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LPCVD磷掺杂多晶硅及退火工艺
1
作者 王敬轩 商庆杰 宋洁晶 《电子工艺技术》 2026年第2期16-19,共4页
磷掺杂多晶硅工艺在微机械加工技术(Micro-Electron-Mechanical System,MEMS)中有广泛的应用。磷掺杂多晶硅工艺一般采用低压化学气相淀积(LPCVD)的方式进行生长,通过调整生长温度、气体流量、退火温度等参数实现对薄膜性能的调整。通... 磷掺杂多晶硅工艺在微机械加工技术(Micro-Electron-Mechanical System,MEMS)中有广泛的应用。磷掺杂多晶硅工艺一般采用低压化学气相淀积(LPCVD)的方式进行生长,通过调整生长温度、气体流量、退火温度等参数实现对薄膜性能的调整。通过开展相关工艺试验,研究了磷掺杂多晶硅生长工艺中关键工艺参数的影响,得到了适用于MEMS技术应用的工艺条件。同时对掺杂多晶硅退火温度与薄膜应力的关系进行了研究,可以将退火温度调整应用于调整MEMS工艺圆片翘曲中,应用于MEMS工艺生产。 展开更多
关键词 磷掺杂多晶硅 微机械加工技术 薄膜应力
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微纳制造全流程工艺理论与实践融合的教学研究
2
作者 宋兵 刘森 +2 位作者 孙毅 陈雷 李楠 《高教学刊》 2026年第7期124-127,共4页
微纳电子制造工艺课程全面覆盖微电子产业的全流程主要工艺,并特别强调对微纳制造工艺的系统理解。课程采用理论讲解与实践操作融合的教学手段,以及以学生为中心的教学理念,旨在提高学生对微纳制造工艺的知识掌握、素质拓展和能力培养... 微纳电子制造工艺课程全面覆盖微电子产业的全流程主要工艺,并特别强调对微纳制造工艺的系统理解。课程采用理论讲解与实践操作融合的教学手段,以及以学生为中心的教学理念,旨在提高学生对微纳制造工艺的知识掌握、素质拓展和能力培养。通过示例讲解与参与式教学,课程增强了学生的实践操作能力和创新思维,为培养高素质的微电子领域专业人才提供有力的支持。 展开更多
关键词 微纳制造工艺 理论与实践融合 全流程 学生为中心 微电子
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一种微针尖环形阵列阴极电子枪
3
作者 俞道龙 刘志霞 +3 位作者 丁文浩 赵浩东 汪正义 徐季 《真空科学与技术学报》 北大核心 2026年第2期183-192,共10页
文章设计了一种场发射碳纳米管冷阴极微焦点电子枪,阴极采用圆锥形状沿对称轴一分为二,切面为底面,并在圆柱形凹槽内均匀分布,组成环形阵列,该设计呈凹面形状,具备预聚焦效果,为后续聚焦系统提供了更为理想的入射条件。此外,设计中还包... 文章设计了一种场发射碳纳米管冷阴极微焦点电子枪,阴极采用圆锥形状沿对称轴一分为二,切面为底面,并在圆柱形凹槽内均匀分布,组成环形阵列,该设计呈凹面形状,具备预聚焦效果,为后续聚焦系统提供了更为理想的入射条件。此外,设计中还包括菱形栅孔栅网和双曲聚焦电极。阴极采用微针尖设计,显著增强尖端的电场强度,从而提高发射电流密度并降低开启电压;菱形栅孔栅网则能够实现较高的电子通过率;双曲聚焦电极通过优化电场分布实现电子束的高效聚焦,最终使电子束的压缩比达到955。使用CST有限元电磁仿真软件对电子枪的场发射性能进行了分析,通过优化几何参数和调整电压分布,在120 kV阳极电压下,电子枪实现了92.4%的电子通过率、279.1μA的阳极电流和12μm的焦斑尺寸。 展开更多
关键词 碳纳米管 电子枪 场发射 冷阴极 微焦点
