需求和更高的性能要求,推动磁控溅射镀膜技术不断进步。介绍了磁控溅射镀膜技术的原理及特点,综述了磁控溅射靶、电源、镀膜工艺和应用等方面的研究进展,评价了在工模具和耐磨零件等领域镀膜中的应用效果。 展开更多
关键词 辉光放电 阴极溅射 平面磁控溅射靶 柱状磁控溅射靶 非平衡闭合磁场 高功率脉冲磁控溅射
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面向平面目标的静电吸附式抓取技术
4
作者 黄廷阳 王青 +3 位作者 信涛 张凯 刘超 赵一凡 《机电工程技术》 2025年第8期100-103,172,共5页
为实现工业生产中对平面型目标的智能抓取和转移,研究一种基于静电吸附技术的抓取方式。首先,对静电极板的电极类型进行选型,并结合Maxwell应力张量法,建立一种五层二维静电吸附力理论模型;其次,采用COMSOL Multiphysics软件分析了静电... 为实现工业生产中对平面型目标的智能抓取和转移,研究一种基于静电吸附技术的抓取方式。首先,对静电极板的电极类型进行选型,并结合Maxwell应力张量法,建立一种五层二维静电吸附力理论模型;其次,采用COMSOL Multiphysics软件分析了静电极板部分结构参数对静电吸附力的影响规律;最后,制备了静电极板,搭建了静电吸附力测量平台,对不同平面目标上的静电吸附力进行了实验测量,并与仿真结果进行了对比分析。研究结果显示:(1)被吸附目标和静电极板绝缘层的介电常数均和静电吸附力成正相关性,而绝缘层厚度则和静电吸附力呈负相关性;(2)在电极设计时,正负电极间距和电极宽度应保持在比例1.79左右,以最大化静电吸附力;(3)激励电压的平方和静电吸附力成正比,因此增大激励电压是提高静电吸附力的有效手段;(4)实验数据与仿真结果吻合度较好,验证了仿真方法的有效性,同时实验结果也证明将该静电吸附技术用于实现平面目标抓取是可行的。 展开更多
关键词 平面目标 静电极板 Maxwell应力张量法 静电吸附力 绝缘层 介电常数
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一种基于机器人平台的三目视觉系统标定方法研究
5
作者 傅豪 刘昊洋 +1 位作者 周煜翔 郭静 《空间电子技术》 2025年第5期17-22,共6页
四足机器人平台在多目标协作场景下的视觉测量精度要求较高。文章针对云台双目相机与单目手眼相机组成的三目视觉系统存在的坐标系统一难题,提出了一种基于平面靶标张量约束的三目视觉全局标定方法。首先采用Zhang标定法分别对三相机进... 四足机器人平台在多目标协作场景下的视觉测量精度要求较高。文章针对云台双目相机与单目手眼相机组成的三目视觉系统存在的坐标系统一难题,提出了一种基于平面靶标张量约束的三目视觉全局标定方法。首先采用Zhang标定法分别对三相机进行内外参数标定,而后以双目相机左相机为基础坐标系建立统一坐标系,根据三视张量约束优化三相机外参数,最后根据三目定位原理,建立三目视觉测量系统。实验证明,三次测量的最大相对误差仅为3.18%,该方法操作切实有效。 展开更多
关键词 三目视觉 三视张量 平面靶标 全局标定 相机模型
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水下复合材料夹芯层结构十字舵声散射特性计算与分析
6
作者 许苏陈 彭子龙 +3 位作者 周富霖 王重凯 郭有松 唐宇航 《应用声学》 北大核心 2025年第3期693-703,共11页
探讨复合材料夹芯层结构十字舵声散射特性的影响规律,采用传递矩阵法与曲面板块元相结合的方法预报其声散射和目标强度。以复合材料夹芯层球壳为算例,将上述预报方法计算得到的目标强度结果与有限元结果进行对比,得到验证、确认。在此... 探讨复合材料夹芯层结构十字舵声散射特性的影响规律,采用传递矩阵法与曲面板块元相结合的方法预报其声散射和目标强度。以复合材料夹芯层球壳为算例,将上述预报方法计算得到的目标强度结果与有限元结果进行对比,得到验证、确认。在此基础上,建立了水下复合材料夹芯层十字舵声散射快速预报模型,计算、分析了多层复合材料泊松比取值精度以及芯层弹性模量、密度和各层铺层角度等对夹芯层结构十字舵的声散射特性的影响。结果表明:传递矩阵法与曲面板块元法相结合,较快速预报了水下复合材料夹芯层壳体结构的声散射和目标强度;在水下使用复合材料夹芯层结构代替传统钢质结构,具有良好的声学调控效果;较确切地预报多层复合材料结构声散射和目标强度,泊松比应取小数点后三位以上。上述方法及计算结果,供预报、分析水下复合材料多层壳体结构声散射和目标强度参考。 展开更多
关键词 复合材料夹芯层结构 十字舵 传递矩阵法 曲面板块元 声散射特性 目标强度
