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光学镜面离子束加工的可达性 被引量：24
1
作者 周林 戴一帆 +2 位作者 解旭辉 焦长君 李圣怡 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期160-166,共7页
提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证。分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的。但... 提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证。分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的。但是面形误差频率越高,驻留函数解越大,去除面形误差时去除的额外材料越多。额外的材料去除量随着离子束径和空间误差波长之比(d/λ)的增加而指数增加。当d/λ=0.5时,额外材料去除量为15%,还是可以接受的;当d/λ=1时,额外材料去除量迅速上升到73%,该值即很难被接受。理论分析和仿真结果表明,为了优化加工过程,d/λ应该<0.5。 展开更多
关键词 离子束加工 驻留时间 加工可迭性 光学镜面加工 计算机控制 光学表面成形
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大口径高陡度离轴非球面精磨阶段的数控加工 被引量：19
2
作者 李锐钢 郑立功 +2 位作者 张峰 薛红梅 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期633-639,共7页
对大口径高陡度离轴非球面的数控加工过程中遇到的矢高变化率太大、磨头去除特性改变等技术难题进行了深入细致的研究,并提出了相应的解决方法。首先,通过坐标变换降低高陡度离轴非球面的矢高变化率;然后,给出了磨头沿非球面的法线方向... 对大口径高陡度离轴非球面的数控加工过程中遇到的矢高变化率太大、磨头去除特性改变等技术难题进行了深入细致的研究,并提出了相应的解决方法。首先,通过坐标变换降低高陡度离轴非球面的矢高变化率;然后,给出了磨头沿非球面的法线方向进行数控加工的具体实施方法;最后,对轮廓检验的结果进行修正,使之在法线方向投影,从而使数控加工能更加准确有效地控制面形误差收敛。给出了数控加工实例,精磨阶段达到面形精度PV:10.502 8μm,RMS:0.829 3μm。结果表明,提出的方法在工程中完全可行,并有较高的收敛效率。 展开更多
关键词 高陡度非球面 坐标变换 法线方向面形 数控加工
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石英玻璃的化学机械磨削加工 被引量：29
3
作者 仇中军 周立波 +2 位作者 房丰洲 椎名刚志 江田弘 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1554-1561,共8页
为了实现石英玻璃基板的高效、高质量加工,进一步改善光掩模设备的性能,进行了石英玻璃化学机械磨削(CMG)加工技术的研究。通过在磨削过程中主动增强磨粒、结合剂以及磨削液与工件的化学反应,并使化学反应与机械去除作用形成动态平衡,... 为了实现石英玻璃基板的高效、高质量加工,进一步改善光掩模设备的性能,进行了石英玻璃化学机械磨削(CMG)加工技术的研究。通过在磨削过程中主动增强磨粒、结合剂以及磨削液与工件的化学反应,并使化学反应与机械去除作用形成动态平衡,从而消除因材料脆性去除而造成的表面损伤等,实现了大口径玻璃工件的高表面质量、高形状精度的加工。针对石英玻璃CMG加工的特点,开发了CMG专用砂轮及磨削液,利用正交实验法优化了石英玻璃CMG加工工艺参数,分析了CMG加工过程中磨削压力、砂轮转速、磨削液流量、pH值等因素对加工表面粗糙度及加工效率的影响,并利用优化后的工艺参数加工得到了Ra为0.795nm的石英玻璃表面。加工后基板的光学性能和化学机械抛光(CMP)加工基板的光学性能相同,能够满足光掩模设备的性能需求。 展开更多
关键词 化学机械磨削 石英玻璃 正交试验法
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光学玻璃塑性模式超精密磨削加工的研究 被引量：25
4
作者 陈明君 张飞虎 +1 位作者 董申 李旦 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期460-463,484,共5页
