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微电子封装领域中纳米银的研究进展 被引量:1
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作者 黄江潇 张新孟 王秀峰 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第3期347-362,共16页
纳米银具有优异的异质界面导电性、高比表面积、高透光性以及高导热性等性质,对下一代微电子封装领域中引线键合、触头触点等关键应用场景中的器件性能提高具有重要的应用价值。重点聚焦了纳米银的结构与性能优势,系统综述了其制备技术... 纳米银具有优异的异质界面导电性、高比表面积、高透光性以及高导热性等性质,对下一代微电子封装领域中引线键合、触头触点等关键应用场景中的器件性能提高具有重要的应用价值。重点聚焦了纳米银的结构与性能优势,系统综述了其制备技术发展动态与应用场景的适配性规律,阐述了物理合成法与化学合成法的粒径调控机理及工艺兼容性特征。详细介绍了纳米银浆、纳米银线和纳米银膜在高功率器件、传感器、柔性电子器件等应用领域的研究进展,分析了纳米银在实际应用中由电化学迁移引发的电阻异常、热循环载荷导致的热致损伤和静电积聚造成的介电击穿等失效问题,并提出改进措施,展望了纳米银材料在微电子封装领域的发展前景。 展开更多
关键词 纳米银 微电子封装 综述 芯片互连 微电子键合
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铜银核壳粉末复合导电浆料的制备及其性能研究 被引量:1
2
作者 温奇辉 张雪辉 +2 位作者 刘柏雄 曾龙飞 杨斌 《有色金属科学与工程》 北大核心 2025年第2期245-254,共10页
采用化学镀制备了银层分布均匀致密的铜银核壳粉末,以此为原料,系统探究了粉末含量、烧结温度和保温时间对导电浆料性能的影响。首先,改变铜银核壳粉末含量(指质量分数,下同)(65%~85%),发现随着粉末含量增加,导电浆料的导电性能显著提升... 采用化学镀制备了银层分布均匀致密的铜银核壳粉末,以此为原料,系统探究了粉末含量、烧结温度和保温时间对导电浆料性能的影响。首先,改变铜银核壳粉末含量(指质量分数,下同)(65%~85%),发现随着粉末含量增加,导电浆料的导电性能显著提升,但当含量达到一定阈值后,性能趋于稳定。其次,烧结温度优化结果表明,700℃为较优烧结温度,此时导电浆料具有最低的方阻和较优的表面形貌。过高的烧结温度会导致粉末异常长大,影响导电网络的致密性。保温时间优化结果表明,保温时间为15 min能够获得较优的固化效果,导电浆料具有最低的方阻和最致密的导电网络。这为高性能、低成本导电浆料的制备提供了技术途径和理论依据。 展开更多
关键词 铜银核壳粉末 导电浆料 烧结温度 保温时间 导电性能
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真空热处理对金刚石基Ta_(x)N薄膜微观结构及电学性能的影响
3
作者 李灏 刘宇伦 +3 位作者 刘金龙 陈良贤 李成明 魏俊俊 《材料导报》 北大核心 2025年第15期55-59,共5页
钽氮化物(Ta_(x)N)薄膜因具备优异的电学性能和稳定性,作为薄膜电阻材料广泛应用于无线电子器件及系统中。但随着对薄膜电阻工作频率和工作耗散功率的要求越来越高,传统的陶瓷基底已无法满足这一要求。CVD金刚石因其在射频和热学性能方... 钽氮化物(Ta_(x)N)薄膜因具备优异的电学性能和稳定性,作为薄膜电阻材料广泛应用于无线电子器件及系统中。但随着对薄膜电阻工作频率和工作耗散功率的要求越来越高,传统的陶瓷基底已无法满足这一要求。CVD金刚石因其在射频和热学性能方面具有无可比拟的优势,使其成为高要求、高可靠性薄膜电阻的理想选择。本实验选择CVD金刚石作为电阻基底,采用反应直流磁控溅射在CVD金刚石基片上镀制Ta_(x)N薄膜,在高真空度下进行不同温度的真空热处理工艺。分析经不同温度的真空热处理后Ta_(x)N薄膜的物相结构和表面形貌变化,应用四探针系统对样品进行了电学性能测试,研究了真空热处理对Ta_(x)N薄膜电学性能的影响。结果表明,随着真空热处理温度的升高,Ta_(x)N薄膜的物相由近无定形非晶态转变为Ta2N与Ta的混合相,并且Ta_(x)N薄膜的电阻率(ρ)逐渐下降,电阻温度系数(TCR)逐渐降低并趋近于0。在550℃进行真空热处理可得到附着力良好并且电学性能优异的金刚石基Ta_(x)N薄膜。 展开更多
