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非制冷型多波长VCSEL泵浦固体激光器的研究
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作者 苟栋良 李阳 +4 位作者 邱小浪 袁崇献 范鑫烨 李川川 韦欣 《激光与红外》 北大核心 2025年第4期505-512,共8页
固体激光器的应用需求持续增长,传统Nd∶YAG激光器因依赖复杂的温控系统面临高成本、高功耗和较差的机械性能等问题,为拓展应用场合亟待解决。本文提出一种非制冷型多波长VCSEL泵浦固体激光器设计方案,旨在通过优化多波长VCSEL组合实现... 固体激光器的应用需求持续增长,传统Nd∶YAG激光器因依赖复杂的温控系统面临高成本、高功耗和较差的机械性能等问题,为拓展应用场合亟待解决。本文提出一种非制冷型多波长VCSEL泵浦固体激光器设计方案,旨在通过优化多波长VCSEL组合实现宽温区内的高功率稳定输出。研究采用三波长VCSEL阵列作为泵浦源,对尺寸为Φ6 mm×40 mm、掺杂浓度为1.0 at.%的Nd∶YAG晶体进行侧面泵浦。多波长VCSEL阵列波长互补,有效降低了温度漂移对晶体吸收效率的影响。同时,四面泵浦设计提高了泵浦光程利用率和粒子数反转的均匀性。实验结果表明,在5~45℃内,该激光器可高性能工作,45℃时,输出功率仍可超过100 W。在泵浦电流80 A、重复频率20 Hz下,3∶2∶1模块的最大峰值功率达302.8 W,整体波动性为17.83%,均优于单波长模块。多波长模块通过多波段补偿机制,在极端温度下仍保持较高稳定性。 展开更多
关键词 多波长vcsel阵列 宽温区 固体激光器 非制冷
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基于VCSEL的无磁温控系统设计
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作者 刘宇 荀宇洁 +1 位作者 曾中明 吴东岷 《激光杂志》 北大核心 2025年第1期16-22,共7页
垂直腔面发射激光器(Vertical-cavity surface-emitting laser,VCSEL)是小型化原子磁强计的重要组成部分,为了满足原子磁强计对高稳定性、高灵敏度激光器温控系统的需求,研究了一套基于XILINX-7000系列Zynq7020芯片的无磁高频加热电路,... 垂直腔面发射激光器(Vertical-cavity surface-emitting laser,VCSEL)是小型化原子磁强计的重要组成部分,为了满足原子磁强计对高稳定性、高灵敏度激光器温控系统的需求,研究了一套基于XILINX-7000系列Zynq7020芯片的无磁高频加热电路,通过增量式PID算法实现高频加热信号的幅度调制,该电路既可以稳定控制VCSEL的温度,又可以避免产生低频磁场。Zynq7020具有独特的PS(Processing System)和PL(Programmable Logic)架构,利用PL端的高速并行性驱动多个外围芯片,利用PS端的灵活便捷性进行增量式PID的计算,二者通过Block RAM共享缓存数据,实现了对VCSEL温度的闭环控制。经测试,该系统可以对VCSEL实现快速、稳定的温度控制,其在200 s内便可加热至80℃,且温度稳定性高于±0.003℃;在外加电流干扰时可于20 s内恢复稳定,具有良好的抗干扰性。 展开更多
关键词 vcsel 原子磁强计 温控系统 Zynq7020、PID算法
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Numerical simulations on the photoelectric performance of AlGaN-based ultraviolet VCSELs with a slope-shaped p-type layer
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作者 WEN Xin-xin JIA Wei +4 位作者 ZHAI Guang-mei DONG Hai-liang ZHAO Chao LI Tian-bao XU Bing-she 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第3期499-509,共11页
Owing to the low p-type doping efficiency in the hole injection layers(HILs)of GaN-based ultra-violet(UV)vertical-cavity surface-emitting laser(VCSEL),effective hole injection in multi-quantum wells(MQW)is not achieve... Owing to the low p-type doping efficiency in the hole injection layers(HILs)of GaN-based ultra-violet(UV)vertical-cavity surface-emitting laser(VCSEL),effective hole injection in multi-quantum wells(MQW)is not achieved,significantly