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Research of Current Mode Atomic Force Microscopy (C-AFM) for Si/SiC Heterostructures on 6H-SiC(0001)
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作者 Song Feng Lixun Song +2 位作者 Yuan Zang Zheyan Tu Lianbi Li 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2020年第2期184-189,共6页
Si/SiC heterostructures with different growth temperatures were prepared on 6 HSiC(0001)by LPCVD.Current mode atomic force microscopy and transmission electron microscopy were employed to investigate the electrical pr... Si/SiC heterostructures with different growth temperatures were prepared on 6 HSiC(0001)by LPCVD.Current mode atomic force microscopy and transmission electron microscopy were employed to investigate the electrical properties and crystalline structure of Si/SiC heterostructures.Face-centered cubic(FCC)on hexagonal close-packing(HCP)epitaxy of the Si(111)/SiC(0001)heterostructure was realized at 900°C.As the growth temperature increases to1050°C,the<110>preferred orientation of the Si film is observed.The Si films on 6 H-SiC(0001)with different growth orientations consist of different distinctive crystalline grains:quasi-spherical grains with a general size of 20μm,and columnar grains with a typical size of 7μm×20μm.The electrical properties are greatly influenced by the grain structures.The Si film with<110>orientation on SiC(0001)consists of columnar grains,which is more suitable for the fabrication of Si/SiC devices due to its low current fluctuation and relatively uniform current distribution. 展开更多
关键词 Si/6H-SiC heterostructure electrical properties current mode afm chemical vapor deposition
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Self-Sensing and –Actuating Probes for Tapping Mode AFM Measurements of Soft Polymers at a Wide Range of Temperatures
2
作者 Nadejda B. Matsko Julian Wagner +6 位作者 Anton Efimov Ines Haynl Stefan Mitsche Wolfgang Czapek Boris Matsko Werner Grogger Ferdinand Hofer 《Journal of Modern Physics》 2011年第2期72-78,共7页
Self-sensing and –actuating probes optimized for conventional tapping mode atomic force microscopy (AFM) are described. 32-kHz quartz tuning forks with a chemically etched and focus ion beam (FIB) sharpened (curvatur... Self-sensing and –actuating probes optimized for conventional tapping mode atomic force microscopy (AFM) are described. 32-kHz quartz tuning forks with a chemically etched and focus ion beam (FIB) sharpened (curvature radii are 5-10 nm) tungsten tip are stable at air and liquid nitrogen atmosphere and at a wide range of temperatures. If driven at constant frequency, the scan speed of such sensors can be up to 3 Hz. AFM was performed on polymer samples in order to study the stability and applicability of these sensor for investigation of soft materials with high dynamical tendencies. 展开更多
关键词 Tuning FORK SHARP Tungsten Tip afm TAPPING mode SOFT Materials
