基于C-SOI工艺的一维MEMS电容式超声传感器阵列 被引量：7

1

作者 李玉平 何常德 +3 位作者 张娟婷 张慧 宋金龙 薛晨阳 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第3期94-96,102,共4页

提出了一种新的基于C-SOI工艺制备的电容式微加工超声传感器(CMUT)的方法。通过对加工过程中一些关键工艺步骤进行测试,发现所加工的微传感器尺寸与设计尺寸基本一致,且刻蚀的空腔高度均匀,键合效果良好,证明了工艺流程的可行性。此外,... 提出了一种新的基于C-SOI工艺制备的电容式微加工超声传感器(CMUT)的方法。通过对加工过程中一些关键工艺步骤进行测试,发现所加工的微传感器尺寸与设计尺寸基本一致,且刻蚀的空腔高度均匀,键合效果良好,证明了工艺流程的可行性。此外,通过对所加工的传感器阵列进行测试发现,各阵元谐振频率和静态电容具有良好的一致性,说明以C-SOI工艺加工的CMUT器件满足设计要求,且适宜加工大阵列,这种加工技术使得加工成像阵列成为可能。 展开更多

关键词 电容式微加工超声传感器 C-SOI工艺 ANSYS 成像阵列 一致性

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基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容式超声传感器设计 被引量：18

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作者 苗静 何常德 +5 位作者 廉德钦 张慧 于佳琪 宛克敬 薛晨阳 张文栋 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1653-1658,共6页

针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SO... 针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SOI顶层硅作为敏感单元的一体化全振微传感薄膜,无需沉积分立电极,易于加工且频率偏差小。通过下电极的区域化定义及巧妙互联,避免了非活跃区的寄生电容。通过ANSYS及MATLAB对所设计的5种工作频率在124 kHz～484 kHz之间、满足水下成像需求的传感器结构进行性能分析,表明传感器的电容变化量为650.62 fF/Pa～10.827 fF/Pa,满足现有条件的信号检测,输出电压灵敏度可达1.700 mV/Pa。与同频率指标的传统基于牺牲工艺而制备的金属-氮化膜堆栈结构对比表明,本结构频率可预测性高,偏差仅为0.0535%;振膜变形更均匀,归一化位移提高0.0432%以上;灵敏度平均提高11.9249 dB。 展开更多

关键词 超声传感器 一体化全振薄膜 ANSYS 电容 硅晶圆键合 灵敏度

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MEMS电容式超声传感器设计 被引量：16

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作者 于佳琪 何常德 +4 位作者 张永平 苗静 李玉平 薛晨阳 张文栋 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第5期706-710,共5页

在传统的电容式超声传感器(CMUT)制造过程中,用低压化学气相淀积技术形成的氮化硅薄膜残余应力大且机械性能难以预知。为此,设计了一种基于阳极键合技术的CMUT,传感器薄膜和空腔分别定义在均匀性好、残余应力低的SOI片和玻璃片上。建立... 在传统的电容式超声传感器(CMUT)制造过程中,用低压化学气相淀积技术形成的氮化硅薄膜残余应力大且机械性能难以预知。为此,设计了一种基于阳极键合技术的CMUT,传感器薄膜和空腔分别定义在均匀性好、残余应力低的SOI片和玻璃片上。建立了一个简化的分析模型对该结构进行机械性能分析,采用有限元分析软件ANSYS仿真验证该所建立的分析模型并预估传感器的性能。利用ANSYS静电-结构耦合仿真给出了塌陷电压。介绍了敏感单元的工艺流程。所设计的传感器频率为1.48 MHz,灵敏度为0.24fF/Pa,塌陷电压为70V,量程为48kPa。 展开更多

关键词 电容式超声传感器 微机电系统（MEMS） 阳极键合 ANSYS 工艺流程

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基于FPGA的超声相控阵发射系统设计 被引量：8

4

作者 崔娟 王红亮 +1 位作者 何常德 薛晨阳 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第7期54-56,共3页