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横向冲击下不同孔状和密度仿生结构的抗冲击能力研究 被引量：1
4
作者 周娟 赵宇鹏 +2 位作者 龙思星 张世杰 江旭东 《机电工程》 北大核心 2025年第5期945-954,共10页
针对现代工程应用对轻质高强结构需求的问题,以夏威夷果壳微观结构为研究对象,对其仿生结构进行了理论推导、仿真分析和试验,研究了不同孔状和不同密度的仿生结构在横向冲击下的力学行为和吸能特性。首先,利用微计算机断层扫描技术(micr... 针对现代工程应用对轻质高强结构需求的问题,以夏威夷果壳微观结构为研究对象,对其仿生结构进行了理论推导、仿真分析和试验,研究了不同孔状和不同密度的仿生结构在横向冲击下的力学行为和吸能特性。首先,利用微计算机断层扫描技术(micro-CT)和扫描电子显微镜(SEM)观察了夏威夷果壳显微结构,设计了四种相对密度一致的多孔结构模型及三种相对密度有所差异的仿生截半立方体结构模型;然后,采用热塑性材料熔融沉积成型技术(FDM),制备了仿夏威夷果壳结构模型;最后,采用了有限元模拟和落锤冲击实验的方法,研究了不同孔状和不同密度的仿生结构在横向冲击条件下的抗冲击能力。研究结果表明:在相对密度一致的情况下,三角形多孔结构的比能量吸收和破碎力效率分别比方形多孔结构提高了约60.3%和59%;仿生截半立方体结构的吸能性与相对密度存在一定的正相关性。 展开更多
关键词 夏威夷果壳 微计算机断层扫描 扫描电子显微镜 熔融沉积成型 有限元模拟 抗冲击性能
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新工科背景下案例导向型教学模式探索——以生物医疗微纳电子学为例
5
作者 李振荣 王航 +1 位作者 汤华莲 庄奕琪 《高教学刊》 2025年第18期42-45,49,共5页
生物医疗微纳电子学是新工科背景下集成电路技术发展的下一个重大机遇,为能在国际竞争中占据有利地位,高校人才培养机制体制须准确把握时代脉搏。该文基于高等教育的实践性,以生物医疗微纳电子技术为例,探索出案例导向型教学模式,系统... 生物医疗微纳电子学是新工科背景下集成电路技术发展的下一个重大机遇,为能在国际竞争中占据有利地位,高校人才培养机制体制须准确把握时代脉搏。该文基于高等教育的实践性,以生物医疗微纳电子技术为例,探索出案例导向型教学模式,系统阐述其相较于传统工科教学模式的优势,通过实际教学中脑机接口章节,对案例导向型教学模式从实施到考评的整个过程予以分析。结果表明新模式能有效提升学生学习积极性和参与度,加强学生发现和解决实际工程问题的能力,培养面向未来多元化的创新型工程人才,提升我国在复杂国际局势下的竞争力。 展开更多
关键词 新工科 案例导向型教学模式 生物医疗微纳电子学 集成电路 交叉学科
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微弧氧化改性对Ti6Al4V合金电子束接头耐蚀性能的影响
6
作者 王晓波 俞臻 +7 位作者 胡永辉 吴鹏 梅锦辉 蔡智会 许建平 马英鹤 郑文健 杨建国 《表面技术》 北大核心 2025年第2期106-118,共13页
目的提高Ti6Al4V合金电子束焊接接头耐蚀性能。方法采用电子束焊接方法水平对接获得接头。利用微弧氧化技术对接头进行陶瓷化处理。通过光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪、电化学腐蚀测试和浸泡腐蚀测试,分别评价未覆膜... 目的提高Ti6Al4V合金电子束焊接接头耐蚀性能。方法采用电子束焊接方法水平对接获得接头。利用微弧氧化技术对接头进行陶瓷化处理。