利用超精密磨床磨削加工 6种典型的光学玻璃 ,先从理论上研究了脆性材料脆塑转变的临界值。然后对脆性材料作了大量磨削实验 ,实验结果表明 ,超精密磨削脆性材料时存在着断裂模式、断裂与塑性模式、塑性模式 ,这些模式主要由砂轮磨粒的... 利用超精密磨床磨削加工 6种典型的光学玻璃 ,先从理论上研究了脆性材料脆塑转变的临界值。然后对脆性材料作了大量磨削实验 ,实验结果表明 ,超精密磨削脆性材料时存在着断裂模式、断裂与塑性模式、塑性模式 ,这些模式主要由砂轮磨粒的切削深度进行控制 ,该磨削表面粗糙度与磨粒尺寸的大小、砂轮的进给量及玻璃的材料有关。当光学玻璃在塑性模式磨削时 ,其表面层不会产生任何裂纹缺陷。利用超精密磨床进行磨削加工 ,获得的表面粗糙度 Ra低于 展开更多
关键词 金刚石砂轮 脆塑转变 超精密磨削加工 光学玻璃
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气囊抛光过程的运动精度控制 被引量：9
5
作者 王飞 张健 +2 位作者 彭利荣 王高文 隋永新 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2220-2228,共9页
针对用于球面、非球面光学元件超精密光学加工的气囊抛光技术,提出了一套控制抛光过程中气囊运动精度的方法。该方法通过控制加工单元的温度,保证抛光过程中设备运动精度达到50μm;使用坐标传递法,使检测数据二维方向对准不确定度达到0.... 针对用于球面、非球面光学元件超精密光学加工的气囊抛光技术,提出了一套控制抛光过程中气囊运动精度的方法。该方法通过控制加工单元的温度,保证抛光过程中设备运动精度达到50μm;使用坐标传递法,使检测数据二维方向对准不确定度达到0.30-0.70mm。另外,基于磨头去除量估计与反馈修正法,提高精抛过程面形误差收敛效率。最后,通过磨头探测校准法,将磨头与加工工件法向位置精度提高至10μm。实际抛光实验显示：使用运动精度控制法在280mm口径的平面精密抛光中获得的面形加工精度为0.8nm（RMS）,在160mm口径的凹球面精密抛光中获得的面形加工结果为1.1nm（RMS）,实现了超高精度面形修正的目的,为超高精度球面、非球面光学元件加工提供了一套行之有效的方法。该方法同样适用于其他接触式小磨头数控抛光方法。 展开更多
关键词 光学加工 气囊抛光 运动精度 球面抛光 平面抛光
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离轴非球面数控抛光路径的自适应规划 被引量：10
6
作者 邓伟杰 郑立功 +2 位作者 史亚莉 王孝坤 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期65-71,共7页
根据质点系平衡的加权平均思想,提出了一种新的适用于离轴非球面数控抛光的路径规划方法。根据影响抛光结果的因素,给出了权因子的组成元素及其计算方法,包括常数、加工残差分布以及与工件边缘的距离,并给出了权因子间影响系数的粗略确... 根据质点系平衡的加权平均思想,提出了一种新的适用于离轴非球面数控抛光的路径规划方法。根据影响抛光结果的因素,给出了权因子的组成元素及其计算方法,包括常数、加工残差分布以及与工件边缘的距离,并给出了权因子间影响系数的粗略确定方法。对一组面形数据进行虚拟加工,与常规的X-Y直角坐标系型加工路径相比,面形均方根收敛率从0.36提高到0.62,其它各项数值的表现也均优于常规方法。最后,对算法中的一些问题做了简要的说明和讨论。这种规划方法原理简单,效果显著,满足实际使用要求。 展开更多
关键词 非球面加工 离轴非球面 抛光路径 自适应规划算法
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光学玻璃的激光微结构化砂轮精密磨削 被引量：9
7
作者 郭兵 赵清亮 +1 位作者 陈冰 于欣 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2659-2666,共8页
为了降低大磨粒金刚石砂轮磨削光学玻璃时的亚表层损伤,利用纳秒脉冲激光对金刚石砂轮进行了表面微结构化加工,并采用该砂轮研究了光学玻璃的精密磨削加工。首先,计算了金刚石磨粒在纳秒脉冲激光辐射下的烧蚀阈值和激光束腰半径;然后,... 为了降低大磨粒金刚石砂轮磨削光学玻璃时的亚表层损伤,利用纳秒脉冲激光对金刚石砂轮进行了表面微结构化加工,并采用该砂轮研究了光学玻璃的精密磨削加工。首先,计算了金刚石磨粒在纳秒脉冲激光辐射下的烧蚀阈值和激光束腰半径;然后,分析了纳秒脉冲激光在金刚石磨粒上加工的微结构形貌以及微结构化过程中的热损伤;最后,采用微结构化大磨粒金刚石砂轮进行光学玻璃的磨削实验,并分析了亚表层的损伤情况。实验结果表明:金刚石磨粒在纳秒脉冲激光辐射下的烧蚀阈值为0.89J/cm,激光束腰半径为17.16μm。在粒度为150μm的大磨粒电镀金刚石砂轮上可以实现结构尺寸为20μm的微结构表面加工。与传统金刚石砂轮相比,微结构化砂轮磨削后的光学玻璃亚表层损伤深度降低了40%,达到了降低光学玻璃磨削亚表层损伤的目的。 展开更多
