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磁控溅射制备TiWN/MoS_2薄膜及其微观结构和摩擦学性能研究 被引量：3
1
作者 莫超超 李长生 +1 位作者 晋跃 廖东候 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期48-51,56,共5页
采用磁控溅射方法在40Gr不锈钢基体上,沉积了TiN及TiWN单层薄膜、TiN/MoS2及Ti-WN/MoS2双层薄膜,对比分析了薄膜的成分、相结构、微观形貌及摩擦学性能。结果表明:根据W含量的不同,TiWN薄膜中,Ti0.67W0.33N膜层具有较高的硬度和弹性模量... 采用磁控溅射方法在40Gr不锈钢基体上,沉积了TiN及TiWN单层薄膜、TiN/MoS2及Ti-WN/MoS2双层薄膜,对比分析了薄膜的成分、相结构、微观形貌及摩擦学性能。结果表明:根据W含量的不同,TiWN薄膜中,Ti0.67W0.33N膜层具有较高的硬度和弹性模量;TiWN/MoS2薄膜中,TiWN层主要含有TiN和WN相,MoS2层含有MoS2和MoO3相;与TiN/MoS2薄膜比较,TiWN/MoS2薄膜具有更优异的减摩、耐磨性能,可减小材料的磨损,延长其使用寿命。 展开更多
关键词 tiwn/MoS2涂层 磁控溅射 微观结构 摩擦磨损性能
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电阻阵列红外景物产生器微桥结构的研制及仿真 被引量：2
2
作者 周顺 刘卫国 +2 位作者 蔡长龙 刘欢 秦文罡 《西安工业大学学报》 CAS 2012年第8期613-616,共4页
为了进一步提高电阻阵列红外景物产生器的性能,设计并制作了该器件的微桥结构.利用SiOx与TiWN分别作为微桥结构的介电材料与电阻材料;利用表面工艺技术制作160×120阵列微桥结构;并对微桥结构进行了热学性能的仿真分析.研究结果表明... 为了进一步提高电阻阵列红外景物产生器的性能,设计并制作了该器件的微桥结构.利用SiOx与TiWN分别作为微桥结构的介电材料与电阻材料;利用表面工艺技术制作160×120阵列微桥结构;并对微桥结构进行了热学性能的仿真分析.研究结果表明:所设计的工艺流程可行,成功制作了微桥结构阵列;制作的微桥桥面具有良好的温度分布均匀性;在相同电功率下,采用低热导率的SiOx薄膜取代SiNx薄膜能够显著提高桥面温度. 展开更多
关键词 红外景物产生器 微桥 微加工技术 SIOX tiwn
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W含量对Ti_(1-x)W_xN复合膜的微结构、力学性能和摩擦性能的影响 被引量：1
3
作者 喻利花 董鸿志 许俊华 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2014年第5期812-817,共6页
采用射频反应磁控溅射技术制备一系列不同W含量的TiWN复合膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损仪等对TiWN复合膜微结构、力学性能和摩擦性能进行表征。结果表明:当W含量为10.19%时,TiWN复合膜呈fcc结构的TiWN相和Ti相双相结构;当... 采用射频反应磁控溅射技术制备一系列不同W含量的TiWN复合膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损仪等对TiWN复合膜微结构、力学性能和摩擦性能进行表征。结果表明:当W含量为10.19%时,TiWN复合膜呈fcc结构的TiWN相和Ti相双相结构;当W含量为25.42%时,复合膜中除TiWN相和Ti相,还出现了Ti2N新相;而当W含量为35.29%时,Ti相消失,W2N和β-W新相生成;当W含量增加到46.91%时,薄膜由TiWN,Ti2N,W2N和β-W相组成。随W含量的增加,薄膜硬度先升高后降低,室温摩擦因数和磨损率先减小后增大。W含量为35.29%时,硬度达到最大值,为30.67 GPa,室温摩擦因数和磨损率达到最小值,分别为0.531和3.662×10-8 mm2N-1。随温度升高,薄膜的摩擦因数先增大后减小,当温度升至800℃时,摩擦因数降至最低,为0.397。 展开更多
