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深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格涂层的摩擦学性能 被引量:4
1
作者 欧伊翔 王浩琦 +5 位作者 庞盼 罗军 陈琳 廖斌 雷明凯 欧阳晓平 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期2476-2479,共4页
研究了IN718高温合金、WC-6%Co硬质合金和Si(100)基体上深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格涂层的摩擦学性能。研究表明,涂层的生长对基体的类型没有选择性。随着基体硬度的升高,划痕结合力失效临界载荷增大,涂层结合力失效机制由翘... 研究了IN718高温合金、WC-6%Co硬质合金和Si(100)基体上深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格涂层的摩擦学性能。研究表明,涂层的生长对基体的类型没有选择性。随着基体硬度的升高,划痕结合力失效临界载荷增大,涂层结合力失效机制由翘曲失效转变为基体/涂层协同变形,未发现涂层的剥落失效。载荷为2N时,磨损机制由磨粒磨损和氧化磨损转变为轻微磨粒磨损。载荷为4 N时,IN 718基体上涂层的磨损机制为严重的氧化磨损,WC-6%Co基体上的涂层的磨损机制为磨粒磨损和氧化磨损,氧化物的产生、堆积和转移导致摩擦系数的波动。 展开更多
关键词 深振荡磁控溅射 crn/tin超晶格涂层 结合力 磨损
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深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格薄膜的结构和性能 被引量:3
2
作者 欧伊翔 潘伟 雷明凯 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第S1期330-334,共5页
分别采用深振荡磁控溅射(deep oscillation magnetron sputtering,DOMS)复合脉冲直流磁控溅射(pulsed dc magnetron sputtering,PDCMS)技术和单一的PDCMS技术,沉积厚度为2μm、调制周期为6.3 nm的Cr N/Ti N超晶格薄膜。利用XRD、SEM和TE... 分别采用深振荡磁控溅射(deep oscillation magnetron sputtering,DOMS)复合脉冲直流磁控溅射(pulsed dc magnetron sputtering,PDCMS)技术和单一的PDCMS技术,沉积厚度为2μm、调制周期为6.3 nm的Cr N/Ti N超晶格薄膜。利用XRD、SEM和TEM表征薄膜的结构。利用纳米压痕仪、划痕仪和空气电阻炉分别测试薄膜的力学性能、结合力和热稳定性。利用球-盘式摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦学性能。利用阳极极化实验测试薄膜在3.5%(质量分数)Na Cl溶液中腐蚀性能。研究表明,与单一的PDCMS技术相比,DOMS+PDCMS复合技术显著改善了Cr N/Ti N超晶格薄膜结构,薄膜具有更优异的力学性能、持久的耐磨减摩性和抗腐蚀性能。 展开更多
关键词 crn/tin超晶格薄膜 深振荡磁控溅射 脉冲直流磁控溅射 摩擦磨损 腐蚀
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不同黏度合成油下CrN/TiN多层薄膜的摩擦学特性研究 被引量:1
3
作者 张全德 陈庆春 +3 位作者 苏桐 赵勤 郭峰 王晓波 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期171-180,共10页
目的探究在不同黏度合成酯润滑油的作用下,CrN/TiN多层薄膜的摩擦学性能及协同润滑机制。方法选用聚α烯烃(PAO)与三羟甲基丙烷辛癸酸酯(TME)复配,得到不同黏度梯度的合成油。利用全自动黏度测定仪、倾点测试仪、开口闪点测定器和傅里... 目的探究在不同黏度合成酯润滑油的作用下,CrN/TiN多层薄膜的摩擦学性能及协同润滑机制。方法选用聚α烯烃(PAO)与三羟甲基丙烷辛癸酸酯(TME)复配,得到不同黏度梯度的合成油。利用全自动黏度测定仪、倾点测试仪、开口闪点测定器和傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)分别对合成油的运动黏度(40、100℃)、倾点、闪点和表面官能团进行表征。利用反应磁控溅射技术在316不锈钢和单晶硅片基底表面制备CrN/TiN多层薄膜。采用X射线衍射仪和FIB-TEM表征手段对薄膜的微观结构进行分析,并用纳米压痕仪和划痕仪测试了薄膜的力学性能。利用球-盘式摩擦试验机表征薄膜在干摩擦和油润滑条件下的摩擦学性能,利用XPS对摩擦实验后的磨痕元素价态进行表征。结果CrN/TiN薄膜具有典型的面心立方结构(FCC)、异质多层结构,且其硬度可达32.2 GPa。在干摩擦条件下,与裸316基体相比,经表面镀制CrN/TiN薄膜后平均摩擦因数由0.95降至0.71,磨损深度由25.0μm降至16.8μm。在合成油作用下,316不锈钢-GCr15钢球(钢-钢摩擦副)、CrN/TiN多层薄膜-GCr15钢球(CrN/TiN多层薄膜-钢摩擦副)2种摩擦配副的摩擦因数和磨损率随着合成油黏度的增加均呈现降低趋势,且在同一黏度条件下薄膜试样的磨损率更低。结论CrN/TiN多层薄膜在PAO与TME复配获得的一系列不同黏度合成油的作用下,随着合成油黏度的增加,薄膜的磨损率和磨损深度逐渐下降,其减摩抗磨性能得到显著提升。通过磨痕表面的XPS分析可知,合成油中极性的酯基吸附在滑动界面,增强了油膜的承载性能,从而减缓了对偶间的摩擦阻力。 展开更多
关键词 crn/tin多层薄膜 聚α烯烃 多元醇酯 摩擦学性能 固-液复合润滑
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Microstructure and Corrosion Resistance of CrN and CrN/TiN Coated Heat-Resistant Steels in Molten Aluminum Alloy 被引量:1
