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题名非接触式预对准系统及控制技术研究
被引量：1
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作者
刘玄博
孙广翔
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2014年第2期18-22,32,共6页
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文摘
高精度高效率的预对准系统是现代集成电路(IC)生产中实现晶圆自动传输的重要部件。介绍了预对准台的大致设计结构,分析了目前常见的找心算法以及存在的问题,进而提出新的找圆心算法。之后针对带切边晶圆片的切边方向定位算法进行了分析归纳,总结出完整的切边定位算法。
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关键词
预对准
圆心校正
切边校正
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Keywords
Pre-align
Circle fitting
wafer loader fitting
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分类号
TN605
[电子电信—电路与系统]
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题名晶片传输系统中切边探测和预对准技术
被引量：8
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作者
杨兴平
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2003年第1期43-47,共5页
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文摘
介绍投影光刻机设备的晶片传输系统中切边探测和晶片预对准技术。
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关键词
投影光刻
晶片传输
切边
机械预对准
光学预对准
半导体
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Keywords
Projection Lithography
wafer loader
Orientation flat (OF)
Detection
Machine prealignment Optical prealignment
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名背钝化自动上下料机稳定性分析及优化设计
被引量：1
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作者
穆星泽
王志宏
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机构
中国电子科技集团公司第二研究所
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出处
《机械管理开发》
2024年第6期164-166,共3页
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文摘
背钝化自动上下料机的稳定性指标主要体现在开机率、硅片卡堵次数及硅片碎片率上。基于此,分析了影响设备稳定运行的因素,通过对设备结构及流程优化设计,有效提升了设备的稳定性,降低了设备碎片率和卡堵次数,提升了设备的开机率,为客户创造了可观的经济效益。
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关键词
背钝化自动插片机
设备稳定性
硅片
搬近组件
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Keywords
back passivation automatic loader&unloader machine
equipment stability
slilcon wafers
relocated modules
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分类号
TM914.41
[电气工程—电力电子与电力传动]
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