limiting the photoelectric performance of UV VCSELs.We developed a slope-shaped HIL and an EBL structure in AlGaN-based UV VCSELs.In this study,by improving hole in-jection efficiency,the hole concentration in the HIL is increased,and the hole barrier at the electron barrier layer(EBL)/HIL interface is decreased.This minimises the hindering effect of hole injection.A mathematic-al model of this structure was established using a commercial software,photonic integrated circuit simulator in three-dimension(PICS3D).We conducted simulations and theoretical analyses of the band structure and carrier concentration.Introducing polarisation doping through the Al composition gradient in the HIL en-hanced the hole concentration,thereby improving the hole injection efficiency.Furthermore,modifying the EBL eliminated the abrupt potential barrier for holes at the HIL/EBL interface,smoothing the valence band.This improved the stimulated radiative recombination rate in the MQW,increasing the laser power.There-fore,the sloped p-type layer can enhance the optoelectronic performance of UV VCSELs. 展开更多
关键词 UV vcsel AlGaN polarisation doping electron barrier layer(EBL) hole injection efficiency
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基于VCSEL的可见光通信系统设计
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作者 王伟 王坤 付相为 《信息技术》 2025年第7期1-8,共8页
目前可见光通信大多使用LED作为光源,而LED会引入电源噪声且调制设备复杂,针对以上问题,采用VCSEL器件作为可见光通信的光源,并在时域上进行高频调制,设计出了VCSEL器件的收发模块电路,该电路能输出25MHz OOK调制信号;将8B10B编码机制... 目前可见光通信大多使用LED作为光源,而LED会引入电源噪声且调制设备复杂,针对以上问题,采用VCSEL器件作为可见光通信的光源,并在时域上进行高频调制,设计出了VCSEL器件的收发模块电路,该电路能输出25MHz OOK调制信号;将8B10B编码机制应用在可见光通信通信系统,保证了数据直流平衡和同步时钟信号传输,并在FPGA搭建出了完整的可见光通信系统,其结果在15Mb/s的调制下能够稳定传输数据,针对可见光通信优化的数据编解码器资源占用减少了12%,该系统具有实现成本低、传输速度高以及稳定性高等特点,适用于室内小型设备通信。 展开更多
关键词 可见光通信 vcsel器件 8B10B编解码 FPGA设计
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煤矿氧气检测高精度VCSEL驱动及温控电路设计 被引量:4
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作者 于庆 张华乾 郭清华 《矿业安全与环保》 CAS 北大核心 2024年第2期153-160,共8页
为解决当前常用煤矿氧气检测仪器易受交叉气体干扰且功耗大的问题,基于GD32F303RCT6微控制器和ADN8834热电冷却控制器,设计了一种软启动开关电路控制的垂直腔面发射激光器(Vertical-cavity Surface-emitting Laser,VCSEL)高精度驱动及... 为解决当前常用煤矿氧气检测仪器易受交叉气体干扰且功耗大的问题,基于GD32F303RCT6微控制器和ADN8834热电冷却控制器,设计了一种软启动开关电路控制的垂直腔面发射激光器(Vertical-cavity Surface-emitting Laser,VCSEL)高精度驱动及温控电路。驱动电路中,高频正弦波信号和低频锯齿波信号叠加的二进制数据由微控制器产生,经信号发生电路、电压电流转换电路转化成VCSEL高精度驱动电流信号;温控电路中,设计基于比例积分微分(Proportional Integral Differential,PID)补偿电路和数模转换控制器(Digital to Analog Converter,DAC)目标温度控制电路实现激光器温度自动调节。测试结果表明:驱动电路的电流输出区间为0.680~1.360 mA;锯齿波频率误差小于0.5%,正弦波频率误差小于0.1%;氧气吸收峰扫描精度高达0.07 pm,对应电流扫描精度为0.12μA;温控电路的温度控制精度为±0.012℃。满足了可调谐半导体激光吸收光谱(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy,TDLAS)煤矿氧气检测应用需求。 展开更多