通过光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪、电化学腐蚀测试和浸泡腐蚀测试,分别评价未覆膜接头及覆膜接头涂层的组织、结构和耐蚀性能。结果与母材相比,焊接接头微观组织发生较大变化,由初生α相与晶间β相混合相转变为针状α'马氏体集束,在晶界周围呈羽毛状分布。对接头与母材进行微弧氧化处理后,接头与母材区域表面特征相似,熔融状凸起较多且分布大小不均匀的微孔。然而,接头涂层孔径与孔隙率较小。与母材涂层相比,接头涂层厚度、完整性和连续性较低。接头涂层与母材涂层的主要组成均为金红石(Rutile)TiO_(2)相和锐钛矿(Anatase)TiO_(2)相。虽然与含涂层母材相比,含涂层接头耐蚀性较低,但其与不含涂层接头相比,自腐蚀电位(E_(corr))提升290mV,自腐蚀电流密度(J_(corr))降低1个数量级,且在2mol/LHCl溶液中浸泡腐蚀速率大幅降低。结论微弧氧化处理可以有效提升接头在中性和酸性溶液中的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 钛合金 电子束焊接 微弧氧化 耐蚀性 微观结构 腐蚀机制
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电子探针定量分析的不确定度评定与优化
7
作者 葛祥坤 邰宗尧 +3 位作者 何永志 岑晶轩 邓刘敏 范光 《世界核地质科学》 2025年第4期700-709,共10页
针对从事电子探针分析的检测和校准实验室需具备不确定度评定能力的需求,基于不确定度理论框架,剖析了计数强度、标准物质定值精度及基体校正等关键影响因素。通过构建测量模型与实验验证,对各因素引入的不确定度进行了量化评定。结果表... 针对从事电子探针分析的检测和校准实验室需具备不确定度评定能力的需求,基于不确定度理论框架,剖析了计数强度、标准物质定值精度及基体校正等关键影响因素。通过构建测量模型与实验验证,对各因素引入的不确定度进行了量化评定。结果表明:通过规范试样制备、保障仪器稳定性、优化测试条件、合理选择标样及采用恰当的基体校正方法,可有效降低分析结果的不确定度。针对无需评定不确定度的场景,提出了判断数据质量的经验方法。本研究为提升电子探针定量分析的准确性与可靠性提供了科学依据与操作指南。 展开更多
关键词 电子探针 不确定度 元素组成 定量分析 误差
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基于多电感耦合的微纹波电子束焊稳压源设计
8
作者 王红 王高钦 方国壮 《计算机仿真》 2025年第2期90-94,共5页
针对传统电子束焊机高压电源输出存在高纹波从而影响焊接质量的问题,提出一种新的基于多电感耦合Boost结构的高压开关电源系统来抑制纹波;对主电路中关键的耦合电感元件,采用磁集成技术,来合理设计耦合电感的耦合参数来达到低纹波的效果... 针对传统电子束焊机高压电源输出存在高纹波从而影响焊接质量的问题,提出一种新的基于多电感耦合Boost结构的高压开关电源系统来抑制纹波;对主电路中关键的耦合电感元件,采用磁集成技术,来合理设计耦合电感的耦合参数来达到低纹波的效果,此外还可以减少体积和降低损耗,提高其可靠性;通过深入的理论分析、并利用SABER和ANSYS软件对主电路和磁集成元件进行建模与仿真验证,结果表明,新的电子束焊机高压电源具有微纹波、高稳压精度和高工作可靠性等特点。 展开更多
关键词 电子束焊 微纹波 耦合电感 磁集成
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叶碲金矿在我国的首次发现及其成因意义 被引量：3
9
作者 葛战林 章永梅 +7 位作者 顾雪祥 范光 高永宝 郑艳荣 刘明 马承 魏立勇 郝迪 《矿物学报》 北大核心 2025年第1期82-97,共16页