关键词 金刚石 氮钽化物 真空热处理 电阻温度系数
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低温共烧陶瓷的增材制造技术综述
4
作者 黄进 蒲芸娜 梁超余 《电子机械工程》 2025年第5期27-33,53,共8页
低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics,LTCC)具有优异的介电性能、热稳定性和多功能集成能力,在5G/6G通信、毫米波雷达、卫星载荷、系统级封装等领域得到广泛应用。然而,传统工艺存在两方面显著局限:一是受成型方式制约,难... 低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics,LTCC)具有优异的介电性能、热稳定性和多功能集成能力,在5G/6G通信、毫米波雷达、卫星载荷、系统级封装等领域得到广泛应用。然而,传统工艺存在两方面显著局限:一是受成型方式制约,难以实现曲面多层基板的高精度制造;二是工艺流程复杂且对批次规模依赖性强,难以满足单件、小批基板的快速验证需求。增材制造基于逐层堆叠、按需沉积的独特技术路径,为突破上述瓶颈提供了创新性解决方案。文中系统综述了LTCC增材制造所涉及的材料制备、成型工艺方面的研究动态,分析了当前存在的关键问题,并展望了未来发展方向。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 增材制造 材料制备 成型工艺
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生长温度对RuO_(2)薄膜结构与磁性的影响研究
5
作者 蒋昊岚 杨金宝 +2 位作者 闵月淇 谢文钦 谢亮 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第7期820-826,共7页
二氧化钌(RuO_(2))是一种共线反铁磁材料,因其独特的磁学特性在下一代自旋电子器件中展现出广阔的应用前景。对RuO_(2)外延薄膜结构与磁性的研究,在促进其实际应用方面具有重要的指导意义。本研究探讨了生长温度对RuO_(2)外延薄膜结构... 二氧化钌(RuO_(2))是一种共线反铁磁材料,因其独特的磁学特性在下一代自旋电子器件中展现出广阔的应用前景。对RuO_(2)外延薄膜结构与磁性的研究,在促进其实际应用方面具有重要的指导意义。本研究探讨了生长温度对RuO_(2)外延薄膜结构与磁性的影响。以(100)取向的钇掺杂氧化锆(YSZ)为衬底,利用磁控溅射法在不同温度下制备了一系列RuO_(2)外延薄膜。研究结果表明,随着生长温度从300℃逐渐升高至450℃,RuO_(2)薄膜的面外晶格常数逐渐增大,并在400℃时大于其块体值。同时,饱和磁化强度也随生长温度显著变化,当生长温度为375℃时,饱和磁化强度达到最小值,且此时样品表面最为平整。该研究结果为优化RuO_(2)薄膜在磁性和相关器件中的应用提供了实验指导。 展开更多
关键词 RuO_(2)薄膜 生长温度 磁性 磁控溅射 外延生长
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新型无铅焊料合金Sn-Zn-Ga的研究 被引量:26
6
作者 陈国海 黎小燕 +1 位作者 耿志挺 马莒生 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1222-1225,共4页
以 Sn-Zn 合金为母合金,添加 Ga 元素,得到了新型的无铅焊料合金。测量了其熔点、硬度、剪切强度和可焊性等性能。研究发现,Ga 元素的添加使焊料的熔点降低,熔程增大。焊料的硬度和剪切强度有所降低。焊料的铺展率增大,浸润角减小,提高... 以 Sn-Zn 合金为母合金,添加 Ga 元素,得到了新型的无铅焊料合金。测量了其熔点、硬度、剪切强度和可焊性等性能。研究发现,Ga 元素的添加使焊料的熔点降低,熔程增大。焊料的硬度和剪切强度有所降低。焊料的铺展率增大,浸润角减小,提高了焊料的可焊性。通过实验研究确定了具有较好综合性能的焊料的成分范围。 展开更多
关键词 无铅焊料 Sn-Zn-Ga 熔点 剪切强度 浸润角