关键词 煤矿 氧气检测 vcsel 高精度驱动及温控电路 PID补偿电路 DAC目标温度控制电路
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一种基于FPGA的小型化VCSEL激光器温控电路设计 被引量:1
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作者 张晨亮 秦旭磊 +2 位作者 吴东岷 王健 刘艳阳 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2024年第4期47-54,共8页
原子磁强计具有高灵敏度的优点,常被用于测量磁场,磁强计系统中激光器波长的稳定性易受温度影响,导致灵敏度下降。为了提高温度的稳定性,设计一种基于FPGA的激光器温度控制电路,采用ZYNQ7020作为主控芯片,实现可编程逻辑端与处理系统端... 原子磁强计具有高灵敏度的优点,常被用于测量磁场,磁强计系统中激光器波长的稳定性易受温度影响,导致灵敏度下降。为了提高温度的稳定性,设计一种基于FPGA的激光器温度控制电路,采用ZYNQ7020作为主控芯片,实现可编程逻辑端与处理系统端的信息交互,通过PID算法对数据处理,改变加热信号幅值。为防止直流加热信号引入磁场干扰,影响磁强计性能,采用1 MHz交流正弦波进行加热,完成对温度的闭环控制,最终实现了VCSEL温度控制电路的小型化。实验结果表明,该电路能够将温度控制在80℃,控制精度可以达到±0.003 5℃,满足磁强计系统中激光器对温度稳定性的需求。 展开更多
关键词 vcsel 增量式PID算法 FPGA 小型化
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增厚DBR型894 nm窄线宽VCSEL
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作者 范屹梁 孙玉润 +3 位作者 付秋雪 于淑珍 仇伯仓 董建荣 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第5期449-454,共6页
垂直腔面发射激光器(VCSEL)是芯片级原子钟(CSAC)的主流光源,其光束质量会影响CSAC的各项性能。扩展VCSEL内部有效腔长能够以压缩冷腔线宽的方式压窄器件最终辐射激光的线宽,从而可以减小CSAC短时间内的计时频率噪声。根据所计算的VCSE... 垂直腔面发射激光器(VCSEL)是芯片级原子钟(CSAC)的主流光源,其光束质量会影响CSAC的各项性能。扩展VCSEL内部有效腔长能够以压缩冷腔线宽的方式压窄器件最终辐射激光的线宽,从而可以减小CSAC短时间内的计时频率噪声。根据所计算的VCSEL表面反射谱,将VCSEL中4层下分布式布拉格反射镜(DBR)的厚度由常规的四分之一波长增加至404 nm,压缩了VCSEL冷腔线宽,并生长了对应的外延结构,制备了通过增厚DBR扩展有效腔长的894 nm窄线宽VCSEL。测试结果表明,研制的VCSEL在90℃下波长为893.1 nm,功率为0.335 mW,线宽约为32 MHz,且具有稳定的偏振特性。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器(vcsel) 芯片级原子钟(CSAC) 有效腔长 分布式布拉格反射镜(DBR) 线宽
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表面菱形孔795 nm VCSEL的偏振特性
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作者 付秋雪 孙玉润 +3 位作者 于淑珍 范屹梁 仇伯仓 董建荣 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第7期609-617,共9页
795 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)作为铷基芯片级原子钟(Rb-CSAC)的光源,其输出光的偏振不稳定会降低Rb-CSAC的稳定度和精确度。为了满足Rb-CSAC对795 nm VCSEL偏振稳定的需求,设计了一种具有表面菱形孔的偏振稳定的795 nm VCSEL。通过... 795 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)作为铷基芯片级原子钟(Rb-CSAC)的光源,其输出光的偏振不稳定会降低Rb-CSAC的稳定度和精确度。为了满足Rb-CSAC对795 nm VCSEL偏振稳定的需求,设计了一种具有表面菱形孔的偏振稳定的795 nm VCSEL。通过有限时域差分(FDTD)法计算了VCSEL的偏振特性,结果表明VCSEL的顶部分布式布拉格反射镜(DBR)在表面菱形孔的长轴和短轴方向具有不同的反射率。反射率高的偏振模式阈值增益低,成为VCSEL优先激射的主导偏振模式。为进一步提高VCSEL的偏振抑制比(OPSR),将VCSEL的氧化孔制作成尺寸为5.5μm×4.1μm的菱形。对不同长、短轴的表面菱形孔795 nm VCSEL进行偏振测试,结果表明,当表面菱形孔的尺寸为4μm×6μm,且菱形氧化孔的长轴与表面菱形孔的长轴相互垂直时,VCSEL的OPSR可达到16.22 dB。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器(vcsel) 表面菱形孔 偏振控制 芯片级原子钟(CSAC) 分布式布拉格反射镜(DBR)
