期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到258篇文章
< 1 2 … 13 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
高次谐波体声波谐振器谐振频率分布研究 被引量：3
1
作者 张辉 王佐卿 张淑仪 《声学学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第1期8-13,共6页
基于由谐振频率分布提取压电薄膜参数的方法,研究影响高次谐波体声波谐振器(HBAR)谐振频率分布的因素。对多种HBAR进行模拟计算,模拟结果显示,变化基片对薄膜的声阻抗比值会引起并联谐振频率间隔的分布和有效机电耦合系数的分布改变;当... 基于由谐振频率分布提取压电薄膜参数的方法,研究影响高次谐波体声波谐振器(HBAR)谐振频率分布的因素。对多种HBAR进行模拟计算,模拟结果显示,变化基片对薄膜的声阻抗比值会引起并联谐振频率间隔的分布和有效机电耦合系数的分布改变;当薄膜的基模在高频时,改变电极对薄膜的声阻抗比值和电极厚度会引起谐振频率分布改变。这些结果表明,通过调整影响谐振频率分布的因素能使谐振频率变化,进而得到在特定的频率上产生谐振。 展开更多
关键词 谐振频率 高次谐波 谐振器 体声波 分布研究 薄膜参数 频率分布 机电耦合系数 模拟计算 模拟结果
原文传递
强耦合双间隙微波谐振腔的特性分析 被引量：17
2
作者 林福民 丁耀根 沈斌 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2003年第7期982-989,共8页
该文设计了一类适合用于较低频波段宽带多注速调管的新型微波谐振腔——强耦合双间隙腔,并采用了较精确的三维电磁场模拟计算程序ISFEL3D对其各种主要参数和特性做了详尽的计算和理论分析,结果表明,强耦合双间隙微波谐振腔工作于π模时... 该文设计了一类适合用于较低频波段宽带多注速调管的新型微波谐振腔——强耦合双间隙腔,并采用了较精确的三维电磁场模拟计算程序ISFEL3D对其各种主要参数和特性做了详尽的计算和理论分析,结果表明,强耦合双间隙微波谐振腔工作于π模时具有特性阻抗高而且体积小的突出优点,同时π模频率与2π模频率的间隔明显增大。另外,该文还利用两种常用的集总元件等效电路对计算数据和结论进行验证,并对两种常用的等效电路的精确度做了讨论。 展开更多
关键词 微波谐振腔 强耦合双间隙腔 速调管 π模频率 特性阻抗 等效电路
在线阅读 下载PDF
流动湿蒸汽湿度测量微波谐振腔结构分析 被引量：10
3
作者 钱江波 韩中合 +1 位作者 田松峰 曹庆锋 《华北电力大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2005年第3期52-57,共6页
在建立汽液两相流数值模型基础上,对微波谐振腔进行了气动和两相流取样分析,设计了一种带楔形取样前段具有圆环网栅端面的圆柱形谐振腔。通过结果分析,定量计算了取样误差,给出了测量结果的修正公式。另外还计算了典型工况下谐振腔的干... 在建立汽液两相流数值模型基础上,对微波谐振腔进行了气动和两相流取样分析,设计了一种带楔形取样前段具有圆环网栅端面的圆柱形谐振腔。通过结果分析,定量计算了取样误差,给出了测量结果的修正公式。另外还计算了典型工况下谐振腔的干扰长度,这对腔体在现场的安装运行具有一定的指导意义。最后对谐振腔进行了电磁分析,腔体结构满足电磁特性。表明该谐振腔具有流动湿蒸汽湿度测量的合适结构。 展开更多
关键词 微波谐振腔 湿度测量 湿蒸汽 结构分析 流动 汽液两相流 数值模型 取样分析 取样误差 定量计算 修正公式 典型工况 安装运行 电磁分析 电磁特性 腔体结构 圆柱形 圆环
在线阅读 下载PDF
高频腔本征值问题的三维数值模拟 被引量：10
4