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Computational Fracture Analysis of an AFM-Specimen under Mixed Mode Loading Conditions
3
作者 朱莉 李庆芬 F.G.Buchholz 《Journal of Marine Science and Application》 2011年第1期105-112,共8页
Fracture processes in ship-building structures are in many cases of a 3-D character. A finite element (FE) model of an all fracture mode (AFM) specimen was built for the study of 3-D mixed mode crack fracture beha... Fracture processes in ship-building structures are in many cases of a 3-D character. A finite element (FE) model of an all fracture mode (AFM) specimen was built for the study of 3-D mixed mode crack fracture behavior including modes Ⅰ,Ⅱ, and Ⅲ. The stress intensity factors (SIFs) were calculated by the modified virtual crack closure integral (MVCCI) method, and the crack initiation angle assessment was based on a recently developed 3-D fracture criterion--the Richard criterion. It was shown that the FE model of the AFM-specimen is applicable for investigations under general mixed mode loading conditions, and the computational results of crack initiation angles are in agreement with some available experimental findings. Thus, the applicability of the FE model of the AFM-specimen for mixed mode loading conditions and the validity of the Richard criterion can be demonstrated. 展开更多
关键词 3-D crack fracture behavior stress intensity factors (SIFs) all fracture mode afm specimen crack initiation angle mixed mode loading conditions
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AFM模式下扫描图像质量的影响因素 被引量:3
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作者 金永中 陈建 孙亚丽 《四川理工学院学报(自然科学版)》 CAS 2005年第4期72-74,共3页
介绍了扫描探针显微镜(SPM)的AFM模式的工作原理,观察了聚四氟乙烯胶粒的微观形貌, 并指出影响AFM图像质量的主要因素。
关键词 扫描探针显微镜 afm模式 纳米形貌 影响因素
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基于表面形貌空间频率特征的AFM操作模式(英文) 被引量:1
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作者 王岳宇 赵学增 褚巍 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第4期293-296,共4页
恒力模式和恒高模式是原子力显微镜的两种主要操作模式.前一种模式通常用于成像在垂直方向变化大的表面,但仅对低空间频率表面有效.后一种模式仅对光滑表面在高分辨率高扫描速度下的成像有用.为克服这些缺点,提出了组合恒高和恒力的新... 恒力模式和恒高模式是原子力显微镜的两种主要操作模式.前一种模式通常用于成像在垂直方向变化大的表面,但仅对低空间频率表面有效.后一种模式仅对光滑表面在高分辨率高扫描速度下的成像有用.为克服这些缺点,提出了组合恒高和恒力的新操作模式.使用这个模式,表面形貌的低空间频率成分利用垂直压电扫描器及其控制信号跟踪并测量,高空间频率成分利用悬臂信号测量.然后,表面形貌图像利用组合低频和高频成分得到.仿真结果证明了这种新的操作模式具有高速和高分辨率的优点. 展开更多
关键词 原子力显微镜 操作模式 线宽测量 空间频率
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基于轻敲模式AFM的纳米振动表征方法
6
作者 徐临燕 栗大超 +4 位作者 刘瑞鹏 邱晗 傅星 胡小唐 张文栋 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第4期677-681,共5页
针对纳米振动测量方法中存在的间接性、低分辨率、低带宽等局限性,建立了原子力显微镜(AFM)的轻敲模式下探针与振动样品间相互作用的振动系统模型,采用Runge-Kutta数值积分方法分析了AFM测振技术的可行性和工作带宽。使用静电激励的双... 针对纳米振动测量方法中存在的间接性、低分辨率、低带宽等局限性,建立了原子力显微镜(AFM)的轻敲模式下探针与振动样品间相互作用的振动系统模型,采用Runge-Kutta数值积分方法分析了AFM测振技术的可行性和工作带宽。使用静电激励的双端固支纳米梁作为测试结构,采用AFM轻敲模式测试了样品的幅频响应特性。同时采用显微激光多普勒测振系统进行了比对测试,测量结果与AFM轻敲力曲线模式的测量结果相符,也表现出AFM轻敲模式的测量误差具有与测试样品相关的频率特性。 展开更多
