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流延成膜技术制备高性能多层片式压电陶瓷微驱动器研究 被引量：4
1
作者 李国荣 陈大任 +3 位作者 张望重 张申 沈卫 殷庆瑞 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期533-539,共7页
采用压电陶瓷流延厚膜成型技术以及厚膜与金属内电极共烧技术制备了逆压电效应下工作的多层片式压电陶瓷微位移驱动器． 该器件具有工作电压低、功耗小、响应快、器件尺寸微小型化等特点，适合于微电子及微型机械应用．本课题对该器件... 采用压电陶瓷流延厚膜成型技术以及厚膜与金属内电极共烧技术制备了逆压电效应下工作的多层片式压电陶瓷微位移驱动器． 该器件具有工作电压低、功耗小、响应快、器件尺寸微小型化等特点，适合于微电子及微型机械应用．本课题对该器件与应用密切相关的位移－ 电压关系及位移蠕变性能、驱动力和使用寿命等性能进行测试和研究． 展开更多
关键词 流延技术 结构 压电陶瓷 微位移驱动器 性能
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