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微晶玻璃及其在电子元件中的应用 被引量:16
7
作者 张为军 堵永国 +2 位作者 陈朝辉 胡君遂 杨娟 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第8期26-28,34,共4页
综述了典型微晶玻璃的组成及相应的主晶相, 制备方法和主要性能,包括力学、热学和电学性能;简单介绍了微晶玻璃在电子元件中的三类典型应用,即作为电子封接材料,厚膜电路用基片材料和硬盘用基板材料。
关键词 电子元件 微晶玻璃 封接材料 基板材料 基片材料 主晶相
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新型无铅焊料Sn-Ag-Cu-Cr-X的性能研究 被引量:15
8
作者 刘静 徐骏 +2 位作者 张富文 杨福宝 朱学新 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期625-630,共6页
传统的SnPb钎料由于Pb的毒性即将被禁止在微电子连接上使用,加上现在集成电路小型化、微型化以及高密度化的趋势;对所要开发的无铅钎料性能要求愈来愈高。以Sn-3.0Ag-0.5Cu钎料为母合金,添加了不同含量的合金元素Cr以及微量的合金元素Al... 传统的SnPb钎料由于Pb的毒性即将被禁止在微电子连接上使用,加上现在集成电路小型化、微型化以及高密度化的趋势;对所要开发的无铅钎料性能要求愈来愈高。以Sn-3.0Ag-0.5Cu钎料为母合金,添加了不同含量的合金元素Cr以及微量的合金元素Al或P,得到了一种新的Sn-3.0Ag-0.5Cu-Cr-P,测得熔点在217℃左右,抗拉强度达46 MPa,电导率在8.2(106S.m-1)以上,并具有很好的抗氧化性能。 展开更多
关键词 无铅钎料 微合金化 焊接性能 抗氧化性
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微量元素对Sn-0.7Cu无铅钎料抗氧化性能的影响 被引量:20
9
作者 李广东 郝虎 +2 位作者 史耀武 夏志东 雷永平 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期49-52,共4页
以Sn-0.7Cu系无铅钎料合金为基础,添加微量的P、Ge、Ga、RE元素,进行了280℃大气环境下氧化试验,通过对含有不同微量元素的无铅钎料表面氧化状况的对比及分析,研究了不同微量元素对Sn-0.7Cu无铅钎料抗氧化性能的影响。发现当P和G... 以Sn-0.7Cu系无铅钎料合金为基础,添加微量的P、Ge、Ga、RE元素,进行了280℃大气环境下氧化试验,通过对含有不同微量元素的无铅钎料表面氧化状况的对比及分析,研究了不同微量元素对Sn-0.7Cu无铅钎料抗氧化性能的影响。发现当P和Ga同时添加时,得到Sn-0.7Cu-(0.001~0.1)P-(0.0001~0.1)Ga无铅钎料的抗氧化性能高于Sn-0.7Cu.(0.001~0.1)P和Sn-0.7Cu-(0.0001~0.1)Ga的抗氧化性能。 展开更多
关键词 金属材料 SN-0.7CU 抗氧化 微量元素
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合金元素对Sn-Zn基无铅钎料高温抗氧化性的影响 被引量:39
10
作者 任晓雪 李明 毛大立 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第11期40-44,共5页
研究了不同微量合金元素对Sn-Zn基无铅钎料高温抗氧化性的影响。钎料在液态下的表面颜色变化以及热重分析表明,Al、Cr能明显改善Sn-Zn基钎料的抗氧化性能。通过俄歇能谱深度剖析和X射线衍射分析探讨了合金元素的抗氧化机理:Al和Cr在钎... 研究了不同微量合金元素对Sn-Zn基无铅钎料高温抗氧化性的影响。钎料在液态下的表面颜色变化以及热重分析表明,Al、Cr能明显改善Sn-Zn基钎料的抗氧化性能。通过俄歇能谱深度剖析和X射线衍射分析探讨了合金元素的抗氧化机理:Al和Cr在钎料表面或亚表面富集,形成阻挡层,抑制了钎料的氧化。比较了合金元素对Sn-Zn基钎料润湿性能的影响,结果表明Al的加入不利于钎料的铺展。通过实验得出结论:Cr是一种比Al更具有吸引力的Sn-Zn基钎料的高温抗氧化合金元素。 展开更多