关键词 光学玻璃 微结构化 金刚石砂轮 纳秒激光 精密磨削 亚表层损伤
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小型非球面数控抛光技术的研究 被引量：23
8
作者 王毅 倪颖 余景池 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1527-1533,共7页
用计算机控制抛光的方法对小型非球面数控抛光技术进行了研究。对计算机控制小磨头抛光的材料去除作用进行了计算机模拟;依据计算机模拟结果,调整驻留时间函数,进行抛光补偿;最后,在自行研制的三轴联动非球面数控抛光原理样机上高效地... 用计算机控制抛光的方法对小型非球面数控抛光技术进行了研究。对计算机控制小磨头抛光的材料去除作用进行了计算机模拟;依据计算机模拟结果,调整驻留时间函数,进行抛光补偿;最后,在自行研制的三轴联动非球面数控抛光原理样机上高效地完成了70 mm左右非球面的抛光,各项指标达到了中等精度要求,表面粗糙度为2.687 nm,面形精度为0.45μm,且重复精度良好。结果表明,该技术有效提高了小型非球面光学零件的批量生产效率。 展开更多
关键词 数控抛光 非球面 驻留时间 补偿
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一种中小口径非球面元件数控抛光技术 被引量：31
9
作者 薛栋林 张忠玉 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期198-204,共7页
基于自主设计研制的FSGJ 3 型非球面数控加工中心,针对口径φ108 mm凸非球面透镜(曲率半径R=318 mm,k=-3),研究了非球面粗抛光工艺、精抛光工艺、抛光设备、磨料以及相关工艺参数,提出了规范的中小口径非球面加工的工艺方法和新型轮式... 基于自主设计研制的FSGJ 3 型非球面数控加工中心,针对口径φ108 mm凸非球面透镜(曲率半径R=318 mm,k=-3),研究了非球面粗抛光工艺、精抛光工艺、抛光设备、磨料以及相关工艺参数,提出了规范的中小口径非球面加工的工艺方法和新型轮式抛光技术,实现了中小口径非球面元件的数控快速精密铣磨成型,且保证了光学零件具有较高的面形精度。抛光后元件面形精度达到0.306λ(PV)、0.028λ(RMS) (λ=0.632 8μm)。满足了在光学系统中使用非球面零件,明显改善像质,提高光学特性,减少光学零件数目,从而简化系统结构,减小系统体积,减轻系统质量的目的。 展开更多
关键词 非球面透镜 轮式抛光技术 面形精度
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空间相机主反射镜结构拓扑优化设计 被引量：15
10
作者 刘磊 高明辉 +2 位作者 李丽富 谭子昂 任建岳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第6期1066-1069,1074,共5页
随着空间光学的发展,遥感器的口径越来越大,分辨率越来越高,这就导致遥感器的主反射镜口径和质量越来越大。主反射镜的设计是否合理,将直接影响遥感器的质量和成像质量。因此采用拓扑优化方法与有限元计算方法相结合,以NASTRAN为有限元... 随着空间光学的发展,遥感器的口径越来越大,分辨率越来越高,这就导致遥感器的主反射镜口径和质量越来越大。主反射镜的设计是否合理,将直接影响遥感器的质量和成像质量。因此采用拓扑优化方法与有限元计算方法相结合,以NASTRAN为有限元解算器,以PATRAN为前处理器,在空间光学遥感器主反射镜外形、载荷、环境工况确定的情况下,对其结构进行拓扑优化,得到最优结构形式。通过对优化前后结构进行有限元分析,结果表明:优化后的反射镜镜面面形比传统的镜面面形减小或相当,质量减轻32%,动力学性能改善。优化后的主反射镜结构能够满足加工、工艺和装配的技术要求。这种优化与有限元分析技术的结合将为以后的光学反射镜的设计提供有效的帮助。 展开更多
关键词 拓扑优化 反射镜 MSC.NASTRAN
