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Growth of HT-LiCoO2 thin films on Pt-metalized silicon substrates
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作者 ZHANG Yao CHUNG Chiyuen ZHU Min 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第3期266-272,共7页
Layered LiCoO2 (HT-LiCoO2) films were grown on Pt-metalized silicon (PMS) substrates and polished bulk nickel (PBN) substrates by pulsed laser deposition. The effects of substrate temperature, oxygen pressure, a... Layered LiCoO2 (HT-LiCoO2) films were grown on Pt-metalized silicon (PMS) substrates and polished bulk nickel (PBN) substrates by pulsed laser deposition. The effects of substrate temperature, oxygen pressure, and substrate surface roughness on the microstructure of LiCoO2 films were investigated. It has been found that a higher substrate temperature and a higher oxygen pressure favor the formation of better crystallized and less lithium-deficient HT-LiCoO2 films. The HT-LiCoO2 film deposited on PBN substrates consists of large randomly orientated equiaxial grains, whereas on PMS substrate, it is made up of loosely packed highly [001] preferential orientated triangular shaped grains with the average grain size less than 100 nm. Electrochemical measurements show that the highly [001] preferentially orientated nanostructured HT-LiCoO2 thin film grown on PMS substrate has good structural stability upon lithium insertion/extraction and can deliver an initial discharge capacity of approximately 45μA·h·cm^-2·μm^-1 with a cycling efficiency of above 99% at the charge/discharge rate of 0.5 C. 展开更多
关键词 thin film licoo2 pulsed laser deposition electrochemical properties thin film growth
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Effect of annealing temperature on structure and electrochemical properties of LiCoO_2 cathode thin films
2
作者 YANG Zhimin XING Guangjian YANG Jian MAO Changhui DU Jun 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第z2期189-192,共4页
LiCoO2 thin films, which can be used as a cathode material in microbatteries, were deposited using radio frequency (r.f.) magnetron sputtering system from a LiCoO2 target and in an O2+Ar atmosphere. The films were cha... LiCoO2 thin films, which can be used as a cathode material in microbatteries, were deposited using radio frequency (r.f.) magnetron sputtering system from a LiCoO2 target and in an O2+Ar atmosphere. The films were characterized by various methods such as XRD, SEM and AFM. The LiCoO2 films were annealed in air at 300, 500, 700 and 800 ℃ respectively. The effect of the annealing temperature on the structure, the surface morphology and the electrochemical properties of the films were investigated. The LiCoO2 thin film deposited at room temperature is amorphous and has smaller grain size. With increasing of annealing temperature, the crystallinity of the films is promoted. When the annealing temperature increases to 700 ℃, the films have a perfect crystalline LiCoO2 phase. The LiCoO2 thin film without annealing has no discharge plateau and small discharge capacity (about 27 μAh·cm-2μm). The discharge capacity increases with the increasing of annealing temperature and reaches 47 μAh·cm-2μm for the film annealed with 700 ℃, which also shows the typical discharge plateau of 3.9 V. The cycle performance of LiCoO2 thin films of as grown and annealed at different temperatures were studied. In the case of the film without thermal treatment, the capacity fading is much faster than that of the film annealed at different temperature, showing about 40% capacity loss only after 25 cycles. However, in the case of the film annealed at 700 ℃, the capacity reaches to steady state gradually and maintained constantly with cycling. After 25 times cycling, the discharge capacity of the film annealed at 700 ℃ decreases to about 36.9 μAh·cm-2·μm, only 0.8% capacity loss per cycle. 展开更多
关键词 licoo2 thin film annealing temperature STRUCTURE electrochemical properties
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LiCoO2薄膜形貌和性能的研究
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作者 冯秀丽 《中国材料科技与设备》 2011年第1期23-24,27,共3页
采用脉冲激光沉积法制备了钴酸锂薄膜,系统地研究了镀金工艺、衬底材料和氧分压对钴酸锂薄膜形貌和性能的影响。结果表明采用直流磁控溅射技术镀金容易导致其上面钴酸锂薄膜开裂;衬底材料不仅影响着薄膜中颗粒大小还影响颗粒形貌,在S... 采用脉冲激光沉积法制备了钴酸锂薄膜,系统地研究了镀金工艺、衬底材料和氧分压对钴酸锂薄膜形貌和性能的影响。结果表明采用直流磁控溅射技术镀金容易导致其上面钴酸锂薄膜开裂;衬底材料不仅影响着薄膜中颗粒大小还影响颗粒形貌,在Si衬底上制备的钴酸锂薄膜颗粒最小,平均粒径为50nm,且颗粒为球型。随着氧分压的提高,钴酸锂薄膜电极的首次放电比容量依次升高。当氧分压为10Pa时,薄膜电极的首次放电容量达到27.9uAh/cm^2·um。 展开更多
关键词 钴酸锂 薄膜 形貌 脉冲激光沉积 衬底材料
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微锂电池用LiCoO2薄膜研究进展
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作者 冯秀丽 《中国材料科技与设备》 2007年第4期15-18,共4页
本文简述了LiCoO2在粉体和薄膜中晶体结构与电化学性能;详细介绍了钴酸锂薄膜的制备方法并评述了不同合成方法、制备条件对钴酸锂薄膜结合强度、结构、形貌及电化学性能的影响,指出脉冲激光沉积法是一项值得深入研究的钴酸锂薄膜制备... 本文简述了LiCoO2在粉体和薄膜中晶体结构与电化学性能;详细介绍了钴酸锂薄膜的制备方法并评述了不同合成方法、制备条件对钴酸锂薄膜结合强度、结构、形貌及电化学性能的影响,指出脉冲激光沉积法是一项值得深入研究的钴酸锂薄膜制备技术。 展开更多
关键词 微电池 锂离子电池 licoo2 薄膜 制备方法
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溅射功率对LiCoO2薄膜结构及性能的影响研究 被引量:2
5
作者 孙闯 黄昊 +3 位作者 于文华 宋欣忆 李镰池 吴爱民 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期357-363,共7页
