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中频可重构收发SiP电路设计
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作者 孙超 徐思远 +1 位作者 范童修 林逸群 《电子元件与材料》 北大核心 2026年第1期120-125,共6页
在高灵敏度、高性能的射频系统中,中频电路具有不可或缺的作用。目前SiP技术主要围绕三维堆叠封装高密度集成,使微波电路具备完整的系统功能,更加着眼于产品的小型化、轻量化、批量化,这不可避免地导致了更长的研发周期和更为复杂的工... 在高灵敏度、高性能的射频系统中,中频电路具有不可或缺的作用。目前SiP技术主要围绕三维堆叠封装高密度集成,使微波电路具备完整的系统功能,更加着眼于产品的小型化、轻量化、批量化,这不可避免地导致了更长的研发周期和更为复杂的工艺步骤。结合SIP技术和中频收发组件的电路特点,本文提出了一种可快速验证的中频可重构收发SIP电路,其优势在于可靠性高、研发成本低、开发周期短、尺寸灵活便于集成,适用于将成熟电路快速小型化或数量较少的低成本定制化产品以及新型电路的快速验证。在仿真的基础上完成了实物验证,并对首批次30件产品的增益数据进行了整理,数据表明,该种架构SiP的一致性和稳定性能够满足批量产品的需求。目前该款中频SiP已应用于实际工程,后续计划在X频段采用类似设计,进一步研究金丝匹配在X波段的适用性。 展开更多
关键词 射频 收发电路 SIP 中频可重构技术
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基于三维集成的Ku波段双面引出高功率T/R模块
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作者 程玺琮 周彪 +1 位作者 许向前 王子杰 《半导体技术》 北大核心 2026年第1期57-62,76,共7页
面向低剖面有源相控阵天线系统,基于三维集成技术研制了一款Ku波段双面引出四通道高功率收发(T/R)模块。模块通过多功能芯片集成技术实现大功率、高密度单层瓦式集成;设计了类同轴垂直互连结构,可通过球栅阵列实现双面对外信号互连,解... 面向低剖面有源相控阵天线系统,基于三维集成技术研制了一款Ku波段双面引出四通道高功率收发(T/R)模块。模块通过多功能芯片集成技术实现大功率、高密度单层瓦式集成;设计了类同轴垂直互连结构,可通过球栅阵列实现双面对外信号互连,解决了当前模块仅能单面互连的问题,并对关键结构进行电路分析及电磁仿真;为确保高输出功率工作,进行了散热设计和仿真验证。测试结果表明,在Ku波段发射通道饱和输出功率大于40 dBm,接收通道增益大于25 dB,噪声系数小于3.5 dB,模块尺寸仅为16.0 mm×16.0 mm×2.2 mm。 展开更多
关键词 收发(T/R)模块 KU波段 双面引出 高功率 三维集成
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三维集成无源电路研究进展
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作者 邓悦 王凤娟 +2 位作者 尹湘坤 杨媛 余宁梅 《电子与封装》 2026年第2期1-8,共8页
在射频系统不断发展的背景下,射频电路在移动通信、卫星发射以及工业自动化等领域得到了广泛的应用。然而,随着技术的进步,业界对设备性能的要求越来越高,导致传统的电路设计在满足系统对小型化、低损耗和高集成度的需求上显得捉襟见肘... 在射频系统不断发展的背景下,射频电路在移动通信、卫星发射以及工业自动化等领域得到了广泛的应用。然而,随着技术的进步,业界对设备性能的要求越来越高,导致传统的电路设计在满足系统对小型化、低损耗和高集成度的需求上显得捉襟见肘。因此,垂直互连技术作为三维集成电路的核心,已被研究人员广泛应用于集成各类射频电路模块。这一技术不仅有效缩小了移动通信等领域射频电路的占用面积,还为其后续发展开辟了新的可能性。主要介绍了基于三维集成的无源电路的研究进展,包括三维集成滤波器、耦合器、变压器和巴伦,并对各无源电路的发展现状和发展前景做了总结和展望。 展开更多
关键词 三维集成 射频系统 无源电路 垂直互连
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基于扇出型晶圆级封装的X波段异构集成T/R模组研制
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作者 张翔宇 张帅 +1 位作者 赵宇 吴洪江 《电子技术应用》 2026年第2期15-23,共9页
