SIPOS钝化功率晶体管“双线击穿”曲线现象的分析

1

作者 曹一江 史良钰 +2 位作者 王振群 陈建春 刘晓为 《电子器件》 CAS 2009年第2期364-367,共4页

测试半绝缘掺氧多晶硅(SIPOS)层钝化的功率晶体管管芯反向击穿电压曲线时,出现异常击穿曲线——"双线击穿"曲线现象。通过对SIPOS钝化的功率晶体管管芯进行逐层腐蚀,再进行反向击穿曲线测试,以及扫描电镜对SIPOS层结构进行能... 测试半绝缘掺氧多晶硅(SIPOS)层钝化的功率晶体管管芯反向击穿电压曲线时,出现异常击穿曲线——"双线击穿"曲线现象。通过对SIPOS钝化的功率晶体管管芯进行逐层腐蚀,再进行反向击穿曲线测试,以及扫描电镜对SIPOS层结构进行能谱分析,结果显示SIPOS层中氧含量过大,从而产生界面效应造成击穿电压回移,并解释了在应用特定测试仪器测试时显示出"双线击穿曲线"的现象,同时提出解决双线击穿曲线现象的方法。 展开更多

关键词 功率晶体管 反向击穿曲线 半绝缘掺氧多晶硅(sipos) 双线击穿 扫描电镜

在线阅读 下载PDF 职称材料

SIPOS／Si异质结特性的研究

2

作者 曹广军 徐彦忠 《微电子学》 CAS CSCD 1996年第2期116-118,共3页

采用红外吸收光谱分析了ＳＩＰＯＳ薄膜中Ｓｉ－Ｏ键的结构，对比分析了热退火和快速灯光退火对ＳＩＰＯＳ中Ｓｉ－Ｏ键结构的影响，并结合ＳＩＰＯＳ／Ｓｉ结构的Ｃ－Ｖ、Ｉ－Ｖ测试结果，对该结构的异质结特性进行了分析。

关键词 sipos膜 热退火 异质结构 半绝缘 多晶硅

在线阅读 下载PDF 职称材料

SIPOS／Si结构的界面特性

3

作者 曹广军 徐彦忠 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1996年第3期74-75,共2页

采用红外吸收光谱分析了ＳＩＰＯＳ薄膜中Ｓｉ—Ｏ键的结构，对比了热退火、快速灯光退火对ＳＩＰＯＳ中Ｓｉ—Ｏ键结构的影响，并结合ＳＩＰＯＳ／Ｓｉ结构的Ｃ－Ｖ，Ｉ－Ｖ测试结果，对其界面特性进行了分析．

关键词 界面特性 半导体薄膜 sipos薄膜 Si-O键

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种基于SIPOS结构的高压深结复合终端 被引量：1

4

作者 王振硕 李学宝 +1 位作者 马浩 吴昊天 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期591-596,共6页

为了提高功率芯片的可靠性和耐压能力,结合VLD(横向变掺杂)、JTE(结终端扩展)与SIPOS(半绝缘多晶硅)技术,设计了一种高压深结复合终端结构。所提新结构是在VLD与JTE的复合终端上方覆盖一层SIPOS结构,可以实现终端电场更为均衡,受界面电... 为了提高功率芯片的可靠性和耐压能力,结合VLD(横向变掺杂)、JTE(结终端扩展)与SIPOS(半绝缘多晶硅)技术,设计了一种高压深结复合终端结构。所提新结构是在VLD与JTE的复合终端上方覆盖一层SIPOS结构,可以实现终端电场更为均衡,受界面电荷的影响更小,同时具有更高的击穿电压。以3.3 kV耐压等级的终端为例,利用仿真软件TCAD对所提出的新型终端复合结构进行了工艺和结构上的仿真,并且对影响新结构击穿电压的关键因素进行了分析。结果表明,随着SIPOS结构氧含量的减少,新结构的击穿电压不断提高,并且当界面电荷浓度为4×10^(11) cm^(-2)时,新结构仍能满足芯片耐压等级要求。 展开更多

关键词 终端结构 sipos 界面电荷 功率器件 复合终端

在线阅读 下载PDF 职称材料

SIPOS障的结构织成

5

作者 谭凌 雷沛云 梁骏吾 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第12期890-896,共7页

