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A Multi-Finger Si_(1-x)Ge_x/Si Heterojunction Bipolar Transistor for Wireless Power Amplifier Applications
1
作者 薛春来 时文华 +4 位作者 姚飞 成步文 王红杰 余金中 王启明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期496-499,共4页
A large area multi-finger configuration power SiGe HBT device (with an emitter area of about 880μm^2) was fabricated with 2μm double-mesa technology. The maximum DC current gain β is 214. The BVCEO is up to 10V,a... A large area multi-finger configuration power SiGe HBT device (with an emitter area of about 880μm^2) was fabricated with 2μm double-mesa technology. The maximum DC current gain β is 214. The BVCEO is up to 10V,and the BVCBO is up to 16V with a collector doping concentration of 1 × 10^17cm^-3 and collector thickness of 400nm. The device exhibits a maximum oscillation frequency fmax of 19. 3GHz and a cut-off frequency fT of 18.0GHz at a DC bias point of Ic = 30mA and VCE = 3V.MSG (maximum stable gain) is 24.5dB,and U (Mason unilateral gain) is 26.6dB at 1GHz. Due to the novel distribution layout, no notable current gain fall-off or thermal effects are observed in the I-V characteristics at high collector current. 展开更多
关键词 SiGe HBT power double-mesa technology multi-finger
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A large-area multi-fingerβ-Ga_(2)O_(3) MOSFET and its self-heating effect 被引量:1
2
作者 Xuanze Zhou Guangwei Xu Shibing Long 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2023年第7期37-40,共4页
The self-heating effect severely limits device performance and reliability.Although some studies have revealed the heat distribution ofβ-Ga_(2)O_(3) MOSFETs under biases,those devices all have small areas and have di... The self-heating effect severely limits device performance and reliability.Although some studies have revealed the heat distribution ofβ-Ga_(2)O_(3) MOSFETs under biases,those devices all have small areas and have difficulty reflecting practical con-ditions.This work demonstrated a multi-fingerβ-Ga_(2)O_(3) MOSFET with a maximum drain current of 0.5 A.Electrical characteris-tics were measured,and the heat dissipation of the device was investigated through infrared images.The relationship between device temperature and time/bias is analyzed. 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3) MOSFET multi-finger self-heating effect
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Intelligent Control of Multi-fingered Robot Hand
3
作者 Yuan Kui Yu Che Guo Feng Yuan Xingjun Information Engineering School, UST Beijing, Beijing 100083, China 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第2期99-99,共1页
