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基于三维集成的Ku波段双面引出高功率T/R模块
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作者 程玺琮 周彪 +1 位作者 许向前 王子杰 《半导体技术》 北大核心 2026年第1期57-62,76,共7页
面向低剖面有源相控阵天线系统,基于三维集成技术研制了一款Ku波段双面引出四通道高功率收发(T/R)模块。模块通过多功能芯片集成技术实现大功率、高密度单层瓦式集成;设计了类同轴垂直互连结构,可通过球栅阵列实现双面对外信号互连,解... 面向低剖面有源相控阵天线系统,基于三维集成技术研制了一款Ku波段双面引出四通道高功率收发(T/R)模块。模块通过多功能芯片集成技术实现大功率、高密度单层瓦式集成;设计了类同轴垂直互连结构,可通过球栅阵列实现双面对外信号互连,解决了当前模块仅能单面互连的问题,并对关键结构进行电路分析及电磁仿真;为确保高输出功率工作,进行了散热设计和仿真验证。测试结果表明,在Ku波段发射通道饱和输出功率大于40 dBm,接收通道增益大于25 dB,噪声系数小于3.5 dB,模块尺寸仅为16.0 mm×16.0 mm×2.2 mm。 展开更多
关键词 收发(T/R)模块 KU波段 双面引出 高功率 三维集成
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一种3~12 GHz超宽带混频器设计
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作者 曹智慧 董思源 应晓杰 《电子设计工程》 2026年第1期81-84,90,共5页
基于高性能超宽带无源双平衡混频器的需求,采用0.15μm砷化镓赝高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺,设计开发出一种工作频段为3~12 GHz的混频器。混频器的整体电路主要由混频环路、射频微带巴伦、本振微带巴伦以及中频端口匹配电路组成。本... 基于高性能超宽带无源双平衡混频器的需求,采用0.15μm砷化镓赝高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺,设计开发出一种工作频段为3~12 GHz的混频器。混频器的整体电路主要由混频环路、射频微带巴伦、本振微带巴伦以及中频端口匹配电路组成。本振巴伦采用新设计方案来实现超宽带、高隔离度的要求。测试结果表明,射频、本振频率带宽为3~12 GHz,射频端口功率为-10 dBm,本振端口功率为15 dBm,中频频率为DC~4 GHz,变频损耗小于10 dB,本振到射频端口隔离度大于45 dB,1 dB压缩点功率值大于9.5 dBm。 展开更多
关键词 砷化镓 超宽带 双平衡混频器 变频损耗
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基于谐波调谐的C波段高效率GaN HEMT功率放大器
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作者 李俊敏 刘英坤 +1 位作者 李通 蔡道民 《半导体技术》 北大核心 2025年第3期289-295,共7页
为解决传统功率放大器在管壳外部进行谐波匹配,导致谐波短路传输相位不一致和谐波、基波匹配电路互相影响的问题,基于0.25μm GaN HEMT工艺,对C波段高效率预匹配功率放大器进行研究。功率放大器管壳内部HEMT输入端采用键合线和瓷片电容... 为解决传统功率放大器在管壳外部进行谐波匹配,导致谐波短路传输相位不一致和谐波、基波匹配电路互相影响的问题,基于0.25μm GaN HEMT工艺,对C波段高效率预匹配功率放大器进行研究。功率放大器管壳内部HEMT输入端采用键合线和瓷片电容形成T型匹配网络来提升输入阻抗,以HEMT输出端键合线和瓷片电容分别作为电感和电容进行串联,使HEMT输出端对二次谐波短路,控制器件的电压和电流波形,提高放大器的漏极效率。管壳外部利用微带线进行阻抗变换,将输入输出阻抗匹配到50Ω。经测试,GaN HEMT功率放大器在5.8 GHz下饱和输出功率、漏极效率和功率增益分别为48.7 dBm、72%和11.3 dB。 展开更多
关键词 谐波阻抗匹配 漏极效率 GAN HEMT 功率放大器
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基于MEMS工艺的高性能小型化开关滤波器组研制
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作者 侯茂辉 谢书珊 《微波学报》 北大核心 2025年第4期61-66,共6页