采用常压化学气相淀积（ＡＰＣＶＤ）方法，生长了不同氧含量的ＳＩＰＯＳ（半绝缘含氧多晶硅）膜，研究了ＳＩＰＯＳ膜的结构组成．ＳＩＰＯＳ膜是微晶，多晶和非晶共存的结构，其晶态物中含有缺氧的α－Ｃｒｉｓｔｏｂａｌｉｔｅ（方... 采用常压化学气相淀积（ＡＰＣＶＤ）方法，生长了不同氧含量的ＳＩＰＯＳ（半绝缘含氧多晶硅）膜，研究了ＳＩＰＯＳ膜的结构组成．ＳＩＰＯＳ膜是微晶，多晶和非晶共存的结构，其晶态物中含有缺氧的α－Ｃｒｉｓｔｏｂａｌｉｔｅ（方石英）结构．膜中含氧量可变，以ＳｉＯｘ（ｘ＜２）表示，随着氧含量的增加或减少，其结构向非晶或多晶方向移动．膜中氧原子分布不均匀，局部有氧原子微区集中或缺少现象，使Ｘ＝０或１或２． 展开更多

关键词 sipos膜 硅 APVCD法

在线阅读 下载PDF 职称材料

金属场板加SIPOS电阻场板的新型终端技术

6

作者 尹贤文 何林 黄平 《微电子学》 CAS CSCD 1992年第6期4-7,共4页

本文介绍了一种金属场板结合SIPOS电阻场板的新型终端结构,该终端能实现平面结理想击穿值的80％以上。对这种终端结构的设计,采用了一种简单方法。根据实验结果,对金属场板和SIPOS电阻场板的互补功能进行了详细的分析。

关键词 金属场板 sipos 电阻场板 终端设备

在线阅读 下载PDF 职称材料

用SIPOS-SiO_2复合层对4H-SiCn^+pp^+结构钝化的分析

7

作者 姜岩峰 李思渊 +2 位作者 刘肃 曹磊 薄建军 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期686-690,共5页

用半绝缘多晶硅 ( SIPOS) - Si O2 复合层作为 4H- Si C n+ pp+结构的钝化层 ,克服了用多孔碳化硅或单纯用 Si O2 钝化的不足 .在 LPCVD淀积 SIPOS层后 ,用 90 0℃氧气氛退火代替了平常的热氧化 ,在 SIPOS层上生长了一层 Si O2 .实际测... 用半绝缘多晶硅 ( SIPOS) - Si O2 复合层作为 4H- Si C n+ pp+结构的钝化层 ,克服了用多孔碳化硅或单纯用 Si O2 钝化的不足 .在 LPCVD淀积 SIPOS层后 ,用 90 0℃氧气氛退火代替了平常的热氧化 ,在 SIPOS层上生长了一层 Si O2 .实际测量证实了这种新方法的合理性 .分析了各主要工艺对钝化效果的影响 ,综合优化指出 :在淀积 SIPOS层时 ,掺氧量要高 ,而淀积温度不应太高 .用此方法钝化的 4H- Si C n+ pp+ 结构 ,击穿电压接近理想值 。 展开更多

关键词 复合层 钝化层 碳化硅 sipos 二氧化硅

在线阅读 下载PDF 职称材料

SIPOS纵向结构对晶体管电压特性的影响 被引量：2

8

作者 石青宏 厉策 +1 位作者 王军 何慧强 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期37-39,共3页

通过对半绝缘多晶硅(SIPOS)膜纵向结构均匀性不同结果的对比,论述了SIPOS膜成分的纵向结构分布对晶体管的钝化作用的影响,同时根据实际生产提出一些改进SIPOS膜结构的方法。

关键词 sipos 纵向结构 晶体管 电压特性 半绝缘多晶硅 掺氧多晶硅 膜结构

在线阅读 下载PDF 职称材料

西门子SIPOS5系列电动执行机构特点及调试 被引量：2

9

作者 姚付连 《电站系统工程》 北大核心 2003年第5期62-62,共1页

关键词 电机控制 电动执行机械 特点 调试 西门子公司 sipos5系列电动执行机构

在线阅读 下载PDF 职称材料

SIPOS 5 FLASH型电动门常见故障及处理方法 被引量：1

10

作者 高岩 《安徽电力科技信息》 2010年第5期34-37,共4页

铜陵发电厂在4号机组锅炉侧主要使用了SIPOS 5电动执行机构，目前使用的SIPOS 5 FLASH型电动门分为经济型和专业型。SIPOS 5电动门的电源板采用变频原理，当环境温度较高时，工作不稳定，而且停送电易发生故障；以下介绍电动门故障处理... 铜陵发电厂在4号机组锅炉侧主要使用了SIPOS 5电动执行机构，目前使用的SIPOS 5 FLASH型电动门分为经济型和专业型。SIPOS 5电动门的电源板采用变频原理，当环境温度较高时，工作不稳定，而且停送电易发生故障；以下介绍电动门故障处理详细情况。 展开更多