基于扇出型晶圆级封装(FOWLP)技术,设计并制造了一款X波段四通道收发模组。模组异构集成了CMOS和GaAs两种工艺的芯片,可实现接收射频信号的低噪声放大、幅相控制及功率放大输出等功能。模组内部通过重布线层实现芯片间的互联以及扇出,... 基于扇出型晶圆级封装(FOWLP)技术,设计并制造了一款X波段四通道收发模组。模组异构集成了CMOS和GaAs两种工艺的芯片,可实现接收射频信号的低噪声放大、幅相控制及功率放大输出等功能。模组内部通过重布线层实现芯片间的互联以及扇出,与印制电路板通过球栅阵列实现垂直连接,模组最终体积仅为12.8 mm×10.4 mm×0.5 mm。模组经测试,结果为接收增益≥27 dB,噪声系数≤4 dB,发射增益≥26.7 dB,饱和输出功率≥24 dBm,四位数控衰减精度RMS≤1 dB,六位数控移相精度RMS≤6°,符合设计预期,在高密度树脂基封装的基础上整合了两种材质芯片的特性,实现了优异的性能。 展开更多
关键词 晶圆级封装 T/R微系统 系统级封装 重布线 先进封装技术 小型化
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一种高输出功率的宽带上变频模块设计
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作者 葛增亭 余高干 +1 位作者 姜建飞 王奇 《空天预警研究学报》 2026年第1期31-34,共4页
针对雷达等设备要求超外差接收机大工作带宽、高输出功率、小型化设计等技术难题,提出一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的上变频微波多芯片模块(MCM)设计.该MCM集成了变频电路和驱动放大电路功能,提高了信号输出功率;采用LTCC基板,设计了紧... 针对雷达等设备要求超外差接收机大工作带宽、高输出功率、小型化设计等技术难题,提出一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的上变频微波多芯片模块(MCM)设计.该MCM集成了变频电路和驱动放大电路功能,提高了信号输出功率;采用LTCC基板,设计了紧凑电路结构,缩小了模块的体积和重量;将L波段宽带中频信号上变频至X/Ku波段,提高了模块的瞬时带宽和信号处理能力.测试结果表明,本文模块的输出功率≥30 dBm,最大瞬时带宽≥1 GHz,满足了接收机对大带宽、高输出功率和轻量化设计的需求. 展开更多
关键词 微波多芯片模块 输出功率 上变频 小型化 轻量化
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一种3~12 GHz超宽带混频器设计
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作者 曹智慧 董思源 应晓杰 《电子设计工程》 2026年第1期81-84,90,共5页
基于高性能超宽带无源双平衡混频器的需求,采用0.15μm砷化镓赝高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺,设计开发出一种工作频段为3~12 GHz的混频器。混频器的整体电路主要由混频环路、射频微带巴伦、本振微带巴伦以及中频端口匹配电路组成。本... 基于高性能超宽带无源双平衡混频器的需求,采用0.15μm砷化镓赝高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺,设计开发出一种工作频段为3~12 GHz的混频器。混频器的整体电路主要由混频环路、射频微带巴伦、本振微带巴伦以及中频端口匹配电路组成。本振巴伦采用新设计方案来实现超宽带、高隔离度的要求。测试结果表明,射频、本振频率带宽为3~12 GHz,射频端口功率为-10 dBm,本振端口功率为15 dBm,中频频率为DC~4 GHz,变频损耗小于10 dB,本振到射频端口隔离度大于45 dB,1 dB压缩点功率值大于9.5 dBm。 展开更多
关键词 砷化镓 超宽带 双平衡混频器 变频损耗
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基于谐波调谐的C波段高效率GaN HEMT功率放大器
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作者 李俊敏 刘英坤 +1 位作者 李通 蔡道民 《半导体技术》 北大核心 2025年第3期289-295,共7页