叶碲金矿[Pb_(3)(Pb,Sb)_(3)S_(6)](Au,Te)_(3)是一种极为罕见的Pb、Sb、Au硫碲化物,1845年以发现地特兰西瓦尼亚Nagyag地区(如今的罗马尼亚Sacarimb地区)正式命名为“nagyagite”,至今在我国尚未报道。北秦岭杨斜金矿床是陕西省近年来... 叶碲金矿[Pb_(3)(Pb,Sb)_(3)S_(6)](Au,Te)_(3)是一种极为罕见的Pb、Sb、Au硫碲化物,1845年以发现地特兰西瓦尼亚Nagyag地区(如今的罗马尼亚Sacarimb地区)正式命名为“nagyagite”,至今在我国尚未报道。北秦岭杨斜金矿床是陕西省近年来勘查的一处典型脉状金矿,本文以新识别的叶碲金矿为研究对象,利用矿相显微鉴定、激光拉曼光谱、电子探针及元素面扫描等方法,查明我国首次发现的叶碲金矿矿物学特征,探讨叶碲金矿的成因及其与岩浆热液的关系。研究结果表明,叶碲金矿呈半自形-他形粒状产于石英-细粒黄铁矿-自然金-多金属硫化物阶段,与黄铁矿、闪锌矿、黝铜矿、碲铅矿及方铅矿等共生。化学组成为w(Pb)值为55.10%~56.61%、w(Sb)值为7.31%~7.67%、w(S)值为10.39%~11.63%、w(Au)值为10.42%~11.24%、w(Te)值为13.47%~14.21%,计算的平均化学式为[Pb3.00(Pb1.81Sb1.09)2.90S6.12](Au0.98Te1.95)2.93,属于化学成分稳定且接近理想组成的正常叶碲金矿,存在微量的Sb替代Pb、S替代Te。北秦岭杨斜叶碲金矿形成于中低温(160~200℃)、低硫逸度(–16.5<logfS_(2)<–14.0)和相对高碲逸度(–15.2<logfTe_(2)<–11.2)的富CO_(2)-H_(2)O-NaCl岩浆热液体系,成因可能与含金碲矿脉的富贱金属与Sb组分的再活化有关。 展开更多
关键词 叶碲金矿 电子探针 矿物学特征 杨斜金矿床 北秦岭
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微纳空气沟道晶体管技术研究进展综述
10
作者 李沫 魏亚洲 +4 位作者 陈飞良 赵海全 黄瑞涵 孙立新 张健 《真空与低温》 2025年第3期277-291,共15页
微纳空气沟道晶体管通过“挖空”半导体电子输运沟道,使电子在纳米尺度空气沟道可实现无散射弹道输运,从而具备超快响应速度、超高输运效率、超高工作频率、超高响应度以及优异的抗辐照、耐高温等特性,并能与传统固态器件集成。这种新... 微纳空气沟道晶体管通过“挖空”半导体电子输运沟道,使电子在纳米尺度空气沟道可实现无散射弹道输运,从而具备超快响应速度、超高输运效率、超高工作频率、超高响应度以及优异的抗辐照、耐高温等特性,并能与传统固态器件集成。这种新型晶体管已引起国内外广泛关注,在大功率皮秒级开关、毫米波太赫兹器件、光电探测等领域展现出优秀性能,为后摩尔时代器件发展提供了新思路。阐述了微纳空气沟道晶体管的工作原理、国内外发展现状、典型构型及工艺技术,并探讨其发展前景。 展开更多
关键词 微纳空气沟道晶体管 电子弹道输运 超快响应速度 抗辐照 耐高温
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多束电子源设计与实验
11
作者 赵伟霞 白凌超 +3 位作者 张利新 刘俊标 殷伯华 韩立 《光学精密工程》 北大核心 2025年第5期741-750,共10页
