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平面电容传感器在探测材料损伤中的研究 被引量：3
1
作者 谢宁宁 陈向东 +1 位作者 李晓钰 宋濛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期497-500,515,共5页
通过ANSYS软件分析了平面电容传感器电容量与极板宽度和极板间距的关系,并选择合适的平面电容传感器探头的尺寸。针对非金属材料表面下水损伤的检测,提出了一种结构简单、操作方便的三电极平面电容传感器检测法。根据平面电容传感器检... 通过ANSYS软件分析了平面电容传感器电容量与极板宽度和极板间距的关系,并选择合适的平面电容传感器探头的尺寸。针对非金属材料表面下水损伤的检测,提出了一种结构简单、操作方便的三电极平面电容传感器检测法。根据平面电容传感器检测材料相对介电常数的变化,深入研究了非金属材料表面下水柱损伤深度和水柱损伤区域大小对电容量的影响。仿真和初步实验结果表明,在一定范围内,测得的电容值随着水柱损伤深度和损伤区域大小的变化而变化。 展开更多
关键词 三电极平面电容传感器 ANSYS 损伤深度 损伤区域 探测
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防二次性损伤大鼠脊髓打击器的研制
2
作者 赵奎兵 王成瑞 +1 位作者 段富海 何志友 《自动化与仪器仪表》 2012年第6期125-127,共3页
为建立动物脊髓损伤模型,研制了一种新型大鼠脊髓打击器。该装置采用重物自由落体运动原理,采用激光对焦定点打击、步进电机控制调节高度、精密槽型光电传感器检测时间和速度等技术来实现打击棒的定点、定高、定量、一次性打击等打击功... 为建立动物脊髓损伤模型,研制了一种新型大鼠脊髓打击器。该装置采用重物自由落体运动原理,采用激光对焦定点打击、步进电机控制调节高度、精密槽型光电传感器检测时间和速度等技术来实现打击棒的定点、定高、定量、一次性打击等打击功能,并可有效避免打击棒的反跳后造成的二次性损伤。实验表明,打击器具有操作简单、可重复性好、精度高等特点,可用来制作不同的动物脊髓损伤模型。 展开更多
关键词 防二次性损伤 脊髓打击器 脊髓损伤模型 光电传感器
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柔性薄膜晶体管在传感器领域的研究进展 被引量：1
3
作者 邱莹 杨斌 卞曙光 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第10期879-894,共16页
当今的电子产品正面临着颠覆性的演变,从笨重刚性设备发展到轻巧、柔软和灵活的设备,甚至需要生物相容性和可生物降解等。薄膜晶体管(TFT)是构成柔性电子的最常见的有源薄膜器件之一,在可穿戴和纺织集成系统、表皮设备和机器人人造皮肤... 当今的电子产品正面临着颠覆性的演变,从笨重刚性设备发展到轻巧、柔软和灵活的设备,甚至需要生物相容性和可生物降解等。薄膜晶体管(TFT)是构成柔性电子的最常见的有源薄膜器件之一,在可穿戴和纺织集成系统、表皮设备和机器人人造皮肤等领域具有巨大潜力。首先介绍了TFT的种类和制备方法,对比了真空法和溶液法两者的优缺点;接着从TFT各功能层出发,包括绝缘层、半导体层和电极,对比了无机金属氧化物和聚合物材料体系,并总结了柔性TFT在传感器领域的研究进展和应用;最后,提出了柔性TFT在传感器领域存在的难点和问题,对其应用进行了展望。 展开更多
关键词 柔性电子 薄膜晶体管(TFT) 传感器 绝缘层 半导体层 电极
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基于AVR单片机的乙醇浓度在线检测仪 被引量：1
4
作者 徐凤霞 张金龙 《齐齐哈尔大学学报（自然科学版）》 2011年第6期12-14,共3页
1:乙醇浓度是发酵生产过程中的重要控制参数,乙醇浓度的测量精度直接影响发酵过程的控制精度和发酵产品的质量。基于气液相平衡原理建立乙醇浓度的在线测量数学模型,以ATMEGA16L单片机和TGS2620半导体气敏传感器为核心,设计了乙醇浓度... 1:乙醇浓度是发酵生产过程中的重要控制参数,乙醇浓度的测量精度直接影响发酵过程的控制精度和发酵产品的质量。基于气液相平衡原理建立乙醇浓度的在线测量数学模型,以ATMEGA16L单片机和TGS2620半导体气敏传感器为核心,设计了乙醇浓度在线检测仪。理论和实验证明该检测仪具有通用性好、测量准确度高、性能稳定、响应速度快等特点。 展开更多
关键词 乙醇浓度 气液相平衡原理 TGS2620 AVR RS485
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基于CNT/LIG复合电极的高灵敏非对称压力传感器
5
作者 倪卓雅 朱逸云 +1 位作者 王昊宇 赵江 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第9期741-746,共6页