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Single-fundamental-mode cryogenic(3.6 K)850-nm oxideconfined VCSEL
9
作者 Anjin Liu Chenxi Hao +6 位作者 Jingyu Huo Hailong Han Minglu Wang Bao Tang Lingyun Li Lixing You Wanhua Zheng 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2024年第10期69-73,共5页
Cryogenic oxide-confined vertical-cavity surface-emitting laser(VCSEL)has promising application in cryogenic optical interconnect for cryogenic computing.In this paper,we demonstrate a cryogenic 850-nm oxide-confined ... Cryogenic oxide-confined vertical-cavity surface-emitting laser(VCSEL)has promising application in cryogenic optical interconnect for cryogenic computing.In this paper,we demonstrate a cryogenic 850-nm oxide-confined VCSEL at around 4 K.The cryogenic VCSEL with an optical oxide aperture of 6.5μm in diameter can operate in single fundamental mode with a side-mode suppression-ratio of 36 dB at 3.6 K,and the fiber-coupled output power reaches 1 mW at 5 mA.The small signal modulation measurements at 298 and 292 K show the fabricated VCSEL has the potential to achieve a high modulation bandwidth at cryogenic temperature. 展开更多
关键词 vcsel cryogenic temperature cryogenic computing optical interconnect
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基于VCSEL激光器的激光甲烷传感器研制与应用
10
作者 孟建 《煤炭科技》 2024年第1期72-77,共6页
基于VCSEL激光器,研制了高性能低功耗激光甲烷传感器,并进行了实际应用。该激光甲烷传感器具有响应快速、灵敏度高、抗光学与电子干扰性能优、无接触性检测且选择性强等优点,解决了当今煤矿井下广泛使用的热催化式甲烷传感器存在的零点... 基于VCSEL激光器,研制了高性能低功耗激光甲烷传感器,并进行了实际应用。该激光甲烷传感器具有响应快速、灵敏度高、抗光学与电子干扰性能优、无接触性检测且选择性强等优点,解决了当今煤矿井下广泛使用的热催化式甲烷传感器存在的零点易漂移、电气功耗高、使用周期短、易受其他有毒有害气体干扰、易受现场湿度和温度影响等诸多问题,提高了安全监测监控系统的可靠性。 展开更多
关键词 vcsel激光器 激光甲烷传感器 高性能 低功耗
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带宽超30 GHz的850 nm方形横向耦合腔VCSEL
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作者 佟海霞 王延靖 +4 位作者 田思聪 蒋宁 李浩 佟存柱 魏志鹏 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期493-499,共7页