The dynamics properties of a kind of multi-fingered robot hand is analyzed. It is pointed out that the dynamics property of this kind of multifingered robot hand in the approaching process is quite different from that... The dynamics properties of a kind of multi-fingered robot hand is analyzed. It is pointed out that the dynamics property of this kind of multifingered robot hand in the approaching process is quite different from that in the grasping process and,different control algorithm should be taken in the two process. A position-force hybrid control algorithm is proposed which is applied to the control system of the University of Science and Technology Beijing double-thumb robot hand successfully. 展开更多
关键词 multi-fingered robot hand control system position-force hybrid control
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Grasping Force Optimization Algorithm of Soft Multi-fingered Hand Based on Safety Margin Detection
4
作者 WANG Xuelin XIAO Yongfei +1 位作者 ZHAO Yongguo FAN Xinjian 《机器人》 EI CSCD 北大核心 2017年第6期844-852,共9页
The classical gradient flow optimization algorithm requires a valid initial point before starting the recursive algorithm,and the existing methods can’t guarantee that the initial values fully satisfy the friction co... The classical gradient flow optimization algorithm requires a valid initial point before starting the recursive algorithm,and the existing methods can’t guarantee that the initial values fully satisfy the friction cone constraints of contact point in the optimization process of gradient flow algorithm.In order to improve safety margin and prevent the finger from slipping at contact point,we present an iterative method of safe initial values with safety margin detection and develop a gradient flow optimization algorithm based on the safe initial values.Firstly,the safety margin is defined which more intuitively reflects the margin of the grasping forces at contact point.The resulting safe initial values can be achieved by the detection of desired safety margin at each iteration.Secondly,the safe initial values are usually not optimal,even with the valid initial values,and it can’t always ensure that the finger contact force always satisfies the friction cone constraints during the optimization.It is an effective way to eliminate the unreliable initial values in the optimization and obtain a safer initial values by increasing the safety margin.By transforming the safe initial values into an initial point of the gradient flow algorithm,the final optimized values of grasping forces can be generated efficiently by gradient flow iteration.Grasp examples of the soft multi-fingered hand indicate the effectiveness of the general solution of the force optimization algorithm based on safety margin detection.The method eliminates the shortcomings of the gradient flow optimization process caused by the initial value problem and provides a more accurate and reliable force optimization result for multi-fingered dexterous manipulation. 展开更多
关键词 force optimization grasping force multi-fingered hand soft finger gradient flow friction cone
原文传递
Acceleration Workspace of Cooperating Multi-Finger Robot Systems
5
