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声学传感器在电力系统机械设备健康评估中的应用研究 被引量:1
1
作者 李建庆 《电声技术》 2025年第5期101-103,共3页
探讨声学传感器在电力系统机械设备健康评估中的应用,研究声学传感器的工作原理和声学信号处理方法,并分析其在变压器局部放电检测、电机轴承故障诊断、开关设备机械特性检测中的应用效果。声学传感器可高效捕捉设备运行中的声学特征信... 探讨声学传感器在电力系统机械设备健康评估中的应用,研究声学传感器的工作原理和声学信号处理方法,并分析其在变压器局部放电检测、电机轴承故障诊断、开关设备机械特性检测中的应用效果。声学传感器可高效捕捉设备运行中的声学特征信息,实现机械设备的故障早期诊断与状态监测。 展开更多
关键词 电力系统 声学传感器 健康评估
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基于声震探测技术的靶场炸点坐标测量误差分析 被引量:7
2
作者 罗晓松 冯杰 +4 位作者 柳华林 李寅 朱顺华 杨博 王志峰 《飞行器测控学报》 CSCD 2014年第2期176-182,共7页
针对靶场试验时需要精确确定弹丸落点(终点)坐标的问题,提出一种声震波联合定位方法,该方法具有监控范围大、不受自然条件影响、能发现未爆弹、性价比高、反应快等特点。该方法按照一定的阵形布设传感器,依据弹丸爆炸时产生的声波(或是... 针对靶场试验时需要精确确定弹丸落点(终点)坐标的问题,提出一种声震波联合定位方法,该方法具有监控范围大、不受自然条件影响、能发现未爆弹、性价比高、反应快等特点。该方法按照一定的阵形布设传感器,依据弹丸爆炸时产生的声波(或是未爆弹落地产生的震动波)到达各传感器的时间差,采用TDOA(Time Difference of Arrival,到达时间差)方法对弹丸落点坐标进行计算。具体阐述了TDOA方法的定位原理,并给出了整个测量系统的组成,简要叙述了整个测量系统的部署方案;采用GDOP(Geometrical Dilution of Precision,几何稀释精度因子)方法分析了定位误差的主要影响因素,并对各种影响因素带来的误差量进行了详细分析与计算;最后采用本文设计的测量系统针对大口径火炮弹丸终点坐标的测量在靶场进行了试验,试验结果与理论分析的误差较一致,定位精度满足测量的要求。该方法满足靶场快速测量的要求。 展开更多
关键词 到达时间差(TDOA) 几何稀释精度因子(GDOP) 声震探测 误差分析 弹丸落点定位
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电容式Lamb波器件的信号接收方法 被引量:2
3
作者 胡友旺 贾宏光 +3 位作者 李锋 张平 王淑荣 吴一辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期76-83,共8页
提出了激励和接收均使用电容式叉指换能器(Capacitive Interdigital Transducers,CIDT)的集成化的电容式Lamb波器件。利用电容式叉指换能器直接激励和接收Lamb波非对称模式的方式,解决了机电耦合效率的问题。在分析各种电容检测电路的... 提出了激励和接收均使用电容式叉指换能器(Capacitive Interdigital Transducers,CIDT)的集成化的电容式Lamb波器件。利用电容式叉指换能器直接激励和接收Lamb波非对称模式的方式,解决了机电耦合效率的问题。在分析各种电容检测电路的基础上,针对Lamb波电容式检测的特殊性,选择了直流电路法来进行接收电容变化规律的测量。为说明直流电路法的适用性,设计了波动检测验证实验。实验结果表明:用直流电路法测量得到的声波信号与其理论计算值之间误差仅为2.4%,证明了直流电路法的适用性,解决了目前Lamb波器件的功能材料层的制作工艺均与传统集成电路工艺不兼容的问题。 展开更多
关键词 电容式Lamb波器件 电容式叉指换能器 集成电路工艺兼容 电容式接收 直流电路法
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仿生MEMS声定位传感器的设计与仿真 被引量:5
4
作者 戴红飞 杨秋翔 +1 位作者 秦品乐 孙敏敏 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第11期2985-2990,共6页