为满足日益增长的微波电子系统小型化需求,文中介绍了一种小型化四通道高性能X波段硅基开关滤波器的工程实现。根据开关滤波器的工作原理和研制要求,优先选择使用FET集成开关,通过软件仿真实现了4组MEMS滤波器版图设计。利用MEMS三维异... 为满足日益增长的微波电子系统小型化需求,文中介绍了一种小型化四通道高性能X波段硅基开关滤波器的工程实现。根据开关滤波器的工作原理和研制要求,优先选择使用FET集成开关,通过软件仿真实现了4组MEMS滤波器版图设计。利用MEMS三维异构集成工艺技术,突破了传统开关滤波器平面设计技术,将开关滤波器的4组MEMS滤波器分别放置于上下多层堆叠的晶圆中,通过多层晶圆中的TSV孔实现射频信号的传输和处理,充分利用产品的三维空间实现了双层MEMS滤波器的叠加设计,大大减少了开关滤波器的面积,同时滤波器、开关芯片电路及传输线的屏蔽腔设计也极大改善了通道间隔离度,同时体积、重量均缩小至传统开关滤波器模块的百分之一量级。 展开更多
关键词 开关滤波器 硅基MEMS 三维异构集成 高性能小型化
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一种兼顾修复成品率和效率的微波模块修复方法
5
作者 白志宁 夏维娟 +1 位作者 胡媛 王平 《空间电子技术》 2025年第2期121-126,共6页
航天科技不断发展,使得宇航微波模块产品不断向小型化、轻量化发展。硅铝结构管壳因结构复杂、质地硬脆等特点组装过程存在较大风险,组装或调测中器件修复极易造成管壳或周边器件的损伤。文章分析了星载微波模块产品的修复工况和修复难... 航天科技不断发展,使得宇航微波模块产品不断向小型化、轻量化发展。硅铝结构管壳因结构复杂、质地硬脆等特点组装过程存在较大风险,组装或调测中器件修复极易造成管壳或周边器件的损伤。文章分析了星载微波模块产品的修复工况和修复难点,设计专用修复工装,改进修复工具的适用性以及修复垫片的应用,总结出一种兼顾修复成品率和效率的修复技术,在实际的修复过程中得以实施验证,从而降低修复风险,有效地提高了修复效率和质量。 展开更多
关键词 微波模块 修复成品率 效率 硅铝 修复工装
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MEMS电容式加速度计抗冲击研究进展
6
作者 吴健 谢国芬 熊壮 《太赫兹科学与电子信息学报》 2025年第10期1089-1106,共18页
微机电系统(MEMS)惯性加速度计是微电子惯性导航器件中一类重要的器件,在当前无控弹药制导化升级的过程中具有较为广泛的应用前景,但对弹载加速度计等器件的抗高过载技术研究成为制约其快速发展的主要技术瓶颈之一。MEMS电容式加速度计... 微机电系统(MEMS)惯性加速度计是微电子惯性导航器件中一类重要的器件,在当前无控弹药制导化升级的过程中具有较为广泛的应用前景,但对弹载加速度计等器件的抗高过载技术研究成为制约其快速发展的主要技术瓶颈之一。MEMS电容式加速度计属于结构型的传感器,在弹药发射的高过载动态环境测量中表现良好。本文回顾了从火炮发射环境的研究到MEMS传感器失效机理的相关模型与实验探究的发展历程,并对国内外目前MEMS电容式加速度计的抗高过载的研究现状、先进研究单位与产品进行简介,并提出了基于气体压膜阻尼效应的抗高过载封装设计方法,最后总结了当前适用于MEMS电容式加速度计抗高过载设计的方法,以期对提高MEMS电容式加速度计的抗高过载特性的研究现状有全面认识。 展开更多
关键词 微机电系统 电容式加速度计 抗冲击 结构设计
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基于玻璃通孔互连技术的集成无源器件发展
7
作者 刘晓贤 廖立航 朱樟明 《电子与封装》 2025年第7期35-43,共9页
基于硅通孔的三维集成技术虽然能够提高数据传输带宽与集成度,并且在尺寸、兼容性、性能等方面具有突出优点,但也面临着高频损耗大、工艺成本高等重大挑战,因此非常有必要探索基于新的基板材料的毫米波电路与系统集成技术。玻璃或石英... 基于硅通孔的三维集成技术虽然能够提高数据传输带宽与集成度,并且在尺寸、兼容性、性能等方面具有突出优点,但也面临着高频损耗大、工艺成本高等重大挑战,因此非常有必要探索基于新的基板材料的毫米波电路与系统集成技术。玻璃或石英材料能克服硅基板的高频损耗等缺陷,是当前较理想的基板材料。与硅基板相比,玻璃基板作为低介绝缘体,可直接与金属导体接触而不需要绝缘的隔离介质层,其工艺复杂度与成本显著降低,高频电学特性更加稳定,热膨胀系数与硅基板相似,在与硅基芯片键合时产生的热应力较小,进而降低了翘曲、焊点失效等问题,提高了三维封装的可靠性,因此基于玻璃转接板的毫米波集成无源器件(IPD)在保持低成本的同时还能够实现良好的电学特性。介绍了国内基于玻璃通孔技术的三维集成无源器件发展情况,以及随着玻璃通孔技术的发展和孔径尺寸的减小,寄生参数对信号传输的影响。 展开更多
关键词 玻璃通孔 三维集成 集成无源器件 射频前端
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X波段50 W GaAs限幅低噪声放大器MMIC的一体化设计