作者 Hyungwon Shim Jihong Lee 《Journal of Bionic Engineering》 SCIE EI CSCD 2008年第2期103-110,共8页
We present a mathematical method for acceleration workspace analysis of cooperating multi-finger robot systems using a model of point-contact with friction. A new unified formulation from dynamic equations of cooperat... We present a mathematical method for acceleration workspace analysis of cooperating multi-finger robot systems using a model of point-contact with friction. A new unified formulation from dynamic equations of cooperating multi-finger robots is derived considering the force and acceleration relationships between the fingers and the object to be handled. From the dynamic equation, maximum translational and rotational acceleration bounds of an object are calculated under given constraints of contact conditions, configurations of fingers, and bounds on the torques of joint actuators for each finger. Here, the rotational acceleration bounds can be applied as an important manipulability index when the multi-finger robot grasps an object. To verify the proposed method, we used a set of case studies with a simple multi-finger mechanism system. The achievable acceleration boundary in task space can be obtained successfully with the proposed method and the acceleration boundary depends on the configurations of fingers. 展开更多
关键词 acceleration workspace multi-finger robots point-contact with friction model unified dynamic equation acceleration boundary
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基于ESP32的硅微谐振式加速度计自动测试系统
6
作者 朱宇昊 黄丽斌 +1 位作者 薛松 梅家豪 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第11期48-52,共5页
为了提高硅微谐振式加速度计的测试效率,设计了一种自动化测试系统。该系统通过硬件与软件的集成,实现了加速度计频率信号的自动测量与存储。硬件部分,采用ESP32和固态继电器实现电源切换和远程控制,同时使用FPGA和滞回比较器替代传统... 为了提高硅微谐振式加速度计的测试效率,设计了一种自动化测试系统。该系统通过硬件与软件的集成,实现了加速度计频率信号的自动测量与存储。硬件部分,采用ESP32和固态继电器实现电源切换和远程控制,同时使用FPGA和滞回比较器替代传统频率计,提升了测量精度。软件部分,应用低噪声连续时间戳测频法,并通过增量最小二乘算法优化存储资源。系统通过ESP32下位机和Qt上位机软件实现频率数据的自动化测试与存储。实验结果表明:系统稳定可靠,满足设计需求,显著提高了测试效率和数据准确性。 展开更多
关键词 自动测试 微加速度计 上位机 FPGA ESP32 MEMS
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微加速度计研究的进展 被引量:27
7
作者 李圣怡 刘宗林 吴学忠 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期34-37,共4页
介绍了微加速度计的基本原理以及国内外常见的各种微加速度计的结构形式,包括压电式、电容式、扭摆式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结微加速度计发展中存在的一些问题,并提出一些解决关键问题的措施,预测微加速度计未来的... 介绍了微加速度计的基本原理以及国内外常见的各种微加速度计的结构形式,包括压电式、电容式、扭摆式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结微加速度计发展中存在的一些问题,并提出一些解决关键问题的措施,预测微加速度计未来的发展趋势。 展开更多
关键词 微加速度计 微机电系统 制作工艺
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用Hopkinson杆冲击加载研究高量程微加速度计芯片的抗过载能力 被引量:14
8
作者 郇勇 张泰华 +1 位作者 杨业敏 曾昭君 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第2期128-131,共4页
采用体硅微机械加工技术制作田字形结构的高量程微加速度计芯片。为了研究芯片的抗过载能力 ,使用Hopkinson杆对其施加冲击载荷 ,以一维应力波理论估计芯片受到的加速度。结果显示 ,芯片破坏的临界载荷为 2 0 0kgn。裂纹和断裂主要发生... 采用体硅微机械加工技术制作田字形结构的高量程微加速度计芯片。为了研究芯片的抗过载能力 ,使用Hopkinson杆对其施加冲击载荷 ,以一维应力波理论估计芯片受到的加速度。结果显示 ,芯片破坏的临界载荷为 2 0 0kgn。裂纹和断裂主要发生在十字架中心、边框的 4个角以及十字梁和边框的连接部位。 展开更多