作者 雷文强 杨中海 肖礼 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期176-179,共4页
运用有限积分法软件MAFIA和有限元软件ANSYS对两类高频腔的本征值问题进行数值模拟 ,将模拟结果与部分实验数据进行验证 ,得到了比较一致的结果 ,其平均计算精度在 5 %以内 ,证实了两种电磁软件都可用于高频腔本征值问题的数值模拟 ,在... 运用有限积分法软件MAFIA和有限元软件ANSYS对两类高频腔的本征值问题进行数值模拟 ,将模拟结果与部分实验数据进行验证 ,得到了比较一致的结果 ,其平均计算精度在 5 %以内 ,证实了两种电磁软件都可用于高频腔本征值问题的数值模拟 ,在计算精度上为满足工程设计需要做了一些研究。另外将两种模拟软件在计算时间上作了对比。 展开更多
关键词 本征值问题 有限分法 MAFIA ANSYS 数值模拟 高频谐振腔 行波管 计算方法
在线阅读 下载PDF
闭腔谐振法测试微波介质陶瓷介电参数 被引量：5
5
作者 周东祥 胡明哲 +1 位作者 姜胜林 龚树萍 《华中科技大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期50-53,共4页
研究用闭腔谐振法测量微波介质陶瓷介电参数的方法 ,采用TE0 1 δ模 ,开波导法研究了闭腔谐振器的谐振频率和导体的表面损耗 ,并由此计算了材料的微波介电常数、微波介电损耗 ,研究了谐振频率、介电损耗随体系结构参数的变化 .研究证明... 研究用闭腔谐振法测量微波介质陶瓷介电参数的方法 ,采用TE0 1 δ模 ,开波导法研究了闭腔谐振器的谐振频率和导体的表面损耗 ,并由此计算了材料的微波介电常数、微波介电损耗 ,研究了谐振频率、介电损耗随体系结构参数的变化 .研究证明开波导法的采用和此计算模型对体系谐振频率的计算误差小于 5 % .低损耗介质基片的采用不但可降低体系的谐振频率 ,还可有效提高金属板的品质因子 。 展开更多
关键词 介电参数 TE0lδ模 介质谐振器 闭腔谐振法 微波介质陶瓷
在线阅读 下载PDF
Ka波段硅基MEMS滤波器 被引量：6
6
作者 张勇 郁元卫 +2 位作者 贾世星 朱健 陈辰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期325-328,共4页
滤波器是微波毫米波电路中的一个重要部件,本文介绍了采用基片集成波导技术和ICP深刻蚀微机械通孔阵列的硅基MEMS滤波器。设计制作了MEMS滤波器的核心部件谐振器,测试结果显示该谐振器无载Q值大于180,频率误差控制在2%以内。以此为基础... 滤波器是微波毫米波电路中的一个重要部件,本文介绍了采用基片集成波导技术和ICP深刻蚀微机械通孔阵列的硅基MEMS滤波器。设计制作了MEMS滤波器的核心部件谐振器,测试结果显示该谐振器无载Q值大于180,频率误差控制在2%以内。以此为基础采用理论计算与实验设计相结合的方法设计了一个Ka波段硅基MEMS滤波器。滤波器中心频率为30.3GHz,插入损耗1.5dB,相对带宽5%。芯片尺寸为10.0mm×2.8mm×0.4mm。 展开更多
关键词 MEMS滤波器 耦合 基片集成波导 KA波段
在线阅读 下载PDF
同轴谐振腔微波幅度均衡器的研究 被引量：4
7
作者 杨明珊 张德伟 +1 位作者 周东方 牛忠霞 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1007-1010,共4页
微波幅度均衡器由吸收型λ/4同轴谐振腔作为其基本结构单元,多级子结构级联构成,谐振频率和功率衰减主要通过改变腔长、探针插入深度和微调螺钉来调节。在结构设计时应从谐振频率、功率衰减、功率容量、抑制高次模、阻抗匹配、温度特性... 微波幅度均衡器由吸收型λ/4同轴谐振腔作为其基本结构单元,多级子结构级联构成,谐振频率和功率衰减主要通过改变腔长、探针插入深度和微调螺钉来调节。在结构设计时应从谐振频率、功率衰减、功率容量、抑制高次模、阻抗匹配、温度特性等因素综合考虑,确定同轴谐振腔腔长、可调探针尺寸、微调螺钉位置、子结构单元数量和各组件的材料。均衡器的调试是保证均衡器性能的重要步骤,既要保证均衡器的功率输出与目标衰减曲线拟合,同时要考虑降低插入损耗和温度影响,需要结合多种调试技术反复尝试达到最佳匹配。 展开更多