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基于单目视觉的平面测量 被引量：58
7
作者 尹英杰 徐德 +2 位作者 张正涛 王欣刚 屈稳太 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2013年第4期347-352,共6页
针对平面上目标的定位及长度测量等问题,提出了一种基于单目视觉测量平面上物体位置的方法,并讨论了标定点的选取原则。在被测目标所在平面上放置平面靶标,在平面靶标上选取标定点,通过最小二乘法求取模型参数,实现单目视觉测量模型的... 针对平面上目标的定位及长度测量等问题,提出了一种基于单目视觉测量平面上物体位置的方法,并讨论了标定点的选取原则。在被测目标所在平面上放置平面靶标,在平面靶标上选取标定点,通过最小二乘法求取模型参数,实现单目视觉测量模型的标定。利用标定出的模型参数,根据目标的图像坐标计算出其平面坐标位置,从而实现目标的定位及长度测量。标定点个数至少为4个,并且标定点需满足特定的位置关系。实验中测得目标长度的相对误差小于0.3%,验证了该方法的有效性。 展开更多
关键词 测量模型 标定 平面靶标 单目视觉 视觉测量
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结构光视觉传感器通用现场标定方法 被引量：26
8
作者 孙军华 张广军 +1 位作者 刘谦哲 杨珍 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期174-177,共4页
建立结构光视觉传感器通用数学模型,提出一种基于平面靶标的结构光视觉传感器结构参数标定新方法。在测量空间不同位置多次随意摆放平面靶标,结构光投射在靶标表面,摄像机拍摄靶标图像。利用靶标上特征点及对应的图像点求解靶标坐标系... 建立结构光视觉传感器通用数学模型,提出一种基于平面靶标的结构光视觉传感器结构参数标定新方法。在测量空间不同位置多次随意摆放平面靶标,结构光投射在靶标表面,摄像机拍摄靶标图像。利用靶标上特征点及对应的图像点求解靶标坐标系到摄像机坐标系的转换。根据靶标平面与图像平面之间的同射变换获得结构光标定点在靶标坐标系下的坐标,并统一到摄像机坐标系下,在此基础上拟合出结构光方程。该方法获得标定点效率高,能胜任点、线、曲面等任何模式结构光视觉传感器的现场标定。试验结果表明,该方法具有较高的标定精度。 展开更多
关键词 结构光 标定 同射变换 平面靶标
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大型自由曲面移动式三维视觉测量系统 被引量：19
9
作者 孙军华 张广军 +1 位作者 魏振忠 周富强 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1688-1691,共4页
本文介绍了一种移动式三维视觉测量系统,用于大型物体自由曲面的测量。传感器采用双目立体视觉方式,并结合编码结构光技术,使匹配过程简化。传感器移动到大型物体周围对各局部区域进行测量。采用一个平面靶标作为中介,建立了传感器位姿... 本文介绍了一种移动式三维视觉测量系统,用于大型物体自由曲面的测量。传感器采用双目立体视觉方式,并结合编码结构光技术,使匹配过程简化。传感器移动到大型物体周围对各局部区域进行测量。采用一个平面靶标作为中介,建立了传感器位姿变换矩阵的优化目标函数,根据靶标上多个特征点求解出该矩阵,即拼接矩阵。传感器在各个位置所测三维数据通过拼接矩阵统一到全局坐标系下。视觉测量系统在2个位置对维纳斯石膏像进行了测量,并进行拼接。结果表明,该测量系统操作简单,适用范围广;x、y、z坐标拼接RMS误差分别为0.038 mm0、.022 mm和0.135 mm。 展开更多
关键词 自由曲面 计算机视觉 测量 平面靶标
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等离子体浸没离子注入(PIII)过程中初始离子阵鞘层尺度内各物理量的时空演化 被引量：10
10
作者 黄永宪 田修波 +3 位作者 杨士勤 黄志俊 Ricky Fu Paul K.Chu 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期115-119,共5页