为了提高扫描电子显微镜等单电子束设备的通量,开发了基于肖特基阴极的多束电子源系统,研究了准直透镜、分束板及微阵列静电透镜的设计方法与制备工艺。根据肖特基阴极发射特性进行了静电准直透镜的设计,仿真计算了准直束的电子光学性... 为了提高扫描电子显微镜等单电子束设备的通量,开发了基于肖特基阴极的多束电子源系统,研究了准直透镜、分束板及微阵列静电透镜的设计方法与制备工艺。根据肖特基阴极发射特性进行了静电准直透镜的设计,仿真计算了准直束的电子光学性能。基于MEMS加工工艺实现了3×3和10×10多孔阵列分束板的制备,开发了多孔多层器件装配系统并实现了微阵列静电透镜的高精度装配;搭建了多束电子源测试平台并进行了多束电子源的准直、分束与聚焦性能验证。结果表明:多束电子源的准直束范围为600μm,准直范围内的束流密度为4.11 A/m^(2)、均匀度为6.06%;实现了3×3分束且大小可调,聚焦后的子束束斑直径均值为5.32μm,束斑直径均匀度为5.91%,束流强度均匀度为4.36%,间距均匀度为3.06%,满足多电子束设备的设计要求。 展开更多
关键词 电子光学 多束电子源 肖特基发射 准直透镜 微阵列单电位透镜
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光伏直驱微型压缩式电子设备冷却系统动态特性研究 被引量：1
12
作者 张淞屹 杨宾 于晓慧 《制冷技术》 2025年第3期28-34,共7页
本文将太阳能光伏发电和蒸气压缩式电子设备冷却相结合,提出一种新型的光伏直驱微型压缩式电子设备冷却系统。实验研究了典型工况下太阳能辐射强度、压缩机转速和电子设备热功率对系统性能的影响。结果表明:晴天工况下运行5.5 h,平均辐... 本文将太阳能光伏发电和蒸气压缩式电子设备冷却相结合,提出一种新型的光伏直驱微型压缩式电子设备冷却系统。实验研究了典型工况下太阳能辐射强度、压缩机转速和电子设备热功率对系统性能的影响。结果表明:晴天工况下运行5.5 h,平均辐射强度为839.8 W/m^(2),蓄电池储存电能1.04 kW·h,存储的电能可供系统在无光照下连续运行5.7 h。阴天工况下运行5 h,平均辐射强度为147 W/m^(2),系统的耗电量需由光伏和蓄电池联合供给,光伏供给0.17 kW·h的电量,占比32.7%。电子设备加热功率为550W,压缩机转速为2750 r/min时,系统获得最高性能系数(COP)为6.17。电子设备热功率为400 W时,系统COP为3.92,功率每增加50 W,系统COP分别升高了10.3%、9%和8.8%。 展开更多
关键词 微型电子设备冷却 光伏直驱 蒸气压缩式冷却系统 动态特性
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可集成真空微纳电子器件发展与展望 被引量：1
13
作者 韩熙隆 覃奀垚 +2 位作者 章灿然 陶晖 王琦龙 《真空与低温》 2025年第3期302-314,共13页
真空微纳电子器件(VMNEDs)凭借其高速运行、耐高温、抗辐射及极端环境适应性等独特优势,已成为极端环境电子学领域的研究热点。本文系统综述了真空微纳电子器件的发展历程、理论基础、技术进展及未来前景,重点探讨其作为传统真空管与固... 真空微纳电子器件(VMNEDs)凭借其高速运行、耐高温、抗辐射及极端环境适应性等独特优势,已成为极端环境电子学领域的研究热点。本文系统综述了真空微纳电子器件的发展历程、理论基础、技术进展及未来前景,重点探讨其作为传统真空管与固态器件桥梁作用的潜力。将VMNEDs与微机电系统(MEMS)和光子电路集成,有望推动航空航天、能源与量子技术领域的多功能高可靠性系统发展。结合理论见解与实验成果,提出了面向极端环境的新一代电子器件的技术路线图。 展开更多
关键词 真空微纳电子器件 场发射 纳米沟道 弹道输运 真空电子学
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3种圆形亚科线虫扫描电子显微镜观察及其系统发育分析
14
