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药物控释MEMS系统中微型泵的设计与仿真 被引量：1
1
作者 陈敏 苑国英 蒋庄德 《微电子技术》 2003年第4期34-38,共5页
本文探讨了一种医疗用微药物控释系统 ,对其关键器件—微型泵、微型阀进行了设计、建模和仿真。选取双金属片加热式膜片泵的模式 ,设计了泵的入口、泵腔、上下两片双金属加热膜片、多晶硅加热电阻、两个被动式微型阀、流体沟道和出口。... 本文探讨了一种医疗用微药物控释系统 ,对其关键器件—微型泵、微型阀进行了设计、建模和仿真。选取双金属片加热式膜片泵的模式 ,设计了泵的入口、泵腔、上下两片双金属加热膜片、多晶硅加热电阻、两个被动式微型阀、流体沟道和出口。全部工艺采用微型机电系统 (MEMS)技术加工制作。为了确定所设计的微型泵的尺寸 ,对泵腔进行了模型分析 ,以使其在最大容积与最小的模型尺寸间达到最优。采用有限元分析法对电场热效应进行了仿真。基于仿真结果 ,进行了微型泵系统的加工制造。 展开更多
关键词 药物控释系统 微型泵 MEMS
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