关键词 磁控溅射 tiwn复合膜 微结构 力学性能 摩擦性能
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反应溅射TiW_yN_x薄膜扩散势垒特性研究
4
作者 张国炳 武国英 +7 位作者 徐立 郝一龙 隋小平 A.P.Clarke P.J.Clarke M.D.Strathman T.Gates S.Baumann 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第11期702-707,T001,共7页
本文利用XRD、RBS、AES、SEM和电学测量技术系统地研究了反应溅射制备的TiW_yN_x薄膜的组份、结构和扩散势垒特性,实验结果表明,膜的组份、结构和特性受溅射时N_2流量影响和溅射功率的影响,这种TiW_yN_x膜经550℃30分钟退火后,仍能有效... 本文利用XRD、RBS、AES、SEM和电学测量技术系统地研究了反应溅射制备的TiW_yN_x薄膜的组份、结构和扩散势垒特性,实验结果表明,膜的组份、结构和特性受溅射时N_2流量影响和溅射功率的影响,这种TiW_yN_x膜经550℃30分钟退火后,仍能有效防止Al-Si扩散,从而改善了Al/TiW_yN_x/CoSi_2/Si浅结接触的热稳定性。 展开更多
关键词 tiwn薄膜 扩散 反应溅射 集成电路
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25例双胎反向动脉灌注序列征的产前评估与临床处理 被引量：2
5
作者 何志明 高羽 +5 位作者 周袆 罗艳敏 杨永忠 陈涌珍 陈筠虹 方群 《中华围产医学杂志》 CAS 北大核心 2012年第7期420-424,共5页
目的分析双胎反向动脉灌注序列征（twin reversed arterial perfusion sequence，TRAP）的临床特点，探讨其产前评估方法及临床处理。方法回顾25例TRAP产前诊断及超声检查结果，包括无心胎估重和脐血流、泵血胎心功能及大脑中动脉收缩... 目的分析双胎反向动脉灌注序列征（twin reversed arterial perfusion sequence，TRAP）的临床特点，探讨其产前评估方法及临床处理。方法回顾25例TRAP产前诊断及超声检查结果，包括无心胎估重和脐血流、泵血胎心功能及大脑中动脉收缩期峰值流速，分析其临床处理及妊娠结局。采用Fisher精确概率法进行统计学分析。结果（1）16例泵血胎行羊水染色体核型分析，发现1例嵌合型46，XX[363／46，XY[14]。（2）根据超声评估，巨大无心胎占87．0%（20／23），86．4％（19／22）的病例两胎脐动脉阻力指数差值≤0．20，提示无心胎血供丰富，66．7％（10／15）的泵血胎出现心功能失代偿，泵血胎大脑中动脉收缩期峰值流速〉1．5中位数的倍数者占75．0％（12／16），提示贫血。（3）血供丰富者发生巨大无心胎的比例（94．7％，18／19）高于血供不丰富者（1／3），差异有统计学意义（Fisher精确概率法，P=0．04）。巨大无心胎者泵血胎发生心功能失代偿的比例（83．3％，10／12）高于非巨大无心胎发生心功能失代偿的比例（0／3），差异有统计学意义（Fisher精确概率法，P=0．02）。（4）11例首诊后选择引产终止妊娠，14例继续妊娠者泵血胎存活率为64．3％（9／14）。继续妊娠者中3例首诊时不伴泵血胎心功能异常的非巨大无心胎选择保守观察，2例足月分娩，1例病情进展而引产；11例泵血胎心功能异常或贫血的巨大无心胎中5例选择保守观察，其中1例流产，3例病情进展（1例引产、2例早产），1例病情稳定至分娩；另外6例选择脐带电凝，5例成功，其中4例泵血胎存活。结论泵血胎的产前诊断结果、心功能状态、贫血、无心胎发育程度及脐血供是TRAP产前评估的重要指标，应根据产前评估结果对TRAP进行及时处理。 展开更多
关键词 双胎输血综合征 产前诊断
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