4
作者 LinCS PengH 《特种铸造及有色合金》 CAS CSCD 北大核心 2001年第S1期168-171,共4页
The components of the equipment for processing the Al melts into the molded parts can be markedly corroded by the molten Al. In this study, a 4 μm CrN coating or CrN/TiN multilayer coating for providing the physical ... The components of the equipment for processing the Al melts into the molded parts can be markedly corroded by the molten Al. In this study, a 4 μm CrN coating or CrN/TiN multilayer coating for providing the physical and chemical barriers between the molten reactive Al and the steel substrate were deposited by Cathodic Arc Evaporation onto 10 mm-thick heat-resistant steel plates. The dipping tests were conducted in a 700℃ A356 melt for 1 to 21 h at intervals of 3 h. The damage of the coated steel was eva... 展开更多
关键词 crn crn/tin heat-resistant Steels MICROSTRUCTURE Corrosion Resistance Molten Aluminum Alloy
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TC4钛合金表面电弧离子镀TiN/CrN纳米多层薄膜研究 被引量:14
5
作者 胡霖 胡建军 +3 位作者 林国强 张林 孙刚 马国佳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期872-877,共6页
用电弧离子镀技术在TCA钛合金基体上通过改变偏压制备了4组TiN/CrN薄膜,对薄膜的表面形貌、厚度、相结构、硬度、膜基结合力和摩擦系数等组织、性能进行了测试表征。结果表明,薄膜是由TiN相和CrN交替叠加构成的纳米多层薄膜,薄膜的... 用电弧离子镀技术在TCA钛合金基体上通过改变偏压制备了4组TiN/CrN薄膜,对薄膜的表面形貌、厚度、相结构、硬度、膜基结合力和摩擦系数等组织、性能进行了测试表征。结果表明,薄膜是由TiN相和CrN交替叠加构成的纳米多层薄膜,薄膜的调制周期为60nm,总的厚度约为480nm。与基体钛合金相比,镀膜后样品的表面性能与偏压幅值密切相关并有显著提高:显微硬度从基体的3GPa提高到16.5-24.7GPa;摩擦系数从基体的0.35大幅度降低到0.14—0.17;薄膜与基体结合牢固,膜基临界载荷在60-80N之间。经电弧离子镀TiN/CrN纳米多层薄膜处理后,TC4钛合金可以满足沙粒和尘埃磨损条件下的耐磨性能要求。 展开更多
关键词 TC4钛合金 电弧离子镀 tin/crn纳米多层薄膜
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过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜 被引量:8
6
作者 李成明 张勇 +2 位作者 李桂英 曹尔妍 吕反修 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期167-171,共5页
用过滤电弧技术在高速钢表面沉积了TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜 ,用扫描电镜 (SEM )观察了截面和断口形貌及划痕后的形貌。使用俄歇电子谱仪进行剥层成分分析 ,用纳米压痕仪测试了多层膜和单层膜的显微硬度和弹性模量。结果表明 ,在调制... 用过滤电弧技术在高速钢表面沉积了TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜 ,用扫描电镜 (SEM )观察了截面和断口形貌及划痕后的形貌。使用俄歇电子谱仪进行剥层成分分析 ,用纳米压痕仪测试了多层膜和单层膜的显微硬度和弹性模量。结果表明 ,在调制周期大于 10 0nm时 ,多层膜的显微硬度符合Hall Petch关系 ,在 80nm时 ,则脱离线性关系。划痕法测试多层膜的结合力达到 80N。 展开更多
关键词 过滤电弧沉积 显微硬度 结合力 多层膜
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TiN、CrN的环境摩擦磨损对比研究 被引量:6
7
作者 谢红梅 聂朝胤 《新技术新工艺》 2010年第6期63-66,共4页
采用直流叠加脉冲偏压电弧离子镀技术在45钢表面沉积了TiN、CrN薄膜。用显微硬度计测试了薄膜的硬度,用划痕仪测量了薄膜的膜基结合力,用球-盘式摩擦磨损试验机评价了不同介质条件下(干摩擦、水润滑、油润滑)TiN、CrN薄膜的摩擦学特性,... 采用直流叠加脉冲偏压电弧离子镀技术在45钢表面沉积了TiN、CrN薄膜。用显微硬度计测试了薄膜的硬度,用划痕仪测量了薄膜的膜基结合力,用球-盘式摩擦磨损试验机评价了不同介质条件下(干摩擦、水润滑、油润滑)TiN、CrN薄膜的摩擦学特性,用表面轮廓仪测试了薄膜磨痕处的磨损轮廓,用扫描电镜(SEM)观察了薄膜磨痕形貌。结果表明,相对于干摩擦条件下,在水润滑和油润滑条件下TiN和CrN薄膜的摩擦因数和磨痕深度都有所降低。在相同的介质条件下,CrN薄膜的摩擦因数和磨痕深度始终小于TiN薄膜。 展开更多