关键词 sipos 常见故障 电动门 SH型 FLA 电动执行机构 铜陵发电厂 4号机组

在线阅读 下载PDF 职称材料

SIPOS执行机构应用中故障分析及处理

11

作者 李珂 寇江涛 +1 位作者 雷欣涛 田翠峰 《电工技术》 2015年第9期65-67,共3页

以SIPOS 5FLASH系列执行机构在1 030MW火电机组中的应用为例,简要介绍其结构组成,阐述其一般故障、控制单元故障及机械传动单元故障的故障现象、分析、处理及预防措施,并阐明了控制单元、减速箱的在线及离线处理方法及注意事项,有一定... 以SIPOS 5FLASH系列执行机构在1 030MW火电机组中的应用为例,简要介绍其结构组成,阐述其一般故障、控制单元故障及机械传动单元故障的故障现象、分析、处理及预防措施,并阐明了控制单元、减速箱的在线及离线处理方法及注意事项,有一定的推广意义。 展开更多

关键词 sipos 5 FLASH卡涩 电源板 减速箱 齿轮箱

在线阅读 下载PDF 职称材料

SIPOS 5 Flash新一代变频智能型电动执行机构

12

《世界仪表与自动化》 2005年第10期66-66,共1页

西门子公司电动执行机构部门（现西博思电动执行机构有限公司）推出第二代变频智能型电动执行机构——采用高科技的SIPOS5Flash系列执行机构。该产品用途广泛．可对阀门进行可靠的开关控制和频繁调节。它已被大量用于电厂、供热系统、... 西门子公司电动执行机构部门（现西博思电动执行机构有限公司）推出第二代变频智能型电动执行机构——采用高科技的SIPOS5Flash系列执行机构。该产品用途广泛．可对阀门进行可靠的开关控制和频繁调节。它已被大量用于电厂、供热系统、水泥厂、钢铁厂、供水系统、污水处理厂、食品工业和化工厂。 展开更多

关键词 电动执行机构 智能型 sipos FLASH 变频 一代 西门子公司 污水处理厂 有限公司 开关控制

在线阅读 下载PDF 职称材料

SIPOS 5经济型电动门单体调试方法

13

作者 王正峰 《科技与企业》 2014年第17期305-305,共1页

本文阐述了在新疆阿克苏金晖发电厂中SIPOS 5经济型电动门的单体调试情况,SIPOS 5电动门分为经济型电动门(开关型)和豪华型电动门(调节型),SIPOS 5电动门包含了电动执行机构和电动执行机构控制的阀门两部分。本文着重介绍了SIPOS 5经济... 本文阐述了在新疆阿克苏金晖发电厂中SIPOS 5经济型电动门的单体调试情况,SIPOS 5电动门分为经济型电动门(开关型)和豪华型电动门(调节型),SIPOS 5电动门包含了电动执行机构和电动执行机构控制的阀门两部分。本文着重介绍了SIPOS 5经济型电动执行机构的开关功能,同时介绍了关于电动门齿轮箱处电位计调试注意事项,结合在新疆阿克苏金晖发电厂现场实际情况对SIPOS 5经济型电动门的调试过程进行了简要的说明。 展开更多

关键词 sipos5 电动门 单体调试 方法

在线阅读 下载PDF 职称材料

德国西博思电动执行机构公司——SIPOS 5 FLASH系列变频智能型电动执行机构

14

《流程工业》 2004年第10期76-76,共1页

关键词 德国西博思电动执行机构公司 sipos 5 FLASH电动执行机构 输出力矩 电路配置

在线阅读 下载PDF 职称材料

浅析SIPOS执行机构在浙能长兴天然气热电有限公司的应用

15

作者 骆涛 《中国高新技术企业》 2016年第7期44-45,共2页

文章根据西博思电动执行机构在浙能长兴电厂燃气机组的使用情况以及使用过程中碰到的问题,再结合在处理这些问题的经验,总结一些应对西博思电动执行机构问题的方法,以便于日后更好地维护西博思电动执行机构在浙能长兴电厂燃气机组的稳... 文章根据西博思电动执行机构在浙能长兴电厂燃气机组的使用情况以及使用过程中碰到的问题,再结合在处理这些问题的经验,总结一些应对西博思电动执行机构问题的方法,以便于日后更好地维护西博思电动执行机构在浙能长兴电厂燃气机组的稳定运行,可以给同类型的运行机组提供参考和借鉴。 展开更多