为解决传统功率放大器在管壳外部进行谐波匹配,导致谐波短路传输相位不一致和谐波、基波匹配电路互相影响的问题,基于0.25μm GaN HEMT工艺,对C波段高效率预匹配功率放大器进行研究。功率放大器管壳内部HEMT输入端采用键合线和瓷片电容... 为解决传统功率放大器在管壳外部进行谐波匹配,导致谐波短路传输相位不一致和谐波、基波匹配电路互相影响的问题,基于0.25μm GaN HEMT工艺,对C波段高效率预匹配功率放大器进行研究。功率放大器管壳内部HEMT输入端采用键合线和瓷片电容形成T型匹配网络来提升输入阻抗,以HEMT输出端键合线和瓷片电容分别作为电感和电容进行串联,使HEMT输出端对二次谐波短路,控制器件的电压和电流波形,提高放大器的漏极效率。管壳外部利用微带线进行阻抗变换,将输入输出阻抗匹配到50Ω。经测试,GaN HEMT功率放大器在5.8 GHz下饱和输出功率、漏极效率和功率增益分别为48.7 dBm、72%和11.3 dB。 展开更多
关键词 谐波阻抗匹配 漏极效率 GAN HEMT 功率放大器
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基于MEMS工艺的高性能小型化开关滤波器组研制
8
作者 侯茂辉 谢书珊 《微波学报》 北大核心 2025年第4期61-66,共6页
为满足日益增长的微波电子系统小型化需求,文中介绍了一种小型化四通道高性能X波段硅基开关滤波器的工程实现。根据开关滤波器的工作原理和研制要求,优先选择使用FET集成开关,通过软件仿真实现了4组MEMS滤波器版图设计。利用MEMS三维异... 为满足日益增长的微波电子系统小型化需求,文中介绍了一种小型化四通道高性能X波段硅基开关滤波器的工程实现。根据开关滤波器的工作原理和研制要求,优先选择使用FET集成开关,通过软件仿真实现了4组MEMS滤波器版图设计。利用MEMS三维异构集成工艺技术,突破了传统开关滤波器平面设计技术,将开关滤波器的4组MEMS滤波器分别放置于上下多层堆叠的晶圆中,通过多层晶圆中的TSV孔实现射频信号的传输和处理,充分利用产品的三维空间实现了双层MEMS滤波器的叠加设计,大大减少了开关滤波器的面积,同时滤波器、开关芯片电路及传输线的屏蔽腔设计也极大改善了通道间隔离度,同时体积、重量均缩小至传统开关滤波器模块的百分之一量级。 展开更多
关键词 开关滤波器 硅基MEMS 三维异构集成 高性能小型化
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一种兼顾修复成品率和效率的微波模块修复方法
9
作者 白志宁 夏维娟 +1 位作者 胡媛 王平 《空间电子技术》 2025年第2期121-126,共6页
航天科技不断发展,使得宇航微波模块产品不断向小型化、轻量化发展。硅铝结构管壳因结构复杂、质地硬脆等特点组装过程存在较大风险,组装或调测中器件修复极易造成管壳或周边器件的损伤。文章分析了星载微波模块产品的修复工况和修复难... 航天科技不断发展,使得宇航微波模块产品不断向小型化、轻量化发展。硅铝结构管壳因结构复杂、质地硬脆等特点组装过程存在较大风险,组装或调测中器件修复极易造成管壳或周边器件的损伤。文章分析了星载微波模块产品的修复工况和修复难点,设计专用修复工装,改进修复工具的适用性以及修复垫片的应用,总结出一种兼顾修复成品率和效率的修复技术,在实际的修复过程中得以实施验证,从而降低修复风险,有效地提高了修复效率和质量。 展开更多
关键词 微波模块 修复成品率 效率 硅铝 修复工装
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MEMS电容式加速度计抗冲击研究进展
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作者 吴健 谢国芬 熊壮 《太赫兹科学与电子信息学报》 2025年第10期1089-1106,共18页
微机电系统(MEMS)惯性加速度计是微电子惯性导航器件中一类重要的器件,在当前无控弹药制导化升级的过程中具有较为广泛的应用前景,但对弹载加速度计等器件的抗高过载技术研究成为制约其快速发展的主要技术瓶颈之一。MEMS电容式加速度计... 微机电系统(MEMS)惯性加速度计是微电子惯性导航器件中一类重要的器件,在当前无控弹药制导化升级的过程中具有较为广泛的应用前景,但对弹载加速度计等器件的抗高过载技术研究成为制约其快速发展的主要技术瓶颈之一。MEMS电容式加速度计属于结构型的传感器,在弹药发射的高过载动态环境测量中表现良好。本文回顾了从火炮发射环境的研究到MEMS传感器失效机理的相关模型与实验探究的发展历程,并对国内外目前MEMS电容式加速度计的抗高过载的研究现状、先进研究单位与产品进行简介,并提出了基于气体压膜阻尼效应的抗高过载封装设计方法,最后总结了当前适用于MEMS电容式加速度计抗高过载设计的方法,以期对提高MEMS电容式加速度计的抗高过载特性的研究现状有全面认识。 展开更多