关键词 雷达工程 微波幅度均衡器 同轴谐振腔 谐振频率 功率衰减 品质因素 微波电磁场
在线阅读 下载PDF
一种近方脊滤波器的设计与快速制造（英文） 被引量：4
8
作者 南雪莉 张斌珍 +2 位作者 崔建利 杨昕 葛少雷 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期30-34,共5页
滤波器是信号传输系统中的重要组件.提出一种快速、高精度复制工艺方法,用于设计和制备WR-10波段矩形波导滤波器.采用多层匀胶单次紫外曝光工艺(硅片上匀SU-8胶),制备出的滤波器高度误差小于0.03%(3μm),陡直度误差小于1.1o.实验结果表... 滤波器是信号传输系统中的重要组件.提出一种快速、高精度复制工艺方法,用于设计和制备WR-10波段矩形波导滤波器.采用多层匀胶单次紫外曝光工艺(硅片上匀SU-8胶),制备出的滤波器高度误差小于0.03%(3μm),陡直度误差小于1.1o.实验结果表明,用该方法制备毫米波滤波器技术可行,并取得了卓越的电磁性能(关于:插入损耗,回波损耗和带宽).最终测试结构可知,通带内的插入损耗测得结果小于0.5 dB,几乎可以忽略不计,在整个通带内回拨损耗大于10 dB.结果表明,这种快速制造技术是制备太赫兹射频器件的一种有效办法,这种新技术将成为推动太赫兹射频器件未来发展的主要动力. 展开更多
关键词 SU-8微加工 微波 滤波器 矩形波导 W波段
在线阅读 下载PDF
扩展互作用谐振腔的模拟分析 被引量：7
9
作者 吴振华 张开春 刘盛纲 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期483-486,共4页
分析了扩展互作用谐振腔的工作原理、特点以及工作过程，并利用PIC粒子模拟程序对其进行了数值模拟，分析了阴极电压、电子注半径、谐振腔个数以及谐振腔周期长度对输出功率、频率及转换效率的影响。结果表明：当阴极电压为28．5～30．... 分析了扩展互作用谐振腔的工作原理、特点以及工作过程，并利用PIC粒子模拟程序对其进行了数值模拟，分析了阴极电压、电子注半径、谐振腔个数以及谐振腔周期长度对输出功率、频率及转换效率的影响。结果表明：当阴极电压为28．5～30．0kV时，谐振腔能正常工作；当电子注半径为1．4mm，谐振腔个数为4，阴极电压为29kV时输出功率和转换效率最大，输出功率为128kW，频率12．9GHz，转换效率达37．93％；输出频率随谐振腔周期长度的变小而增大。 展开更多
关键词 扩展互作用谐振腔 THZ波段 同步 电子束群聚
在线阅读 下载PDF
基于谐振法测试微波介质材料的介电参数 被引量：6
10
作者 沙长涛 王珂 覃承彬 《中国测试》 CAS 北大核心 2012年第2期56-59,共4页
介电常数是介质材料的主要性能参数之一,该文讨论了微波介质的介电参数的理论计算,分析了谐振法的模型,研制了基于谐振法测量微波介质材料介电参数的测量系统。通过对多个样品进行实测,结果表明与参考值比较吻合,评价了该测量系统测量... 介电常数是介质材料的主要性能参数之一,该文讨论了微波介质的介电参数的理论计算,分析了谐振法的模型,研制了基于谐振法测量微波介质材料介电参数的测量系统。通过对多个样品进行实测,结果表明与参考值比较吻合,评价了该测量系统测量结果不确定度,从而建立了微波频段内微波介质材料介电常数测量平台。 展开更多
关键词 微波介质材料 介电参数 谐振法 测量系统 不确定度
在线阅读 下载PDF
钼/聚酰亚胺异质结上体声波用氮化铝薄膜生长(英文) 被引量：3
11