等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了... 等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种较新的、廉价的、非视线的技术。靶体被浸没在等离子体中,等离子体中的离子在靶体负脉冲偏压的作用下注入靶体而实现材料的表面改性。为了描述等离子体浸没离子注入过程,我们引用了一维粒子模型(PIC)对其进行了数值模拟,该模型通过求解空间电势的Poisson方程,电子的Bolzmann分布以及离子在网格中受力运动的Newton运动方程来完成。本文重点研究了一个初始离子阵鞘层内电势、离子浓度、离子注入靶体的速度和动能以及离子流密度的时空演化规律。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入 离子注人 鞘层 子阵 PⅢ 物理量 Poisson方程 材料表面改性 Newton 时空演化规律 离子流密度 脉冲偏压 数值模拟 粒子模型 求解空间 运动方程 离子浓度 靶体 电势 一维 电子 动能
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基于单经纬仪的视觉测量三维数据拼接方法 被引量：14
11
作者 张广军 孙军华 +1 位作者 魏振忠 周富强 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期441-445,共5页
本文针对大型自由曲面三维视觉测量中的数据拼接问题,建立了经纬仪透视投影模型,提出了以平面靶标为中介坐标系,以经纬仪坐标系为全局坐标系的三维数据拼接方法。在大型自由曲面的若干测量子区域附近放置一个平面靶标,通过视觉传感器拍... 本文针对大型自由曲面三维视觉测量中的数据拼接问题,建立了经纬仪透视投影模型,提出了以平面靶标为中介坐标系,以经纬仪坐标系为全局坐标系的三维数据拼接方法。在大型自由曲面的若干测量子区域附近放置一个平面靶标,通过视觉传感器拍摄平面靶标上的特征点,求得视觉传感器坐标系到靶标坐标系的变换矩阵;通过经纬仪观测靶标上的特征点,求得靶标坐标系到经纬仪坐标系的变换矩阵。因此,可求得视觉传感器坐标系到经纬仪坐标系的变换矩阵。将视觉传感器所测得的各子区域的三维数据统一到了经纬仪坐标系下,即完成了大型自由曲面的全局测量。经实验验证,数据拼接的RMS误差小于0.487mm。 展开更多
关键词 自由曲面 视觉测量 三维数据拼接 经纬仪 平面靶标
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薄膜-泡沫复合平面调制靶的制备 被引量：8
12
作者 尹强 朱方华 +2 位作者 周兰 张淑洋 张林 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期365-368,共4页
利用浇注法制备了具有正弦波调制图纹的溴代聚苯乙烯薄膜,并在此基础上将低密度聚-4-甲基-1-戊烯(PMP)泡沫溶胶浇注在薄膜调制图纹的表面,从而得到了薄膜-泡沫复合平面调制靶样品。较为详细的讨论了具有正弦波调制图纹的复合平面调制靶... 利用浇注法制备了具有正弦波调制图纹的溴代聚苯乙烯薄膜,并在此基础上将低密度聚-4-甲基-1-戊烯(PMP)泡沫溶胶浇注在薄膜调制图纹的表面,从而得到了薄膜-泡沫复合平面调制靶样品。较为详细的讨论了具有正弦波调制图纹的复合平面调制靶的制备方法并通过台阶仪、显微镜观测了薄膜表面条纹的起伏以及薄膜-泡沫截面的复合情况,实验结果发现,采用此种方法得到的复合平面调制靶样品,其薄膜厚度、泡沫密度易于控制,薄膜、泡沫调制界面清晰,易于微靶的加工与装配。 展开更多
关键词 调制图纹 薄膜-泡沫复合 平面调制靶 浇注
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一字线结构光三维测量模型的新型标定方法 被引量：9
13
作者 李冠楠 谭庆昌 +1 位作者 寇莹 张宇鹏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1334-1339,共6页
建立了一字线结构光的机器视觉测量模型,并提出了基于改进的CCD相机标定法的结构光平面精确标定方法.根据结构光沿光平面法线方向的能量分布规律,采用高斯拟合法提取图像中光条中心点的亚像素坐标.标定时,在自由移动的平面靶标上建立局... 建立了一字线结构光的机器视觉测量模型,并提出了基于改进的CCD相机标定法的结构光平面精确标定方法.根据结构光沿光平面法线方向的能量分布规律,采用高斯拟合法提取图像中光条中心点的亚像素坐标.标定时,在自由移动的平面靶标上建立局部世界坐标系,利用结构光光条与标靶的共面性,将通过相机标定参量计算得到的光条中心点的局部世界坐标转换到相机坐标系中.利用光平面上求得的标定点的三维坐标,实现了一字线结构光平面在相机坐标系下的优化估计.该方法考虑了影响测量模型准确度的因素,可以获取大量的用于标定光平面参量的标定点坐标.标准量块和轴颈的测量结果表明,该方法在实际应用中具有较高的准确度. 展开更多
关键词 结构光 平面靶标 标定 相机畸变 视觉测量