关键词 西博思电动执行机构 浙能长兴电厂 燃气机组 sipos执行机构 火力发电

在线阅读 下载PDF 职称材料

SIPOS 5专业型电动执行机构动作行程过大故障分析及处理

16

作者 闫磊 《中国设备工程》 2021年第17期45-46,共2页

在自动化高度发达的今天,电动执行机构在工业生产中起着极其重要的作用。阀门配套安装的电动执行机构实现远程控制,来驱动阀门自动开关和调节,使介质的运动按要求受到控制,以满足生产流程的需要,实现热力系统的正常运行。

关键词 国家能源泰安热电 减温水调阀后隔离门 sipos 5 力矩关断

在线阅读 下载PDF 职称材料

智能变频电动执行机构发展现状及其控制技术综述 被引量：4

17

作者 曹江 张春喜 +1 位作者 张志强 赵阳 《黑龙江水专学报》 2007年第4期93-96,共4页

随着控制技术、电子技术和微处理技术的发展,智能型变频电动执行机构成为现代电动执行机构的发展方向。详细论述了智能变频电动执行机构的开发背景、现状、技术关键和运行特点,对其在工业过程控制中的发展及应用前景进行了讨论与展望。... 随着控制技术、电子技术和微处理技术的发展,智能型变频电动执行机构成为现代电动执行机构的发展方向。详细论述了智能变频电动执行机构的开发背景、现状、技术关键和运行特点,对其在工业过程控制中的发展及应用前景进行了讨论与展望。并以德国西门子公司的SIPOS 5系列电动执行机构为例对智能型电动执行机构的主要特点进行了说明。 展开更多

关键词 电动执行机构 变频 sipos5

在线阅读 下载PDF 职称材料

几种电动、气动阀门调试技术分析 被引量：1

18

作者 汪伟 《科技创新与应用》 2014年第23期84-85,共2页

作者根据参加建设国电常州电厂1#机组工程项目为基础,重点介绍了几种主要阀门的调试方法。该项目使用电动门232只,调节门127只,使用了当前华东地区各电厂的流行配置的阀门。

关键词 Rotork IQ sipos FISHER 气动阀门 调试

在线阅读 下载PDF 职称材料

1200V沟槽栅场截止型IGBT终端设计 被引量：5

19

作者 陈天 张旭 +1 位作者 廖永亮 于绍欣 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期716-720,共5页

利用二维半导体工艺及器件模拟工具,从结掺杂浓度、P阱与P环间距、P环尺寸控制3个方面分析了半绝缘多晶硅终端结构的击穿电压,提出了应用于1 200V沟槽栅场截止型IGBT的终端解决方案。从结的深度和终端长度两方面,将SIPOS终端技术与标准... 利用二维半导体工艺及器件模拟工具,从结掺杂浓度、P阱与P环间距、P环尺寸控制3个方面分析了半绝缘多晶硅终端结构的击穿电压,提出了应用于1 200V沟槽栅场截止型IGBT的终端解决方案。从结的深度和终端长度两方面,将SIPOS终端技术与标准的场环场板终端技术进行了对比。结果表明,采用SIPOS终端结构并结合降低表面场技术,使得终端尺寸有效减小了58%,并且,采用SIPOS技术的终端区域击穿电压受结深的影响较小,有利于实际制造工艺的控制和IGBT器件稳定性的提升。 展开更多

关键词 IGBT sipos 终端 场环 场板

原文传递

中外图书馆申请专利分析 被引量：5

20

作者 邵思蜜 《现代情报》 CSSCI 北大核心 2015年第3期97-103,共7页

本文对我国及世界图书馆作为专利权人所申请的专利进行了分析和对比。研究发现由于行业特点,各图书馆专利申请量不高,但近年来专利申请量有所提升,我国在国际图书馆专利申请中排名靠前,说明我国图书馆人对知识产权保护意识的加强。另一... 本文对我国及世界图书馆作为专利权人所申请的专利进行了分析和对比。研究发现由于行业特点,各图书馆专利申请量不高,但近年来专利申请量有所提升,我国在国际图书馆专利申请中排名靠前,说明我国图书馆人对知识产权保护意识的加强。另一方面,近年来我国申请专利多集中在数字图书馆领域,并多与企业合作申请,世界图书馆申请专利也有类似趋势。由此提出了我国图书馆在专利申请领域应注意的问题和发展方向。 展开更多

关键词 图书馆 图书馆专利 专利分析 SIPO THOMSON Innovation(TI)

在线阅读 下载PDF 职称材料