采用激光直写技术一步制备了多壁碳纳米管嵌入激光诱导石墨烯(CNT/LIG)的图案化复合电极,并将其组装成柔性非对称压力传感器。CNT/LIG阻敏复合材料具有三维交联结构,测试结果表明这种独特的微观结构赋予了CNT/LIG非对称压力传感器高的... 采用激光直写技术一步制备了多壁碳纳米管嵌入激光诱导石墨烯(CNT/LIG)的图案化复合电极,并将其组装成柔性非对称压力传感器。CNT/LIG阻敏复合材料具有三维交联结构,测试结果表明这种独特的微观结构赋予了CNT/LIG非对称压力传感器高的灵敏度(2.17 kPa^(-1))、超低的检测下限(约1.8 Pa)、快的响应/恢复时间(120 ms/130 ms)和显著的重复性等优异特性。应用验证显示,该高性能CNT/LIG非对称压力传感器可以实时准确地监测人体的各种细微运动,如呼吸、声音振动、手指运动、脉搏等,在人机互动、电子皮肤、健康监测等众多领域具有重要应用价值。 展开更多
关键词 激光诱导石墨烯(LIG) 多壁碳纳米管(CNT) 激光直写 非对称 压力传感器
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纳米氧化锌传感器的研究进展 被引量：1
6
作者 刘雨雨 熊艳 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第1期15-23,29,共10页
ZnO是一种带隙宽度约为3.0 eV的Ⅱ-Ⅵ族n型半导体材料,其具有优异的光学性能、压电性能和电化学性能,广泛应用于传感器、太阳电池和催化净化等领域。介绍了目前纳米ZnO的主要制备方法,包括水热法、电化学沉积法和磁控溅射法,分析对比了... ZnO是一种带隙宽度约为3.0 eV的Ⅱ-Ⅵ族n型半导体材料,其具有优异的光学性能、压电性能和电化学性能,广泛应用于传感器、太阳电池和催化净化等领域。介绍了目前纳米ZnO的主要制备方法,包括水热法、电化学沉积法和磁控溅射法,分析对比了每种制备方法的优缺点。着重介绍了纳米ZnO材料在气体、生物以及光电传感器领域的研究进展,概括了制约纳米ZnO传感器件发展的影响因素。高性能纳米ZnO材料不仅在传感领域将会有良好的应用前景,而且能促进光电、医疗以及工业生产等行业的快速发展。最后,对纳米ZnO传感器目前所面临的挑战和未来的发展趋势进行了展望和总结。 展开更多
关键词 氧化锌(ZnO) 纳米材料 气体传感器 生物传感器 光电传感器
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GaAs基霍尔传感器的研究进展 被引量：2
7
作者 董健方 彭挺 +2 位作者 高能武 金立川 钟智勇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第8期561-571,590,共12页
霍尔传感器作为磁传感器的重要成员,广泛应用于汽车电子和无线通信等电子系统。与以第一代半导体材料硅、锗等为基底的霍尔传感器相比,Ga As基霍尔传感器具有更高的磁场分辨率、灵敏度和稍好的温度特性。概述了Ga As材料在霍尔传感器领... 霍尔传感器作为磁传感器的重要成员,广泛应用于汽车电子和无线通信等电子系统。与以第一代半导体材料硅、锗等为基底的霍尔传感器相比,Ga As基霍尔传感器具有更高的磁场分辨率、灵敏度和稍好的温度特性。概述了Ga As材料在霍尔传感器领域的优势及霍尔单元形状的研究进展;综述了采用外延工艺制备的单外延结构的Ga As基霍尔传感器和异质结构的Ga As基霍尔传感器的研究进展;详细介绍了电压偏移消除技术的研究进展,包括结构的优化、正交对消补偿和旋转电流技术;最后对Ga As基霍尔传感器的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 霍尔传感器 砷化镓(GaAs) 异质结 磁场传感器 电压偏移消除技术
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全固态AlGaN/GaN ISFET pH传感器的温度特性 被引量：2
8
作者 戴雅琼 黄德佳 +2 位作者 邢洁莹 潘郑州 张佰君 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第10期734-739,共6页
制备了集成式全固态AlGaN/GaN异质结离子敏感场效应晶体管（ISFET）结构pH传感器,并研究了其温度特性。将惰性金属薄膜作为固态参比电极集成到pH传感器主体上,取代传统的外置玻璃参比电极,实现了对微升溶液pH值的测量。将ISFET pH传感... 制备了集成式全固态AlGaN/GaN异质结离子敏感场效应晶体管（ISFET）结构pH传感器,并研究了其温度特性。将惰性金属薄膜作为固态参比电极集成到pH传感器主体上,取代传统的外置玻璃参比电极,实现了对微升溶液pH值的测量。将ISFET pH传感器分别在15,45和75℃下对不同pH值的微升标准溶液进行了测量。实验结果表明,随着温度升高,pH传感器的敏感度增大,其变化趋势与理论相符。当温度为75℃时,器件灵敏度达到50. 9 mV/pH。同时,实验中还观察到传感器的阈值电压随温度升高产生了正向漂移。通过传输线模型测试以及对肖特基圆环进行电容-电压特性测试,发现阈值电压变化的原因在于载流子迁移率随温度升高而明显降低。 展开更多
关键词 ALGAN/GAN异质结 离子敏感场效应晶体管(ISFET) 全固态 PH传感器 阈值电压
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