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High signal-to-noise ratio sensing with Shack–Hartmann wavefront sensor based on auto gain control of electron multiplying CCD 被引量:1
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作者 朱召义 李大禹 +4 位作者 胡立发 穆全全 杨程亮 曹召良 宣丽 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第9期63-68,共6页
High signal-to-noise ratio can be achieved with the electron multiplying charge-coupled-device(EMCCD) applied in the Shack–Hartmann wavefront sensor(S–H WFS) in adaptive optics(AO).However,when the brightness ... High signal-to-noise ratio can be achieved with the electron multiplying charge-coupled-device(EMCCD) applied in the Shack–Hartmann wavefront sensor(S–H WFS) in adaptive optics(AO).However,when the brightness of the target changes in a large scale,the fixed electron multiplying(EM) gain will not be suited to the sensing limitation.Therefore an auto-gain-control method based on the brightness of light-spots array in S–H WFS is proposed in this paper.The control value is the average of the maximum signals of every light spot in an array,which has been demonstrated to be kept stable even under the influence of some noise and turbulence,and sensitive enough to the change of target brightness.A goal value is needed in the control process and it is predetermined based on the characters of EMCCD.Simulations and experiments have demonstrated that this auto-gain-control method is valid and robust,the sensing SNR reaches the maximum for the corresponding signal level,and especially is greatly improved for those dim targets from 6 to 4 magnitude in the visual band. 展开更多
关键词 adaptive optics Shack–hartmann wavefront sensor electron multiplying charge-coupled-device(EMCCD) auto-gain-control method
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Shack-Hartmann波前传感器检测大口径圆对称非球面反射镜 被引量:17
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作者 张金平 张学军 +1 位作者 张忠玉 郑立功 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期492-498,共7页