关键词 HOPKINSON杆 冲击加载 微加速度计 抗过载能力
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压阻式高量程微加速度计的冲击校准 被引量:7
9
作者 郇勇 张泰华 +2 位作者 杨业敏 王钻开 陆德仁 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第11期78-80,共3页
采用体硅微机械加工技术和扩散技术,制作压阻式高量程微加速度计,设计量程为50000gn。芯片材料为单晶硅,采用双列扁平陶瓷封装。为了测量其动态灵敏度,使用Hopkinson杆在约40000gn的加速度水平下进行了冲击校准。在电桥电压为6.33V的情... 采用体硅微机械加工技术和扩散技术,制作压阻式高量程微加速度计,设计量程为50000gn。芯片材料为单晶硅,采用双列扁平陶瓷封装。为了测量其动态灵敏度,使用Hopkinson杆在约40000gn的加速度水平下进行了冲击校准。在电桥电压为6.33V的情况下,被测微加速度计的灵敏度为1.26μV/gn。 展开更多
关键词 微电子机械系统 微加速度计 Hopkinmn杆 校准 扩散技术 芯片结构
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微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析 被引量:17
10
作者 王立森 胡宇群 +2 位作者 李志宏 余同希 赵亚溥 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期516-522,共7页
抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标 ,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式 ,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究。实验发现在微加速度计中主要存在两种主要的失效模式 ,即微梁... 抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标 ,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式 ,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究。实验发现在微加速度计中主要存在两种主要的失效模式 ,即微梁结构的整体破坏和微结构在横向之间的粘附。应用拟静态和能量方法给出微结构在冲击载荷下的响应。 展开更多
关键词 微加速度计 体硅加工工艺 冲击载荷 失效分析 粘附
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电容式微加速度计的闭环检测技术研究 被引量:11
11
作者 吴学忠 肖定邦 李圣怡 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期1097-1099,1156,共4页
针对分立元件电路噪声与干扰大的特点,设计了基于调制解调方法的微加速度计闭环检测系统,详细介绍了该闭环检测系统的原理框图及实现方法,讨论了该闭环检测系统的数学模型,并且利用精密转台对该微加速度计的性能进行了测试,测试结果表明... 针对分立元件电路噪声与干扰大的特点,设计了基于调制解调方法的微加速度计闭环检测系统,详细介绍了该闭环检测系统的原理框图及实现方法,讨论了该闭环检测系统的数学模型,并且利用精密转台对该微加速度计的性能进行了测试,测试结果表明,该微加速度计测量线性度为2.5%,量程为±1g,刻度因子为3V/g。 展开更多
关键词 微加速度计 MEMS 闭环检测 调制解调
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基于MEMS微加速度计的振动测试仪 被引量:8
12
作者 曾勇 杨涛 岳高铭 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第6期75-76,89,共3页
采用16位单片机MSP430、微加速度计ADXL203及射频收发芯片nRF2401设计制作了一种微型振动测试仪。采用ADXL203检测振动,输出与加速度大小成比例关系的电压信号经滤波、放大、A/D转换等处理后转换为单片机能识别的数字信号,信号经处理器... 采用16位单片机MSP430、微加速度计ADXL203及射频收发芯片nRF2401设计制作了一种微型振动测试仪。采用ADXL203检测振动,输出与加速度大小成比例关系的电压信号经滤波、放大、A/D转换等处理后转换为单片机能识别的数字信号,信号经处理器处理后,通过nRF2401发送至PC机显示,并以加速度曲线的形式显示。重点研究了低功耗的轻巧敏感元件ADXL203的振动信号的检测和调理、中断方式下的A/D采样以及nRF2401的射频通信,并通过振动测试试验验证了设计的正确性,该方案适用于低功耗、微型化、网络化的振动测试。 展开更多
关键词 微加速度计 微型振动仪 低功耗
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微加速度计的力学分析 被引量:7
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作者 徐鹏 祖静 林祖森 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第6期62-64,共3页
结合有关微加速度计的国内、外最新研究成果 ,以及科研中所遇到的实际动态测试问题 ,重点分析了微加速度计以下几方面力学性能 :频率、冲击载荷下的破坏以及由于尺寸效应引起的部件间的粘附现象 ,这直接关系到微加速度计的工作可靠性。... 结合有关微加速度计的国内、外最新研究成果 ,以及科研中所遇到的实际动态测试问题 ,重点分析了微加速度计以下几方面力学性能 :频率、冲击载荷下的破坏以及由于尺寸效应引起的部件间的粘附现象 ,这直接关系到微加速度计的工作可靠性。最后 ,对这方面的研究提出了一些思路。 展开更多
关键词 微加速度计 力学分析 频率 冲击失效 粘附
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具有自检自标定功能的高负载电容式金属微加速度计的研究 被引量:2
14
作者 李凯 陈文元 +2 位作者 汪红 崔峰 张卫平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期829-834,共6页