为了实现水下超声成像系统中超声信号的相控阵发射,提出并设计了一种基于FPGA的超声相控阵发射系统。分析了相控聚焦的发射原理,利用FPGA丰富的I/O引脚和内部逻辑资源实现了八通道超声相控阵激励信号的发射,并设计了信号调理电路对激励... 为了实现水下超声成像系统中超声信号的相控阵发射,提出并设计了一种基于FPGA的超声相控阵发射系统。分析了相控聚焦的发射原理,利用FPGA丰富的I/O引脚和内部逻辑资源实现了八通道超声相控阵激励信号的发射,并设计了信号调理电路对激励信号进行D/A转换及放大,以有效驱动压电换能器。通过实验测试表明,该系统可以实现超声信号的相控聚焦发射,相控延时精度达到2.5 ns,发射信号稳定,系统集成度高,可以应用于水下超声成像的实现。 展开更多

关键词 水下超声成像 相控阵 相控聚焦 FPGA 信号调理电路 压电换能器

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电容式微机械超声传感器设计与仿真 被引量：7

5

作者 王朝杰 王红亮 +2 位作者 段培盛 陈一波 胡晓峰 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期284-288,共5页

建立电容式微机械超声传感器(CMUT)微元三维有限元模型,经过分析CMUT微元不同结构对CMUT性能的影响,得到CMUT结构参数。设定工作频率范围1~2 MHz,工作电压Vdc<100V,首先,利用有限元模型进行模态分析研究薄膜参数与一阶频率的关系,以... 建立电容式微机械超声传感器(CMUT)微元三维有限元模型,经过分析CMUT微元不同结构对CMUT性能的影响,得到CMUT结构参数。设定工作频率范围1~2 MHz,工作电压Vdc<100V,首先,利用有限元模型进行模态分析研究薄膜参数与一阶频率的关系,以此确定薄膜参数;然后,在阐述相关理论和静态分析的基础上,仿真、分析空腔对CMUT性能的影响,进而确定空腔高度;最后,通过静电-机械耦合分析和计算机电耦合系数优化电极参数。对所设计的CMUT结构进行仿真验证,工作频率为1.65 MHz,塌陷电压为68 V,满足应用要求。 展开更多

关键词 电容式微机械超声传感器(CMUT) COMSOL MULTIPHYSICS 塌陷电压 机电耦合系数

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电容式MEMS超声传感器设计与分析 被引量：6

6

作者 李玉平 何常德 +3 位作者 张娟婷 张慧 宋金龙 薛晨阳 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第11期73-75,共3页

目前电容式MEMS超声传感器(CMUS)多为收发一体结构,但二种工作模式对传感器结构要求存在很大差异,设计时为了兼顾收发性能往往不能使传感器性能达到最优;此外,传统的电容式MEMS超声传感器还存在寄生电容大的缺点。针对以上问题,基于收... 目前电容式MEMS超声传感器(CMUS)多为收发一体结构,但二种工作模式对传感器结构要求存在很大差异,设计时为了兼顾收发性能往往不能使传感器性能达到最优;此外,传统的电容式MEMS超声传感器还存在寄生电容大的缺点。针对以上问题,基于收发分离的思想,设计了一种专用作超声接收的MEMS电容式传感器,结构上采用上下电极引线互错,单元间电极联线交错的方式来减小寄生电容。通过理论分析和ANSYS仿真得到所设计传感器的最佳工作电压为586V,灵敏度为174.2fF/Pa,满足现有超声接收传感器的应用要求。 展开更多

关键词 电容式MEMS超声传感器 接收传感器 ANSYS 寄生电容 灵敏度

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MEMS压阻超声传感器的设计与优化 被引量：6

7

作者 宛克敬 何常德 +1 位作者 廉德钦 薛晨阳 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第5期728-731,共4页