如今,人们对研究耦合腔面发射激光器结构的兴趣逐渐增加。这种结构通过向主腔施加调制电的同时向每个反馈腔施加直流电来实现带宽提升。然而,单独驱动主腔对器件性能的影响尚未得到深入研究。为了更全面地了解耦合腔激光器,我们设计并... 如今,人们对研究耦合腔面发射激光器结构的兴趣逐渐增加。这种结构通过向主腔施加调制电的同时向每个反馈腔施加直流电来实现带宽提升。然而,单独驱动主腔对器件性能的影响尚未得到深入研究。为了更全面地了解耦合腔激光器,我们设计并制备了边长为30μm×30μm的方形横向耦合腔VCSEL,并研究了在方形横向耦合腔中单独驱动主腔时器件性能的变化。室温下,-3 dB带宽达30.1 GHz,在非归零调制下,在背对背传输速率40 Gbit/s时获得清晰的眼图,相对强度噪声值为-160 dB/Hz。证明了反馈腔在不加驱动的条件下仍会对主腔的性能提供正向作用。设计的TCC-VCSEL器件只需要一个电源驱动,使其适用于高密度集成,为封装集成应用提供了新的思路。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 横向耦合腔 高速
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电磁MEMS-VCSELs微结构的仿真与分析 被引量:1
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作者 廖启超 孙涛 +2 位作者 姜楠 关宝璐 何凯旋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第12期155-159,164,共6页
提出了一种电磁驱动式VCSELs阵列与MEMS微镜集成化的MEMS-VCSELs微结构,给出了圆角矩形线圈的布线规则,并利用格林定理求解等温线性雷诺方程后,建立了带有金属线圈和VCSELs的活动平板的转动惯量、阻尼系数等参量的理论模型。使用Auto CA... 提出了一种电磁驱动式VCSELs阵列与MEMS微镜集成化的MEMS-VCSELs微结构,给出了圆角矩形线圈的布线规则,并利用格林定理求解等温线性雷诺方程后,建立了带有金属线圈和VCSELs的活动平板的转动惯量、阻尼系数等参量的理论模型。使用Auto CAD及COMSOL软件搭建了有限元模型,考虑了微结构各模块的组合特性以及磁力矩的效用特性。通过添加材料固体力学相关要素进行了稳态和频域下的状态模拟,探究了微结构的静态扭转、谐振模态、谐响应以及扭转应力等扭转特性。结果表明:边界载荷作用下微结构的最大静态机械扭转角度达到3.02°;在一阶模态作为工作模态时,其谐振频率为1.313 kHz,谐振状态机械扭转角度可达42°,并与其余临近高阶模态相对独立。通过提取静态和谐振态下扭转梁表面中心线的应力分布,其最大应力值小于硅基直扭转梁的安全应力,微结构可靠性良好。 展开更多
关键词 MEMS-垂直腔面微结构 MEMS微镜 激光雷达 有限元仿真
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高功率VCSEL激光器光束发散角的测量方法
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作者 崔辰好 李正权 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期508-515,共8页
垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,简称VCSEL)由于其能发射出垂直于腔面光束的特性使得多个VCSEL激光器可以在同一片芯片上紧密集成,而不需要大量的空间;且VCSEL激光器使用共振腔的反射镜来增强光并放大,从... 垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,简称VCSEL)由于其能发射出垂直于腔面光束的特性使得多个VCSEL激光器可以在同一片芯片上紧密集成,而不需要大量的空间;且VCSEL激光器使用共振腔的反射镜来增强光并放大,从而实现高效的光发射;通常情况下,VCSEL激光器的发光效率可以达到40至60之间,与传统的激光器相比,VCSEL激光器更容易实现高效率。由于VCSEL激光器的可集成性好、效率高等特点,使其广泛应用于3D感知、自动驾驶、光通信等领域。因此,VCSEL激光器的质量检测工作也显得越来越重要。随着VCSEL激光器进军高功率领域,其发光束的模式也经历了从基模变为高阶模的过程,光束已经从类高斯光束变为了类拉盖尔-高斯空心圆环光束。虽然传统的1/e^(2)、D86等算法在测量基模下的类高斯光束的发散角较为精确,但对于高阶模式下的类拉盖尔-高斯空心圆环光束,这些方法则出现了明显的误差。考虑到VCSEL激光器在自动驾驶等重要领域的广泛应用,其光束精确度的要求也随之提高。因此,本文采用了D4σ算法,针对类拉盖尔-高斯空心圆环光束进行发散角测量,与1/e^(2)、D86等传统算法进行了比较。结果显示,新方法在发散角测量准确度上最高提升了230。 展开更多
关键词 D4σ算法 光束质量 光束发散角 垂直腔面发射激光器 类拉盖尔-高斯空心圆环光束
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VCSELs高阶分岔及混沌行为的参数控制 被引量:9
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作者 潘炜 张晓霞 +4 位作者 罗斌 邓果 李孝峰 张伟利 陈建国 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1789-1792,共4页