针对大口径非球面反射镜在研磨阶段后期其面形与理想面形存在较大偏差,且表面粗糙度较大、反射率较低,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足测试要求等问题,提出采用动态范围大且精度高的Shack-Hartmann波前传感器来检测大口径非球面反... 针对大口径非球面反射镜在研磨阶段后期其面形与理想面形存在较大偏差,且表面粗糙度较大、反射率较低,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足测试要求等问题,提出采用动态范围大且精度高的Shack-Hartmann波前传感器来检测大口径非球面反射镜。研究分析了Shack-Hartmann波前传感器检测系统的原理及系统误差并编写了相应的数据处理软件。为了验证该方法的可行性,对已经加工完成的350mm口径旋转对称双曲面面形进行了检测,测量得到的面形误差PV值、RMS值分别为0.388λ、0.043λ(λ=632.8nm);与干涉测量的标准结果进行了对比,得到的面形偏差PV值、RMS值分别为0.014λ和0.001λ。对比结果表明,Shack-Hartmann波前传感器的测量结果正确可靠,从而验证了Shack-Hartmann波前传感器检测大口径非球面反射镜的可行性。 展开更多
关键词 Shack-hartmann波前传感器 轮廓仪 非球面反射镜 大口径反射镜 相对测量
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Shack-Hartmann波前传感器在光学检验中的应用 被引量:5
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作者 李宏壮 王志臣 +3 位作者 刘欣悦 卫沛峰 明名 孟浩然 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期134-138,共5页
介绍用于光学检测的Shack-Hartmann(S-H)波前传感器,以及相应的检测实验结果。在实验室内,通过与Zygo干涉仪的测量结果对比,得出传感器的测量精度优于λ/50RMS(λ=632.8nm)。在外场利用星光作为光源,对口径1m、焦距11m的望远镜进行了系... 介绍用于光学检测的Shack-Hartmann(S-H)波前传感器,以及相应的检测实验结果。在实验室内,通过与Zygo干涉仪的测量结果对比,得出传感器的测量精度优于λ/50RMS(λ=632.8nm)。在外场利用星光作为光源,对口径1m、焦距11m的望远镜进行了系统波像差检验,测量结果为0.39λ~0.46λRMS之间,并随着俯仰角的增加而增大,主要像差形式为三阶像散。 展开更多
关键词 Shack-hartmann波前传感器 面形检测 波像差检测 光学检验
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Shack-Hartmann波前传感器质心探测的优化方法 被引量:4
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作者 赵菲菲 黄玮 +1 位作者 许伟才 杨添星 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第9期3005-3009,共5页
为提高Shack-Hartmann(S-H)波前传感器的光斑质心探测精度,在分析质心探测误差来源的基础上,提出基于模板匹配的探测窗口选取方法和基于单个光斑的自适应阈值选取方法,将这两种方法与加权质心算法相结合求取质心,提高了质心探测精度。... 为提高Shack-Hartmann(S-H)波前传感器的光斑质心探测精度,在分析质心探测误差来源的基础上,提出基于模板匹配的探测窗口选取方法和基于单个光斑的自适应阈值选取方法,将这两种方法与加权质心算法相结合求取质心,提高了质心探测精度。与固定阈值和传统质心算法相比较,当SNR大于3时,质心探测精度平均提高了约40%。将文中的方法应用于可见光波段的商品S-H波前传感器,实验表明:文中方法得到的质心偏离度由传统方法的0.83pixel的最大值减小至0.15pixel。该工作有重要的应用价值。 展开更多
关键词 质心探测 Shack-hartmann波前传感器 阈值选取 窗口选取
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Hartmann-Shack传感器结构参量的自基准标定 被引量:5
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作者 梁春 沈建新 +1 位作者 童桂 李邦明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期780-784,共5页
提出一种标定Hartmann-Shack波前传感器结构参量的新方法,通过基于Zernike多项式的模式复原算法推导出公式,结合实验手段获得相应数据,处理后得到微透镜阵列到CCD之间的距离.该方法有效改善了以微透镜焦距代替实际参量计算斜率引入较大... 提出一种标定Hartmann-Shack波前传感器结构参量的新方法,通过基于Zernike多项式的模式复原算法推导出公式,结合实验手段获得相应数据,处理后得到微透镜阵列到CCD之间的距离.该方法有效改善了以微透镜焦距代替实际参量计算斜率引入较大误差的状况,在降低传感器装配准确度要求的同时,提高了Hartmann-Shack波前传感器的探测准确度.经实验验证该方法在一般实验条件下即可获得满意效果. 展开更多
关键词 自适应光学 hartmann—Shack波前传感器 模式复原算法 平移误差