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基于自由靶标的线结构光视觉测量系统标定研究 被引量：17
14
作者 杨凯 余厚云 杨超 《机电工程》 CAS 2016年第9期1066-1070,共5页
针对现有的线结构光视觉测量系统现场标定方法存在效率低、操作复杂等不足,提出了一种基于自由移动平面靶标的标定方法。该方法以平面靶标作为标定对象,首先采用张正友的方法标定出了摄像机内部参数,然后引入了线结构光和自由移动平面靶... 针对现有的线结构光视觉测量系统现场标定方法存在效率低、操作复杂等不足,提出了一种基于自由移动平面靶标的标定方法。该方法以平面靶标作为标定对象,首先采用张正友的方法标定出了摄像机内部参数,然后引入了线结构光和自由移动平面靶标,以各种位姿下靶标内的激光条纹与棋盘格角点边线交点作为特征点,求取了特征点在摄像机坐标系下的坐标,并拟合出了结构光面平面方程,从而完成了整个测量系统的标定。试验结果表明,采用上述方法标定后的线结构光视觉测量系统测量误差小于1%,达到了较高的标定精度,能够满足使用要求。 展开更多
关键词 线结构光 视觉测量 标定 光平面 平面靶标
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分带K-均值聚类的平面标靶定位 被引量：7
15
作者 陈西江 花向红 +1 位作者 杨荣华 张青华 《武汉大学学报（信息科学版）》 EI CSCD 北大核心 2013年第2期167-170,共4页
提出了一种分带K-均值聚类的平面标靶定位方法。根据标靶与测站距离的限制条件,推导了较大噪声点的剔除公式,在整体最小二乘拟合平面的基础上增加了噪声点二次剔除的方法,对经过噪声点剔除的点云数据进行分带、聚类处理。同时,对每一带... 提出了一种分带K-均值聚类的平面标靶定位方法。根据标靶与测站距离的限制条件,推导了较大噪声点的剔除公式,在整体最小二乘拟合平面的基础上增加了噪声点二次剔除的方法,对经过噪声点剔除的点云数据进行分带、聚类处理。同时,对每一带的聚类中心进行均值化处理,得到每一带的中心点,通过求取不同带中心的均值来确定标靶中心点。实验结果表明,分带K-均值聚类的平面标靶定位模型较适合于平面标靶同名点确定。 展开更多
关键词 点云数据分带 K-均值聚类 噪声点去除 粗差剔除 平面标靶定位
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基于平面基线靶标的视觉测量数据拼接方法 被引量：8
16
作者 孙军华 张广军 +1 位作者 魏振忠 周富强 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期192-195,共4页
针对视觉测量中三维数据的拼接问题,提出一种基于平面基线靶标的数据拼接方法。该方法利用平面基线靶标提供特征点,建立视觉传感器在相邻位置坐标系旋转矩阵和平移矢量各参数的优化目标函数,通过Levenberg—Marquardt优化算法求解出旋... 针对视觉测量中三维数据的拼接问题,提出一种基于平面基线靶标的数据拼接方法。该方法利用平面基线靶标提供特征点,建立视觉传感器在相邻位置坐标系旋转矩阵和平移矢量各参数的优化目标函数,通过Levenberg—Marquardt优化算法求解出旋转矩阵和带有未知系数平移矢量。在此基础上,利用平面靶标上的基线长度确定平移矢量系数,从而求得数据拼接矩阵。利用平面靶标上100个点进行拼接试验,计算出x、y和z坐标拼接RMS误差分别为0．038 mm、0．022 mm和0．135 mm。结果表明该方法柔性好,适用范围广。 展开更多
关键词 三维数据拼接 视觉测量 平面靶标 基线长度
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基于柔性平面靶标的摄像机现场标定方法 被引量：9
17
作者 余明浪 魏振忠 孙军华 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期347-350,共4页
提出一种摄像机现场柔性平面靶标标定方法.该方法仅需在平面靶标上设置少量空间三维坐标已知特征点.在这些特征点中,任意共线的特征点可以确定一条直线,因此可以确定若干条直线.根据在透视投影变换下,直线和直线的交点均为不变量的性质... 提出一种摄像机现场柔性平面靶标标定方法.该方法仅需在平面靶标上设置少量空间三维坐标已知特征点.在这些特征点中,任意共线的特征点可以确定一条直线,因此可以确定若干条直线.根据在透视投影变换下,直线和直线的交点均为不变量的性质,可获得除已知特征点之外的大量标定特征点用于摄像机标定.基于误差传播理论,对标定点的不确定度进行了详细分析.采用研制的尺寸为100 mm×100 mm,加工精度为0.01 mm的柔性平面靶标,对摄像机进行了现场标定实验,获得了0.032mm的标定精度. 展开更多
