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Si/SiNx/SiO2多层膜的光致发光 被引量:3
1
作者 陈青云 段满益 +6 位作者 周海平 董成军 魏屹 纪红萱 黄劲松 陈卫东 徐明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期363-370,共8页
采用射频磁控溅射法,制备了具有强光致可见发光的纳米Si/SiNx/SiO2多层膜,利用傅立叶红外吸收(FTIR)谱,光致发光(PL)谱对其进行了研究。用260nm光激发得到的PL谱中观察到高强度的392nm(3.2eV)和670nm(1.9eV)光致发光峰,分析认为它们分... 采用射频磁控溅射法,制备了具有强光致可见发光的纳米Si/SiNx/SiO2多层膜,利用傅立叶红外吸收(FTIR)谱,光致发光(PL)谱对其进行了研究。用260nm光激发得到的PL谱中观察到高强度的392nm(3.2eV)和670nm(1.9eV)光致发光峰,分析认为它们分别来自于缺陷态≡Si-到价带顶和从导带底到缺陷态≡Si-的辐射跃迁而产生的光致激发辐射复合发光。PL谱中只有370nm(3.4eV)处发光峰的峰位会受退火温度的影响,结合FTIR谱认为370nm发光与低价氧化物—SiOx(x<2.0)结合体有密不可分的关系。当SiO2层的厚度增大时,发光强度有所增强,800℃退火后出现最强发光,认为具有较大SiO2层厚度的Si/SiNx/SiO2结构多层膜更有利于退火后形成Si—N网络,能够得到更高效的光致发光。用量子限制-发光中心(QCLC)模型解释了可能的发光机制,并建立了发光的能隙态(EGS)模型。 展开更多
关键词 Si/sinx/sio2多层膜 红外吸收 光致发光
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Effects of Multilayer Structure of Ag-SiO_(2) Films on the Photonic Band Gap 被引量:1
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作者 Song Zhitang Chen Su +1 位作者 Wang Yang Feng Songlin 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1736-1739,共4页
The one-dimensional photonic crystals of Ag/SiO_(2) system are studied to investigate the photonic band gaps (PBG). The samples were prepared by the ultra-high vacuum electron beam evaporation. The clear band gaps wer... The one-dimensional photonic crystals of Ag/SiO_(2) system are studied to investigate the photonic band gaps (PBG). The samples were prepared by the ultra-high vacuum electron beam evaporation. The clear band gaps were observed. Satisfactory agreement between experimental and calculated results was obtained without fitting. The thickness of SiO_(2 )film has influence on the photonic band gap, as well as it awfully affects the transmittance of Ag. More layers can get clearer PBG. 展开更多
关键词 Photonic crystal Photonic band gap Ultra-high vacuum electron beam evaporation Ag/sio2 multilayER
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Effects of Si-Layer-Thickness Ratio on UV-Light-Emission Intensity from Si/SiO<SUB>2</SUB>Multilayered Thin Films Prepared Using Radio-Frequency Sputtering
3
作者 Kenta Miura Hitomi Hoshino +1 位作者 Masashi Honmi Osamu Hanaizumi 《Materials Sciences and Applications》 2015年第3期215-219,共5页