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作者 朱宝石 张翔 +1 位作者 周鑫 崔璐 《通讯世界》 2025年第9期30-32,共3页
针对高耐功率、低噪声的工程需求,基于4英寸(1英寸=2.54 cm)亚微米栅砷化镓(GaAs)二极管(positive-intrinsic-negative, PIN)与赝配高电子迁移率晶体管(pseudomorphic high electron mobility transistor,p HEMT)工艺,研制了一款X波段... 针对高耐功率、低噪声的工程需求,基于4英寸(1英寸=2.54 cm)亚微米栅砷化镓(GaAs)二极管(positive-intrinsic-negative, PIN)与赝配高电子迁移率晶体管(pseudomorphic high electron mobility transistor,p HEMT)工艺,研制了一款X波段限幅低噪声放大器单片微波集成电路(monolithic microwave integrated circuit, MMIC)。通过限幅器与低噪声放大器的一体化设计实现MMIC的低噪声、高耐功率。测试结果显示,在8 GHz~12 GHz,线性增益大于29 dB,噪声系数小于1.2 dB。 展开更多
关键词 X波段 GaAs PIN+pHEMT 限幅低噪声放大器 一体化设计 低噪声
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Ku频段四波束收发SiP模块研制
9
作者 杜明 何海卓 +4 位作者 赵亮 周太富 李颖凡 罗鑫 熊文毅 《固体电子学研究与进展》 2025年第4期26-33,共8页
提出了一种高集成度的4通道四波束收发系统级封装(System-in-package,SiP)模块。该SiP模块工作频率为14.5~16.5 GHz,半双工工作,内部集成发射功率放大、接收低噪声信号放大、幅相控制、四波束无源网络等功能。使用AlN陶瓷基板配合金属... 提出了一种高集成度的4通道四波束收发系统级封装(System-in-package,SiP)模块。该SiP模块工作频率为14.5~16.5 GHz,半双工工作,内部集成发射功率放大、接收低噪声信号放大、幅相控制、四波束无源网络等功能。使用AlN陶瓷基板配合金属围框、盖板实现良好气密,并采用双面开腔方式,实现高密三维集成。为了验证研究结果,对该SiP模块进行了加工、测试,测试结果表明,在工作频带内,接收增益(含四波束网络的理论分配损耗)≥25 dB,噪声系数≤3.2 dB,发射输出功率≥25.5 dBm,质量约4 g,可以广泛应用于多波束收发组件前端。 展开更多
关键词 多波束 高集成度 系统级封装(SiP) 陶瓷封装 收发组件
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一种紧凑型毫米波IPD片上滤波功分器
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作者 沈光煦 徐鹏涵 +1 位作者 冯文杰 车文荃 《微波学报》 北大核心 2025年第4期51-55,60,共6页
针对毫米波片上滤波电路所面临的大尺寸与高损耗问题,文中提出一种基于外部品质因素以及MIM电容加载的小型化片上滤波功分器。文中提出由两种集总电容和分布式传输线电感构成的片上谐振器,实现结构小型化,并基于输入外部品质因数提出小... 针对毫米波片上滤波电路所面临的大尺寸与高损耗问题,文中提出一种基于外部品质因素以及MIM电容加载的小型化片上滤波功分器。文中提出由两种集总电容和分布式传输线电感构成的片上谐振器,实现结构小型化,并基于输入外部品质因数提出小型化滤波功分器拓扑。为提高滤波功分器的输出隔离,文中提出基于复数阻抗和表面波抑制条带的高隔离电路结构。最后,基于砷化镓衬底的集成无源器件(IPD)工艺设计一款两路等功分28 GHz片上滤波功分器,插入损耗仅为0.9 dB(不考虑功分),尺寸仅为0.7 mm^(2),全频段输出隔离大于17 dB。 展开更多
关键词 集成无源器件 毫米波 片上 滤波器 功分器
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射频电路封装设计与工艺实现方法研究
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作者 苏德志 王岑 詹兴龙 《集成电路与嵌入式系统》 2025年第1期34-39,共6页
通信技术与社会发展息息相关,射频电路推动了通信技术的硬件水平,并已成为射频系统研究的热点之一。射频电路与数字电路的区别在封装技术方面也有区别,本文以封装设计和工艺实现方法为研究对象,从射频电路基本原理、封装设计方法和工艺... 通信技术与社会发展息息相关,射频电路推动了通信技术的硬件水平,并已成为射频系统研究的热点之一。射频电路与数字电路的区别在封装技术方面也有区别,本文以封装设计和工艺实现方法为研究对象,从射频电路基本原理、封装设计方法和工艺实现三个方面展开,介绍了射频电路封装的发展现状、技术需求和工艺路线,对射频电路的封装具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 无线通信 射频电路 封装工艺 键合工艺