作者 褚夫同 李川 +1 位作者 汪振中 刘兴钊 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2023-2026,共4页
采用中频反应磁控溅射方法,在钼/聚酰亚胺/硅(Mo/PI/Si)基片上室温下制备出c轴取向柱状结晶氮化铝(AlN)薄膜,X射线衍射摇摆曲线和拉曼谱E2(高)峰半高宽分别是2.2°和18.6 cm-1。制作了基于Mo/AlN/Mo/PI/Si结构的薄膜体声波谐振器(FB... 采用中频反应磁控溅射方法,在钼/聚酰亚胺/硅(Mo/PI/Si)基片上室温下制备出c轴取向柱状结晶氮化铝(AlN)薄膜,X射线衍射摇摆曲线和拉曼谱E2(高)峰半高宽分别是2.2°和18.6 cm-1。制作了基于Mo/AlN/Mo/PI/Si结构的薄膜体声波谐振器(FBARs),PI/Mo异质结用作声绝缘层。用矢量网络分析仪分析了FBARs的谐振特性,器件等效耦合系数达到5.4%。 展开更多
关键词 ALN 薄膜 聚酰亚胺 FBARs
原文传递
光学微球腔谐振模式研究 被引量：2
12
作者 王克逸 金乐天 +1 位作者 周绍祥 刘之景 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第0Z2期221-226,共6页
使用时域有限差分法对近场耦合状态下的光学微腔进行了计算。系统地研究了微腔中不同阶径向模式的各方面性能的差异。并在此基础上讨论了通过改变耦合参数，选择性增强特定模式的途径。研究了数种非均匀介质微腔的性能改变，指出选择性... 使用时域有限差分法对近场耦合状态下的光学微腔进行了计算。系统地研究了微腔中不同阶径向模式的各方面性能的差异。并在此基础上讨论了通过改变耦合参数，选择性增强特定模式的途径。研究了数种非均匀介质微腔的性能改变，指出选择性增强特定模式，可以通过以下两类方法：一是对于均匀介质分布的微腔，通过改变耦合参数来改变修逝波场的场强和相位分布，例如改变入射波的入射角，改变耦合间距。二是通过区域性改变微腔的折射率分布来改变微腔的修逝波场的场强和相位分布，如折射率改变（△n）折射率梯度（dn/dr）。探讨选择性抑制高阶模形成改善微腔性能的途径。使得基模获得到高能量密度，和更低的模式体积为研究原子或离子与微腔的相互作用提供更好的环境。 展开更多
关键词 光学微球腔 谐振模式 时域有限差分法 计算 谐振器 能量分布 品质因数 棱镜耦合 梯度折射率
在线阅读 下载PDF
基于阶梯阻抗谐振器的双频微带带通滤波器设计 被引量：3
13
作者 李紫怡 杨维明 +2 位作者 朱星宇 彭菊红 张伟 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期360-365,共6页
设计了一种基于1/4波长阶梯阻抗谐振器(SIR)的交叉耦合微带双频带通滤波器,利用SIR终端加载的金属化短路通孔实现K倒置器,利用谐振器之间的级间耦合实现J倒置器,通过相邻谐振器之间的级联耦合和不相邻谐振器之间的交叉耦合,完成了四阶... 设计了一种基于1/4波长阶梯阻抗谐振器(SIR)的交叉耦合微带双频带通滤波器,利用SIR终端加载的金属化短路通孔实现K倒置器,利用谐振器之间的级间耦合实现J倒置器,通过相邻谐振器之间的级联耦合和不相邻谐振器之间的交叉耦合,完成了四阶双频带通滤波器的设计。滤波器两个通带的中心频率分别为3.78GHz和8.69GHz,中心频率比大于2,对应的插入损耗分别为-1.28dB和-2.29dB,带内回波损耗分别为-12.38dB和-25.0dB。测量结果和仿真结果基本吻合,实现了双频带通滤波器的小型化和低损耗。 展开更多
关键词 双频带通滤波器 阶梯阻抗谐振器 K倒置器 J倒置器 交叉耦合
在线阅读 下载PDF
双间隙谐振腔的高频分析 被引量：5
14
作者 范植开 刘庆想 崔学芳 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期79-83,共5页