针对目前声定位采用声传感器阵列所带来的系统结构复杂、体积较大的缺点,以奥米亚寄生蝇的听觉系统为仿生模型,详细分析了其生物学模型,并利用MATLAB对其力学模型进了仿真分析。结合仿生学,设计了一种新型MEMS声定位传感器。利用ANSYS... 针对目前声定位采用声传感器阵列所带来的系统结构复杂、体积较大的缺点,以奥米亚寄生蝇的听觉系统为仿生模型,详细分析了其生物学模型,并利用MATLAB对其力学模型进了仿真分析。结合仿生学,设计了一种新型MEMS声定位传感器。利用ANSYS对该传感器进行了声-结构耦合分析,分析得出,该传感器能够敏感声源入射角的变化,在声源频率为2597 Hz,在入射角在0-180°变化时,传感器两薄片的振动强度差的变化范围为-6.17 dB至5.8 dB。 展开更多
关键词 仿生学 奥米亚寄生蝇 MEMS声定位传感器 有限元分析
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一种弹丸落点声定位方法 被引量:2
5
作者 王志峰 黄嵘 +1 位作者 杨博 万众 《电声技术》 2020年第5期26-29,共4页
针对常规武器试验靶场火炮弹丸的终点坐标测量问题,提出一种多弹丸目标测量方法,研究其落地爆炸声信号传播特性,通过分析声信号传播衰减得到传声器的探测距离。依据与传声器探测距离匹配性制定部署方案,根据总体时间差误差最小的原则,... 针对常规武器试验靶场火炮弹丸的终点坐标测量问题,提出一种多弹丸目标测量方法,研究其落地爆炸声信号传播特性,通过分析声信号传播衰减得到传声器的探测距离。依据与传声器探测距离匹配性制定部署方案,根据总体时间差误差最小的原则,制定多目标融合定位策略,对融合定位计算步骤进行了详细叙述。最后,通过外场试验验证了定位方法的有效性。 展开更多
关键词 声探测 弹丸落点定位 多目标定位
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微型硅基弯曲板波器件
6
作者 李新 刘梦伟 薛明鑫 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期453-456,共4页
介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波(FPW)器件的设计与制作。为减小薄膜的应力,器件采用LTO/ZnO/LTO/Si3N4多层复合板结构,并采用直流磁控溅射工艺制备ZnO压电薄膜,在压电复合板结构上沉积两对叉指电极,分别用于Lamb波的激发和接收。... 介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波(FPW)器件的设计与制作。为减小薄膜的应力,器件采用LTO/ZnO/LTO/Si3N4多层复合板结构,并采用直流磁控溅射工艺制备ZnO压电薄膜,在压电复合板结构上沉积两对叉指电极,分别用于Lamb波的激发和接收。X射线衍射分析表明,沉积的ZnO薄膜C轴高度择优;扫描电子显微镜分析表明,制备的ZnO薄膜平整、致密,晶粒生长呈现明显的柱状结构;通过分析制备的高次谐波体声波谐振器(HBAR)器件性能来间接检验ZnO压电薄膜的电学性能,HBAR器件的品质因子较高,表明薄膜有较好的压电性能。利用安捷伦E5071C网络分析仪检测FPW器件的频率响应,结果表明反对称A0模式Lamb波的实测中心频率与理论计算的频率结果基本一致。 展开更多
关键词 弯曲板波 ZNO压电薄膜 多层复合板 叉指电极
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Parylene增强型声表面波传感器及其温度响应 被引量:2
7
作者 李敬 潘海曦 +3 位作者 郭振 李传宇 姚佳 周连群 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3048-3055,共8页