关键词 摄像机标定 平面靶标 柔性 不确定度
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用于平面靶X射线诊断的1维KBA显微镜 被引量：6
18
作者 伊圣振 穆宝忠 +6 位作者 王新 蒋励 朱京涛 王占山 方智恒 王伟 傅思祖 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1076-1080,共5页
对用于神光Ⅱ装置4.75keV能点平面靶成像诊断的1维KBA显微镜进行了实验研究。基于空间分辨力和工作环境要求,设计了1维KBA显微镜的光学结构,并与传统KB显微镜的成像性能进行了对比分析。设计和制备了可同时工作于8keV和4.75keV能点的双... 对用于神光Ⅱ装置4.75keV能点平面靶成像诊断的1维KBA显微镜进行了实验研究。基于空间分辨力和工作环境要求,设计了1维KBA显微镜的光学结构,并与传统KB显微镜的成像性能进行了对比分析。设计和制备了可同时工作于8keV和4.75keV能点的双能点多层膜KBA物镜,解决了系统装调问题。利用神光Ⅱ装置第九路激光打击Ti靶产生的X射线作为背光源照射1 500目金网,进行了4.75keV网格成像实验,结果表明:在整个背光源照明区域内,系统的实际分辨力约为4μm,系统的有效视场受背光源大小的限制。 展开更多
关键词 瑞利-泰勒不稳定性 X射线诊断 KBA显微镜 KB显微镜 平面靶
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等离子体浸没离子注入的二维元胞粒子法计算机模拟与剂量分布研究 被引量：11
19
作者 吴志玮 丁可 +2 位作者 顾昌鑫 孙琦 单莉英 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期303-307,共5页
采用二维元胞粒子模型(PIC),模拟了一个完整脉冲时段内,等离子体浸没离子注入平板靶的过程。重点研究了等离子体鞘层的时空演化规律,以及入射离子流密度、入射离子角度与能量的分布,由此得到了注入离子剂量在靶表面的分布。模型结果表明... 采用二维元胞粒子模型(PIC),模拟了一个完整脉冲时段内,等离子体浸没离子注入平板靶的过程。重点研究了等离子体鞘层的时空演化规律,以及入射离子流密度、入射离子角度与能量的分布,由此得到了注入离子剂量在靶表面的分布。模型结果表明:等离子体鞘层的扩展先快后慢,且形状由椭圆柱形向圆柱形演化,对靶的保形性逐渐变差;注入离子剂量在靶表面的分布不均匀,在边角附近出现峰值;同时,在得到的入射离子信息基础上,对注入离子在改性层中的浓度深度分布研究表明,在靶的不同位置注入的离子在改性层中的浓度深度分布有显著差别,在靶边角处,注入离子的保留剂量很低,投影射程浅,浓度深度分布展宽较窄。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入 二维元胞粒子模拟 平面靶 剂量分布 浓度深度分布
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基于双平面靶标的多视觉传感器现场全局校准 被引量：10
20
作者 刘震 张广军 魏振忠 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期228-232,共5页
针对现有多视觉传感器全局校准方法多依赖外部辅助设备的问题,提出一种基于双平面靶标的多视觉传感器现场全局校准方法。以其中一个视觉传感器为基础视觉传感器,建立全局坐标系。根据基础视觉传感器与待校准视觉传感器之间的位置关系,... 针对现有多视觉传感器全局校准方法多依赖外部辅助设备的问题,提出一种基于双平面靶标的多视觉传感器现场全局校准方法。以其中一个视觉传感器为基础视觉传感器,建立全局坐标系。根据基础视觉传感器与待校准视觉传感器之间的位置关系,调整固定两个平面靶标之间位置。将双平面靶标无约束移动多次(至少三次),每个视觉传感器可以"看"到对应的平面靶标。以两个平面靶标之间位置关系不变为约束条件,求解待校准视觉传感器坐标系到全局坐标系的转换矩阵,通过非线性优化方法求解转换矩阵在最大似然准则下的最优解。当视觉传感器多于两个时,通过两两视觉传感器校准的方式完成多视觉传感器现场全局校准。试验证明该方法灵活方便,切实可行。 展开更多
关键词 机器视觉 多视觉传感器 双平面靶标 全局校准 柔性
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