基于自发辐射在微腔激光器中的独特性 ,利用参数开关调制控制混沌的理论和技术 ,对VCSELs实施高频大信号深度调制和混沌控制的数值模拟 .结果表明 ,提高自发辐射因子可抑制VCSELs的非线性行为 ,通过对自发辐射因子的开关调制 ,可把系统... 基于自发辐射在微腔激光器中的独特性 ,利用参数开关调制控制混沌的理论和技术 ,对VCSELs实施高频大信号深度调制和混沌控制的数值模拟 .结果表明 ,提高自发辐射因子可抑制VCSELs的非线性行为 ,通过对自发辐射因子的开关调制 ,可把系统由混沌状态控制到平衡态和nP周期轨道 ,同时给出了VCSELS各种稳定周期态、分岔数。 展开更多
关键词 vcselS 自发辐射因子 分岔 混沌 参数控制
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单模VCSEL激光自混合测距精度的提高 被引量:5
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作者 徐军 赵天鹏 +6 位作者 何德勇 王焕钦 明海 谢建平 吕亮 桂华侨 易波 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期27-31,74,共6页
单模VCSEL激光自混合测距具有测距精度高、功耗低和结构简单等优点。对单模VCSEI。进行了大频偏的三角波电流调制,应用差频模拟锁相环处理自混合拍频信号,明显减小了拍频信号在三角波拐点处固相位突变、波形周期不等以及波形的调幅干... 单模VCSEL激光自混合测距具有测距精度高、功耗低和结构简单等优点。对单模VCSEI。进行了大频偏的三角波电流调制,应用差频模拟锁相环处理自混合拍频信号,明显减小了拍频信号在三角波拐点处固相位突变、波形周期不等以及波形的调幅干扰和失真等因素造成的影响。实验结果表明,提高了测距精度和动态范围。室温下,在单模VCSEL输出功率0.7mW,波长850nm,调制三角坡的频率1.3kHz,幅度0.4Vrms,采样时间0.1S,散射面为粗糙金属片的条件下,测距范围达到50~500mm,测距精度达到2mm,分辨率优于2mm。 展开更多
关键词 单模vcsel 自混合效应 测距 三角波线性调频 差频模拟锁相环
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高精度宽测速范围精确方向判别单模VCSEL自混合LDV 被引量:5
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作者 何德勇 赵天鹏 +3 位作者 王焕钦 徐军 明海 谢建平 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期235-239,共5页
单模VCSEL(Vertical cavity surface emitting laser)激光器自混合LDV(Laser Doppler veloci- tymeter)系统的温度特性和外腔长度L_(ext)(激光器前腔镜到目标散射面之间的光程)可变范围优于多模激光器LDV系统。应用差频模拟锁相环信号... 单模VCSEL(Vertical cavity surface emitting laser)激光器自混合LDV(Laser Doppler veloci- tymeter)系统的温度特性和外腔长度L_(ext)(激光器前腔镜到目标散射面之间的光程)可变范围优于多模激光器LDV系统。应用差频模拟锁相环信号处理技术,明显提高了单模VCSEL自混合LDV测速精度和测速动态范围.用多普勒频移f_d的分频跟踪三角波电流调制技术,提高了运动方向判别的精度和动态范围.实验结果表明,在外腔长度为30mm±3mm、温度为0℃~55℃、采样时间0.1s、激光器无温控的条件下,分辨率优于0.2%;在测速范围为30~480mm/s的条件下,测速精度优于1%;在速度范围为5~480mm/s的条件下,测速精度优于2%.在电源电压为5V时,正向运动方向指示电平大于4.9V,反向运动方向指示电平小于0.1V. 展开更多
关键词 激光技术 单模vcsel 自混合LDV 模拟差频锁相环 方向判别
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利用VCSEL激光二极管在1.58μm波段对CO_2气体温度的测量 被引量:5
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作者 李宁 严建华 +2 位作者 王飞 池涌 岑可法 《燃烧科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期458-462,共5页
利用1.58μm处的VCSEL激光二极管对CO2气体的两条特征谱线进行扫描以实现气体温度的测量.介绍了利用可调谐激光光谱结合波长调制方法进行温度测量的基本原理,并讨论了相关的影响因素.在常压下的加热石英管中进行了实验,在温度为20... 利用1.58μm处的VCSEL激光二极管对CO2气体的两条特征谱线进行扫描以实现气体温度的测量.介绍了利用可调谐激光光谱结合波长调制方法进行温度测量的基本原理,并讨论了相关的影响因素.在常压下的加热石英管中进行了实验,在温度为20~300℃时,计算值与热电偶信号的温差在35℃以内.通过对测量误差的分析,为实现单激光器同时测量气体温度与浓度提供参考. 展开更多
关键词 vcsel激光二极管 可调谐激光吸收光谱技术 温度测量 波长调制
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16-Channel 0.35μm CMOS/VCSEL Transmission Modules 被引量:3