关键词 金属材料 无铅钎料 SN-ZN 合金元素 抗氧化性 润湿性
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SnAgCu无铅焊点的电迁移行为研究 被引量:14
11
作者 何洪文 徐广臣 +2 位作者 郝虎 雷永平 郭福 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期53-55,共3页
电迁移引发的焊点失效已经成为当今高集成度电子封装中的最严重的可靠性问题之一。应用SnAgCu无铅焊膏焊接微米级铜线,进行电迁移实验。结果表明:焊点形貌从原来的光滑平整变得凹凸不平,阴极处出现了裂纹和孔洞,并且在铜基板和Cu6Sn5金... 电迁移引发的焊点失效已经成为当今高集成度电子封装中的最严重的可靠性问题之一。应用SnAgCu无铅焊膏焊接微米级铜线,进行电迁移实验。结果表明:焊点形貌从原来的光滑平整变得凹凸不平,阴极处出现了裂纹和孔洞,并且在铜基板和Cu6Sn5金属间化合物(IMC)之间出现薄薄的一层Cu3Sn金属间化合物,由ImageJ软件测量其平均厚度约为2.11μm;而在阳极附近没有明显的Cu3Sn金属间化合物形成。 展开更多
关键词 电子技术 电迁移 金属间化合物 无铅焊点
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合金元素Cr,Al对Sn-Ag-Cu基无铅钎料高温抗氧化和润湿性的影响 被引量:9
12
作者 刘静 张富文 +2 位作者 徐骏 杨福宝 朱学新 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期16-20,共5页
研究了少量合金元素Cr,Al对Sn-3.0Ag-0.5Cu(305)无铅钎料高温抗氧化性的影响。钎料在液态下的表面颜色变化以及热重分析表明,Cr,Al能明显改善305合金钎料的抗氧化性能。通过合金元素Cr,Al的抗氧化机制和X射线衍射分析得出:Al和Cr在钎料... 研究了少量合金元素Cr,Al对Sn-3.0Ag-0.5Cu(305)无铅钎料高温抗氧化性的影响。钎料在液态下的表面颜色变化以及热重分析表明,Cr,Al能明显改善305合金钎料的抗氧化性能。通过合金元素Cr,Al的抗氧化机制和X射线衍射分析得出:Al和Cr在钎料表面形成致密氧化膜,形成“阻挡层”,抑制了钎料的氧化。同时也比较了合金元素Cr,Al对305钎料润湿性能的影响,结果表明:单独加Al不利于钎料的铺展,少量的Cr和Al同时加入对钎料的铺展没有太大的影响。实验证实:Cr和Al的共同作用明显提高了Sn-3.0Ag-0.5Cu钎料的高温抗氧化性,同时对钎料的润湿性也没有恶化作用。 展开更多
关键词 合金元素 Sn-3.0Ag-0.5Cu 无铅钎料 抗氧化性 润湿性
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纳米银填充导电浆料的研究进展 被引量:22
13
作者 熊娜娜 王悦辉 李晶泽 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2589-2595,共7页
导电浆料是发展电子元器件的基础及封装、电极和互联的关键材料。随着电子元器件向微型化、精密化和柔性化等方向发展,国内外正在开展金属导电填料纳米化的研究。其中,纳米银填充导电浆料成为该领域的研究热点。纳米银作为导电填料对银... 导电浆料是发展电子元器件的基础及封装、电极和互联的关键材料。随着电子元器件向微型化、精密化和柔性化等方向发展,国内外正在开展金属导电填料纳米化的研究。其中,纳米银填充导电浆料成为该领域的研究热点。纳米银作为导电填料对银浆性能影响是正面还是负面影响还没有一个统一的结论。一般认为纳米银填充到基体中,由于粒子间的接触点面积小,填料粒子数目增多导致接触电阻增加。只有当纳米银间距离在一定范围内时,由于隧道效应等使导电性增强。这主要与其颗粒大小和形貌、表面性质和烧结行为等密切相关。本文从纳米银填充导电浆料的导电机理、纳米银低温烧结、表面处理、填量、形貌和原位添加等方面综述了国内外研究者近年来在纳米银填充导电浆方面的研究进展,并对未来的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 纳米银 导电浆料 导电机理 低温烧结 表面处理