提出了一种新的压阻式超声传感器结构,该结构由主振梁和微传感梁组成,在声压的作用下,主振梁振动从而带动微传感梁的振动。通过有限元软件Ansys仿真分析该结构的灵敏度,并与悬臂梁结构压阻式声传感器相比,结果表明灵敏度有了一定的提高... 提出了一种新的压阻式超声传感器结构,该结构由主振梁和微传感梁组成,在声压的作用下,主振梁振动从而带动微传感梁的振动。通过有限元软件Ansys仿真分析该结构的灵敏度,并与悬臂梁结构压阻式声传感器相比,结果表明灵敏度有了一定的提高。为了实现结构的优化,仿真了结构的尺寸与共振频率的关系,对相同共振频率的结构进行了静力分析,计算并对比了不同尺寸结构的灵敏度,从而得到灵敏度最高的结构,实现了结构的优化。 展开更多

关键词 压阻 超声传感器 微传感梁结构 ANSYS 优化

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线性调频脉冲发声系统的设计 被引量：2

8

作者 廉德钦 何常德 +3 位作者 苗静 杜春晖 宛克敬 薛晨阳 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第1期151-154,共4页

介绍了线性调频脉冲压缩原理及一种基于脉冲压缩技术的线性调频信号发声系统,该系统包括电路系统,计算机控制程序和发射装置。电路系统使用信号发生器件、单片机及模拟开关来产生周期性线性调频信号。计算机控制程序采用微软基础类库(M... 介绍了线性调频脉冲压缩原理及一种基于脉冲压缩技术的线性调频信号发声系统,该系统包括电路系统,计算机控制程序和发射装置。电路系统使用信号发生器件、单片机及模拟开关来产生周期性线性调频信号。计算机控制程序采用微软基础类库(MFC)窗口程序,通过串口控制单片机。使用压电声音发射器发声,并做了线性调频声音发射、接收实验,对接收的信号进行了脉冲压缩。 展开更多

关键词 脉冲压缩 线性调频 信号发生器 模拟开关 微软基础类库(MFC)

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高集成度水声相控阵发射系统设计 被引量：1

9

作者 崔娟 王红亮 +2 位作者 张睿 何常德 薛晨阳 《自动化与仪表》 2015年第9期75-78,共4页

针对水声成像系统体积小、电源电压低的特点,设计了一种基于相控阵技术的高集成度水声发射电路。通过运用FPGA产生脉冲激励信号并设计相控延时,实现了16通道激励脉冲信号的相控发射。设计了发射信号运算放大和功率放大电路,有效提高了... 针对水声成像系统体积小、电源电压低的特点,设计了一种基于相控阵技术的高集成度水声发射电路。通过运用FPGA产生脉冲激励信号并设计相控延时,实现了16通道激励脉冲信号的相控发射。设计了发射信号运算放大和功率放大电路,有效提高了发射信号的幅值和功率。实验结果表明,该系统可以产生高频高压的激励脉冲信号,实现最小2 ns的相控延时,实际测试时能够得到较强的回波信号,为水声成像系统的研究提供了硬件基础。 展开更多

关键词 水声成像 相控阵技术 高集成度 高频高压

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双通道角跟踪设备的近场相位校准研究 被引量：9

10

作者 习靖 《无线电工程》 2013年第5期32-34,54,共4页

随着天线口径的加大和工作频段的提高,远场条件越来越难以满足,对采用连续波信号体制的多模馈源、双通道单脉冲跟踪设备的角度标校提出了新的问题。通过研究自跟踪天线和差口对源天线辐射场的近场响应,定量计算出了源天线来波在天线和... 随着天线口径的加大和工作频段的提高,远场条件越来越难以满足,对采用连续波信号体制的多模馈源、双通道单脉冲跟踪设备的角度标校提出了新的问题。通过研究自跟踪天线和差口对源天线辐射场的近场响应,定量计算出了源天线来波在天线和差口激励起的电压响应的相对相位随距离的变化曲线,给出了天线不同工作频段的双通道单脉冲跟踪设备相位校准修正曲线。经实际工程验证,采用该方法修正是正确的。 展开更多