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Shack-Hartmann波前传感器图像自适应阈值的选取 被引量:14
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作者 夏明亮 李抄 +3 位作者 刘肇南 李大禹 胡立发 宣丽 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期334-340,共7页
Shack-Hartmann(S-H)波前传感器光斑图像阈值的选取对质心探测精度有较大的影响。本文分析了S-H波前传感器光斑图像的特点,研究了光斑图像阈值对质心探测精度的影响,在此基础上提出了一种基于灰度直方图原理的多峰自适应阈值选取方法。... Shack-Hartmann(S-H)波前传感器光斑图像阈值的选取对质心探测精度有较大的影响。本文分析了S-H波前传感器光斑图像的特点,研究了光斑图像阈值对质心探测精度的影响,在此基础上提出了一种基于灰度直方图原理的多峰自适应阈值选取方法。实验结果表明,对于信噪比>4的S-H波前传感器光斑图像,本方法能够比较有效地自动选取每帧图像的阈值;但对于信噪比<4的图像,分割效果不是很理想。将使用本阈值算法的S-H波前传感器应用到自适应光学系统中进行闭环校正实验,结果显示,校正后的系统波前误差从10.41λ(PV值,λ=632.8nm)降低到0.12λ,基本达到了衍射极限水平,表明本方法可以满足S-H波前传感器的实用要求。 展开更多
关键词 波前传感器 Shack-hartmann波前传感器 阈值选取
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基于Hartmann-Shack波前检测原理的微透镜阵列焦距测量 被引量:7
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作者 朱咸昌 伍凡 +1 位作者 曹学东 吴时彬 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1122-1128,共7页
基于哈特曼波前传感器检测原理,结合图像清晰度定焦技术,提出了一种测量微透镜阵列焦距的方法,介绍了测量系统的组成和原理。首先利用平行光管的出射平面波前在被测微透镜阵列焦面上成像,利用标准透镜产生的球面波前在微透镜阵列焦面附... 基于哈特曼波前传感器检测原理,结合图像清晰度定焦技术,提出了一种测量微透镜阵列焦距的方法,介绍了测量系统的组成和原理。首先利用平行光管的出射平面波前在被测微透镜阵列焦面上成像,利用标准透镜产生的球面波前在微透镜阵列焦面附近成像。然后,根据平面波前和球面波前经过微透镜阵列成像时微透镜阵列焦面上光斑的偏移量,计算相应的微透镜阵列子单元的焦距。最后,基于图像清晰度定焦技术,通过不确定度分析和实验测量验证了该方法检测微透镜阵列焦距的可行性。测量结果表明,该方法对微透镜阵列焦距检测精度可达到3%;同时,一次测量可完成微透镜阵列多个子单元的焦距标定。相对于传统的检测方法,该方法具有较高的检测精度和效率。 展开更多
关键词 微透镜阵列 焦距测量 波前检测 哈特曼波前传感器 图像清晰度
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哈特曼传感器检测微透镜波前方法
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作者 杨伟斌 王春艳 +4 位作者 张为国 王金玉 夏良平 杜春雷 孙昊 《应用光学》 北大核心 2025年第2期380-387,共8页
随着微透镜的广泛应用,微透镜光学性能的快速检测是使用者和加工人员亟待解决的关键问题。提出利用哈特曼波前传感器来检测微透镜波前,从而快速表征其光学性能。为了验证该方法的可行性,设计了利用哈特曼传感器测量微透镜波前的总体方案... 随着微透镜的广泛应用,微透镜光学性能的快速检测是使用者和加工人员亟待解决的关键问题。提出利用哈特曼波前传感器来检测微透镜波前,从而快速表征其光学性能。为了验证该方法的可行性,设计了利用哈特曼传感器测量微透镜波前的总体方案,搭建了测量实验系统,并对测量的误差源进行了分析。结合实验方案,研究质心提取算法、Zernike多项式波前重构算法,保证光斑质心提取精度及波前重构精度,并分析了待测透镜孔径衍射对波前检测精度的影响。结合200μm的凸透镜进行波前检测实验,得到了其波前误差和初级像差信息,为微透镜光学性能的快速检测提供了一种全新的思路。 展开更多
关键词 微透镜 哈特曼传感器 质心提取 波前重构 光学性能
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衍射微透镜列阵在Shack-Hartmann波前传感器中的应用 被引量:1
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作者 杜春雷 林大健 +2 位作者 周明宝 郭履容 郭永康 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第8期732-735,共4页
