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光电位敏探测器的现状及发展 被引量：1
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作者 陶忠祥 梁学明 田春艳 《光机电信息》 2009年第4期29-34,共6页
基于横向光电效应的位置敏感探测器(PSD)是一种非分割型的、可测量入射光能量重心的光电器件。本文回顾了光电位置敏感探测器的发展过程,分析了常用的几种类型PSD的结构和工作原理,对PSD的性能指标进行了分析和归纳,并对PSD的国际及国... 基于横向光电效应的位置敏感探测器(PSD)是一种非分割型的、可测量入射光能量重心的光电器件。本文回顾了光电位置敏感探测器的发展过程,分析了常用的几种类型PSD的结构和工作原理,对PSD的性能指标进行了分析和归纳,并对PSD的国际及国内研究现状进行了阐述,最后对PSD的关键技术及发展趋势进行了扼要分析及展望。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 结构 性能 Lucovsky方程
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