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微电子用聚酰亚胺亚胺化峰 被引量：3
1
作者 应建华 吴正元 刘三清 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1995年第3期61-65,共5页
介绍了高分子聚合物聚酰亚胺的亚胺化原理和实用的方法，实验发现薄膜材料红外吸收峰８００ｃｍ－１，的强弱与亚胺化程度有关；给出的判别与计量方法能确定材料的亚胺化程度。
关键词 微电子学 聚酰亚胺 亚胺化 薄膜 集成电路
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厚膜技术在功率集成电路中的应用
2
作者 白玉鑫 《电力电子技术》 CSCD 北大核心 1991年第2期73-76,共4页
关键词 厚膜 功率集成电路 制造
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CWD型超高真空镀膜机性能的改进
3
作者 许镜明 廖燕南 《四川真空》 1989年第4期1-4,共4页
关键词 超高真空 镀膜机 集成电路
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