菲涅耳衍射微透镜列阵是目前广泛应用的衍射光学元件之一,它是基于衍射原理,由计算机设计,并通过微细加工技术制作成的.本文介绍了8相位台阶菲涅耳衍射微透镜列阵的制作方法,并描述了一个用16×16微透镜列阵形成的小型 Shack-Hartma... 菲涅耳衍射微透镜列阵是目前广泛应用的衍射光学元件之一,它是基于衍射原理,由计算机设计,并通过微细加工技术制作成的.本文介绍了8相位台阶菲涅耳衍射微透镜列阵的制作方法,并描述了一个用16×16微透镜列阵形成的小型 Shack-Hartmann 波前传感实验系统,用该系统可对入射波前进行测量和重建. 展开更多
关键词 微透镜列阵 衍射光学元件 波前传感器
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基于已知球面波前的Hartmann-Shack传感器结构参量标定 被引量:2
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作者 周晓斌 栾亚东 +1 位作者 史雷蕾 雷增强 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期909-912,共4页
微透镜阵列到CCD的距离是影响Hartmann-Shack波前探测器精度的主要装配误差之一。对该平移装配误差的修正,能够有效减小波前探测误差。理论求解了球面波前通过微透镜引起的子孔径光斑质心移动量与波前探测器结构参数之间的关系,借助该... 微透镜阵列到CCD的距离是影响Hartmann-Shack波前探测器精度的主要装配误差之一。对该平移装配误差的修正,能够有效减小波前探测误差。理论求解了球面波前通过微透镜引起的子孔径光斑质心移动量与波前探测器结构参数之间的关系,借助该关系能够求出微透镜到CCD之间的实际距离,以其改进波前斜率的计算。实验验证了理论推导的合理性,并对实际装配参数进行标定,得实际距离为24.2 mm。利用标定后的参数重建波前,其相对误差减小20.4%。实验表明该标定方法能够有效提高波前传感器测量准确性。 展开更多
关键词 自适应光学 hartmann-Shack传感器 波前重构 平移误差
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基于Shark-Hartmann理论的波前探测技术研究 被引量:1
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作者 郭广妍 樊仲维 +6 位作者 余锦 葛文琦 康治军 唐熊忻 貊泽强 王昊成 石朝辉 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期823-829,共7页
精确的波前探测是反射镜面型检测及光束波前畸变测量的重要依据,论文根据SharkHartmann理论对波前探测技术进行了模拟和实验研究。将平行光经过球面透镜/柱面透镜后形成的球面波/柱面波作为探测波前。实验采用商用的微透镜阵列和CCD搭建... 精确的波前探测是反射镜面型检测及光束波前畸变测量的重要依据,论文根据SharkHartmann理论对波前探测技术进行了模拟和实验研究。将平行光经过球面透镜/柱面透镜后形成的球面波/柱面波作为探测波前。实验采用商用的微透镜阵列和CCD搭建Shark-Hartmann传感器,利用实际光束作为参考光,避免了参考光的不准直性对实验的影响。模拟计算结果表明平均曲率误差为13.423mm,实验结果实现了对球面/柱面/倾斜波的探测及复原。 展开更多
关键词 自适应光学 SHARK hartmann传感器 波前重构 ZERNIKE多项式
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基于哈特曼探测器的光学传递函数测量方法研究
12
作者 张黄轲 李子凡 +4 位作者 施文恺 毛红敏 陆焕钧 樊丽娜 曹召良 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第4期819-829,共11页
为实现光学传递函数的低成本、实时测量,本文提出基于哈特曼探测器的光学传递函数测量方法。首先,基于哈特曼探测器的测量波面,给出光学传递函数的测量方法。然后,设计传函测量光路,并给出焦深、像差和焦距的测量方法。同时,设计了物镜... 为实现光学传递函数的低成本、实时测量,本文提出基于哈特曼探测器的光学传递函数测量方法。首先,基于哈特曼探测器的测量波面,给出光学传递函数的测量方法。然后,设计传函测量光路,并给出焦深、像差和焦距的测量方法。同时,设计了物镜像差的标定光路,并给出标定方法。最后,搭建实验光路,实现了单透镜的调制传递函数(MTF)、像差、焦距、焦深及色差的测量。结果显示,该方法实现了0~1°视场透镜的MTF测量;透镜的像散、慧差及球差分别为0.114λ、0.128λ和0.02λ;0°视场下透镜的色差在红、绿、蓝三个波长下分别为0.047λ、0.055λ、0.048λ,1°视场下增长到0.117λ、0.176λ和0.154λ;焦深为0.454 mm,误差2%,焦距为74.6 mm,误差0.8%。结果表明该测量方法能够实现透镜的传函测量,为光学系统传函的低成本、实时测量提供技术途径。 展开更多
