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SIT耐压容量的控制和工艺调节 被引量:4
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作者 刘瑞喜 李思渊 何山虎 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第4期19-22,共4页
对静电感应晶体管(SIT)栅-漏、栅-源击穿电压的控制和工艺调节方法进行了探讨,对栅-源连通和栅-漏耐压的钳位问题进行了分析。
关键词 SIT 耐压 静电感应晶体管 制造工艺
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