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题名纳米压痕法研究金刚石薄膜的力学性能
被引量：5
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作者
李学敏
汪家道
陈大融
刘兵
刘峰斌
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机构
清华大学
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出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1539-1543,共5页
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基金
上海市科委项目(0123nm023)资助项目。~~
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文摘
用热丝化学气相沉积法在硅基体上制备了大面积硼掺杂金刚石薄膜,硼的浓度大约为2×10^(20)/cm3。利用纳米压痕仪及其附件研究了薄膜和纳米划擦有关的力学性能。结果表明:薄膜具有较高的硬度,平均硬度约为30GPa,弹性模量约为419GPa;薄膜与基体的结合强度较高,薄膜发生剥落的第一次破坏力大约是4N。比较而言,薄膜中心区域的硬度高于边缘,结合强度则相反。
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关键词
金刚石薄膜
纳米压痕
纳米划擦
力学性能
热丝化学气相沉积法
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Keywords
diamond thin films
nano-indentation
nano-scratching
mechanical properties
hot filament chemical vapor deposition
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分类号
TQ161.8
[化学工程—高温制品工业]
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题名氩气浓度对热丝法化学气相沉积纳米金刚石膜的影响
被引量：3
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作者
任瑛
张贵锋(指导)
侯晓多
姜辛
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机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
德国锡根大学材料工程学院
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出处
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期61-64,共4页
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文摘
采用热丝化学气相沉积方法,以Ar+CH4+H2混合气体作为气源,通过改变氩气浓度,在单晶硅(100)基片上沉积纳米金刚石膜;采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪等分析了纳米金刚石膜的形貌、微结构以及残余应力。结果表明:随着氩气浓度的增大,膜的晶粒尺寸逐渐减小到纳米级;由于晶粒细化导致膜内残余应力由拉应力变为压应力,并且压应力随氩气浓度的增大呈现先增大后减小的趋势;当氩气体积分数为98%时,即在贫氢的气氛中成功获得了平均晶粒尺寸为54 nm、均方根粗糙度约为14.7 nm的纳米金刚石膜。
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关键词
纳米金刚石膜
热丝化学气相沉积
氩气浓度
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Keywords
nano-crystalline diamond film
hot filament chemical vapor deposition
Ar concentration
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分类号
TQ161.8
[化学工程—高温制品工业]
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题名提高凝汽器铜管硫酸亚铁一次性成膜质量
被引量：1
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作者
王朝阳
王平
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机构
华能玉环电厂
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出处
《热力发电》
CAS
北大核心
2010年第6期71-72,64,共3页
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文摘
介绍了利用硫酸亚铁对凝汽器铜管进行一次性成膜处理的机理,并分析了铜管的表面状态、亚铁离子浓度、pH值、流速、水温、含氧量对成膜质量的影响。通过改进成膜系统设计,增加预氧化和盐洗工艺,以及采用胶球清洗、保证药品质量、加强换水可提高成膜质量。
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关键词
凝汽器
铜管
硫酸亚铁
成膜
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Keywords
condenser
copper tube
ferrous sulfate
film formation
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分类号
TQ161.8
[化学工程—高温制品工业]
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