关键词 近场 角度标校 角误差解 交叉耦合

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超声波测距技术原理及其精度提高方法 被引量：1

11

作者 王伟颖 黄沁悦 《消费电子》 2014年第8期70-70,共1页

由于超声波指向性强，能量消耗缓慢，在介质中传播的距离较远，因而超声波经常用于距离的测量，如测距仪和物位测量仪等都可以通过超声波来实现。利用超声波检测往往比较迅速、方便、计算简单、易于做到实时控制，并且在测量精度方面能... 由于超声波指向性强，能量消耗缓慢，在介质中传播的距离较远，因而超声波经常用于距离的测量，如测距仪和物位测量仪等都可以通过超声波来实现。利用超声波检测往往比较迅速、方便、计算简单、易于做到实时控制，并且在测量精度方面能达到工业实用的要求。随着科学技术的飞速发展，对测距的精度要求也越来越高。本文介绍了超声波测距技术的原理，并且提出了通过时间增益补偿来提高其精度的方法。 展开更多

关键词 超声波测距 渡越时间 时间增益补偿

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微电容超声传感器的设计与测试 被引量：7

12

作者 穆林枫 张文栋 +3 位作者 何常德 张睿 宋金龙 薛晨阳 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第8期1-3,6,共4页

针对现有微电容超声传感器(CMUT)寄生电容大的问题,采用绝缘技术将振动薄膜与上电极金属完全隔离的方法,避免了掺杂效应的发生,从而减小了寄生电容。文中以电容变化率为主线,分别对微传感器和跨阻检测电路的电容变化率进行了计算和仿真... 针对现有微电容超声传感器(CMUT)寄生电容大的问题,采用绝缘技术将振动薄膜与上电极金属完全隔离的方法,避免了掺杂效应的发生,从而减小了寄生电容。文中以电容变化率为主线,分别对微传感器和跨阻检测电路的电容变化率进行了计算和仿真,建立了传感器与电路检测的通道,并通过水下测试系统的搭建,对其进行实验验证。测试结果表明,实际输出电压的值为0.8 V,与理论计算值0.61 V相近,从而验证了CMUT的可用性及其测试系统的可行性。 展开更多

关键词 微电容超声传感器 寄生电容 电容变化率 跨阻检测电路 系统测试

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复合式MEMS水听器的设计 被引量：4

13

作者 王雁 刘梦然 张国军 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期243-247,共5页

针对微机电系统(MEMS)仿生矢量水听器工作频带窄,灵敏度低,且存在左、右舷模糊问题,设计了高灵敏宽频带复合式MEMS水听器。矢量部分选择4个不同纤毛长度的仿生矢量水听器组成阵列,各结构间采用并联方式,工作频带拓宽到4 800Hz,并分割出... 针对微机电系统(MEMS)仿生矢量水听器工作频带窄,灵敏度低,且存在左、右舷模糊问题,设计了高灵敏宽频带复合式MEMS水听器。矢量部分选择4个不同纤毛长度的仿生矢量水听器组成阵列,各结构间采用并联方式,工作频带拓宽到4 800Hz,并分割出4个不同的频率段,在拓宽了频响带宽的同时保证了灵敏度。标量部分采用低频电容水声传感器进行优化设计,空腔注满硅油、振膜开设声学孔,提高振膜承压性的同时保证了良好的动态性能。后续对标量和矢量信息进行声能流联合算法处理,解决了左右舷模糊的难题。该文主要介绍了复合式MEMS水听器的工作原理,结合ANSYS workbench进行了仿真验证。选用玻璃片及绝缘衬底上的硅(SOI)片键合的单片集成复合结构工艺设计,在玻璃上定义空腔及下电极,在SOI片上定义十字梁和振膜,整体结构一致性好,定位精度高。 展开更多