关键词 纳机电系统 纳米梁谐振器 离面振动 原子力显微镜(afm) 轻敲模式
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基于改进型DLIA的AFM探针高速振幅检测
7
作者 王栋 于鹏 +3 位作者 周磊 刘柱 杨洋 董再励 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第12期791-797,共7页
轻敲模式是原子力显微镜(AFM)最为常见的扫描模式之一。轻敲模式以探针振动信号幅值作为反馈信号,实行实时检测。目前,有模拟检测和数字检测两种检测方法,模拟检测方法由于模拟器件固有的温漂导致误差较大,数字检测方法误差小但运算量... 轻敲模式是原子力显微镜(AFM)最为常见的扫描模式之一。轻敲模式以探针振动信号幅值作为反馈信号,实行实时检测。目前,有模拟检测和数字检测两种检测方法,模拟检测方法由于模拟器件固有的温漂导致误差较大,数字检测方法误差小但运算量较大。提出了一种实时检测轻敲模式信号振幅的改进型数字锁相放大器(MDLIA),在自制的AFM扫描成像系统中同时具备误差较小和运算量较小两个优点。MDLIA使用与振动信号同频同相的方波信号作为参考信号,因此仅采用单通道运算即可检测振动信号幅值。首先通过理论分析介绍了MDLIA的原理,然后介绍各组成部分及实现过程,最后通过运算耗时实验验证MDLIA运算量小且运算速度快的特点,并通过误差对比实验证明MDLIA误差较小,同时通过标准栅格扫描实验验证MDLIA的稳定性。 展开更多
关键词 原子力显微镜(afm) 轻敲模式 幅值检测 数字锁相放大器(DLIA) 单通道
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AFM轻敲模式下扫描参数对成像质量影响的研究 被引量:1
8
作者 陈建超 安小广 +1 位作者 冯世绪 王加春 《计量学报》 CSCD 北大核心 2020年第7期789-795,共7页
针对原子力显微镜(AFM)扫描参数对成像质量的影响规律,对现有的扫描参数影响成像质量的研究进行了分析。提出了以幅值误差作为评价AFM成像质量的指标,通过实验研究了扫描参数对AFM成像质量的耦合影响。发现了扫描频率f s、积分增益I和... 针对原子力显微镜(AFM)扫描参数对成像质量的影响规律,对现有的扫描参数影响成像质量的研究进行了分析。提出了以幅值误差作为评价AFM成像质量的指标,通过实验研究了扫描参数对AFM成像质量的耦合影响。发现了扫描频率f s、积分增益I和幅值设定点S这3个扫描参数间相互影响的现象,在S低较低情况下可设置更大的f s和I,在获取高质量成像的同时,提升了测量效率,对扫描参数的合理设置提供了可靠的操作准则。 展开更多
关键词 计量学 原子力显微镜 扫描参数 成像质量 轻敲模式 幅值误差
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激励频率对TM-AFM相位成像的影响 被引量:2
9
作者 魏瑞华 彭安杰 +1 位作者 宾凤姣 魏征 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期665-670,共6页
相位成像是轻敲模式下原子力显微镜(tapping mode atomic force microscope,TM-AFM)最具有特色的成像方式。本文以获得高质量的相位像为主要研究目的,利用Euler-Bernoulli(欧拉-伯努利)梁方程,将系统动力学模型简化为基于支承运动的弹... 相位成像是轻敲模式下原子力显微镜(tapping mode atomic force microscope,TM-AFM)最具有特色的成像方式。本文以获得高质量的相位像为主要研究目的,利用Euler-Bernoulli(欧拉-伯努利)梁方程,将系统动力学模型简化为基于支承运动的弹簧谐振子模型,推导出相位与激励频率之间的关系。实验结果与理论分析一致,这一结论对于寻找TM-AFM操作中最合适的激励频率范围具有重要意义。 展开更多
关键词 原子力显微镜 轻敲模式 激励频率 相位成像 相位对比度
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AFM轻敲模式对Si基SiO_(2)薄膜粗糙度的研究
10
作者 贾娟 姜爱峰 +3 位作者 丁慧 李继军 杨诗婷 郎风超 《内蒙古民族大学学报(自然科学版)》 2022年第1期19-25,共7页
SiO_(2)薄膜作为集成电路绝缘层、光学薄膜器件以及微机电系统薄膜的重要组成部分,在器件制造中起着重要的作用。为了分析Si基SiO_(2)薄膜的粗糙度,利用原子力显微镜对Si基SiO_(2)薄膜表面进行测试,将得到的表面形貌首先进行平均滤波和... SiO_(2)薄膜作为集成电路绝缘层、光学薄膜器件以及微机电系统薄膜的重要组成部分,在器件制造中起着重要的作用。为了分析Si基SiO_(2)薄膜的粗糙度,利用原子力显微镜对Si基SiO_(2)薄膜表面进行测试,将得到的表面形貌首先进行平均滤波和图像均衡化处理,再从表面形貌、粒径累积占比、二维傅里叶分析、栅格分析和层次分析等角度分析其粗糙度。结果表明:Si基SiO_(2)薄膜二维与三维表面形貌分布相对平缓,少量突出尖端出现,突出峰的高度为3.20 nm;粗糙度与粒径累积正相关,粒径累积分布变化越集中,越均匀,表面粗糙度越小,其表面平均粒径是3.85 nm;二维傅里叶变换表示薄膜表面梯度变化,暗处较多说明表面梯度较低,粗糙度较小;其表面栅格分布规则,表面粗糙度较小;Si基SiO_(2)薄膜的平均高度为1.36 nm,高度累积占比50%,高度相对较低的表面粗糙度较小。最后得出Si基SiO_(2)薄膜的表面平均粗糙度为0.167 nm。从以上几个角度能够实现对材料表面的粗糙度的测量。为日后研究材料表面的粗糙度具有一定的参考依据。 展开更多
关键词 afm 轻敲模式 SiO_(2)薄膜 粗糙度
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大气环境非接触调频AFM检测与控制平台设计及测试 被引量:3
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作者 许军 金晨 +3 位作者 王旭东 秦丽 温焕飞 马宗敏 《电子测量技术》 北大核心 2021年第11期163-168,共6页