针对声表面波(SAW)传感器对品质因数、寿命和成本的要求,研制了Parylene增强型SAW传感器。根据金属剥离工艺要求,利用LOR剥离胶和AZ5214光刻胶双层胶旋涂工艺制作了梯形结构;在传统光学光刻条件下制作了2μm的超细叉指电极。传感器制作... 针对声表面波(SAW)传感器对品质因数、寿命和成本的要求,研制了Parylene增强型SAW传感器。根据金属剥离工艺要求,利用LOR剥离胶和AZ5214光刻胶双层胶旋涂工艺制作了梯形结构;在传统光学光刻条件下制作了2μm的超细叉指电极。传感器制作过程利用了MEMS工艺,不仅实现了传感器的微型化,还可以批量化生产,得到的以石英为基底的传感器谐振频率达到249.077 953 MHz。最后在传感器的表面镀制Parylene聚合物薄膜以提高基底温度灵敏度。实验对比了未增强型(未镀Parylene)和增强型SAW传感器(镀Parylene)的温度灵敏度。结果显示:未增强型SAW传感器温度灵敏度为2.048kHz/℃,Parylene增强型SAW传感器温度灵敏度为2.855kHz/℃,比前者提高了0.807kHz/℃,且镀Parylene之后谐振频率变化量与温度具有较好的线性度,线性相关系数达到0.996 15。实验证明,Parlene增强型SAW传感器的性能优于未增强的SAW传感器。 展开更多
关键词 声表面波(SAW)传感器 倒梯形结构 金属剥离 Parylene增强 温度
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加速度传感器ADXL105的原理及实验研究 被引量:2
8
作者 张荔 韩良 《山西电子技术》 2007年第5期9-12,共4页
ADXL105是ANALOG公司生产的加速度传感器芯片。该芯片除包含一个多晶硅表面微处理传感器外,还内置一个运算放大器,便于对测量信号进行处理,满量程是5g。详细介绍了ADXL105的工作原理、功能、特性,设计了测量探头、滤波电路、减法电路等... ADXL105是ANALOG公司生产的加速度传感器芯片。该芯片除包含一个多晶硅表面微处理传感器外,还内置一个运算放大器,便于对测量信号进行处理,满量程是5g。详细介绍了ADXL105的工作原理、功能、特性,设计了测量探头、滤波电路、减法电路等具体实验电路并进行了相关实验研究,提出了注意事项,并对实验中出现的问题进行了讨论。实验结果表明,ADXL105能够很好地测量静态和动态加速度,响应速度快,性能稳定,适用于机械振动测量等场合。 展开更多
关键词 ADXL105 加速度传感器 滤波器 减法器
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一种基于噪声方差未知情况下的航迹融合方法
9
作者 余新兵 高勇 《现代电子技术》 2009年第7期189-191,194,共4页
在目标航迹融合中,联邦滤波器以其高精度和良好的容错性在航迹融合中有着重要应用,但它在处理过程中要求噪声方差是已知的,而在实际情况中,噪声方差大多是未知的。基于上述问题,利用推广的遗忘因子最小二乘法(EFRLS),研究了噪声方差未... 在目标航迹融合中,联邦滤波器以其高精度和良好的容错性在航迹融合中有着重要应用,但它在处理过程中要求噪声方差是已知的,而在实际情况中,噪声方差大多是未知的。基于上述问题,利用推广的遗忘因子最小二乘法(EFRLS),研究了噪声方差未知情况下无重置式联邦Kalman滤波的应用问题,并针对子滤波器出现中断或不工作的情况对无重置式联邦滤波器进行了改进。仿真结果表明,在噪声方差未知的情况下,改进的滤波器具有更高的精度和更好的容错性。 展开更多
关键词 航迹融合 EFRLS 噪声方差 无重置式联邦Kalman滤波
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CMOS图像传感器光子转移曲线辐照后的退化机理 被引量:10
10
作者 冯婕 李豫东 +2 位作者 文林 周东 马林东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期2676-2681,共6页
针对EMVA 1288标准测试辐照后互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器的重要性能参数(光子转移曲线和转换增益)适用范围受限的问题,提出了针对辐照后CMOS图像传感器光子转移曲线和转换增益的改进的测试方法。该方法通过调整测试条件,限... 针对EMVA 1288标准测试辐照后互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器的重要性能参数(光子转移曲线和转换增益)适用范围受限的问题,提出了针对辐照后CMOS图像传感器光子转移曲线和转换增益的改进的测试方法。该方法通过调整测试条件,限制辐照后CMOS图像传感器的暗电流和暗电流非均匀性噪声,求解出辐照后正确的器件性能参数,从而直观地得知辐照所引起的器件性能变化。利用该方法进行了实验测试,结果显示:辐照导致转换增益比辐照前退化了7.82%。依据此结果分析了辐照导致光子转移曲线和转换增益退化的机理,认为转换增益的退化是由于质子辐射引起的电离效应和位移效应导致暗电流、暗电流非均匀性增大所致。本文为掌握CMOS图像传感器的空间辐射效应提供了理论基础。 展开更多