关键词 微机电系统 电容式加速度计 抗冲击 结构设计
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基于玻璃通孔互连技术的集成无源器件发展
11
作者 刘晓贤 廖立航 朱樟明 《电子与封装》 2025年第7期35-43,共9页
基于硅通孔的三维集成技术虽然能够提高数据传输带宽与集成度,并且在尺寸、兼容性、性能等方面具有突出优点,但也面临着高频损耗大、工艺成本高等重大挑战,因此非常有必要探索基于新的基板材料的毫米波电路与系统集成技术。玻璃或石英... 基于硅通孔的三维集成技术虽然能够提高数据传输带宽与集成度,并且在尺寸、兼容性、性能等方面具有突出优点,但也面临着高频损耗大、工艺成本高等重大挑战,因此非常有必要探索基于新的基板材料的毫米波电路与系统集成技术。玻璃或石英材料能克服硅基板的高频损耗等缺陷,是当前较理想的基板材料。与硅基板相比,玻璃基板作为低介绝缘体,可直接与金属导体接触而不需要绝缘的隔离介质层,其工艺复杂度与成本显著降低,高频电学特性更加稳定,热膨胀系数与硅基板相似,在与硅基芯片键合时产生的热应力较小,进而降低了翘曲、焊点失效等问题,提高了三维封装的可靠性,因此基于玻璃转接板的毫米波集成无源器件(IPD)在保持低成本的同时还能够实现良好的电学特性。介绍了国内基于玻璃通孔技术的三维集成无源器件发展情况,以及随着玻璃通孔技术的发展和孔径尺寸的减小,寄生参数对信号传输的影响。 展开更多
关键词 玻璃通孔 三维集成 集成无源器件 射频前端
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X波段50 W GaAs限幅低噪声放大器MMIC的一体化设计
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作者 朱宝石 张翔 +1 位作者 周鑫 崔璐 《通讯世界》 2025年第9期30-32,共3页
针对高耐功率、低噪声的工程需求,基于4英寸(1英寸=2.54 cm)亚微米栅砷化镓(GaAs)二极管(positive-intrinsic-negative, PIN)与赝配高电子迁移率晶体管(pseudomorphic high electron mobility transistor,p HEMT)工艺,研制了一款X波段... 针对高耐功率、低噪声的工程需求,基于4英寸(1英寸=2.54 cm)亚微米栅砷化镓(GaAs)二极管(positive-intrinsic-negative, PIN)与赝配高电子迁移率晶体管(pseudomorphic high electron mobility transistor,p HEMT)工艺,研制了一款X波段限幅低噪声放大器单片微波集成电路(monolithic microwave integrated circuit, MMIC)。通过限幅器与低噪声放大器的一体化设计实现MMIC的低噪声、高耐功率。测试结果显示,在8 GHz~12 GHz,线性增益大于29 dB,噪声系数小于1.2 dB。 展开更多
关键词 X波段 GaAs PIN+pHEMT 限幅低噪声放大器 一体化设计 低噪声
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Ku频段四波束收发SiP模块研制
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作者 杜明 何海卓 +4 位作者 赵亮 周太富 李颖凡 罗鑫 熊文毅 《固体电子学研究与进展》 2025年第4期26-33,共8页
提出了一种高集成度的4通道四波束收发系统级封装(System-in-package,SiP)模块。该SiP模块工作频率为14.5~16.5 GHz,半双工工作,内部集成发射功率放大、接收低噪声信号放大、幅相控制、四波束无源网络等功能。使用AlN陶瓷基板配合金属... 提出了一种高集成度的4通道四波束收发系统级封装(System-in-package,SiP)模块。该SiP模块工作频率为14.5~16.5 GHz,半双工工作,内部集成发射功率放大、接收低噪声信号放大、幅相控制、四波束无源网络等功能。使用AlN陶瓷基板配合金属围框、盖板实现良好气密,并采用双面开腔方式,实现高密三维集成。为了验证研究结果,对该SiP模块进行了加工、测试,测试结果表明,在工作频带内,接收增益(含四波束网络的理论分配损耗)≥25 dB,噪声系数≤3.2 dB,发射输出功率≥25.5 dBm,质量约4 g,可以广泛应用于多波束收发组件前端。 展开更多
关键词 多波束 高集成度 系统级封装(SiP) 陶瓷封装 收发组件