为进一步提高大气环境调频非接触模式原子力显微镜(frequency modulated non-contact atomic force microscope)样品表面形貌表征能力。本文基于大气环境光路调节系统设计了高精度驱动位移调节装置,采用多块堆叠的切向压电陶瓷实现了sti... 为进一步提高大气环境调频非接触模式原子力显微镜(frequency modulated non-contact atomic force microscope)样品表面形貌表征能力。本文基于大气环境光路调节系统设计了高精度驱动位移调节装置,采用多块堆叠的切向压电陶瓷实现了stick-slip高精度驱动方式,调节精度达到了2.6nm/V,其精度高于常规步进电机,使得悬臂反射率达到26%。基于该高精度位移调节装置设计,系统实现了谐振频率检测与反馈,其中共振频率f0=158.73kHz,半高宽ω=373.2Hz,品质因数Q=564,系统最小检测灵敏度达到80mHz,系统电压噪声密度约为2.32μV/Hz,系统整体噪声为253.3fm/Hz。为表征样品形貌奠定了基础。 展开更多
关键词 调频非接触模式原子力显微镜(FM-NC-afm) 光路调节 粘滑驱动 高精度位移调节 谐振频率检测
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Unbinding Process of Amelogenin and Fibrinogen Adsorbed on Different Solid Surfaces Using AFM
12
作者 Ludovic Richert Abdessamad Boukari +2 位作者 Simon Berner Michel Dard Joseph Hemmerlé 《Journal of Biomaterials and Nanobiotechnology》 2011年第3期244-249,共6页
The interaction of proteins with solid surfaces is a fundamental phenomenon in the biomaterials field. We investigated, using atomic force microscopy (AFM), the interactions of a recombinant amelogenin with titanium, ... The interaction of proteins with solid surfaces is a fundamental phenomenon in the biomaterials field. We investigated, using atomic force microscopy (AFM), the interactions of a recombinant amelogenin with titanium, a biphasic calcium phosphate (BCP) and mica. The unbinding processes were compared to those of an earlier studied protein, namely fibrinogen. Force spectroscopy (AFM) experiments were carried out at 0 ms, 102 ms, 103 ms and 104 ms of contact time. In general, the rupture forces increased as a function of interaction time. The unbinding forces of amelogenin interacting with the BCP surface were always stronger than those of the amelogenin-titanium system. The unbinding forces of fibrinogen interacting with the BCP surface were always much stronger than those of the fibrinogen-titanium system. For the most part, this study provides direct evidence that recombinant amelogenin binds more strongly than fibrinogen on the studied substrates. 展开更多
关键词 AMELOGENIN TITANIUM CALCIUM PHOSPHATE Force-mode afm
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Real Time Recrystallization Study of 1, 2 Dodecanediol on Highly Oriented Pyrolytic Graphite (HOPG) by Tapping Mode Atomic Force Microscopy
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作者 S. K. Dora 《World Journal of Nano Science and Engineering》 2017年第1期1-15,共15页
Real-time atomic force microscopy (AFM) imaging revealed for the first time, the detailed growth/dissolution mechanism of Lauryl glycol (LG) or 1, 2 dodecanediol molecules on HOPG at the nano-level after recrystallizi... Real-time atomic force microscopy (AFM) imaging revealed for the first time, the detailed growth/dissolution mechanism of Lauryl glycol (LG) or 1, 2 dodecanediol molecules on HOPG at the nano-level after recrystallizing them from chloroform solution. At the early stage of recrystallization, parallelogram-like-structures having lengths of several microns and distinct widths (between ~ 100 - 400 nm) were