关键词 CMOS图像传感器 辐照 光子转移曲线 转换增益
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基于MEMS声敏结构的光纤声波传感器
11
作者 王文军 刘钰 +1 位作者 解涛 吴宇 《电声技术》 2023年第4期78-81,共4页
基于微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)工艺加工声波敏感结构,将声波敏感结构与光纤端面构成非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(Extrinsic Fabry-Perot Interferometer,EFPI)感知声波。研究了不同厚度和不同增敏环数的声... 基于微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)工艺加工声波敏感结构,将声波敏感结构与光纤端面构成非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(Extrinsic Fabry-Perot Interferometer,EFPI)感知声波。研究了不同厚度和不同增敏环数的声压敏感薄膜结构对声波探测性能的差异,对比了信噪比测试结果。实验结果表明,针对400 nm和1000 nm厚度的声敏薄膜,在相同的测试条件下,前者的声敏结构位移更大、频率响应的信噪比更高。在相同薄膜厚度条件下,具有增敏结构的MEMS薄膜可以释放薄膜的初始应力,降低薄膜的刚性,相比无增敏结构的MEMS薄膜具有更高的灵敏度。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 氧化硅薄膜 非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(EFPI) 增敏结构
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超声波探头磨损对无损检测结果的影响分析和改进措施
12
作者 闫重强 《电光系统》 2006年第2期59-61,共3页
主要根据超声波探头在元损检测行业的使用情况,针对无损检测中探头磨损对探伤工艺的影响这个敏感问题.研究怎样提高探头的使用寿命,从而提出改进措施,以期为提高探伤的总体水平做出贡献。
关键词 超声波 无损检测 探伤 超声换能器
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提高膜片式F-P腔光纤压力传感器灵敏度的试验研究
13
作者 张慧君 张立喆 +1 位作者 段玉培 陈喜 《计测技术》 2014年第3期25-27,共3页
膜片式F-P腔光纤压力传感器是基于法布里-珀罗干涉原理,采用微电子机械系统( MEMS)技术加工而成。在实际应用中,不同的测试环境对传感器灵敏度的要求各不相同,如果针对不同灵敏度,分别采用MEMS工艺批量化生产,则会造成生产成本过高,... 膜片式F-P腔光纤压力传感器是基于法布里-珀罗干涉原理,采用微电子机械系统( MEMS)技术加工而成。在实际应用中,不同的测试环境对传感器灵敏度的要求各不相同,如果针对不同灵敏度,分别采用MEMS工艺批量化生产,则会造成生产成本过高,经济化效益降低。本文利用湿法腐蚀的方法对传感器进行膜片减薄试验,在一定范围内提高了传感器的压力灵敏度,从而满足了不同的测试需求。膜片减薄后,传感器的灵敏度可达34.2 nm/kPa,压力标定曲线的线性度为0.9997,传感器的非线性误差为0.05%,能够实现0-120 kPa (绝压)范围内压力的准确测量。 展开更多
关键词 湿法腐蚀 压力灵敏度 光纤压力传感器
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