关键词 tin薄膜 crn薄膜 不同介质 摩擦学特性
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201不锈钢表面弧光离子镀TiN和CrN薄膜的耐蚀性
8
作者 马志康 高原 +4 位作者 蔡航伟 王成磊 袁琳 张焱 吴炜钦 《腐蚀与防护》 CAS 北大核心 2013年第8期670-672,689,共4页
利用弧光离子镀设备,对201不锈钢表面进行离子沉积TiN薄膜和CrN薄膜。分别在3.5%NaCl溶液、1mol·L-1 NaOH溶液和1mol·L-1 H2SO4溶液中进行电化学腐蚀性能测试。结果表明,通过弧光离子镀技术在201不锈钢表面分别形成了厚度为1.... 利用弧光离子镀设备,对201不锈钢表面进行离子沉积TiN薄膜和CrN薄膜。分别在3.5%NaCl溶液、1mol·L-1 NaOH溶液和1mol·L-1 H2SO4溶液中进行电化学腐蚀性能测试。结果表明,通过弧光离子镀技术在201不锈钢表面分别形成了厚度为1.2μm的致密TiN薄膜和3μm的致密CrN薄膜;201不锈钢、TiN薄膜和CrN薄膜在3.5%的NaCl溶液中耐蚀性相当;在1mol·L-1的NaOH溶液中,TiN薄膜的耐蚀性约是201不锈钢的2倍,CrN薄膜的耐蚀性是201不锈钢的24倍,TiN薄膜的12倍;在1mol·L-1的H2SO4溶液中,TiN薄膜和CrN薄膜的耐蚀性相比201不锈钢分别提高20倍和26倍。 展开更多
关键词 弧光离子镀 tin薄膜 crn薄膜 耐蚀性
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TiN/CrN多层薄膜的微观结构与力学性能(英文) 被引量:7
9
作者 靳巧玲 王海斗 +2 位作者 李国禄 张建军 刘金娜 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期2857-2862,共6页
为了研究TiN/CrN多层薄膜微观结构与力学性能的关系,采用磁控溅射技术制备了TiN、CrN单层薄膜和3种不同调制周期的TiN/CrN多层薄膜。通过原子力显微镜和X射线衍射仪分析了膜的表面形貌和相结构。使用纳米压痕仪测试薄膜的硬度和压入塑性... 为了研究TiN/CrN多层薄膜微观结构与力学性能的关系,采用磁控溅射技术制备了TiN、CrN单层薄膜和3种不同调制周期的TiN/CrN多层薄膜。通过原子力显微镜和X射线衍射仪分析了膜的表面形貌和相结构。使用纳米压痕仪测试薄膜的硬度和压入塑性,用曲率法测定薄膜的残余应力。结果表明,TiN/CrN的多层薄膜是由TiN和Cr_2N两相组成,随着调制周期的增大,TiN层与CrN层之间的界面区域变小,界面平滑且明显。力学性能方面,多层薄膜的硬度和压入塑性比单层膜好,并且多层薄膜随调制周期的减小,硬度和压入塑性增大,残余应力随周期的增加而逐渐增大。综上可见,TiN/CrN多层薄膜的力学性能的改善取决于界面区域的大小和形貌,即调制周期。该结论与Hall-Petch理论相吻合。 展开更多
关键词 tin/crn多层薄膜 显微结构 力学性能 调制周期 残余应力
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高引燃脉冲新HiPIMS模式对TiN/CrN多层膜结构和性能的影响 被引量:2
10
作者 高凯晨 巩春志 +1 位作者 徐啸尘 田修波 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期145-154,共10页
多层TiN/CrN薄膜能显著改善复杂环境下部件的性能和寿命,为获得性能良好的TiN/CrN多膜层,提出一种高引燃脉冲新HiPIMS模式(高功率脉冲磁控溅射技术)的新放电技术,在一到四引燃脉冲个数条件下制备TiN/CrN多层薄膜。结果表明,随着引燃脉... 多层TiN/CrN薄膜能显著改善复杂环境下部件的性能和寿命,为获得性能良好的TiN/CrN多膜层,提出一种高引燃脉冲新HiPIMS模式(高功率脉冲磁控溅射技术)的新放电技术,在一到四引燃脉冲个数条件下制备TiN/CrN多层薄膜。结果表明,随着引燃脉冲个数的增加,TiN/CrN薄膜膜基结合力增加,三引燃脉冲条件下结合力达到HF1(压痕法结合力指标,HF1为性能良好)压痕边缘膜层出现碎裂但膜层并未崩裂,在四引燃脉冲条件下膜基结合力也为HF1,且相较三引燃脉冲膜层碎裂也消失,膜基结合力最佳。同时,随着引燃脉冲个数的增加,膜层的粗糙度下降,磨痕变窄,硬度增强,硬度的波动范围减小,薄膜摩擦因数逐渐降低,四引燃脉冲条件下摩擦因数为0.25,膜层厚度呈先增加后减小的趋势,在三引燃脉冲个数条件下达到最大值332.1 nm试验结果表明引燃脉冲能够强化膜层与基体之间的结合力,硬度以及摩擦磨损的性能,细化晶粒。 展开更多
关键词 tin/crn多膜层 高功率脉冲磁控溅射技术 高引燃脉冲 引燃脉冲个数 结合力
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多弧离子镀TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜的制备及性能研究 被引量:5
11
作者 蒙志林 赵广彬 +2 位作者 葛高峰 谭刚 廖凤娟 《真空》 CAS 2013年第3期66-69,共4页
采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜。利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究。结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结... 采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜。利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究。结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结构组成为TiN和Cr2N,随着Cr靶电流的增大,TiN的择优取向由(200)向(111)转变,膜层出现单质Cr;膜层厚度为5.02μm,具有明显多层特征;显微硬度2536 HV;结合力65 N。 展开更多