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作者 陈弘达 申荣铉 +9 位作者 毛陆虹 唐君 梁琨 杜云 黄永箴 吴荣汉 冯军 柯锡明 刘欢艳 王志功 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期245-249,共5页
The vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) arrays and VCSEL-based optical transmission modules are investigated.It includes the VCSEL's spectral characteristic,modulation characteristic,high frequency char... The vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) arrays and VCSEL-based optical transmission modules are investigated.It includes the VCSEL's spectral characteristic,modulation characteristic,high frequency characteristic,and compatibility with microelectronic circuit.The module consists of 1×16 VCSEL array and 16-channel lasers driver with 0.35μm CMOS circuit by hybrid integration.During the test process,the module operates well at more than 2GHz in -3dB frequency bandwidth. 展开更多
关键词 vcsel CMOS optoelectronic integration optical interconnects
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高精度宽动态范围单模VCSEL自混合LDV测速方法的研究 被引量:3
19
作者 徐军 赵天鹏 +5 位作者 何德勇 吕亮 桂华侨 明海 谢建平 易波 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期583-588,共6页
自混合激光多普勒测速(laser Doppler velocimetry,LDV)精度与激光器模式、多普勒信号频率展宽、激光器前腔镜到反射面距离(外腔长)的变化范围以及速度的动态范围等因素密切相关,研究结果表明,采用新型小功率单模垂直腔表面发射激光器(v... 自混合激光多普勒测速(laser Doppler velocimetry,LDV)精度与激光器模式、多普勒信号频率展宽、激光器前腔镜到反射面距离(外腔长)的变化范围以及速度的动态范围等因素密切相关,研究结果表明,采用新型小功率单模垂直腔表面发射激光器(vertical-cavity surface-emitting laser,VCSEL)和模拟差频锁相技术,在外腔长度为30 mm±1 mm,速度范围为30~480 mm/s,采样时间为0.1 s的条件下,测速精度优于1%,重复精度优于0.2%,具有测速精度高、动态范围大、成本低等特点. 展开更多
关键词 单模vcsel 自混合LDV 模拟差频锁相
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AlAs/AlGaAs的湿氧氧化及其在VCSEL制备中的应用 被引量:3
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作者 黄静 郭霞 +4 位作者 渠红伟 廉鹏 朱文军 邹德恕 沈光地 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期341-343,349,共4页
根据制备垂直腔面发射激光器 (VCSEL)电流限制层的需要 ,通过实验方法研究了氧化温度、Al组分和晶向等条件对AlGaAs氧化速率的影响 ,得到适用于VCSEL的材料参数和氧化条件 ;对氧化后表面分层、欧姆接触特性变差等现象进行分析 ,得到解... 根据制备垂直腔面发射激光器 (VCSEL)电流限制层的需要 ,通过实验方法研究了氧化温度、Al组分和晶向等条件对AlGaAs氧化速率的影响 ,得到适用于VCSEL的材料参数和氧化条件 ;对氧化后表面分层、欧姆接触特性变差等现象进行分析 ,得到解决或改善方案。比较AlAs和Al0 .98Ga0 .0 2 As氧化特性及氧化后的热稳定性 ,结果表明Al0 .98Ga0 .0 2 As较AlAs更适于作VCSEL电流限制层。将优化的氧化条件及材料参数应用于VCSEL制备 ,得到室温连续工作的VCSEL器件 ,其阈值电流为 0 .8mA ,激射波长为 980nm ,工作电流为 15mA时输出功率可达 3.2mW。 展开更多
关键词 vcsel ALGAAS 氧化
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