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优化设计CVI反应器结构的流体可视化研究 被引量：2
1
作者 肖鹏 徐永东 +1 位作者 张立同 成来飞 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期102-105,共4页
CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文在研制了一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备的基础上 ,通过流场模拟研究 ,得到的结果是 :1在底部进气方式中 ,采用涡流器与多孔整流器 ,能消除中心射流... CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文在研制了一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备的基础上 ,通过流场模拟研究 ,得到的结果是 :1在底部进气方式中 ,采用涡流器与多孔整流器 ,能消除中心射流与减小上部回流区域 ,扩大反应器的有效使用空间 ;使衬底与气体主流方向成一定的夹角 ,能有效阻止气体边界层的分离。 2在侧向进气方式中 ,气体采用 30°喷嘴与衬底成 30°角喷入 ,能在圆柱形衬底面上形成较理想的边界层 ;增大衬底直径有利于消除反应器内的下部回流区。 展开更多
关键词 CVI反应器 优化设计 气体流动可视化
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