关键词 哈特曼探测器 光学传递函数 像差 焦距测量 色差
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基于哈特曼波前探测的显微物镜像差检测方法研究
13
作者 布一帆 邹有云 +3 位作者 杜文杰 邓杰 葛鑫磊 马剑强 《光电工程》 北大核心 2025年第7期123-132,共10页
显微物镜的光学性能决定显微成像质量,这对波前像差检测具有重要意义。因此,提出一种基于哈特曼波前传感器的显微物镜像差检测方法。该方法可利用双球面法标定系统误差,实现显微物镜像差的检测。建立仿真模型并模拟分析,结果表明,该方... 显微物镜的光学性能决定显微成像质量,这对波前像差检测具有重要意义。因此,提出一种基于哈特曼波前传感器的显微物镜像差检测方法。该方法可利用双球面法标定系统误差,实现显微物镜像差的检测。建立仿真模型并模拟分析,结果表明,该方法测量的显微物镜像差与实际像差近似相等,验证了该方法的有效性。搭建实验装置并对显微物镜进行像差检测,结果表明,物镜的均方根值(RMS)检测精度≤10 nm,重复性精度<0.3 nm,验证了该方法的可行性,为中低倍数显微物镜波前像差检测提供了一种检测方法。 展开更多
关键词 波前像差检测 哈特曼波前传感器 绝对检测技术 显微物镜
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应用Hartmann-Shack原理测量人眼波前像差的系统研究 被引量:1
14
作者 童桂 廖文和 丁雪峰 《应用激光》 CSCD 北大核心 2006年第3期204-206,共3页
分析波动光学中人眼像差的产生机理和波前像差的表示方式,着重讨论了Hartmann-Shack波前传感器测量波前像差的原理,结合自适应光学中Zernike多项式重建波前的理论,提出了应用H-S波前传感器测量人眼波前像差的解决方案,使得由波前像差引... 分析波动光学中人眼像差的产生机理和波前像差的表示方式,着重讨论了Hartmann-Shack波前传感器测量波前像差的原理,结合自适应光学中Zernike多项式重建波前的理论,提出了应用H-S波前传感器测量人眼波前像差的解决方案,使得由波前像差引导的人眼视觉矫正技术能达到一个新的水平。 展开更多
关键词 波前像差 hartmann-Shack 传感器 视觉矫正
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Hartmann-Shack波前传感器的Fourier光学分析 被引量:4
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作者 邓罗根 《光学技术》 EI CAS CSCD 1994年第2期16-18,4,共4页
Hartmann-Shack波前传感器是自适应光学中几种重要的波前传感器之一。本文利用Fourier光学方法分析研究了Hartmann-Shack波前传感器的原理,导出了辐照度分布质心与子孔径波前倾斜的解析表达式,说... Hartmann-Shack波前传感器是自适应光学中几种重要的波前传感器之一。本文利用Fourier光学方法分析研究了Hartmann-Shack波前传感器的原理,导出了辐照度分布质心与子孔径波前倾斜的解析表达式,说明了辐照度分布质心及其算法的物理意义,总结了该传感器的若干重要特点。 展开更多
关键词 波前传感器 Fourier光学 质心算法
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基于Hartmann-Shack传感器的人眼波前像差重建技术 被引量:1
16
作者 高玮玮 沈建新 《激光生物学报》 CAS CSCD 2010年第3期408-412,共5页
阐述了人眼波前像差的概念及其Zernike多项式表示方法,着重讨论了Hartmann-Shack传感器测量人眼像差的机理和人眼波前像差重建的方法,并对人眼波前像差重建系统进行了详细设计。该技术给人眼像差的校正以及角膜"个体化切削"... 阐述了人眼波前像差的概念及其Zernike多项式表示方法,着重讨论了Hartmann-Shack传感器测量人眼像差的机理和人眼波前像差重建的方法,并对人眼波前像差重建系统进行了详细设计。该技术给人眼像差的校正以及角膜"个体化切削"的实现带来了新契机。 展开更多
关键词 人眼像差 hartmann—Shack传感器 波前重建 Zemike多项式
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基于Hartmann-Shack波前传感器的实时人眼像差测量 被引量:1
17
作者 王波 《科学技术与工程》 北大核心 2014年第3期195-199,共5页