关键词 频带 复合式微机电系统(MEMS)水听器 声能流联合算法 左右舷模糊 ANSYS WORKBENCH 振膜

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高灵敏度扇面纤毛式MEMS矢量水听器 被引量：4

14

作者 杨晟辉 丁俊文 +2 位作者 张国军 裴毓 尚珍珍 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期599-603,共5页

目前微机电系统(MEMS)矢量水听器的研究出现瓶颈。大量实验表明,水听器的灵敏度与探测带宽存在着相互制约关系。为保证水听器具有20~500 Hz的针对远距离船舶辐射噪声的可探测带宽,急需提高MEMS矢量水听器在低频探测的灵敏度。该文在普... 目前微机电系统(MEMS)矢量水听器的研究出现瓶颈。大量实验表明,水听器的灵敏度与探测带宽存在着相互制约关系。为保证水听器具有20~500 Hz的针对远距离船舶辐射噪声的可探测带宽,急需提高MEMS矢量水听器在低频探测的灵敏度。该文在普通纤毛式MEMS矢量水听器的基础上,提出在柱形纤毛上集成十字扇面,通过增大声压接收面积,来提高低频探测的灵敏度。通过ANSYS Workbanch多参优化确定十字扇面的尺寸,通过ANSYS15.0对优化后的尺寸进行验证。利用微机械加工法集成扇面与柱形纤毛,利用水听器校准系统来测试扇面纤毛式矢量水听器的灵敏度,结果表明,灵敏度满足每频程6dB的增长趋势,在500 Hz时灵敏度达到-183.6dB(0dB=1V/μPa),比普通结构提高了近5dB。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS) 压阻传感器 ANSYS 高灵敏度

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小波分析在超声测厚信号特征提取中的应用 被引量：5

15

作者 刘晓蕾 王召巴 +2 位作者 陈友兴 金永 赵霞 《无损检测》 2010年第12期948-950,972,共4页

采用超声波对旋压固体火箭发动机的绝热层厚度进行检测时,检测信号中的纹理噪声影响了界面回波的确定,进而影响绝热层厚度的准确测量。通过分析绝热层超声测厚信号特点和噪声来源,提出了利用小波变换对检测信号进行处理的方法。仿真结... 采用超声波对旋压固体火箭发动机的绝热层厚度进行检测时,检测信号中的纹理噪声影响了界面回波的确定,进而影响绝热层厚度的准确测量。通过分析绝热层超声测厚信号特点和噪声来源,提出了利用小波变换对检测信号进行处理的方法。仿真结果表明,运用小波分析得到的厚度特征有很大的改善,通过试件厚度的计算,验证了测量的有效性和准确性。 展开更多

关键词 超声波检测 绝热层 小波变换 特征提取

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基于小波分析的旋纹壳体衬层粘接成像处理技术研究

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作者 刘晓蕾 王召巴 +2 位作者 陈友兴 金永 赵霞 《甘肃科学学报》 2010年第2期94-97,共4页

超声检测技术已经广泛应用于固体火箭发动机衬层厚度检测和脱粘检测中.由于发动机壳体表面具有均匀的旋压纹理,造成检测后的粘接质量扫描图存在纹理噪声,影响了对脱粘区域的确定及面积的计算.研究了以旋压固体火箭发动机为研究对象,提... 超声检测技术已经广泛应用于固体火箭发动机衬层厚度检测和脱粘检测中.由于发动机壳体表面具有均匀的旋压纹理,造成检测后的粘接质量扫描图存在纹理噪声,影响了对脱粘区域的确定及面积的计算.研究了以旋压固体火箭发动机为研究对象,提出并采用中值滤波与小波一维信号降噪相结合的图像滤波后处理方案,较好地解决了旋纹壳体衬层脱粘区域的识别问题. 展开更多

关键词 超声检测 图像处理 脱粘 小波

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一种基于相关积分的互谱WVD目标方位估计方法 被引量：1

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作者 孙向前 范展 李晴 《声学技术》 CSCD 北大核心 2015年第1期23-28,共6页