关键词 多弧离子镀 tin Ticrn crn 多元多层复合膜
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Tribological Behavior of Magnesium Alloy AZ91 Coated with TiN/CrN by Arc-glow Plasma Depositing 被引量:5
12
作者 缪强 崔彩娥 +2 位作者 潘俊德 段良辉 刘亚萍 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第3期266-270,共5页
With advantages of high specific strength, low elastic module, good damping property et al., the magnesium alloys exhibit great potential applications in aerospace. But poor wear behavior results in limited use of mag... With advantages of high specific strength, low elastic module, good damping property et al., the magnesium alloys exhibit great potential applications in aerospace. But poor wear behavior results in limited use of magnesium alloy to static components. In this study, a 2 μm thick coating with 12 sub-layers of CrN and TiN is deposited alternately on the surface of magnesium alloy AZ91 by a novel method of arc-glow plasma depositing to improve its wear resistance. The composition and microstructure of the coating layer are analyzed by means of SEM, XRD and GDS. The friction coefficient is measured by ball on disc rubbing test, and the wear rates are also calculated. The results indicate that the friction coefficient is increased, but the wear rate is dropped sharply as compared with bare metal. The surface hardness is about HK0.01 1400. 展开更多
关键词 arc-glow plasma depositing magnesium alloy tin/crn coating WEAR friction coefficient micro-hardness
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TiN/CrN multilayered hard coatings with TiCrN interlayer deposited by a filtered cathodic vacuum arc technique 被引量:1
13
作者 ChengmingLi QiHe +3 位作者 GangLin XiaojunSunt WeizhongTang FanxiuLu 《Journal of University of Science and Technology Beijing》 CSCD 2004年第5期420-424,共5页
TiN/CrN multilayered hard coatings with TiCrN interlayer were deposited onhigh speed steel substrates by using a filtered cathodic vacuum arc technique. The structure andcomposition of the coatings were characterized ... TiN/CrN multilayered hard coatings with TiCrN interlayer were deposited onhigh speed steel substrates by using a filtered cathodic vacuum arc technique. The structure andcomposition of the coatings were characterized by scanning electron microscopy (SEM) and Augerelectron spectroscopy (AES). A high adhesion of up to 80 N was demonstrated by scratching tests forthe multi-layered coatings. Nanoindentation tests were performed to determine the hardness andelastic modulus of the coatings as a function of the multiplayer modulation period. It was observedthat the hardness of the multilayered coatings is higher than those of either TiN or CrN singlecoatings, and it increases with decreasing modulation periods, which is consistent with predictionsfrom the Hall-Petch type strengthening mechanism, though at small modulation periods, deviation fromthe Hall-Petch relation has been observed for the multilayered coatings. The life-span of drillscoated with TiN/CrN multilayered is triple as long as that coated with TiN layer. 展开更多