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离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整技术研究 被引量：10
11
作者 薛栋林 郑立功 +1 位作者 王淑平 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期380-385,共6页
分析了非球面补偿检验过程中由补偿器和镜面支撑结构的失调引入的调整量误差,给出了计算机辅助调整方法。建立了离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整系统的物理数学模型,求解了被检非球面镜的失调方位和量值,利用计算机控制调整架实... 分析了非球面补偿检验过程中由补偿器和镜面支撑结构的失调引入的调整量误差,给出了计算机辅助调整方法。建立了离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整系统的物理数学模型,求解了被检非球面镜的失调方位和量值,利用计算机控制调整架实现了系统辅助调整。建立了实验装置,给出了模拟调整和实际调整结果。经过计算机辅助调整后,被检离轴二次非球面的最终检验结果为0.028λ(RMS)(λ=632.8 nm)。 展开更多
关键词 非球面检验 补偿器 调整误差 计算机辅助调整
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光学非球面离子束加工模型及误差控制 被引量：10
12
作者 武建芬 卢振武 +1 位作者 张红鑫 王泰升 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2678-2683,共6页
为了实现光学非球面元件的高精度加工,对先进的离子束加工系统进行了研究。通过对离子束加工系统的分析,给出了加工非球面光学元件的离子源子系统运动模型公式,并将求解驻留时间的反卷积过程转化为求解线性矩阵方程过程以便优化求解。... 为了实现光学非球面元件的高精度加工,对先进的离子束加工系统进行了研究。通过对离子束加工系统的分析,给出了加工非球面光学元件的离子源子系统运动模型公式,并将求解驻留时间的反卷积过程转化为求解线性矩阵方程过程以便优化求解。分析了加工过程中出现的离子源定位误差,指出其对最终面形精度的影响可归结为一个系数因子的控制上,并提出了综合考虑离子束材料去除函数和定位误差的方法来控制系数因子以降低对定位系统精度的苛刻要求。仿真验证表明,该模型计算出的驻留时间函数可以有效地保证光学元件的面形精度达0.0381λ;离子束定位误差引起的面形精度的变化量满足最大变化量公式的限制。该模型可用于各种非球面光学元件离子束加工过程驻留时间的求解和设备的定位误差设计,在保证过程稳定的同时降低了设备成本。 展开更多
关键词 离子束加工 非球面 定位误差分析 驻留时间矩阵方程
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液体喷射抛光技术研究 被引量：19
13
作者 郭培基 方慧 余景池 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期25-27,共3页
液体喷射抛光(FJP)技术是近几年提出的一种新型光学抛光工艺,本文简介了这种抛光技术的原理,介绍了我们的研究结果,其中包括在抛光机理方面提出抛光液中磨料粒子的径向流动对工件产生的径向磨削剪切作用是材料去除的关键;建立了较完善... 液体喷射抛光(FJP)技术是近几年提出的一种新型光学抛光工艺,本文简介了这种抛光技术的原理,介绍了我们的研究结果,其中包括在抛光机理方面提出抛光液中磨料粒子的径向流动对工件产生的径向磨削剪切作用是材料去除的关键;建立了较完善的描述FJP过程的数学模型;提出了获得较理想工作函数的方法;得到了求解时间驻留函数的一种算法;另外还研究了不同FJP溶液及一些工艺参数对样品表面粗糙度的影响、被抛光材料特性对材料去除率及表面粗糙度的影响等。结合这些研究建立了一套非球面数控液体喷射抛光设备和相关工艺,并利用其对实际非球面做了数控抛光实验,最后得到其截面的误差优于0.15μmPV,表面粗糙度Ra达到2.25nm,实验结果表明此技术可用于非球面的数控抛光。 展开更多
关键词 液体喷射 抛光 去除机理 数学模型
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汽车前挡风玻璃用ITO薄膜的隔热及节能实验研究 被引量：11
14
作者 常天海 黄光周 +1 位作者 于继荣 杨英杰 《真空》 CAS 北大核心 2002年第3期18-22,共5页
