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扫描隧道显微镜精密工作台及其控制技术研究
被引量：
11
1
作者
魏强
张玉林
+1 位作者
宋会英
郝慧娟
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期193-197,共5页
针对扫描隧道显微镜工作台高精度控制的需求,设计了一种基于神经网络理论的控制系统,其微位移工作台由压电陶瓷驱动器和柔性铰链机构组成。在对驱动器结构进行分析的基础上,建立了工作台的数学模型。以三层神经网络自学习PID控制器代替...
针对扫描隧道显微镜工作台高精度控制的需求,设计了一种基于神经网络理论的控制系统,其微位移工作台由压电陶瓷驱动器和柔性铰链机构组成。在对驱动器结构进行分析的基础上,建立了工作台的数学模型。以三层神经网络自学习PID控制器代替常规PID控制器,实现了样本的在线采集和优化,有效地克服了神经网络控制器需要离线训练的缺点;采用BP算法对神经网络进行在线训练,增强了系统的实时控制性能。实验结果表明,10μm下的过渡时间从3·25s缩短到1·6s,稳态误差从2·78%减小到1·39%。
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关键词
扫描隧道显微镜(S
t
M)
精密工作台
压电陶瓷
神经网络
bp
算法
pid
控制
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职称材料
题名
扫描隧道显微镜精密工作台及其控制技术研究
被引量：
11
1
作者
魏强
张玉林
宋会英
郝慧娟
机构
山东大学
泰山学院
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期193-197,共5页
基金
国家自然科学基金资助重大项目(90307003)
国家自然科学基金资助项目(10572078)
山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03)
文摘
针对扫描隧道显微镜工作台高精度控制的需求,设计了一种基于神经网络理论的控制系统,其微位移工作台由压电陶瓷驱动器和柔性铰链机构组成。在对驱动器结构进行分析的基础上,建立了工作台的数学模型。以三层神经网络自学习PID控制器代替常规PID控制器,实现了样本的在线采集和优化,有效地克服了神经网络控制器需要离线训练的缺点;采用BP算法对神经网络进行在线训练,增强了系统的实时控制性能。实验结果表明,10μm下的过渡时间从3·25s缩短到1·6s,稳态误差从2·78%减小到1·39%。
关键词
扫描隧道显微镜(S
t
M)
精密工作台
压电陶瓷
神经网络
bp
算法
pid
控制
Keywords
scanning
t
unneling microscope （S
t
M）
precision s
t
age
piezoelec
t
ric ceramic
neural ne
t
work
bp algorithm t pid control
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
TP273.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
扫描隧道显微镜精密工作台及其控制技术研究
魏强
张玉林
宋会英
郝慧娟
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
11
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