We investigated the effects of Si-layer-thickness ratios on ultraviolet (UV) peak intensities of Si/ SiO2 multilayered films produced by alternately stacking several-nanometer-thick Si and SiO2 layers using radio-freq... We investigated the effects of Si-layer-thickness ratios on ultraviolet (UV) peak intensities of Si/ SiO2 multilayered films produced by alternately stacking several-nanometer-thick Si and SiO2 layers using radio-frequency sputtering for the first time. The Si-layer-thickness ratio of the Si/SiO2 film is a very important parameter for enhancing the peak intensity because the ratio is concerned with the size of Si nanocrystals in the film, which might affect the intensity of the UV light emission from the film. We prepared seven samples with various estimated Si-layer-thickness ratios, and measured the photoluminescence spectra of the samples after annealing at 1150°C, 1200°C, or 1250°C for 25 min. From our experiments, we estimate that the proper Si-layer-thickness ratio to obtain the strongest UV peaks from the Si/SiO2 multilayered films is around 0.29. Such a UV-lightemitting thin film is expected to be used in future higher-density optical-disk systems. 展开更多
关键词 SI sio2 multilayer SPUTTERING UV-LIGHT Emission
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SiO_2溶胶及其静电自组装薄膜的制备 被引量:6
4
作者 许丕池 姜德生 +2 位作者 余海湖 李小甫 李鸿辉 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第2期165-170,共6页
采用HCl催化、NH3 ·H2 O催化、HCl与NH3 ·H2 O分步催化三种途径制备了SiO2 胶体 ,用透射电镜观察了胶体粒子的形貌 .用静电自组装 (ESAM)法制备了聚电解质PDDA与SiO2 胶体粒子的有机 /无机复合光学薄膜 .实验结果表明 ,用HCl... 采用HCl催化、NH3 ·H2 O催化、HCl与NH3 ·H2 O分步催化三种途径制备了SiO2 胶体 ,用透射电镜观察了胶体粒子的形貌 .用静电自组装 (ESAM)法制备了聚电解质PDDA与SiO2 胶体粒子的有机 /无机复合光学薄膜 .实验结果表明 ,用HCl催化制备的SiO2 透明溶胶不适合于用ESAM法制备薄膜 ,用HCl与NH3 ·H2 O分步催化以及用NH3 ·H2 O单独催化制备的SiO2 胶体适合于用ESAM法制备光学薄膜 .薄膜的透射电镜微观察结果表明 ,以HCl与NH3 ·H2 O分步催化的SiO2 胶体制备的PDDA/SiO2 薄膜为连续结构 ,NH3 ·H2 O单独催化的为颗粒堆积 .研究了薄膜透光率与薄膜层数的关系 ,考察了薄膜的机械强度 .结果显示 ,以NH3 ·H2 O单独催化的SiO2 胶体制备的光学薄膜的增透效果较好 。 展开更多
关键词 sio2 溶胶 静电自组装 复合薄膜
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Si/SiO_2和SiN_x/SiO_2多层膜的室温光致发光 被引量:2
5
作者 陈青云 徐明 +4 位作者 段满益 陈卫东 丁迎春 纪红萱 沈益斌 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期680-684,共5页
采用射频磁控溅射法,制备了纳米Si/SiO2和SiNx/SiO2多层膜,得到强的可见光致发光,利用傅里叶红外吸收(FTIR)谱和光致发光(PL)谱,对其发光特性进行了研究,在374 nm和712 nm左右观察到强发光峰。用量子限制-发光中心(QCLC)模型解释了其可... 采用射频磁控溅射法,制备了纳米Si/SiO2和SiNx/SiO2多层膜,得到强的可见光致发光,利用傅里叶红外吸收(FTIR)谱和光致发光(PL)谱,对其发光特性进行了研究,在374 nm和712 nm左右观察到强发光峰。用量子限制-发光中心(QCLC)模型解释了其可能的发光机制,认为发光可能源自于SiOx界面处的缺陷发光中心。建立了发光的能隙态(EGS)模型,认为440 nm和485 nm的发光源于N-Si-O和Si-O-Si缺陷态能级。 展开更多
关键词 Si/sio2多层膜 sinx/sio2多层膜 红外吸收 光致发光
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PECVD沉积SiO_2和SiN_X对p-GaN的影响 被引量:1
6
作者 陈宇 王良臣 严丽红 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第2期214-218,共5页