针对水下高速运动目标的被动跟踪问题,将魏格纳-威尔分布(Wigner-Ville Distribution,WVD)算法与互谱法相结合,构建了一种矢量信号处理框架下的目标方位估计方法——基于相关积分的互谱WVD算法。该算法利用了矢量水听器声压通道与振速... 针对水下高速运动目标的被动跟踪问题,将魏格纳-威尔分布(Wigner-Ville Distribution,WVD)算法与互谱法相结合,构建了一种矢量信号处理框架下的目标方位估计方法——基于相关积分的互谱WVD算法。该算法利用了矢量水听器声压通道与振速通道信号的相关特性,首先通过计算两者的互相关函数来提取目标信号的特征信息,然后通过短时积分与傅里叶变换将互相关函数从时域转换到频域,最后在频域提取信号的特征参量,并进行方位估计。仿真研究表明,当目标处于远距离且低速运动时,所提算法的方位估计性能与互谱声强法基本一致;而当目标处于近距离且高速运动时,算法的方位估计性能大大优于互谱声强法。 展开更多

关键词 矢量信号处理 相关积分 互谱WVD 方位估计

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移动基站共址架空输电塔专用防雷系统研究 被引量：2

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作者 邵明驰 《电气自动化》 2021年第2期16-18,共3页

架空输电塔上的防雷系统只针对架空输电塔而设计,未能很好地保护移动基站。为达到保护架空输电塔的同时也能保护移动基站目的,设计了一种移动基站共址架空输电塔专用防雷系统。在正负极性标准雷电波的作用下,获取闪络电压,并计算雷电流... 架空输电塔上的防雷系统只针对架空输电塔而设计,未能很好地保护移动基站。为达到保护架空输电塔的同时也能保护移动基站目的,设计了一种移动基站共址架空输电塔专用防雷系统。在正负极性标准雷电波的作用下,获取闪络电压,并计算雷电流超出概率。根据计算结果,抑制雷击过电压,完成系统软件设计。通过系统测试可知,使用移动基站共址架空输电塔专用防雷系统后,接地电阻由6.75Ω降到了0.54Ω以下,且瞬时电压呈平稳状态,降低了线路雷击跳闸率,提高了耐雷水平。 展开更多

关键词 移动基站共址 架空输电塔 防雷系统 共用接地装置 闪络电压

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水布垭防淘墙拉锚洞施工方法简述

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作者 罗忠继 蒯圣堂 姜国梁 《人民长江》 北大核心 2007年第4期53-55,共3页

清江水布垭电站防淘墙预应力锚索拉锚平洞所在位置地质条件差,断面尺寸小,施工难度大。尤其左岸190m拉锚洞在克服了钻孔卡钻、塌方(冒顶)及其他施工不利因素后,工程总体进展顺利,介绍左岸190m拉锚洞的主要施工程序和施工方法。拉锚洞施... 清江水布垭电站防淘墙预应力锚索拉锚平洞所在位置地质条件差,断面尺寸小,施工难度大。尤其左岸190m拉锚洞在克服了钻孔卡钻、塌方(冒顶)及其他施工不利因素后,工程总体进展顺利,介绍左岸190m拉锚洞的主要施工程序和施工方法。拉锚洞施工工序包括:隧洞开挖、喷锚支护、钢筋混凝土衬砌、洞顶回填灌浆以及排水孔施工等,为以后同类工程的施工提供了借鉴。 展开更多

关键词 防淘墙 拉锚洞 施工 水布垭水电站

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利用Excel电子表格快捷设计磁粉芯电感器

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作者 黄永富 《磁性元件与电源》 2011年第4期I0113-I0114,I0130,共3页

刚完成了为“2010’第四届中国电子变压器、电感器联合学术年会”提供的文章，收到2010，09《电子变压器技术》，见到文章：《金属磁粉芯电感器设计方法》，饶有兴趣看了一下。

关键词 EXCEL电子表格 设计方法 电感器 磁粉芯 电子变压器 利用 学术年会

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