从麦克斯韦方程组出发，运用电磁场的匹配条件，导出了双间隙谐振腔等效周期结构横磁模的色散关系及场分布表达式。然后通过数值计算，求出了双间隙谐振腔的谐振频率和场分布，并分析了谐振腔的结构尺寸对频率的影响，为Ｃ波段双间隙输... 从麦克斯韦方程组出发，运用电磁场的匹配条件，导出了双间隙谐振腔等效周期结构横磁模的色散关系及场分布表达式。然后通过数值计算，求出了双间隙谐振腔的谐振频率和场分布，并分析了谐振腔的结构尺寸对频率的影响，为Ｃ波段双间隙输出腔的设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 双间隙谐振腔 频率 场分布
在线阅读 下载PDF
含石墨烯临界耦合谐振器的吸收特性研究 被引量：3
15
作者 许杰 周丽 +1 位作者 黄志祥 吴先良 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第23期354-360,共7页
临界耦合谐振器是一种薄膜结构,可以吸收几乎所有的入射电磁波而不产生散射.为了有效的实现和控制临界耦合现象,本文提出了在临界耦合结构中加入了基于石墨烯的多层薄膜结构来代替原来的吸收薄膜层.计算表明临界耦合现象出现在近红外波... 临界耦合谐振器是一种薄膜结构,可以吸收几乎所有的入射电磁波而不产生散射.为了有效的实现和控制临界耦合现象,本文提出了在临界耦合结构中加入了基于石墨烯的多层薄膜结构来代替原来的吸收薄膜层.计算表明临界耦合现象出现在近红外波段,且可以通过调节石墨烯的费米能级来获得不同的临界耦合频率;另外改变多层薄膜结构中介质的厚度、石墨烯的层数,实现了临界耦合现象的可调谐性,同时对于弛豫时间和入射角度对吸收效率的影响也做了相应讨论.本文理论结果为基于石墨烯的临界耦合器件和光探测器件的设计提供了理论依据. 展开更多
关键词 石墨烯 频域有限差分方法 多层薄膜结构 临界耦合
在线阅读 下载PDF
谐振腔内介质的复介电常数求解方法研究
16
作者 骆超艺 《厦门理工学院学报》 2008年第1期49-52,共4页
为了建立通用的数学模型求解谐振腔内介质的复介电常数ε_r,根据时谐电磁场的波动方程和边界条件,导出以ε_r作为本征值的变分方程,并应用于矩形腔内的介质柱,求解步骤有较大简化.测量结果表明,该方法可求解大尺寸、高介电常数、低损耗... 为了建立通用的数学模型求解谐振腔内介质的复介电常数ε_r,根据时谐电磁场的波动方程和边界条件,导出以ε_r作为本征值的变分方程,并应用于矩形腔内的介质柱,求解步骤有较大简化.测量结果表明,该方法可求解大尺寸、高介电常数、低损耗的介质样品. 展开更多
关键词 复介电常数 本征值 谐振腔 电磁场
在线阅读 下载PDF
弓型悬臂梁微静电谐振器力学建模 被引量：3
17
作者 赵江铭 沈雪瑾 +1 位作者 张海霞 陈晓阳 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期22-26,共5页
根据梁的小变形理论 ,对双侧支承微静电谐振器的弓型悬臂梁进行了理论建模和受力分析研究。推导出其受力和变形计算公式 ,研究表明 ,此种谐振器是五次超静定问题 ;在支承长度和工况相同的情况下 ,它比直脚型悬臂梁谐和蟹脚型悬臂梁的谐... 根据梁的小变形理论 ,对双侧支承微静电谐振器的弓型悬臂梁进行了理论建模和受力分析研究。推导出其受力和变形计算公式 ,研究表明 ,此种谐振器是五次超静定问题 ;在支承长度和工况相同的情况下 ,它比直脚型悬臂梁谐和蟹脚型悬臂梁的谐振幅度大 ;谐振频率和刚度系数随着纵向支撑长度L、横向短梁长度l3的增加而减小 ,随着梁宽b的增加而增加。 展开更多
关键词 弓型悬臂梁 微静电谐振器 力学建模 谐振频率 刚度系数
在线阅读 下载PDF
谐振式集成光学陀螺解调特性分析 被引量：4
18
作者 郭丽君 宁亮 +1 位作者 孔梅 陈拓源 《中国光学》 EI CAS 2014年第4期651-656,共6页