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基于Schottky二极管和Hammer-Head滤波器0.67THz二次谐波混频器 被引量:13
12
作者 蒋均 何月 +4 位作者 王成 刘杰 田遥岭 张健 邓贤进 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期418-424,共7页
通过测量肖特基二极管的I-V和C-V曲线,建立等效电路模型.利用三维电磁场和谐波平衡仿真工具分别进行三维结构仿真和电路宽带匹配,最终实现混合集成方式的0.67THz谐波混频器设计.测试结果表明:混频器中心频率为0.685 THz,射频3 dB带宽为... 通过测量肖特基二极管的I-V和C-V曲线,建立等效电路模型.利用三维电磁场和谐波平衡仿真工具分别进行三维结构仿真和电路宽带匹配,最终实现混合集成方式的0.67THz谐波混频器设计.测试结果表明:混频器中心频率为0.685 THz,射频3 dB带宽为47 GHz,双边带变频损耗13.1~16 dB,在685 GHz双边带噪声温度最低值为11500 K. 展开更多
关键词 0.67 THZ 谐波混频器 Y因子测试 肖特基二极管
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基片集成波导定向耦合器的仿真与实验研究 被引量:15
13
作者 李皓 陈安定 +3 位作者 洪伟 吴柯 崔铁军 陈继新 《微波学报》 CSCD 北大核心 2004年第4期54-56,63,共4页
基片集成波导 (SIW )是一种新型的高Q值、低损耗集成导波结构 ,易于设计和加工 ,可以广泛应用于微波毫米波集成电路中。由于与传统矩形波导的相似性 ,很多设计概念可以借用 ,比如波导功分器、滤波器、天线等。在本文中 ,我们用这种导波... 基片集成波导 (SIW )是一种新型的高Q值、低损耗集成导波结构 ,易于设计和加工 ,可以广泛应用于微波毫米波集成电路中。由于与传统矩形波导的相似性 ,很多设计概念可以借用 ,比如波导功分器、滤波器、天线等。在本文中 ,我们用这种导波结构实现了两种定向耦合器 ,其结构紧凑 ,实验结果与仿真结果吻合。 展开更多
关键词 矩形波导 定向耦合器 导波结构 功分器 天线 集成电路 Q值 仿真结果 紧凑 基片
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基于肖特基势垒二极管三维电磁模型的220GHz三倍频器 被引量:9
14
作者 张勇 卢秋全 +2 位作者 刘伟 李理 徐锐敏 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期405-411,共7页
采用阻性肖特基势垒二极管UMS DBES105a设计了一个太赫兹三倍频器.为了提高功率容量和倍频效率,该倍频器采用反向并联二极管对结构实现平衡式倍频.根据S参数测试曲线建立了该二极管的等效电路模型并提取了模型参数.由于在太赫兹频段二... 采用阻性肖特基势垒二极管UMS DBES105a设计了一个太赫兹三倍频器.为了提高功率容量和倍频效率,该倍频器采用反向并联二极管对结构实现平衡式倍频.根据S参数测试曲线建立了该二极管的等效电路模型并提取了模型参数.由于在太赫兹频段二极管的封装影响到电路的场分布,将传统的二极管SPICE参数直接应用于太赫兹频段的电路设计存在一定缺陷,因此还建立了二极管的三维电磁模型.基于该模型研制出的220 GHz三倍频器最大输出功率为1.7 mW,最小倍频损耗为17.5 dB,在223.5 GHz^237 GHz输出频率范围内,倍频损耗小于22 dB. 展开更多
关键词 太赫兹 平衡式倍频 肖特基势垒二极管 谐波平衡法
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GaAs MMIC用无源元件的模型 被引量:8
15
作者 申华军 陈延湖 +5 位作者 严北平 杨威 葛霁 王显泰 刘新宇 吴德馨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1872-1879,共8页
制作了不同结构参数的GaAsMMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2... 制作了不同结构参数的GaAsMMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2,NiCr薄膜电阻的方块电阻约为16·1Ω/□.分析结构参数对螺旋电感性能的影响可知,减小线圈面积相关的寄生损耗有助于获得高品质的电感. 展开更多