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一种紧凑型毫米波IPD片上滤波功分器
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作者 沈光煦 徐鹏涵 +1 位作者 冯文杰 车文荃 《微波学报》 北大核心 2025年第4期51-55,60,共6页
针对毫米波片上滤波电路所面临的大尺寸与高损耗问题,文中提出一种基于外部品质因素以及MIM电容加载的小型化片上滤波功分器。文中提出由两种集总电容和分布式传输线电感构成的片上谐振器,实现结构小型化,并基于输入外部品质因数提出小... 针对毫米波片上滤波电路所面临的大尺寸与高损耗问题,文中提出一种基于外部品质因素以及MIM电容加载的小型化片上滤波功分器。文中提出由两种集总电容和分布式传输线电感构成的片上谐振器,实现结构小型化,并基于输入外部品质因数提出小型化滤波功分器拓扑。为提高滤波功分器的输出隔离,文中提出基于复数阻抗和表面波抑制条带的高隔离电路结构。最后,基于砷化镓衬底的集成无源器件(IPD)工艺设计一款两路等功分28 GHz片上滤波功分器,插入损耗仅为0.9 dB(不考虑功分),尺寸仅为0.7 mm^(2),全频段输出隔离大于17 dB。 展开更多
关键词 集成无源器件 毫米波 片上 滤波器 功分器
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基于InP HEMT工艺的低噪声放大器模块气密性封装
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作者 邓世河 张盟 +2 位作者 沈亚飞 谢振超 王文伟 《电子学报》 北大核心 2025年第10期3497-3503,共7页
本文设计并实现了一款基于磷化铟高电子迁移率晶体管(High Electron Mobility Transistor,HEMT)芯片的低插损、气密性低噪声放大器(Low Noise Amplifier,LNA)模块.针对传统波导E面探针(E代表波导的电场平面)封装结构在环境实验中容易受... 本文设计并实现了一款基于磷化铟高电子迁移率晶体管(High Electron Mobility Transistor,HEMT)芯片的低插损、气密性低噪声放大器(Low Noise Amplifier,LNA)模块.针对传统波导E面探针(E代表波导的电场平面)封装结构在环境实验中容易受到水汽影响的缺陷,提出具有气密性能的垂直波导-微带过渡设计,提升了放大器模块在恶劣环境中的可靠性.同时,通过在波导短路区域周围引入周期性间隙波导结构,有效抑制了石英基板中电磁波能量泄漏与高次模谐振.仿真结果表明,该波导-微带过渡结构在87.5~90.5 GHz内反射损耗小于-25 dB,插入损耗小于0.3 dB.通过补偿键合金丝自身引入的寄生电感,带内反射性能由-15 dB改善至-25 dB,降低能量在传输过程的反射.模块实测结果显示,放大器模块在工作频段内增益大于20 dB,输入端反射损耗小于-20 dB,典型噪声系数值为2.5 dB,双边封装导致的损耗小于1 dB.整体性能与芯片手册数据吻合度较高,验证了该设计的有效性. 展开更多
关键词 气密性 低噪声放大器 间隙波导 低损耗封装 毫米波
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射频电路封装设计与工艺实现方法研究
16
作者 苏德志 王岑 詹兴龙 《集成电路与嵌入式系统》 2025年第1期34-39,共6页
通信技术与社会发展息息相关,射频电路推动了通信技术的硬件水平,并已成为射频系统研究的热点之一。射频电路与数字电路的区别在封装技术方面也有区别,本文以封装设计和工艺实现方法为研究对象,从射频电路基本原理、封装设计方法和工艺... 通信技术与社会发展息息相关,射频电路推动了通信技术的硬件水平,并已成为射频系统研究的热点之一。射频电路与数字电路的区别在封装技术方面也有区别,本文以封装设计和工艺实现方法为研究对象,从射频电路基本原理、封装设计方法和工艺实现三个方面展开,介绍了射频电路封装的发展现状、技术需求和工艺路线,对射频电路的封装具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 无线通信 射频电路 封装工艺 键合工艺
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基于Schottky二极管和Hammer-Head滤波器0.67THz二次谐波混频器 被引量:13