关键词 tin/crn multilayer hard coatings Ticrn interlayer HARDNESS drilling life
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Improving wear resistance of magnesium alloy AZ91D by TiN-CrN multilayer coating
14
作者 缪强 崔彩娥 +1 位作者 潘俊德 张平则 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2006年第A03期1802-1805,共4页
Applying a novel method of arc-glow plasma depositing, a 2μm-thick coating with 12 sub-layers of TiN and CrN was deposited alternately on the surface of magnesium alloy AZ91D to improve its wear resistance. The wear ... Applying a novel method of arc-glow plasma depositing, a 2μm-thick coating with 12 sub-layers of TiN and CrN was deposited alternately on the surface of magnesium alloy AZ91D to improve its wear resistance. The wear behavior was investigated by test of ball on disc sliding. The composition and microstructure of the coating were also analyzed by means of X-ray diffraction (XRD) and glow discharge spectrum (GDS), and the morphology of TiN-CrN film was surveyed through scanning electronic microscopy (SEM) and atom force microscopy (AFM).The adhesion strength between film and matrix was evaluated by ways of stick-peeling test. The surface micro-hardness of the coating is above HK0.011 433, and the specific wear ratio of specimens coated with TiN-CrN films tested decreases greatly compared to that of the bare metal. 展开更多
关键词 镁合金 等离子体 涂层 有色金属 强度
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碳热还原氮化高钛渣合成TiN/β′-Sialon导电陶瓷粉体 被引量:6
15
作者 姜涛 李江 +1 位作者 薛向欣 巫俊斌 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期857-860,864,共5页
以高钛渣、高铝矾土熟料、硅灰和炭黑为原料,采用碳热还原氮化法合成TiN/β′-Sialon导电陶瓷粉体.利用XRD,SEM和EDS检测手段研究了合成温度、恒温时间对反应过程的影响,并探讨了合成机理.结果表明:合成温度、恒温时间对反应过程影响显... 以高钛渣、高铝矾土熟料、硅灰和炭黑为原料,采用碳热还原氮化法合成TiN/β′-Sialon导电陶瓷粉体.利用XRD,SEM和EDS检测手段研究了合成温度、恒温时间对反应过程的影响,并探讨了合成机理.结果表明:合成温度、恒温时间对反应过程影响显著.1 400℃恒温2 h时,β′-Sialon含量达最大,是最佳的工艺参数.此时β-′Sialon晶粒多呈长柱状,TiN为细小粒状.合成过程中SiO的挥发导致试样较大的质量损失,且随合成温度升高和恒温时间延长而增大. 展开更多
关键词 高钛渣 碳热还原氮化 tin/β'-Sialon 导电陶瓷 粉体
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高钛渣碳热还原氮化合成TiN/O′-Sialon导电陶瓷粉体 被引量:2
16
作者 姜涛 薛向欣 +1 位作者 段培宁 唐义 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1340-1346,共7页
以高钛渣、硅灰和高铝矾土熟料为原料,采用碳热还原氮化法合成TiN/O′-Sialon导电陶瓷粉体。利用XRD、SEM和EDS检测手段研究合成温度及恒温时间对粉体相组成和显微形貌的影响,并探讨合成机理。结果表明:随合成温度的升高和恒温时间的延... 以高钛渣、硅灰和高铝矾土熟料为原料,采用碳热还原氮化法合成TiN/O′-Sialon导电陶瓷粉体。利用XRD、SEM和EDS检测手段研究合成温度及恒温时间对粉体相组成和显微形貌的影响,并探讨合成机理。结果表明:随合成温度的升高和恒温时间的延长,产物中O′-Sialon的含量逐渐增加,并在1 375~1 400℃、恒温7 h时成为产物主晶相,此时产物中还有较多TiN和少量β′-Sialon生成。继续提高温度和延长反应时间,体系气氛的改变导致O′-Sialon迅速向β′-Sialon转化。合成粉体中O′-Sialon晶粒多呈等轴状,粒度约2μm,TiN晶粒为细小粒状。此外,反应体系中还有大量白色β′-Sialon晶须状沉积物生成。 展开更多