基于激光器频率谱检测技术,沿着光的传输方向分析了光波在谐振式集成光学陀螺系统中的传播,结合输入信号特征,建立频域内的数学模型,通过数值仿真和实验得到了调频检测系统下的解调曲线。按照光的传输方向:激光器、声光晶体移频器、光... 基于激光器频率谱检测技术,沿着光的传输方向分析了光波在谐振式集成光学陀螺系统中的传播,结合输入信号特征,建立频域内的数学模型,通过数值仿真和实验得到了调频检测系统下的解调曲线。按照光的传输方向:激光器、声光晶体移频器、光波导环形谐振器、探测器,利用贝塞尔函数展开和光场耦合模理论分析了谐振式集成光学陀螺解调特性,及其调频调制检测系统解调输出信号与谐振频率偏差之间的关系。通过数值计算,分析了解调曲线的变化规律,得到了施加在激光器压电陶瓷驱动器上调制波形的最佳调制系数。在实验上搭建了激光器频率调制解调技术系统,得到了解调曲线。数值仿真和实验结果表明,当调制系数M=2时,线性工作区间斜率最大,解调曲线最好。实测形状与理论分析结果相符,从解调信号得到±2×103rad/s的陀螺动态范围。 展开更多
关键词 谐振式集成光学陀螺 激光频率光谱 解调特性 解调曲线
在线阅读 下载PDF
超材料谐振子间的电耦合谐振理论与实验研究 被引量：3
19
作者 梁浩 李剑生 郭云胜 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第14期132-138,共7页
通过将两个金属开口环谐振器口对口地放置,实现了超材料谐振子间的电耦合谐振.对电耦合谐振的微波等效电路进行了理论分析和数值计算,结果表明耦合后的超材料谐振子能产生两个谐振频率,其中一个随耦合强度的增加逐渐向低频方向移动,而... 通过将两个金属开口环谐振器口对口地放置,实现了超材料谐振子间的电耦合谐振.对电耦合谐振的微波等效电路进行了理论分析和数值计算,结果表明耦合后的超材料谐振子能产生两个谐振频率,其中一个随耦合强度的增加逐渐向低频方向移动,而另一个固定在单谐振子的谐振频率处不变.微波透射谱的实验测试和电磁仿真结果表明,两个谐振峰随耦合强度的增加分别向低频和高频方向移动.分析表明:低频谐振峰的位置主要是由超材料谐振子间的电耦合强度决定的;高频谐振偏离单谐振子的谐振频率主要是由不可避免的磁耦合引起的,而且在耦合间距越小时磁耦合影响越大.提出的基于超材料谐振子间的电磁耦合实现的双频谐振及其可调性极大地增加了超材料的设计与应用空间. 展开更多
关键词 超材料谐振子 耦合谐振 微波等效电路 电磁波
在线阅读 下载PDF
制备光学金刚石膜的微波谐振腔设计及优化 被引量：2
20
作者 李晓静 郑子云 +1 位作者 史戈平 高永亮 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第S2期162-169,共8页
设计了两种具有不同结构的用于制备光学金刚石膜材料的新型微波谐振腔,第一种山字形剖面的重入式谐振腔,具有能提供足够大的微波谐振空间,激发出高密度等离子体的优点,对其改进后,沉积基台倒置,减少杂质,有助于提高膜的质量。在第二种... 设计了两种具有不同结构的用于制备光学金刚石膜材料的新型微波谐振腔,第一种山字形剖面的重入式谐振腔,具有能提供足够大的微波谐振空间,激发出高密度等离子体的优点,对其改进后,沉积基台倒置,减少杂质,有助于提高膜的质量。在第二种谐振腔结构优化过程中发现,微波传输结构部分设计过渡锥台比直接连接时,沉积台上方可获得更强的电场强度,有利于提高沉积速率。对气体供给方式及流速进行了优化,提出了两种工作气体供给模式,模式I从中心孔进入,模式II从环状孔进入。结果表明:模式I有利形成均匀膜层,最佳气体流速范围为5~10 m/s。设计的微波谐振腔可应用于高品质光学金刚石膜的制备。 展开更多
关键词 微波 谐振腔 结构设计 优化
原文传递
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 13 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部