采用射频磁控溅射技术,在不锈钢衬底上沉积制备了(003)取向的LiCoO_(2)薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电镜、拉曼及电化学测试探究了溅射功率对LiCoO_(2)薄膜结构及电化学性能的影响。结果表明在80-160 W功率范围内,适当增加功率有助于Co... 采用射频磁控溅射技术,在不锈钢衬底上沉积制备了(003)取向的LiCoO_(2)薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电镜、拉曼及电化学测试探究了溅射功率对LiCoO_(2)薄膜结构及电化学性能的影响。结果表明在80-160 W功率范围内,适当增加功率有助于Co与O的键合,提高薄膜的结晶度。功率为120 W时,首次放电比容量为40.9μAh cm-2μm-1,循环100圈后容量保持率为61.2%;但当功率提高到160 W时,由于过快的沉积速率难以与粒子在衬底表面的扩散速率相匹配反而会造成LiCoO_(2)结晶度下降,晶格产生畸变,阻碍了Li+在材料内部的扩散,循环100圈后容量保持率只有54.2%。 展开更多
关键词 固态薄膜电池 LiCoO_(2)正极薄膜 溅射功率 射频磁控溅射
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磁控溅射制备免退火钴酸锂正极薄膜的研究 被引量:2
6
作者 杨同欢 刘兴江 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期358-363,共6页
采用射频磁控溅射法制备钴酸锂正极薄膜,通过对溅射功率的研究,制备出不需要进行退火处理仍具有60μAh/(cm2.μm)的比容量的正极薄膜。采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对钴酸锂薄膜的结构和形貌进行了研究,并分析了其对钴酸锂... 采用射频磁控溅射法制备钴酸锂正极薄膜,通过对溅射功率的研究,制备出不需要进行退火处理仍具有60μAh/(cm2.μm)的比容量的正极薄膜。采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对钴酸锂薄膜的结构和形貌进行了研究,并分析了其对钴酸锂薄膜正极性能的影响。结果表明不同功率制备的钴酸锂薄膜具有不同的结晶取向和结晶度,其对正极薄膜的性能有具有决定性的影响,适合的功率下制备的钴酸锂薄膜在不退火处理的情况下仍具有较高的容量和较好的循环性能。同时研究了采用磁控溅射的铝薄膜作为集流体,代替铂或金等贵金属薄膜集流体,大幅减低了薄膜电池正极的制备成本。 展开更多
关键词 全固态薄膜电池 钴酸锂薄膜 磁控溅射 铝集流体薄膜
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沉积条件对LiCoO_2薄膜结构与形貌的影响 被引量:1
7
作者 张耀 钟志源 朱敏 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1971-1974,1980,共5页
采用脉冲激光沉积(PLD)方法制备了LiCoO2薄膜,并研究了沉积条件对PLD生长的LiCoO2薄膜结构和形貌的影响。结果表明,适当减少激光功率可以有效降低LiCoO2薄膜表面粗糙度;采用在400℃原位退火可以得到层状结构的LiCoO2薄膜,而在一定范围... 采用脉冲激光沉积(PLD)方法制备了LiCoO2薄膜,并研究了沉积条件对PLD生长的LiCoO2薄膜结构和形貌的影响。结果表明,适当减少激光功率可以有效降低LiCoO2薄膜表面粗糙度;采用在400℃原位退火可以得到层状结构的LiCoO2薄膜,而在一定范围内提高原位退火温度和升高氧气偏压可以提高层状结构的LiCoO2薄膜的结晶度。本实验中最优工艺制备的LiCoO2薄膜具有较好电化学可逆性,首次放电容量为36μAh/(μm.cm2),循环效率为94.44%。 展开更多
关键词 钴酸锂 薄膜微电池 脉冲激光沉积 正极
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以LiCoO_2为阴极的全固态薄膜锂电池的研究 被引量:8
8
作者 刘文元 傅正文 秦启宗 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1043-1047,共5页
采用射频磁控溅射技术制备了非晶态和不同取向的多晶LiCoO2薄膜,利用XRD和SEM研究了不同温度退火后LiCoO2薄膜的结构和形貌.以具有不同结构的LiCoO2薄膜为阴极、含氮磷酸锂薄膜为电解质以及金属锂薄膜为阳极,成功地制备了电化学性能不... 采用射频磁控溅射技术制备了非晶态和不同取向的多晶LiCoO2薄膜,利用XRD和SEM研究了不同温度退火后LiCoO2薄膜的结构和形貌.以具有不同结构的LiCoO2薄膜为阴极、含氮磷酸锂薄膜为电解质以及金属锂薄膜为阳极,成功地制备了电化学性能不同的全固态薄膜锂电池.由电化学研究结果表明,LiCoO2薄膜的结构和多晶取向决定了薄膜电池的电化学性能.采用具有一定取向的多晶LiCoO2薄膜制备的全固态薄膜锂电池具有最佳的性能,稳定放电容量达到55.4μAh/cm2μm,充放电循环次数超过450次. 展开更多
关键词 licoo2 磁控溅射 LIPON 全固态薄膜锂电池
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采用新颖喷墨打印技术制备的薄膜LiCoO_2电极及其电化学性能 被引量:2
9
作者 赵尧敏 许娟 +2 位作者 刘玲 杨洁 江志裕 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1122-1125,共4页