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无铅焊料及其可靠性的研究进展 被引量:45
14
作者 黄惠珍 魏秀琴 周浪 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期39-42,共4页
环保和微电子器件高度集成化的发展驱动了高性能无铅焊料的研究和开发。本文介绍了国内外对Sn-Ag,Sn-Zn,Sn-Bi,Sn-Sb和Sn-In系无铅焊料的发展现状及所取得的研究成果;列出了美国抗高温疲劳焊料研究计划筛选的七种抗热疲劳无铅焊料合金;... 环保和微电子器件高度集成化的发展驱动了高性能无铅焊料的研究和开发。本文介绍了国内外对Sn-Ag,Sn-Zn,Sn-Bi,Sn-Sb和Sn-In系无铅焊料的发展现状及所取得的研究成果;列出了美国抗高温疲劳焊料研究计划筛选的七种抗热疲劳无铅焊料合金;对焊点的一般可靠性问题及无铅焊料引入的新的可靠性问题进行了归纳和讨论。 展开更多
关键词 无铅焊料 疲劳 电迁移 可靠性
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新型Sn-Ag-Cu-Cr无铅焊料合金的研究 被引量:10
15
作者 张富文 刘静 +5 位作者 杨福宝 胡强 贺会军 朱学新 徐骏 石力开 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期45-48,共4页
对新型Sn-Ag-Cu-Cr无铅焊料进行了熔点、力学性能、润湿性能等的测试,并从微观方面分析了Cr对Sn-Ag-Cu系无铅焊料的作用规律机理。结果表明:Cr的加入对材料力学性能的影响较为显著,当Cr含量(质量分数)在0.1%左右时可提高焊料的各项力学... 对新型Sn-Ag-Cu-Cr无铅焊料进行了熔点、力学性能、润湿性能等的测试,并从微观方面分析了Cr对Sn-Ag-Cu系无铅焊料的作用规律机理。结果表明:Cr的加入对材料力学性能的影响较为显著,当Cr含量(质量分数)在0.1%左右时可提高焊料的各项力学性能指标,而当含量过高后,又将降低材料的强度,提高脆性,Cr含量少于0.5%时,对焊料的熔点影响较小,而Cr的加入对焊料的铺展性能却有降低作用。 展开更多
关键词 金属材料 无铅焊料 Sn—Ag-Cu—Cr熔点 力学性能 润湿性
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助焊剂活性物质的制备与研究 被引量:12
16
作者 王伟科 赵麦群 +1 位作者 王娅辉 邬涛 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期33-36,共4页
通过润湿角和铺展性表征对16种有机活性剂进行了性能测试,用热失重法测试其热解过程,对所选活性剂进行复配处理完成表面包覆并制得活性物质。结果表明:柠檬酸和苹果酸复配符合要求,三乙醇胺可以很好地调节助焊剂的酸度,丙烯酸树脂可作... 通过润湿角和铺展性表征对16种有机活性剂进行了性能测试,用热失重法测试其热解过程,对所选活性剂进行复配处理完成表面包覆并制得活性物质。结果表明:柠檬酸和苹果酸复配符合要求,三乙醇胺可以很好地调节助焊剂的酸度,丙烯酸树脂可作为活性物质微胶囊的囊壁材料。微胶囊化后的复配活性物质易溶于有机溶剂,pH值接近6。以其制备的助焊剂的助焊效果良好,IMC层薄而明晰。 展开更多
关键词 电子技术 润湿角 铺展性 热重法 活性剂 微胶囊化
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Sn-3.0Ag-0.5Cu/Ni/Cu微焊点剪切强度与断口的研究 被引量:8
17
作者 谷柏松 孟工戈 +2 位作者 孙凤莲 刘超 刘海明 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期70-72,76,共4页