在等离子增强化学气相沉积法(PECVD)沉积SiO2和SiNX掩蔽层过程中,分解等离子体中浓度较高的H原子使Mg-受主钝化,同时在p-GaN材料表面发生反应形成浅施主特性的NV+空位。高能量离子轰击造成的材料深能级缺陷增多以及沉积形成致密的SiO2和... 在等离子增强化学气相沉积法(PECVD)沉积SiO2和SiNX掩蔽层过程中,分解等离子体中浓度较高的H原子使Mg-受主钝化,同时在p-GaN材料表面发生反应形成浅施主特性的NV+空位。高能量离子轰击造成的材料深能级缺陷增多以及沉积形成致密的SiO2和SiNX材料,阻碍了H原子向外扩散,使H原子在Ni/Au电极与p-GaN的界面处聚集,造成p-GaN近表面附近区域Mg-H络合物密度的提高,空穴浓度急剧下降,导致Ni/Au透明电极I-V特性严重恶化。选择较低的射频功率(15W,13.56MHz)沉积模式,经过适当的退火,可以减小沉积SiO2过程对p-GaN的影响。 展开更多
关键词 等离子增强化学气相沉积法 sio2 sinx P-GAN I-V特性
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等离子体氧化nc-Si/SiO_2多层膜的蓝光发射 被引量:1
7
作者 马忠元 王立 +7 位作者 陈坤基 李伟 张林 鲍云 王晓伟 徐俊 黄信凡 冯端 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期454-457,共4页
报道了在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中用交替淀积 a-Si对其进行原位等离子体氧化的方法制备了 a-Si∶H/ Si O2 多层膜。随着 a-Si∶H子层的厚度从 3 .8nm减小到 1 .5 nm,a-Si∶H/ Si O2 多层膜的光吸收边和光致发光 (PL )出... 报道了在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中用交替淀积 a-Si对其进行原位等离子体氧化的方法制备了 a-Si∶H/ Si O2 多层膜。随着 a-Si∶H子层的厚度从 3 .8nm减小到 1 .5 nm,a-Si∶H/ Si O2 多层膜的光吸收边和光致发光 (PL )出现了蓝移。在晶化的 a-Si∶ H/ Si O2 多层膜中不仅观察到室温下的红光带 (80 0nm)的发光峰 ,而且还观察到蓝光发射 (4 2 5 nm) ,结合 Raman,TEM和 PL测试 。 展开更多
关键词 等离子体氧化 纳米硅 光致发光 硅/二氧化硅多层膜
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Microstructures and magnetic properties of [SiO_2/FePt]_5/Ag thin films 被引量:2
8
作者 范九萍 许小红 +2 位作者 江凤仙 田宝强 武海顺 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2008年第1期11-14,共4页
[SiO2/FePt]5/Ag thin films were deposited by RF magnetron sputtering on the glass substrates and post annealing at 550 ℃ for 30 min in vacuum. Vibrating sample magnetometer and X-ray diffraction analyser were applied... [SiO2/FePt]5/Ag thin films were deposited by RF magnetron sputtering on the glass substrates and post annealing at 550 ℃ for 30 min in vacuum. Vibrating sample magnetometer and X-ray diffraction analyser were applied to study the magnetic properties and microstructures of the films. The results show that without Ag underlayer [SiO2/FePt]5 films deposited onto the glass are FCC disordered; with the addition of Ag underlayer [SiO]FePt]5/Ag films are changed into L10 and (111) mixed texture. The variation of the SiO2 nonmagnetic layer thickness in [SiO2/FePt]5/Ag films indicates that SiO2-doping plays an important role in improving the order parameter and the perpendicular magnetic anisotropy, and reducing the grain size and intergrain interactions. By controlling SiO2 thickness the highly perpendicular magnetic anisotropy can be obtained in the [SiO2 (0.6 nm)/FePt (3 nm)]5/Ag (50 nm) films and highly (001)-oriented films can be obtained in the [SiO2 (2 nm)/FePt (3 nm)]5/Ag (50 nm) films. 展开更多