observed. Growth/dissolution behavior of these parallelogram-like-structures as a function of time was investigated. While dissolution occurred along all three dimensions, growth was found to be strictly two dimensional. Both the growth and dissolution process were found to be logarithmic in nature. The average growth rates along their length and width were found to be 11 nm/min and 1.5 nm/min respectively. Average dissolution rate in percentage on HOPG surface was found to be ~ 0.078%/min. Based upon the recrystallization of LG molecules schematics are drawn for a better understanding of the recrystallization process. 展开更多
关键词 1 2 Dodecanediol Kinetics REAL Time Growth TAPPING mode afm
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Probing Co/Si interface behaviour by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and atomic force microscopy (AFM)
14
作者 PAN J. S. LIU R. S. TOK E. S. 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2006年第4期202-211,共10页
In this work, we investigate the Co-Si reaction, the Co growth mode at room temperature, diffusion be- haviour as well as morphology evolution during annealing on both H-terminated and clean Si(001) and Si(111) sur- f... In this work, we investigate the Co-Si reaction, the Co growth mode at room temperature, diffusion be- haviour as well as morphology evolution during annealing on both H-terminated and clean Si(001) and Si(111) sur- faces. From in-situ X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) investigation, “Co-Si” reaction appears to occur on both H-terminated and clean surfaces at room temperature (RT) and the silicide crystallinity is improved upon annealing. Co growth mode on H-terminated Si surfaces occurs in a pseudo layer-by-layer manner while small close-packed is- land growth mode is observed on the clean Si surface. Upon annealing at different temperatures, Co atom concentra- tion decreases versus annealing time, which in part is attributed to Co atoms inward diffusion. The diffusion behav- iour on both types of surfaces demonstrates a similar trend. Morphology study using ex-situ atomic force microscopy (AFM) shows that the islands formed on Si(001) surface after annealing at 700 °C are elongated with growth direc- tions alternate between the two perpendicular [ 110 ] and [110] directions. Triangular islands are observed on Si (111) surface. 展开更多
关键词 金属-半导体界面反应 X射线光电子光谱学 原子力显微镜方法 表面形态
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原子力显微镜磁驱动轻敲模式在活细胞成像中的应用研究 被引量:3
15
作者 孙全梅 陈龙 +3 位作者 陈佩佩 韩东 冯喜增 赵克森 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第4期311-315,共5页
应用MI公司最新发展的磁驱动轻敲模式(MAC mode)对体外培养成纤维细胞系3T3细胞进行在位成像研究。分别用力常数为0.95 N/m及0.03 N/m的微悬臂进行磁驱动轻敲模式成像,并与接触模式进行比较。同时研究了固定细胞与活体细胞之间的形貌差... 应用MI公司最新发展的磁驱动轻敲模式(MAC mode)对体外培养成纤维细胞系3T3细胞进行在位成像研究。分别用力常数为0.95 N/m及0.03 N/m的微悬臂进行磁驱动轻敲模式成像,并与接触模式进行比较。同时研究了固定细胞与活体细胞之间的形貌差异。结果显示,利用上述两种微悬臂探针,磁驱动轻敲模式均可获得高分辨像。与接触模式相比,磁驱动轻敲模式对活细胞的影响较小,在细胞膜表面微结构及细胞内亚结构成像方面,有明显优势。而接触模式由于其施力方式,使活细胞应力纤维应激性绷紧,更适合于对活体细胞应力纤维的成像研究。固定细胞与活细胞表面形貌存在较大差异,在生理环境下,进行活细胞检测更能了解细胞的真实状况。 展开更多