通过两个隔热实验和一个节能实验 ,深入分析了 ITO薄膜用于汽车前挡风玻璃的可能性。结果表明 :ITO薄膜可以应用于汽车前挡风玻璃 ,既能保证超过 73%的可见光透过率 ,又能在炎热的夏季降低驾驶室的温度约 5℃ (上午 )或 2 .5℃ (中午 ) ... 通过两个隔热实验和一个节能实验 ,深入分析了 ITO薄膜用于汽车前挡风玻璃的可能性。结果表明 :ITO薄膜可以应用于汽车前挡风玻璃 ,既能保证超过 73%的可见光透过率 ,又能在炎热的夏季降低驾驶室的温度约 5℃ (上午 )或 2 .5℃ (中午 ) ,节约能耗达 34 %。 展开更多
关键词 实验研究 汽车 挡风玻璃 ITO薄膜 隔热 节能 镀膜
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玻璃表面TiO_2膜性能的影响因素及提高其光降解效率的途径 被引量：18
15
作者 姜妍彦 钟萍 +1 位作者 王承遇 赵秀岩 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期38-40,共3页
综述了玻璃表面TiO_2薄膜的性能研究,介绍了影响玻璃表面TiO_2性能的因素,同时介绍了提高其光效率的若干途径。
关键词 光催化降解 光催化效率 二氧化钛薄膜
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光学加工中高频误差对散射损失比的影响 被引量：6
16
作者 戴一帆 吴冬良 王贵林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期2365-2370,共6页
以光学系统主镜为研究对象,分析了中高频误差对散射损失比的影响。根据光学镜面面形误差近似高斯平稳随机过程特征,结合Harvey-Shack散射理论和统计光学理论,建立了光学镜面中高频误差RMS与散射损失比(RSL)之间的数学关系模型,并利用实... 以光学系统主镜为研究对象,分析了中高频误差对散射损失比的影响。根据光学镜面面形误差近似高斯平稳随机过程特征,结合Harvey-Shack散射理论和统计光学理论,建立了光学镜面中高频误差RMS与散射损失比(RSL)之间的数学关系模型,并利用实际加工数据进行了仿真验证。研究表明,RSL随着中高频误差RMS的增加近似呈指数规律增加,同时在聚焦范围内,理论分析与仿真计算结果非常吻合。在中频误差和高频误差RMS值分别<λ/63时,对RSL的影响均<1%,结果可为中高频误差的修正提供理论支持。 展开更多
关键词 光学主镜 中频误差 高频误差 散射损失比 误差均方根
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光学镜面离子束加工的材料去除效率 被引量：4
17
作者 焦长君 解旭辉 +1 位作者 李圣怡 周林 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1343-1348,共6页
分析了离子束加工光学镜面的材料去除效率和不同材料之间的相对去除效率与工艺参数的关系。基于Sigmund溅射理论，建立了表征去除效率的指标一法向去除速率、体积去除速率和溅射产额与束能、束流以及入射角度之间的关系模型。以石英、... 分析了离子束加工光学镜面的材料去除效率和不同材料之间的相对去除效率与工艺参数的关系。基于Sigmund溅射理论，建立了表征去除效率的指标一法向去除速率、体积去除速率和溅射产额与束能、束流以及入射角度之间的关系模型。以石英、微晶和K4玻璃等为样件，实验分析了去除效率与工艺参数的关系，验证了模型的正确性。分析结果表明，材料去除效率随束流线性增大，与束能平方根约呈线性关系；随着入射角度先缓慢增大，约在60～80。达到最大值，然后迅速降为0。不同材料之间的相对去除效率与束流无关；与束能的关系较弱，可以忽略；随角度变化较为明显。 展开更多
关键词 光学加工 离子柬修形 离子溅射 去除效率
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基于PZT的非球面能动抛光盘定位误差分析 被引量：3
18
作者 胡自强 凌宁 +2 位作者 潘君骅 饶长辉 姜文汉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1577-1581,共5页