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作者 蒋均 何月 +4 位作者 王成 刘杰 田遥岭 张健 邓贤进 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期418-424,共7页
通过测量肖特基二极管的I-V和C-V曲线,建立等效电路模型.利用三维电磁场和谐波平衡仿真工具分别进行三维结构仿真和电路宽带匹配,最终实现混合集成方式的0.67THz谐波混频器设计.测试结果表明:混频器中心频率为0.685 THz,射频3 dB带宽为... 通过测量肖特基二极管的I-V和C-V曲线,建立等效电路模型.利用三维电磁场和谐波平衡仿真工具分别进行三维结构仿真和电路宽带匹配,最终实现混合集成方式的0.67THz谐波混频器设计.测试结果表明:混频器中心频率为0.685 THz,射频3 dB带宽为47 GHz,双边带变频损耗13.1~16 dB,在685 GHz双边带噪声温度最低值为11500 K. 展开更多
关键词 0.67 THZ 谐波混频器 Y因子测试 肖特基二极管
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基片集成波导定向耦合器的仿真与实验研究 被引量:15
18
作者 李皓 陈安定 +3 位作者 洪伟 吴柯 崔铁军 陈继新 《微波学报》 CSCD 北大核心 2004年第4期54-56,63,共4页
基片集成波导 (SIW )是一种新型的高Q值、低损耗集成导波结构 ,易于设计和加工 ,可以广泛应用于微波毫米波集成电路中。由于与传统矩形波导的相似性 ,很多设计概念可以借用 ,比如波导功分器、滤波器、天线等。在本文中 ,我们用这种导波... 基片集成波导 (SIW )是一种新型的高Q值、低损耗集成导波结构 ,易于设计和加工 ,可以广泛应用于微波毫米波集成电路中。由于与传统矩形波导的相似性 ,很多设计概念可以借用 ,比如波导功分器、滤波器、天线等。在本文中 ,我们用这种导波结构实现了两种定向耦合器 ,其结构紧凑 ,实验结果与仿真结果吻合。 展开更多
关键词 矩形波导 定向耦合器 导波结构 功分器 天线 集成电路 Q值 仿真结果 紧凑 基片
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基于肖特基势垒二极管三维电磁模型的220GHz三倍频器 被引量:9
19
作者 张勇 卢秋全 +2 位作者 刘伟 李理 徐锐敏 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期405-411,共7页
采用阻性肖特基势垒二极管UMS DBES105a设计了一个太赫兹三倍频器.为了提高功率容量和倍频效率,该倍频器采用反向并联二极管对结构实现平衡式倍频.根据S参数测试曲线建立了该二极管的等效电路模型并提取了模型参数.由于在太赫兹频段二... 采用阻性肖特基势垒二极管UMS DBES105a设计了一个太赫兹三倍频器.为了提高功率容量和倍频效率,该倍频器采用反向并联二极管对结构实现平衡式倍频.根据S参数测试曲线建立了该二极管的等效电路模型并提取了模型参数.由于在太赫兹频段二极管的封装影响到电路的场分布,将传统的二极管SPICE参数直接应用于太赫兹频段的电路设计存在一定缺陷,因此还建立了二极管的三维电磁模型.基于该模型研制出的220 GHz三倍频器最大输出功率为1.7 mW,最小倍频损耗为17.5 dB,在223.5 GHz^237 GHz输出频率范围内,倍频损耗小于22 dB. 展开更多
关键词 太赫兹 平衡式倍频 肖特基势垒二极管 谐波平衡法
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GaAs MMIC用无源元件的模型 被引量:8
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作者 申华军 陈延湖 +5 位作者 严北平 杨威 葛霁 王显泰 刘新宇 吴德馨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1872-1879,共8页
制作了不同结构参数的GaAsMMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2... 制作了不同结构参数的GaAsMMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2,NiCr薄膜电阻的方块电阻约为16·1Ω/□.分析结构参数对螺旋电感性能的影响可知,减小线圈面积相关的寄生损耗有助于获得高品质的电感. 展开更多
关键词 MMIC 矩形螺旋电感 MIM电容 薄膜电阻 多项式拟合公式
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