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不锈钢表面原位氧化法制备氧化物涂层的微观结构及其阻氢性能研究 被引量：1
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作者 于庆河 郝雷 +6 位作者 何迪 李帅 米菁 张子楠 杜淼 刘晓鹏 蒋利军 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期2467-2471,共5页
316L不锈钢广泛应用于太阳能真空集热管,管内载入高温导热油,工作温度在300~400℃之间,导热油在长期工作中会因发生热分解而变质,产生游离的氢等。氢在高温下借助渗透作用穿过不锈钢中央管进入环形真空空间,导致高温真空集热管热量损失... 316L不锈钢广泛应用于太阳能真空集热管,管内载入高温导热油,工作温度在300~400℃之间,导热油在长期工作中会因发生热分解而变质,产生游离的氢等。氢在高温下借助渗透作用穿过不锈钢中央管进入环形真空空间,导致高温真空集热管热量损失增加,因此应在集热管内表面采用原位氧化技术制备阻氢渗透涂层。当热处理温度为750℃时通过H_2-H_2O提供低氧分压气氛,低氧分压压力为10^(-21)Pa。通过XRD,SEM和XPS确定涂层的相组成和组织结构。结果表明,涂层主要由内层的氧化铬涂层和外层的锰铬尖晶石相组成。当温度为650℃时压力分别为40、60、80和100 kPa时,阻氢性能分别提高70、61、46和42倍。不锈钢表面氧化物涂层的制备可有效抑制氘在不锈钢中的扩散。 展开更多
关键词 原位氧化法 真空集热管 阻氢渗透 阻氢性能
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氮氩比对AlN_x薄膜微观结构与光学性质的影响 被引量：1
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作者 杜淼 郝雷 +5 位作者 刘晓鹏 吕芳 米菁 李志念 蒋利军 王树茂 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1710-1713,共4页
利用射频反应磁控溅射技术制备了氮化铝(AlNx)薄膜。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计分析氮氩比对AlNx相结构、表面形貌、沉积速率以及薄膜光谱透过率的影响规律。氮氩比显著影响溅射薄膜的成分和相组成,... 利用射频反应磁控溅射技术制备了氮化铝(AlNx)薄膜。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计分析氮氩比对AlNx相结构、表面形貌、沉积速率以及薄膜光谱透过率的影响规律。氮氩比显著影响溅射薄膜的成分和相组成,进而影响薄膜的透过率。当氮氩比小于4/156时,薄膜由金属铝组成;当氮氩比大于6/154时,薄膜由立方-AlN相组成。薄膜形貌随氮氩比例增大由粗糙不规则状的颗粒转化为均匀致密的细小颗粒,AlNx薄膜的沉积速率随之减小。光学性能测试结果表明,AlNx薄膜透过率由金属铝膜的零增加为83%,AlNx薄膜在300～2500nm波长范围内透过率较高,而在大于2500nm的近红外区透过率显著下降。 展开更多
关键词 AlNx薄膜 磁控溅射 透过率
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