研制了一个口径为100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光磨盘,用于加工口径为350 mm、k=-1.112 155、顶点半径为840 mm的双曲面镜。为研究定位误差对非球面能动抛光磨盘输出面形精度的影响,对磨盘上任意点所需变形量δ以及由定位误... 研制了一个口径为100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光磨盘,用于加工口径为350 mm、k=-1.112 155、顶点半径为840 mm的双曲面镜。为研究定位误差对非球面能动抛光磨盘输出面形精度的影响,对磨盘上任意点所需变形量δ以及由定位误差引入的变形量误差Δδ进行了理论公式推导,并利用有限元分析方法计算得到了当非球面能动抛光磨盘中心到非球面工件中心的距离L为120 mm且δL分别为0,-1.0,-0.5,0.5,1 mm时,非球面能动抛光磨盘输出面形与理论面形比较剩余残差RMS相应分别为0.329,0.454,0.366,0.367,0.461μm,定位误差导致剩余残差RMS分别相应增加0,38%,10.9%,11.2%,40%。因此,定位误差应该控制在±0.5 mm以内。 展开更多
关键词 非球面镜 非球面能动抛光磨盘 定位误差分析 PZT驱动器
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Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜的加工 被引量：2
19
作者 王永刚 崔天刚 +2 位作者 马文生 陈斌 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期743-753,共11页
针对Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜柱面内表面的特殊结构,研究了弹性球状小磨头以旋偏方式运动逐环带修正面形时的去除函数模型。分析了相关工艺参数,如磨头-工件旋转角速度比、旋偏角大小、磨头中心压强以及磨头和工件的趋近距离对去除函数... 针对Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜柱面内表面的特殊结构,研究了弹性球状小磨头以旋偏方式运动逐环带修正面形时的去除函数模型。分析了相关工艺参数,如磨头-工件旋转角速度比、旋偏角大小、磨头中心压强以及磨头和工件的趋近距离对去除函数的影响,通过实验获得了驻留时间和去除函数中心去除深度的关系。采取两步加工法控制研抛后的表面质量,分析表明:当磨头-工件角速度比为1.41时,反射镜的表面质量最好。介绍了计算机控制光学表面成形(CCOS)法加工Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜的过程。选择微晶玻璃为反射镜的镜胚,在自行研制的研抛设备上,以不同粒径的氧化铈作为抛光液,对金刚砂砂轮粗磨后的工件进行抛光。通过改变磨头相对工件的压入深度,获得不同大小的磨头去除区域,实现了对上一个抛光周期后的残留误差的有效去除。最终获得的反射镜面形精度为PV:1.39μm,RMS:0.34μm,圆度均方根误差优于0.1μm。实验结果表明:提出的两步法旋偏加工方案可用于掠入射反射镜的加工。 展开更多
关键词 掠入射反射镜 柱面内表面 弹性球状小磨头 两步加工法 表面质量
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空心玻璃微珠无钯活化化学镀银的研究 被引量：3
20
作者 马莉娜 齐暑华 +1 位作者 程博 杨莎 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期124-126,共3页
采用一种特殊的空心玻璃微珠表面前处理方法,在化学镀银前进行碱洗、双氧水洗和γ-氨丙基三乙氧基硅烷(KH-550)偶联3步处理,使其表面同时达到较好的粗化、羟基化与氨基化效果,再对处理后的玻璃微珠实施化学镀银得到镀银空心玻璃微珠。... 采用一种特殊的空心玻璃微珠表面前处理方法,在化学镀银前进行碱洗、双氧水洗和γ-氨丙基三乙氧基硅烷(KH-550)偶联3步处理,使其表面同时达到较好的粗化、羟基化与氨基化效果,再对处理后的玻璃微珠实施化学镀银得到镀银空心玻璃微珠。借助扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDS)和X射线衍射(XRD)测试手段对所得复合粉体的活化及偶联改性效果、镀层表面形貌和结构进行了表征。结果表明:与传统胶体钯活化法化学镀银相比,空心玻璃微珠经活化、偶联表面改性后化学镀银的镀层更为均匀、致密、导电性好。 展开更多
关键词 空心玻璃微珠 无钯活化 硅烷偶联 化学镀银
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