采用喷墨打印技术制备了LiCoO2薄膜电极.用X射线衍射、扫描电镜(SEM)、循环伏安和恒电流充放电试验对薄膜电极进行结构表征和电化学性能测试.SEM结果表明,所制备的薄膜电极表面粒子分布均匀,厚度约为1·27μm.经过轻微热处理(450℃,... 采用喷墨打印技术制备了LiCoO2薄膜电极.用X射线衍射、扫描电镜(SEM)、循环伏安和恒电流充放电试验对薄膜电极进行结构表征和电化学性能测试.SEM结果表明,所制备的薄膜电极表面粒子分布均匀,厚度约为1·27μm.经过轻微热处理(450℃,30min)的薄膜LiCoO2电极呈现出稳定的充放电循环性能.当以20μA/cm2进行充放电时,第50次循环容量保持率约为首次放电容量(81mA·h/g)的87%,10次循环后的充放电过程的充放电效率均接近100%. 展开更多
关键词 计算机喷墨打印 薄膜电极 锂离子电池 licoo2
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溶胶-凝胶法制备微纳米级LiCoO_2的研究 被引量:2
10
作者 张静 李广芬 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第A03期416-419,424,共5页
采用溶胶-凝胶法,以LiNO3,Co(NO3)2和PAA为主要原料,研究制备LiCoO2薄膜过程中不同实验条件对晶体形成过程及形貌的影响。经偏光显微镜、扫描电镜、原子力显微镜对所形成的薄膜表面进行分析发现聚丙烯酸的含量、Li+离子和Co2+离子的总... 采用溶胶-凝胶法,以LiNO3,Co(NO3)2和PAA为主要原料,研究制备LiCoO2薄膜过程中不同实验条件对晶体形成过程及形貌的影响。经偏光显微镜、扫描电镜、原子力显微镜对所形成的薄膜表面进行分析发现聚丙烯酸的含量、Li+离子和Co2+离子的总浓度和配比、烧焙温度及升温速度等均会对薄膜中的成分、纳米化的晶体的形成及表面形貌有着较大的影响。实验表明,最佳烧结温度在600℃左右时有利于LiCoO2晶体的形成。 展开更多
关键词 licoo2 锂离子电池 溶胶-凝胶法 薄膜
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脉冲激光沉积制备的HT-LiCoO_2薄膜中Li离子表观扩散的研究
11
作者 张耀 钟志源 朱敏 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期818-822,共5页
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在镀Pt的Si衬底上制备了LiCoO_2薄膜,运用XRD、Raman光谱、SEM和循环伏安等方法对其结构与电化学性能进行表征,在此基础上着重采用电位间歇滴定技术(PITT)对其Li离子表观扩散进行了分析.结果表明,600℃制备的L... 采用脉冲激光沉积(PLD)方法在镀Pt的Si衬底上制备了LiCoO_2薄膜,运用XRD、Raman光谱、SEM和循环伏安等方法对其结构与电化学性能进行表征,在此基础上着重采用电位间歇滴定技术(PITT)对其Li离子表观扩散进行了分析.结果表明,600℃制备的LiCoO_2薄膜为HT-LiCoO_2相,呈柱状晶结构,平均晶粒尺寸在100nm以下,结晶度高,并且具有明显的[001]择优取向.但少量缺Li.伏安循环曲线表明,该LiCoO_2薄膜具有良好的电化学可逆性.但只在3.9V(vs Li/Li^+)附近出现一对氧化还原峰.PITT测试表明,PLD方法制备的HT-LiCoO_2薄膜的Li离子扩散系数在10^(-8)—10^(-9)cm^2/s,与其它方法(如射频磁控溅射)制备的HT-LiCoO_2薄膜相比,扩散系数高1—2个数量级;并且PLD方法制备的HT-LiCoO_2薄膜中Li离子扩散系数与相变有关,在两相共存区,由于相界钉扎的作用,Li离子扩散系数比其它区域小1—2个数量级. 展开更多
关键词 licoo2 脉冲激光沉积 薄膜电池 Li离子扩散
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不同氧压下脉冲激光沉积LiCoO_2薄膜的研究 被引量:2
12
作者 刘德生 钟淑英 +3 位作者 杜燕兰 胡军平 叶志清 雷敏生 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期500-503,共4页
使用脉冲激光沉积(PLD)法,在不同的氧压下制备了锂离子二次电池正极材料LiCoO2的薄膜。利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等分析测试方法,对沉积的薄膜进行了晶体结构和表面形貌的分析。结果显示,氧压达到正常标准时(20 Pa),LiCoO... 使用脉冲激光沉积(PLD)法,在不同的氧压下制备了锂离子二次电池正极材料LiCoO2的薄膜。利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等分析测试方法,对沉积的薄膜进行了晶体结构和表面形貌的分析。结果显示,氧压达到正常标准时(20 Pa),LiCoO2薄膜具有明显的c轴择优取向,同时薄膜的晶粒尺寸更为均匀,表面更为光滑。而氧压较低(1 Pa)时,薄膜表现为随机取向。这些结果表明,PLD方法制备LiCoO2薄膜时应该充分考虑腔体气压对等离子体的散射作用以提高薄膜表面的质量。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 licoo2薄膜 晶体结构 表面形貌
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脉冲激光沉积法制备LiCoO_2薄膜阴极 被引量:1
13