关键词 [sio2/FePt]5 multilayer films sio2-doping Ag underlayer (001) orientation
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Effects of Ag layers on the SiO2/FePt thin films deposited by magnetron sputtering
9
作者 FAN Jiuping XU Xiaohong WANG Fang JIANG Fengxian TIAN Baoqiang JIN Tao 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第1期13-17,共5页
The effects of Ag layers with different locations and thicknesses on the structural and magnetic property of SiO2/FePt multilayer films were investigated.The non-magnetic Ag layer plays an important role in inducing(... The effects of Ag layers with different locations and thicknesses on the structural and magnetic property of SiO2/FePt multilayer films were investigated.The non-magnetic Ag layer plays an important role in inducing(001) orientation and ordering of FePt grains,as well as the SiO2-doping reducing the grain size and the magnetic exchange coupling between grains.When the 10 nm Ag layer is moved from the bottom to the top of the SiO2/FePt multilayer film,the coercivity gradually decreases;the largest difference between the out-of-plane coercivity and the in-plane one is obtained in the sample of [SiO2(2 nm)/FePt(3 nm)]3/Ag(10 nm)/[SiO2(2 nm)/FePt(3 nm)]2.Furthermore,the location of Ag layers was fixed and the thickness was changed.The XRD curves suggest that the intensity of the(001) peak becomes the strongest with the addition of 10 nm Ag layers. 展开更多
关键词 [sio2/FePt]5 multilayer perpendicular orientation magnetron sputtering COERCIVITY
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基于Matlab软件SiN_x/Si0_2叠层减反射膜厚度优化的研究
10
作者 吕欣 崇锋 +1 位作者 郭灵山 陈文浩 《太阳能》 2016年第2期22-25,48,共5页
SiN_x/SiO_2叠层膜作为减反射钝化膜在高效太阳电池中具有广泛的应用。本文采用光学导纳特征矩阵法,利用Matlab软件对SiN_x/SiO_2叠层膜的减反射效果进行系统理论研究。首次将AM1.5G光谱、透过叠层膜到达硅片表面光子数作为衡量标准,进... SiN_x/SiO_2叠层膜作为减反射钝化膜在高效太阳电池中具有广泛的应用。本文采用光学导纳特征矩阵法,利用Matlab软件对SiN_x/SiO_2叠层膜的减反射效果进行系统理论研究。首次将AM1.5G光谱、透过叠层膜到达硅片表面光子数作为衡量标准,进行减反射膜的厚度优化研究。结果表明,优化后SiN_x/SiO_2叠层膜厚度为70nm+20nm时,透过叠层膜到达硅片表面光子数最多,达到2.618×10^(17)(1/s·cm^2)。 展开更多
关键词 Matlab 钝化 sinx/sio2减反射膜 反射率 光子
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Multiscale analysis of single- and multiple-pulse laser-induced damages in HfO_2/SiO_2 multilayer dielectric films at 532 nm 被引量:1
11
作者 刘文文 魏朝阳 +1 位作者 易葵 邵建达 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期53-57,共5页