作者 剧慧栋 肖霄 +5 位作者 张琳琳 王名玉 赵宁 杨欣颖 回艳淑 菅蕊 《中国兽医杂志》 北大核心 2025年第3期66-73,共8页
为了分析3种圆形亚科线虫的形态特征及其系统发育关系,本试验利用扫描电子显微镜(SEM)对寄生于马属动物肠道内的短尾三齿线虫(Triodontophorus brevicauda Boulenger,1916)、细颈三齿线虫(Triodontophorus tenuicollis Boulenger,1916)... 为了分析3种圆形亚科线虫的形态特征及其系统发育关系,本试验利用扫描电子显微镜(SEM)对寄生于马属动物肠道内的短尾三齿线虫(Triodontophorus brevicauda Boulenger,1916)、细颈三齿线虫(Triodontophorus tenuicollis Boulenger,1916)和伊氏双齿口线虫(Bidentostomum ivaschkini Tshoijo,1957)的体表结构进行详细观察和测量,对其核糖体内转录间隔区(ITS)基因进行PCR扩增和测序,将获得的序列进行同源性分析并建立系统发育树。SEM观察结果显示,短尾三齿线虫外叶冠较短,呈小刺状,雄虫46枚,雌虫64枚;雄虫尾端交合伞缘锯齿状,有1对线状交合刺,末端有倒钩。细颈三齿线虫外叶冠短小,呈刺状,雄虫45枚,雌虫49枚;雄虫交合伞缘锯齿状,有1对线状交合刺,末端有倒钩,生殖锥附属物不发达。伊氏双齿口线虫外叶冠宽大,雌雄虫均有8枚,内叶冠细小;雄虫交合伞长,边缘光滑,背叶形状窄长,生殖锥极长,末端具3个囊状突起。系统发育树结果显示,三齿属线虫和双齿口属线虫亲缘关系较近且相互独立,圆形属与三齿属和双齿口属线虫亲缘关系较远,细颈三齿线虫与日本三齿线虫(Triodontophorus nipponicus)亲缘关系较近,短尾三齿线虫与锯齿三齿线虫(Triodontophorus serratus)亲缘关系较近。本试验结果为上述3种线虫的形态特征提供了更丰富的数据,并利用系统发育分析描述了3种线虫间的亲缘关系。 展开更多
关键词 短尾三齿线虫 细颈三齿线虫 伊氏双齿口线虫 扫描电子显微镜(SEM)
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电子束光刻技术介绍与展望
15
作者 郭晨瑜 王文豪 +2 位作者 宋学锋 张振生 俞大鹏 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第8期673-685,共13页
电子束光刻(Electron Beam Lithography,EBL)作为能够实现亚微米乃至纳米尺度图形化制造的常用微纳加工技术,凭借其高的加工精度与灵活的图形加工能力,在微纳制造领域扮演着至关重要的角色。文章系统性地回顾了电子束光刻技术的基本物... 电子束光刻(Electron Beam Lithography,EBL)作为能够实现亚微米乃至纳米尺度图形化制造的常用微纳加工技术,凭借其高的加工精度与灵活的图形加工能力,在微纳制造领域扮演着至关重要的角色。文章系统性地回顾了电子束光刻技术的基本物理原理及设备发展脉络。重点阐述了早期基于扫描电子显微镜的高斯束EBL设备,以及为突破写入效率和精度瓶颈而演进的商用变形束与前沿的多束EBL系统,并在此基础上结合最新研究进展探讨了EBL设备及其相关技术未来的发展趋势,以期为相关领域的学术研究与产业发展提供理论支撑与实践参考。 展开更多
关键词 电子束光刻 微纳制造 电子光学系统
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干旱胁迫对中国沙棘叶片解剖结构的影响 被引量：1
16
作者 高佩 何旦 马玉花 《高原科学研究》 2025年第1期23-29,42,共8页