关键词 MMIC 矩形螺旋电感 MIM电容 薄膜电阻 多项式拟合公式
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微机电系统的研究与展望 被引量:14
16
作者 林忠华 胡国清 +1 位作者 刘文艳 张慧杰 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期71-75,共5页
微机电系统是面向21世纪的高新技术。文章对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现 状及应用前景进行了全面分析。在此基础上,论述了MEMS未来发展的趋势。
关键词 微机电系统 硅微细加工 微传感器 微执行器
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一种新型的毫米波功率合成电路 被引量:18
17
作者 谢小强 林为干 徐锐敏 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期25-28,共4页
针对毫米波功率合成技术研究,吸取传统W ilk inson电桥的优点,提出了一种新型低损耗毫米波微带集成3dB电桥,其成本低、加工制作容易、在32GHz^37GHz,插损为0.2dB;以此3dB电桥为基础的Ka频段功率合成网络,在频率33~35GHz,合成效率达75%.
关键词 毫米波 功率合成 微带集成3dB电桥 效率
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LTCC微波多芯片组件中键合互连的微波特性 被引量:34
18
作者 严伟 符鹏 洪伟 《微波学报》 CSCD 北大核心 2003年第3期30-34,共5页
键合互连是实现微波多芯片组件电气互连的关键技术 ,键合互连的拱高、跨距和金丝根数对其微波特性具有很大的影响。本文采用商用三维电磁场软件HFSS和微波电路设计软件ADS对低温共烧陶瓷微波多芯片组件中键合互连的微波特性进行建模分... 键合互连是实现微波多芯片组件电气互连的关键技术 ,键合互连的拱高、跨距和金丝根数对其微波特性具有很大的影响。本文采用商用三维电磁场软件HFSS和微波电路设计软件ADS对低温共烧陶瓷微波多芯片组件中键合互连的微波特性进行建模分析和仿真优化。 展开更多
关键词 LTCC 低温共烧陶瓷 微波多芯片组件 键合互连 微波特性
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微机电微波/射频开关的力学分析及其工艺研究 被引量:7
19
作者 茅惠兵 忻佩胜 +1 位作者 胡梅丽 赖宗声 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期273-275,共3页
 文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试。微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通。考虑到微机电制备工艺的兼容性,选择PECVD生长的氮化硅作悬臂梁...  文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试。微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通。考虑到微机电制备工艺的兼容性,选择PECVD生长的氮化硅作悬臂梁,聚酰亚胺作牺牲层。测试结果表明,研制的微机电开关在0.5~5GHz的范围内插入损耗为2dB,隔离度达30~50dB。 展开更多
关键词 射频开关 微机电微波 力学分析 共平面波导 悬管梁 插入损耗 隔离度 制备工艺
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MMIC和RFIC的CAD 被引量:6
20
作者 王绍东 高学邦 +1 位作者 刘文杰 吴洪江 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第10期8-12,共5页
微波单片集成电路和射频集成电路频率和集成度的提高使设计复杂化,对计算机辅助设计的依赖性更强,元器件行为的精确描述和仿真器的功能是设计精度的关键所在。本文对微波单片集成电路和射频集成电路设计的计算机辅助设计问题进行了论述... 微波单片集成电路和射频集成电路频率和集成度的提高使设计复杂化,对计算机辅助设计的依赖性更强,元器件行为的精确描述和仿真器的功能是设计精度的关键所在。本文对微波单片集成电路和射频集成电路设计的计算机辅助设计问题进行了论述,着重讨论了元器件模型和仿真器功能在微波射频集成电路设计中的问题和应用。 展开更多
关键词 射频集成电路 RFIC 微波单片集成电路 MMIC 元器件 功能 集成度 仿真器 CAD 计算机辅助设计
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