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高精度光学表面的OFHC铜反射镜抛光技术 被引量：3
1
作者 周晨波 杨力 +2 位作者 魏惠林 陈强 伍凡 《光电工程》 CAS CSCD 1998年第1期45-49,55,共6页
已研制出用于红外（３．８μｍ）波段光辐射的特殊光学元件样品——高精度光学表面质量的无氧高导（ＯＦＨＣ）铜平面反射镜。本文描述了此种铜镜基底的抛光技术。讨论了材料的选择、基底成形精磨及抛光工艺研究，给出了最终光学表面的... 已研制出用于红外（３．８μｍ）波段光辐射的特殊光学元件样品——高精度光学表面质量的无氧高导（ＯＦＨＣ）铜平面反射镜。本文描述了此种铜镜基底的抛光技术。讨论了材料的选择、基底成形精磨及抛光工艺研究，给出了最终光学表面的测量结果。 展开更多
关键词 抛光 金属镜 平面镜 激光器 OFHC
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光刻镜头象质测试方法
2
作者 周明宝 杜春雷 +1 位作者 林大键 郭勇 《光电工程》 CAS CSCD 1998年第1期39-44,共6页
提出了一种用于测量紫外光或深紫外光光斑位置的新方法，并将这种方法同传统的哈特曼检验法结合起来形成了一种测试光刻镜头象质的新方法。这种方法测量原理简单、测量精度高。在不采取隔振和恒温措施的实验室环境下，横向象差的测量精... 提出了一种用于测量紫外光或深紫外光光斑位置的新方法，并将这种方法同传统的哈特曼检验法结合起来形成了一种测试光刻镜头象质的新方法。这种方法测量原理简单、测量精度高。在不采取隔振和恒温措施的实验室环境下，横向象差的测量精度为－１．２～＋１．１μｍ，重复测量精度为－１．７μｍ＜３σ＜１．７μｍ。 展开更多
关键词 光刻镜头 象差测量 光斑位置 紫外光
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