通过分析不同程度干旱胁迫下中国沙棘叶片的解剖结构,对干旱胁迫下的沙棘叶片表皮毛形态和组织解剖结构进行观察,旨在探究自然干旱胁迫下沙棘幼苗叶片形态及解剖结构的适应性变化。以青海野生中国沙棘为试验材料,采用自然干燥法控制土... 通过分析不同程度干旱胁迫下中国沙棘叶片的解剖结构,对干旱胁迫下的沙棘叶片表皮毛形态和组织解剖结构进行观察,旨在探究自然干旱胁迫下沙棘幼苗叶片形态及解剖结构的适应性变化。以青海野生中国沙棘为试验材料,采用自然干燥法控制土壤水分含量,通过扫描电镜观测叶片表皮毛形态,并通过石蜡切片染色分析其叶片解剖结构,来探究沙棘实生苗叶片对自然干旱胁迫的响应。结果表明:沙棘表皮毛有星状毛、星盾毛和盾状毛3种类型,其表皮毛性状随干旱胁迫的加深而不断蜷缩。干旱胁迫强度加深,沙棘叶片厚度、栅栏组织厚度、栅海比和组织结构紧密度增大,而海绵组织厚度和组织结构疏松度则减少。沙棘叶片角质层厚度随干旱胁迫强度的加深而增加,沙棘叶片下表皮厚度、气孔面积、气孔密度和表皮毛面积则随干旱胁迫的加深而呈先降低后增加的趋势。复水后除栅海比外,其余各指标均得到不同程度的恢复。综上,干旱胁迫强度与叶片厚度、角质层厚度、上表皮厚度、栅栏组织厚度、栅海比、叶片组织结构紧密度呈正相关;与叶片组织结构疏松度、海绵组织厚度呈负相关;干旱胁迫后复水1 d,气孔密度快速恢复,使其表现出更强的形态适应性和自我调节能力。 展开更多
关键词 中国沙棘 干旱胁迫 解剖结构 扫描电镜 石蜡切片
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扫描电镜内原位微纳米压痕测试装置设计与试验研究
17
作者 衣春学 刘仁霖 +2 位作者 张旭 黄虎 赵宏伟 《机械工程学报》 北大核心 2025年第20期30-39,共10页
扫描电镜(Scanning electron microscope,SEM)内的原位压痕测试技术是研究揭示接触载荷作用下材料变形损伤过程与机制的有效手段,但目前该技术基本被国外垄断。为此,设计研发具有自主知识产权的SEM内原位微纳米压痕测试装置,其结构尺寸... 扫描电镜(Scanning electron microscope,SEM)内的原位压痕测试技术是研究揭示接触载荷作用下材料变形损伤过程与机制的有效手段,但目前该技术基本被国外垄断。为此,设计研发具有自主知识产权的SEM内原位微纳米压痕测试装置,其结构尺寸为130 mm×56 mm×53 mm。详细阐述该装置的结构组成、机电系统框架和测试流程,并对其核心器件进行标定与性能测试。经标定,对应于500 mN载荷与19μm位移量程,该装置的载荷与位移噪声分别小于0.03 mN和2 nm,满足微纳米压痕测试性能要求。根据参考映射法,对该装置的机架柔度进行校准,校准后可获得与商业化压痕仪器基本重合的载荷-深度曲线。最后,利用立方角压头在SEM内开展锆基非晶合金的原位压痕试验,探究最大压入载荷与加载速率对非晶合金锯齿流变行为与压痕诱导剪切带特征的影响,验证该装置在SEM内开展微纳米压痕测试的实际应用价值。 展开更多
关键词 原位测试 微纳米压痕 扫描电镜 非晶合金 锯齿流变 剪切带
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微纳电子静电打印:原理、工艺及应用
18
作者 丁毅 岳峻宇 +3 位作者 陈昱桦 李家欣 李涤尘 贺健康 《电加工与模具》 北大核心 2025年第2期1-14,共14页