Nanosecond single- and multiple-pulse laser damage studies on HfOffSiO2 high-reflection (HR) coatings are performed at 532 nm. For single-pulse irradiation, the damage is attributed to the defects and the electric i... Nanosecond single- and multiple-pulse laser damage studies on HfOffSiO2 high-reflection (HR) coatings are performed at 532 nm. For single-pulse irradiation, the damage is attributed to the defects and the electric intensity distribution in the multilayer thin films. When the defect density in the irradiated area is high, delami- nation is observed. Other than the 1064 nm laser damage, the plasma scalding of the 532 nm laser damage is not pits-centered for normal incidence, and the size of the plasma scalding has no relation to the defect density and position, but increases with the laser fluence. For multiple-pulse irradiations, some damage sites show deeper precursors than those from the single-shot irradiation due to the accumulation effects. The cumulative laser- induced damages behave as pits without the presence of plasma scalding, which is unaffected by the laser fluence and shot numbers. The damage morphologies and depth information both confirm the fatigue effect of a HfO2/SiO2 HR coating under 532 nm laser irradiation. 展开更多
关键词 Multiscale analysis of single and multiple-pulse laser-induced damages in HfO2/sio2 multilayer dielectric films at 532 nm
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PERC结构多晶硅太阳电池的研究 被引量:10
12
作者 赵素香 张松 +2 位作者 王振交 李果华 季静佳 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期939-942,968,共5页
高效、低成本是目前硅太阳电池追求的主要目标。多晶硅太阳电池成本低,但其电性能较差。背面钝化及局部背接触是提高多晶硅太阳电池电性能的主要技术。通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,依次经过背面开槽、丝网印刷、烧结形成... 高效、低成本是目前硅太阳电池追求的主要目标。多晶硅太阳电池成本低,但其电性能较差。背面钝化及局部背接触是提高多晶硅太阳电池电性能的主要技术。通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,依次经过背面开槽、丝网印刷、烧结形成背面局部接触,制备钝化发射极和背表面电池(PERC)结构多晶硅太阳电池。采用恒光源I-V特性测试系统测试其电性能,结果表明:较之常规铝背场多晶硅太阳电池,PERC结构电池在开路电压Voc、短路电流密度Jsc、转换效率η方面分别提高了13 mV、1.8 mA/cm2和0.67%(绝对值),其转换效率达到17.27%。PERC结构多晶硅电池采用了常规丝网印刷工艺,有利于实现高效多晶硅电池的产业化生产,具有很高的实际意义。 展开更多
关键词 多晶硅太阳电池 背面钝化 背面局部接触 钝化发射极和背表面电池(PERC) sio2 sinx叠层膜
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波长1064nm脉冲激光高阈值反射膜的研制 被引量:13
13
作者 付雄鹰 孔明东 +1 位作者 胡建平 范正修 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期413-417,共5页
研究 Hf O2/ Si O2 高反射膜的制备工艺及其激光诱导损伤阈值的比较测试,分别采用了反应蒸镀 Hf O2、反应离子辅助蒸镀 Hf O2、反应离子辅助蒸镀金属 Hf 的源材料形成 Hf O2 薄膜。采用这三种工艺制备了 H... 研究 Hf O2/ Si O2 高反射膜的制备工艺及其激光诱导损伤阈值的比较测试,分别采用了反应蒸镀 Hf O2、反应离子辅助蒸镀 Hf O2、反应离子辅助蒸镀金属 Hf 的源材料形成 Hf O2 薄膜。采用这三种工艺制备了 Hf O2 / Si O2 高反射膜,在中心波长 1064nm 处,反射率 R≥99.5% ,其中反应蒸镀 Hf O2 / Si O2 高反射膜损伤阈值最高,可达 60 J/cm 2(1064nm ,5ns)。 展开更多