关键词 高钛渣 碳热还原氮化 tin/O′-Sialon 粉体 合成
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The Study of Deposition Parameters, Properties for PVD Ti_xN and Cr_xN Coatings Using a Closed Field Unbalanced Magnetron Sputter Ion Plating System
17
作者 HailinSun SusanField +1 位作者 JianChen Dennis.G.Teer 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第05B期841-846,共6页
Closed Field Unbalanced Magnetron Sputter Ion Plating (CFUBMSIP) systems have been used increasingly for PVD coating in recent years. TiN and CrN coatings, commonly used as the basic coating for a number of different ... Closed Field Unbalanced Magnetron Sputter Ion Plating (CFUBMSIP) systems have been used increasingly for PVD coating in recent years. TiN and CrN coatings, commonly used as the basic coating for a number of different hard coatings, have been chosen to study the coating process parameters for the CFUBMSIP system. In this paper, the process parameters, such as substrate temperature, substrate bias and OEM control, have been carefully examined to achieve hard and wear-resistance coatings with good adhesion. The coating structure and orientation were found to change according to the coating parameters. The Rockwell test and Scratch test were carried out to examine the coating adhesion; pin-on-disc testing was used to estimate the wear-resistant; micro-hardness was also used to determine coating hardness. HSS drill testing has been carried out to study the general properties of the coating for cutting tool application. A combination of process parameters can be selected to achieve good performance for the TiN and CrN coatings. 展开更多
关键词 PVD 衬底温度 磁控管溅射 TixN涂层 CrxN涂层 OEM
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α-C:H膜系与氮化物膜系的结构性能比较及机理分析
18
作者 于斌斌 袁军堂 +2 位作者 汪振华 胡小秋 王飞 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第16期91-99,共9页
采用非平衡磁控溅射与阳极离子束技术制备Cr/α-C:H膜系,同时采用多弧离子镀技术分别制备Cr/CrNx与Ti/TiNx膜系,膜层厚度均为2μm。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、Raman光谱、X射线衍射仪分析三种薄膜的微观结构和表面形貌;采用WS-... 采用非平衡磁控溅射与阳极离子束技术制备Cr/α-C:H膜系,同时采用多弧离子镀技术分别制备Cr/CrNx与Ti/TiNx膜系,膜层厚度均为2μm。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、Raman光谱、X射线衍射仪分析三种薄膜的微观结构和表面形貌;采用WS-2005型附着力划痕仪测试三种膜系与SKD11不锈钢基体的结合强度;采用自主研制的球磨仪测试制备在SKD11不锈钢与YG6硬质合金基体上的三种膜层耐磨性能。结果表明,利用阳极离子束技术制备的α-C:H膜是一种非晶结构、表面平滑的薄膜,粗糙度值仅为5.21 nm,划痕试验临界载荷为17.8 N。而晶态的TiNx与CrNx膜层粗糙度较高,且其表面存有'熔滴',但其结合强度较高,划痕试验临界载荷达80 N以上。α-C:H膜层的耐磨性能优于TiNx,CrNx,且沉积在YG6硬质合金基体上的膜层单位磨损率均比SKD11不锈钢基体上的膜层低。 展开更多
关键词 离子束技术 α-C H膜 多弧离子镀 tin crn
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