随着电子器件向小型化、集成化、多功能化方向发展,传统电子制造技术在制造精度、材料适应性、工艺灵活性等方面暴露出局限性,而静电打印技术已发展为微纳电子增材制造的一种新手段,故综述了微纳电子静电打印的技术原理、材料工艺及潜... 随着电子器件向小型化、集成化、多功能化方向发展,传统电子制造技术在制造精度、材料适应性、工艺灵活性等方面暴露出局限性,而静电打印技术已发展为微纳电子增材制造的一种新手段,故综述了微纳电子静电打印的技术原理、材料工艺及潜在应用。首先,阐述该技术的基本原理,着重介绍了微滴喷射、泰勒锥射流两种打印模式;接着,探讨金属纳米材料油墨、金属前驱体油墨和液态金属等不同电子材料的静电打印工艺特点和适用范围;最后,总结该技术在微纳电路、柔性电子、曲面电子及生物传感等领域的最新应用研究,并展望其未来研究方向,以促进静电打印技术在微纳电子领域的技术发展。 展开更多
关键词 微纳静电打印 电子材料与工艺 先进功能电路 电子增材制造
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典型海洋地质样品扫描电镜的前处理方法
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作者 张灵敏 党皓文 +9 位作者 戴璐 金晓波 卢婉仪 李琛 张燕 沈玥 卜鸣渊 曾治惟 唐银宁 王雨楠 《海洋地质与第四纪地质》 北大核心 2025年第4期216-227,共12页
扫描电子显微镜(SEM)在海洋地质研究中具有重要作用,可揭示样品的微观形貌和成分特征。海洋地质样品的复杂性和多样性对前处理技术提出特殊要求,样品制备方法成为确保成像质量和数据可靠性的关键。本文系统总结了典型海洋地质样品(包括... 扫描电子显微镜(SEM)在海洋地质研究中具有重要作用,可揭示样品的微观形貌和成分特征。海洋地质样品的复杂性和多样性对前处理技术提出特殊要求,样品制备方法成为确保成像质量和数据可靠性的关键。本文系统总结了典型海洋地质样品(包括有孔虫、介形虫、颗石藻、孢粉、嗜中性微需氧铁氧化菌、冷水珊瑚、粉末沉积物及岩石碎屑)的SEM前处理方法,涵盖清洗、超声处理、干燥、固定、镀膜及测试等关键步骤。针对各类样品的理化特性(如脆弱性、高含水量、导电性差),阐述了技术要点、常见问题(如荷电效应、结构塌陷)及优化方案。优化的样品前处理流程能显著提升SEM成像分辨率和数据可靠性,为海洋地质微观分析提供技术参考和借鉴。 展开更多
关键词 海洋地质样品 扫描电子显微镜 前处理方法 微观形貌
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基于微服务架构的电子病历智能内涵质控系统建设实践
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作者 夏大翔 张帧 +3 位作者 张贝贝 苏义武 李成伟 伍莹莹 《中国卫生信息管理杂志》 2025年第5期695-701,共7页
目的电子病历的质控是医疗质量管理的关键,传统人工审查耗时且易出错,因此按需开发了基于微服务架构的智能质控系统。方法利用自然语言处理和大语言模型,自动分析病历文本。系统通过医疗质控规则和LoRA微调技术,优化模型对医疗场景的适... 目的电子病历的质控是医疗质量管理的关键,传统人工审查耗时且易出错,因此按需开发了基于微服务架构的智能质控系统。方法利用自然语言处理和大语言模型,自动分析病历文本。系统通过医疗质控规则和LoRA微调技术,优化模型对医疗场景的适应性,自动提取质控问题并生成精准建议。微服务架构确保系统灵活可扩展,支持动态加载规则和实时更新模型。结果测试显示,该系统在质控问题识别和分析上比人工审查更快速、准确,显著提升了医疗质量。结论该电子病历智能内涵质控系统在提升质控水平方面成效显著,具有较高应用价值与推广前景。 展开更多
关键词 微服务架构 电子病历 智能内涵质控 自然语言处理 大语言模型
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