用直径为200-500μm的Sn-3.0Ag-0.5Cu无铅焊球分别在Ni和Cu焊盘上制作焊点,并对焊后和时效200h后的焊点进行剪切测试,并采用SEM观察剪切断口形貌。结果表明,焊后和时效200h后焊点接头的剪切强度都随焊球尺寸增大而减小。焊后断口... 用直径为200-500μm的Sn-3.0Ag-0.5Cu无铅焊球分别在Ni和Cu焊盘上制作焊点,并对焊后和时效200h后的焊点进行剪切测试,并采用SEM观察剪切断口形貌。结果表明,焊后和时效200h后焊点接头的剪切强度都随焊球尺寸增大而减小。焊后断口处韧窝形状为抛物线型,断裂方式为韧性断裂;随着焊球尺寸的增大,剪切断口处的韧窝数量增多,韧窝的变小变浅。时效200h后,韧窝变浅,趋于平坦,韧窝数量也明显减少,材料的韧性下降,脆性增加,断裂方式由韧性向脆性发生转变。 展开更多
关键词 Sn-3 0Ag-0 5Cu 无铅焊料 尺寸效应 剪切强度 微焊点 焊盘
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环氧树脂/氧化铝复合材料的制备及导热模型 被引量:17
18
作者 李攀敏 钟朝位 +1 位作者 童启铭 庞祥 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第11期26-29,共4页
采用浇注成型法制备了环氧树脂/氧化铝复合材料,研究了氧化铝含量对所制复合材料导热、介电以及力学性能的影响。结果显示:当氧化铝含量小于体积分数0.3时,所制复合材料导热系数与Maxwell方程的计算值比较吻合,而混联模型更适合于预测... 采用浇注成型法制备了环氧树脂/氧化铝复合材料,研究了氧化铝含量对所制复合材料导热、介电以及力学性能的影响。结果显示:当氧化铝含量小于体积分数0.3时,所制复合材料导热系数与Maxwell方程的计算值比较吻合,而混联模型更适合于预测氧化铝含量较高时的导热系数;该复合材料的介电常数随着氧化铝含量的增加而增加,弯曲强度随氧化铝含量的增加而先升高后降低;当氧化铝体积分数为0.375时,所制复合材料的弯曲强度达到160 MPa。 展开更多
关键词 电子封装 环氧树脂 导热模型 复合材料
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无VOCs水基免清洗助焊剂的研究 被引量:12
19
作者 徐冬霞 雷永平 +1 位作者 夏志东 史耀武 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第12期26-28,共3页
研制了一种以水作溶剂,不含挥发性有机化合物(VOCs)的水基免清洗助焊剂。根据信息产业部制定的免清洗液态助焊剂标准,使用Sn-3.8Ag-0.7Cu无铅焊料,对该免清洗助焊剂进行了性能检测。结果表明:该助焊剂在外观、稳定性、粘性、卤化物含量... 研制了一种以水作溶剂,不含挥发性有机化合物(VOCs)的水基免清洗助焊剂。根据信息产业部制定的免清洗液态助焊剂标准,使用Sn-3.8Ag-0.7Cu无铅焊料,对该免清洗助焊剂进行了性能检测。结果表明:该助焊剂在外观、稳定性、粘性、卤化物含量等方面都符合标准,对无铅焊料助焊效果较好,无卤化物,无毒,无刺激性气味,环保,安全,节省成本。对无VOCs水基免清洗助焊剂在波峰焊中的应用给出一些建议。 展开更多
关键词 电子技术 免清洗助焊剂 无VOCs 无铅焊料 波峰焊
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电镀Au-Sn合金的研究 被引量:8
20
作者 张静 徐会武 +2 位作者 李学颜 苏明敏 陈国鹰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1066-1069,共4页
Au-Sn(质量分数为20%)共晶焊料有着优良的导热和导电特性,已被广泛应用在光电子和微电子的器件封装工业中。对微氰和无氰电镀Au-Sn合金的两种电镀方法进行了研究,概述了镀液组分和电镀工艺条件,用扫描电镜的方法测试不同电流密度下Au-S... Au-Sn(质量分数为20%)共晶焊料有着优良的导热和导电特性,已被广泛应用在光电子和微电子的器件封装工业中。对微氰和无氰电镀Au-Sn合金的两种电镀方法进行了研究,概述了镀液组分和电镀工艺条件,用扫描电镜的方法测试不同电流密度下Au-Sn合金组分,用测厚仪测试镀层厚度,计算出镀速,最终确定电镀Au-Sn(质量分数为20%)合金的电镀条件,并对微氰和无氰电镀液优缺点进行了对比分析。 展开更多
关键词 金锡合金 微氰 无氰 电镀 电流密度 扫描电镜
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