提出一种由圆形板和大量扇形梁构成活动部件的新型高负载电容式微加速度计。通过将固定电极分为检测电极与驱动电极,可实现自检自标定功能。该微加速度计以金属为核心部件材料,并采用UV-LIGA微工艺进行加工。虽然活动部件因全柔性而具... 提出一种由圆形板和大量扇形梁构成活动部件的新型高负载电容式微加速度计。通过将固定电极分为检测电极与驱动电极,可实现自检自标定功能。该微加速度计以金属为核心部件材料,并采用UV-LIGA微工艺进行加工。虽然活动部件因全柔性而具有复杂变形、器件内存在复杂机电耦合,但该传感器所建立的计算模型具有精确、快速的特点。采用AD7747对该加速度计进行了测试,并实现了结构参数、材料参数的标定及支撑梁发生破坏、尘粒进入腔室等故障的检查。 展开更多
关键词 微加速度计 高负载 电容式 金属
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一种压阻式三轴高g值加速度传感器的冲击校准 被引量:12
15
作者 景鹏 马铁华 王燕 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期954-958,共5页
介绍了基于Hopkinson杆技术的激光光栅干涉法这种冲击加速度计的绝对校准方法,给出了加速度传感器灵敏度系数的两种标定公式。使用Hopkinson杆在约12000gn的加速度水平下应用上述校准方法对一种三轴压阻式高冲击微型加速度传感器的灵敏... 介绍了基于Hopkinson杆技术的激光光栅干涉法这种冲击加速度计的绝对校准方法,给出了加速度传感器灵敏度系数的两种标定公式。使用Hopkinson杆在约12000gn的加速度水平下应用上述校准方法对一种三轴压阻式高冲击微型加速度传感器的灵敏度进行了冲击校准。通过对校准结果的分析比较了两种灵敏度标定公式的优缺点,并对传感器的横向响应作了讨论。 展开更多
关键词 高g值加速度传感器 HOPKINSON杆 校准 标定公式 横向响应
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梳齿式微机械力平衡加速度计 被引量:12
16
作者 马欣龙 王永梁 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2002年第3期55-60,共6页
讨论了一种梳齿式微机械加速度计,介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。通过对加速度计机械模型的分析,计算得出了加速度计的主要设计性能指标。另外还比较完整的提供了加速度计各项性能试验的数据,试验结果与理论分析能很好地吻合,... 讨论了一种梳齿式微机械加速度计,介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。通过对加速度计机械模型的分析,计算得出了加速度计的主要设计性能指标。另外还比较完整的提供了加速度计各项性能试验的数据,试验结果与理论分析能很好地吻合,说明加速度计的性能指标基本达到设计要求,证明这种加速度计的设计是成功的。 展开更多
关键词 微机械系统 梳齿式加速度计 力平衡 惯性仪表 传感器
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基于MEMS微加速度计的无视觉传感器防摇控制系统研究 被引量:8
17
作者 肖鹏 王冰 《机电工程》 CAS 2005年第1期1-5,共5页
通过建立起重机吊重摆动的数学模型,明确吊重摆角与小车运行加减速之间的关系, 并将MEMS微加速度计应用到起重机的防摇控制中,建立闭环控制系统,适时根据吊重摆角大小 修正小车速度指令,实现防摇控制。实验证明,这种方法简单、经济... 通过建立起重机吊重摆动的数学模型,明确吊重摆角与小车运行加减速之间的关系, 并将MEMS微加速度计应用到起重机的防摇控制中,建立闭环控制系统,适时根据吊重摆角大小 修正小车速度指令,实现防摇控制。实验证明,这种方法简单、经济,不需要安装视觉传感器测量吊 重摆角,可以有效地消除载荷的摇动。 展开更多
关键词 起重机 防摇控制 微机电系统(MEMS) 微加速度计 视觉传感器
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磁流变新型微加速度传感器的分析 被引量:3
18
作者 林忠华 胡国清 +1 位作者 刘文艳 张慧杰 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第B08期369-372,共4页
首先讨论一种磁流变(MRF)微加速度传感器的基本原理,其次研究这种磁流变微加速度计中的梁在电场力作用下的变形规律,进而得出加速度与输入电压的关系,同时对加速度计稳定性进行分析,为设计磁流变微加速度传感器提供理论依据.
关键词 微加速度传感器 加速度 电压关系 稳定性 磁流变 电压
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微加速度传感器硅微结构设计 被引量:10
19
作者 金磊 高世桥 李文杰 《传感器技术》 CSCD 2000年第2期23-25,共3页
:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,建立了其过载变形的模型 ,给出了用于计算位移加速度关系系数的方法。
关键词 微机电系统 微加速度传感器 硅微结构 设计
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三轴高g压阻式微加速度计的设计 被引量:2
20
作者 林杰 林立伟 郭航 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期496-501,共6页
提出了一种三轴高g的压阻式微加速度计的设计方法.通过理论推导和计算,分析了模型的应力和频率,得到了具有较高频率的高g微加速度计的结构参数.通过有限元软件ANSYS分析确定了在获得高输出电压条件下的电阻布置方案.在此基础上,对三轴... 提出了一种三轴高g的压阻式微加速度计的设计方法.通过理论推导和计算,分析了模型的应力和频率,得到了具有较高频率的高g微加速度计的结构参数.通过有限元软件ANSYS分析确定了在获得高输出电压条件下的电阻布置方案.在此基础上,对三轴进行了200 000 g载荷下的性能研究,结果表明所设计的微加速度计具有较高的灵敏度和线性度. 展开更多
关键词 三轴 高g 压阻 微加速度计 仿真
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