为实时、准确地测量人眼的像差,保证人眼像差校正时数据的准确性,依据Hartmann-Shack波前传感器测量像差探测原理,设计搭建了一套基于Hartmann-Shack波前传感器的人眼像差实时测量系统。用该系统对人眼的动态像差进行了测量实验,对实验... 为实时、准确地测量人眼的像差,保证人眼像差校正时数据的准确性,依据Hartmann-Shack波前传感器测量像差探测原理,设计搭建了一套基于Hartmann-Shack波前传感器的人眼像差实时测量系统。用该系统对人眼的动态像差进行了测量实验,对实验的结果进行了分析。实验结果表明:为了满足传感器获取光斑图及保证人眼的安全,入瞳的激光功率80μW较为合适;像差测量的结果折算成屈光度与主观方法验光值结果基本相符;动态像差连续测量观察像差波动的时间约在0.2~0.5 s,与人眼的波前像差变化频率在5 Hz左右的结论基本相符。结果表明该系统满足了人眼像差测量的可行性和准确性要求。 展开更多
关键词 hartmann—Shack传感器 人眼 波前像差
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基于Hartmann-Shack传感器的人眼离轴像差测量研究
18
作者 徐安成 陆兴中 丁丽华 《大气与环境光学学报》 CAS 2013年第1期66-72,共7页
人眼是一个不完善的成像系统,存在各种像差,包括轴上像差及轴外像差,这些像差都会影响视网膜的成像质量。而现阶段大多数人眼像差的检测方法主要针对轴上视场像差的测量,比如离焦、像散以及部分高阶像差的测量。因此提出了基于Hartmann-... 人眼是一个不完善的成像系统,存在各种像差,包括轴上像差及轴外像差,这些像差都会影响视网膜的成像质量。而现阶段大多数人眼像差的检测方法主要针对轴上视场像差的测量,比如离焦、像散以及部分高阶像差的测量。因此提出了基于Hartmann-Shack波前传感器的人眼离轴像差的测量方法,建立测量系统并进行实验研究,当离轴角度从0°偏离到左右各5°、10°时,均方根(RMS)值分别从1.12变化到1.36(1.52),1.41(1.96),结果表明随着离轴角度的增加人眼外围视野的成像质量显著下降,原因一方面是人眼离轴像差的增大,另一方面是由于外围视野的感光细胞密度降低。 展开更多
关键词 波前 离轴像差 hartmann-Shack传感器
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基于单模光纤分束器的夏克–哈特曼波前传感器校准的方法
19
作者 刘佩杰 周文豪 +3 位作者 曾茜 尚昆 郭世俊 周传清 《光学仪器》 2025年第2期43-49,共7页
提出了一种基于单模光纤分束器的夏克–哈特曼波前传感器校准方法,通过单模光纤耦合实现了平行光束和传感器的精确对准,从而能获得更加接近微透镜光轴物理位置的标准质心。介绍了校准的实验装置和校准方法,采用11个不同半径的球面波进... 提出了一种基于单模光纤分束器的夏克–哈特曼波前传感器校准方法,通过单模光纤耦合实现了平行光束和传感器的精确对准,从而能获得更加接近微透镜光轴物理位置的标准质心。介绍了校准的实验装置和校准方法,采用11个不同半径的球面波进行了实验验证,并对测量结果和误差进行了对比分析。结果表明,分别采用常规方法和本文方法校准后,波前重建峰谷值的平均偏差由1.024λ降低到0.667λ,波前均方根值由0.136λ降低到0.033λ,说明本文校准方法有助于提升重建精度。 展开更多
关键词 夏克–哈特曼波前传感器 波前校准 波前像差
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Shack-Hartmann波前传感器非零位在轴检测离轴非球面反射镜 被引量:3
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作者 卢文川 张金平 +3 位作者 王孝坤 张忠玉 郑立功 张学军 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期410-414,共5页
在离轴非球面反射镜研磨后期和粗抛光阶段,被测反射镜面形与理想面形存在着较大的偏差,表面反射率较低,采用干涉测量会因局部区域干涉条纹过密或条纹对比度过低,造成普通干涉仪无法进行全口径测量,而普通接触式轮廓仪测量精度此时已经... 在离轴非球面反射镜研磨后期和粗抛光阶段,被测反射镜面形与理想面形存在着较大的偏差,表面反射率较低,采用干涉测量会因局部区域干涉条纹过密或条纹对比度过低,造成普通干涉仪无法进行全口径测量,而普通接触式轮廓仪测量精度此时已经不能满足加工要求。鉴于Shack-Hartmann波前传感器较大的动态范围和较高的测量精度,提出了采用Shack-Hartmann波前传感器非零位在轴检测离轴非球面面形,研究了该方法的检测原理并搭建了检测系统,分析了系统误差来源,并制作了用于在轴检测离轴非球面的参考波前,对两个不同加工精度的离轴非球面反射镜进行了测量,并与干涉仪的测量结果进行了对比。对比结果表明,Shack-Hartmann波前传感器的测量结果是正确可靠的,并且可以弥补轮廓仪测量和干涉仪测量的不足,从而证明了采用Shack-Hartmann波前传感器在轴检测离轴非球面的可行性和正确性。 展开更多
关键词 光学测量 离轴非球面 Shack-hartmann波前传感器 干涉测量 轮廓测量
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