关键词 反射膜 激光诱导损伤 阈值 激光薄膜
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物理冶金多晶硅太阳电池叠层钝化减反射结构模拟 被引量:4
14
作者 邹凯 和江变 +1 位作者 李健 马承鸿 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2015年第6期28-32,共5页
采用PC1D模拟软件对p型物理冶金多晶硅太阳电池的SiO2/SiNx/SiNx叠层钝化减反射结构进行了计算模拟。结果表明:在SiN x/SiN x双层减反射结构中引入SiO 2钝化层后可以明显改善电池的外量子效率与表面减反射效果,并最终提高电池转换效... 采用PC1D模拟软件对p型物理冶金多晶硅太阳电池的SiO2/SiNx/SiNx叠层钝化减反射结构进行了计算模拟。结果表明:在SiN x/SiN x双层减反射结构中引入SiO 2钝化层后可以明显改善电池的外量子效率与表面减反射效果,并最终提高电池转换效率;随着SiO 2膜厚度的增加,电池表面反射率呈先降低后增加的趋势,而电池外量子效率及转换效率则呈现出相反的趋势。二氧化硅膜厚度在2~8 nm时,电池转换效率变化不大,并在6 nm时效率达到最大值18.04%,当二氧化硅膜厚度大于8 nm后电池转换效率会出现明显下降。 展开更多
关键词 冶金多晶硅 太阳电池 sio2/sinx/sinx 钝化 减反射 PC1D模拟
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单晶硅太阳能电池的背场钝化技术研究 被引量:2
15
作者 朱冉庆 王栩生 章灵军 《中国建设动态(阳光能源)》 2011年第6期60-62,共3页
太阳能的应用是解决能源与环境问题的有效途径,而高转换效率低成本,易于产业化的高效电池技术是太阳电池发展的目标。近年来高转换效率技术层出不穷,例如SE电池(Selective emitter Cell),MWT电池(Metal warp through cell)和EWT电池(Emi... 太阳能的应用是解决能源与环境问题的有效途径,而高转换效率低成本,易于产业化的高效电池技术是太阳电池发展的目标。近年来高转换效率技术层出不穷,例如SE电池(Selective emitter Cell),MWT电池(Metal warp through cell)和EWT电池(Emitter Warp through cell)等。这些高效电池均采用了良好的钝化技术。而常规晶硅太阳电池由于没有采用背场钝化技术,只使用铝背场,而经过烧结形成的铝硅合金背表面在减少复合和背反射效果方面有很大的局限性,并且铝硅合金区本身即高复合区,限制了电池效率的进一步提高。因此为了进一步提高开路电压及短路电流,对硅基背表面进行钝化是很有必要的。通过试验,着重比较了SiNx背场钝化层和SiO2背场钝化层对电池电性参数的影响和变化趋势。通过对电池片IQE分析发现,在使用了SiO2或SiNx背场钝化层后,长波区域的IQE响应相比正常电池片有明显提升,说明SiO2或SiNx确实起到钝化作用。而再对电性参数分析后发现,SiO2与SiNx相比可以有效提高电池的Rsh,降低反向电流。同时在EFF测试方面,SiO2与SiNx相比,也具有一定的优势。 展开更多
关键词 钝化 sinx背场 sio2背场 IQE响应
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晶体硅太阳能电池表面钝化技术研究进展 被引量:6
16
作者 尹雨欣 《电子世界》 2019年第2期40-41,共2页
文章综述了晶体硅太阳能电池表面钝化技术的研究进展,主要包括SiNx钝化、SiO2钝化、SiO2/SiNx叠层钝化,Al2O3钝化以及TOPCon钝化接触,介绍了各钝化膜层的生长工艺、钝化原理及应用现状,讨论了各钝化膜层的优势与不足,并分析了太阳能电... 文章综述了晶体硅太阳能电池表面钝化技术的研究进展,主要包括SiNx钝化、SiO2钝化、SiO2/SiNx叠层钝化,Al2O3钝化以及TOPCon钝化接触,介绍了各钝化膜层的生长工艺、钝化原理及应用现状,讨论了各钝化膜层的优势与不足,并分析了太阳能电池表面钝化技术下一步发展的方向。 展开更多
关键词 晶体硅太阳能电池 钝化技术 表面 AL2O3 sinx sio2 生长工艺 膜层
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背钝化高效晶硅电池的研究
17
作者 刘进 《中国化工贸易》 2013年第12期239-240,共2页
背场钝化技术作为高效电池技术中的一种,在降低背表面复合速率,提高太阳电池长波响应,修复背表面态方面具有明显优势,.本文采用SiNx/SiO2双层钝化层制备背场钝化电池片(BSP),并对其电学性能进行探讨,SiNJSiO:双层钝化层电池... 背场钝化技术作为高效电池技术中的一种,在降低背表面复合速率,提高太阳电池长波响应,修复背表面态方面具有明显优势,.本文采用SiNx/SiO2双层钝化层制备背场钝化电池片(BSP),并对其电学性能进行探讨,SiNJSiO:双层钝化层电池与常规工艺电池相比在Isc、Voc和Eft都会有一定提高,通过电池片IQE分析发现,该电池在长波区域的IQE响应比正常电池片有明显提升。 展开更多
关键词 背场钝化sinx sio2双层钝化层1QE响应
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