作者 陈国光 霍文培 李晶泽 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2009年第A02期49-51,共3页
脉冲激光沉积方法(PLD)制备LiCoO2薄膜的关键因素之一是激光的功率.在功率不小于160 mJ时,薄膜的结晶程度相对较高,出现(003)晶面的择优取向;且薄膜表面光滑,没有附着尺寸大小不一的纳米颗粒;恒流充放电测试20周内放电容量没有衰减,循... 脉冲激光沉积方法(PLD)制备LiCoO2薄膜的关键因素之一是激光的功率.在功率不小于160 mJ时,薄膜的结晶程度相对较高,出现(003)晶面的择优取向;且薄膜表面光滑,没有附着尺寸大小不一的纳米颗粒;恒流充放电测试20周内放电容量没有衰减,循环性能好. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积法 licoo2 薄膜锂离子电池 激光功率 电化学性能
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不同温度下脉冲激光沉积LiCoO_2薄膜的微观结构和表面形貌
14
作者 刘德生 钟淑英 +4 位作者 姜迪友 杜燕兰 胡军平 叶志清 雷敏生 《江西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2009年第1期61-63,共3页
使用脉冲激光沉积技术,不同的衬底温度,在单晶Si(100)衬底上沉积了锂离子电池正极材料Li-CoO2的薄膜.用XRD对样品进行晶体结构分析,用SEM观察了样品的表面形貌.结果显示,衬底温度对LiCoO2薄膜的微观结构和表面形貌都有明显影响.在500℃... 使用脉冲激光沉积技术,不同的衬底温度,在单晶Si(100)衬底上沉积了锂离子电池正极材料Li-CoO2的薄膜.用XRD对样品进行晶体结构分析,用SEM观察了样品的表面形貌.结果显示,衬底温度对LiCoO2薄膜的微观结构和表面形貌都有明显影响.在500℃以上的衬底温度下生长的样品结晶质量较好;晶体的颗粒尺寸随着温度的升高而增大. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 licoo2薄膜 衬底温度 微观结构 表面形貌
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溅射功率对原位退火钴酸锂薄膜性能的影响 被引量:1
15
作者 周明霞 唐乾昌 +4 位作者 杨玉杰 张瞾 王悦璨 余红梅 戴新义 《广东化工》 CAS 2021年第5期18-19,共2页
本文采用射频磁控溅射技术,在高温下制备了原位退火的钴酸锂薄膜,并研究了溅射功率对其性能的影响。结果表明,随着溅射功率的增加,钴酸锂薄膜结晶颗粒长大,生长速率增加,首次放电比容量增大且循环性能提升。200W溅射制备的钴酸锂薄膜首... 本文采用射频磁控溅射技术,在高温下制备了原位退火的钴酸锂薄膜,并研究了溅射功率对其性能的影响。结果表明,随着溅射功率的增加,钴酸锂薄膜结晶颗粒长大,生长速率增加,首次放电比容量增大且循环性能提升。200W溅射制备的钴酸锂薄膜首次放电比容量可达47μAh·cm-2μm-1,并表现出较好的循环性能。 展开更多
关键词 钴酸锂薄膜 溅射功率 原位退火 比容量 循环性能
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薄膜锂离子电池用LiCoO_2靶材的制备
16
作者 程金斌 盘毅 +1 位作者 李德湛 谢凯 《电池》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期18-20,共3页
分别采用热压和冷压烧结法制备出LiCoO2靶材,其中热压法使用了不同材质的模具,冷压烧结法以环氧树脂为粘结剂,确定了粘接剂的最佳添加量为1.0%。对制得的靶材进行了XRD、热重及SEM分析,并用排水法测量了靶材的密度。实验结果表明:热压... 分别采用热压和冷压烧结法制备出LiCoO2靶材,其中热压法使用了不同材质的模具,冷压烧结法以环氧树脂为粘结剂,确定了粘接剂的最佳添加量为1.0%。对制得的靶材进行了XRD、热重及SEM分析,并用排水法测量了靶材的密度。实验结果表明:热压法烧结时,使用SiC模具制备的靶材密度为5.21 g/cm3;添加1%粘结剂后,使用冷压烧结方法制备的靶材密度为4.89 g/cm3。热压法制备的靶材致密度高于冷压法制备的靶材,烧结程度更深。 展开更多
关键词 薄膜锂离子电池 licoo2靶材 热压法 冷压烧结法
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中频溅射法制备薄膜电池正极LiCoO_2薄膜结构的研究
17
作者 陈振鹏 罗庆洪 +1 位作者 杨会生 王燕斌 《科技信息》 2007年第31期45-46,68,共3页
采用大型中频磁控溅射系统制备了全固态薄膜电池用LiCoO_2阴极薄膜材料,研究了退火前后其结构及形貌的变化。结果表明,沉积的LiCoO_2薄膜具有晶态结构;沉积状态薄膜的晶体取向决定着退火后薄膜的晶体择优取向,退火只是使晶粒更加完整,... 采用大型中频磁控溅射系统制备了全固态薄膜电池用LiCoO_2阴极薄膜材料,研究了退火前后其结构及形貌的变化。结果表明,沉积的LiCoO_2薄膜具有晶态结构;沉积状态薄膜的晶体取向决定着退火后薄膜的晶体择优取向,退火只是使晶粒更加完整,并使择优取向发展得更好;沉积过程的O_2/Ar(氧分压)对薄膜的晶体取向影响很大,适当控制沉积条件,采用工业规模的中频磁控溅射设备可以制备出取向良好的LiCoO_2薄膜阴极材料。 展开更多
关键词 licoo2 中频磁控溅射 薄膜电池 退火
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