关键词 原子力显微镜 磁驱动轻敲模式 接触模式 细胞 成像
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原子力显微镜探针选择及常见故障解决方法 被引量:2
16
作者 陈科球 谢伟广 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2014年第7期19-22,52,共5页
基于针尖和样品之间的各种相互作用力,原子力显微镜(AFM)可用于样品表面形貌、摩擦力等各种物理特性的研究,它是纳米科技研究中一个重要工具。影响AFM测量图像质量的因素很多,如振幅参数、积分增益I、比例增益P、衰减增益和扫描速度等,... 基于针尖和样品之间的各种相互作用力,原子力显微镜(AFM)可用于样品表面形貌、摩擦力等各种物理特性的研究,它是纳米科技研究中一个重要工具。影响AFM测量图像质量的因素很多,如振幅参数、积分增益I、比例增益P、衰减增益和扫描速度等,而探针同样是提高样品表面形貌像成像质量的关键。通过采用控制变量法,并以均方根粗糙度Rq作为评判标准,用不同参数的探针测量同一样品。实验结果表明,探针的共振频率f、弹性系数k、曲率半径Rh等对测量样品粗糙度均有较大影响,可选择合适的探针,提高成像质量。同时,针对仪器使用中出现的一些常见现象及故障,作出了解释和解答。 展开更多
关键词 原子力显微镜 轻敲模式 共振频率 弹性系数
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原子力显微镜仿真平台的设计与实现 被引量:5
17
作者 张玉东 高金晟 +1 位作者 周娴玮 方勇纯 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1548-1552,共5页
原子力显微镜作为迄今为止应用最成功的微系统之一,在整个微纳米领域中起着举足轻重的作用。原子力显微镜的仿真为其研究提供了第一手的思路,数据与资料,是该领域中极为重要的一个研究方向。分析了原子力显微镜的工作机理和其中的复杂... 原子力显微镜作为迄今为止应用最成功的微系统之一,在整个微纳米领域中起着举足轻重的作用。原子力显微镜的仿真为其研究提供了第一手的思路,数据与资料,是该领域中极为重要的一个研究方向。分析了原子力显微镜的工作机理和其中的复杂非线性因素,在此基础上,设计并采用Matlab/Simulink工具实现了一个包含接触和轻敲两种模式的原子力显微镜仿真系统,然后通过对样品的扫描结果验证了该仿真平台的有效性。 展开更多
关键词 原子力显微镜 仿真平台 接触式 轻敲式 调幅
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轻敲模式下原子力显微镜的能量耗散机理研究 被引量:1
18
作者 樊康旗 贾建援 朱应敏 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期947-952,共6页
为研究原子力显微镜(AFM)在轻敲工作模式下的能量耗散机理,基于Hamaker假设和Lennard-Jones势能定律得到了原子与球体间的作用力.通过将球体与平面原子间的作用力等效为球体与平面间的粘着分布力,并结合经典弹性理论建立了一种新型的球... 为研究原子力显微镜(AFM)在轻敲工作模式下的能量耗散机理,基于Hamaker假设和Lennard-Jones势能定律得到了原子与球体间的作用力.通过将球体与平面原子间的作用力等效为球体与平面间的粘着分布力,并结合经典弹性理论建立了一种新型的球体与平面粘着接触的弹性模型,根据所建模型得到了AFM针尖与样品表面间的粘着力随其间距的变化规律.仿真结果表明,粘着力随间距的变化曲线在AFM针尖趋近和撤离样品表面,即加载和卸载的两个过程中并不完全相同,产生了粘着滞后现象,而粘着滞后现象的出现表明AFM在轻敲工作模式中将耗散能量,因而,所建模型从理论上证实了AFM在轻敲工作模式下存在能量耗散现象. 展开更多
关键词 原子力显微镜 粘着模型 轻敲模式 能量耗散
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扫描探针显微镜的最新技术进展及应用 被引量:13
19
作者 赵清亮 王景贺 +1 位作者 李旦 董申 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第1期69-75,共7页
本文在讨论SPM基本原理和应用的基础上,详细介绍了近期SPM的最新技术进展和成像模式以及拓展的应用领域,使我们能对SPM有一个全新的认识和了解,以便把它们更好地应用到研究领域中。
关键词 扫描探针显微镜 原子力显微镜 成像原理
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小型自感应原子力显微镜测头及其标定 被引量:1
20
作者 赵健 郭彤 +2 位作者 马龙 傅星 胡小唐 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2011年第2期168-173,共6页
设计了一种小型轻敲式自感应原子力显微镜(AFM)测头以实现微/纳尺度下的几何量测量.轻敲式测头采用石英音叉式自感应探针,通过自身的电信号输出检测悬臂梁的振幅变化,无需额外的光学传感器.设计了测头的微弱自感应信号放大电路,并补偿... 设计了一种小型轻敲式自感应原子力显微镜(AFM)测头以实现微/纳尺度下的几何量测量.轻敲式测头采用石英音叉式自感应探针,通过自身的电信号输出检测悬臂梁的振幅变化,无需额外的光学传感器.设计了测头的微弱自感应信号放大电路,并补偿音叉寄生电容对测量的干扰.机械结构紧凑便于将测头固定于光学显微镜下观察测量情况,同时屏蔽外界的干扰.利用显微激光多普勒测振系统,标定了测头机电耦合系数为145 nm/V,由此可以计算测头工作频率下悬臂梁的振幅.搭建了以纳米测量机(NMM)为高精度定位平台的测试系统,利用该系统对测头进行进/退针实验,标定测头的灵敏度为0.47 nm/mV,NMM内置的干涉仪保证标定直接溯源至"米"定义.实验表明测头的非线性误差小于1%,测量范围在百纳米级. 展开更多
关键词 原子力显微镜(afm)测头 轻敲模式 自感应探针 机电耦合系数 高精度定位平台
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